JP2008034571A - 半導体キャリア、装着ツール、半導体装置の製造方法、および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体キャリアの上面部に接触する面を有する装着ツールを用いて半導体素子を半導体キャリアへ装着する際に、その接触面により半導体キャリアの配線パターンが断線されないようにする半導体キャリアを提供する。
【解決手段】半導体素子9の装着時に装着ツール11の底面(第2のツール部11bの底面)が接触する絶縁性基板2の上面の領域を配線パターン5が存在しない配線不形成領域とする。
【選択図】図1
【解決手段】半導体素子9の装着時に装着ツール11の底面(第2のツール部11bの底面)が接触する絶縁性基板2の上面の領域を配線パターン5が存在しない配線不形成領域とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体素子がフェイスダウンで実装される半導体キャリア、半導体素子を加熱加圧して半導体キャリアにフェイスダウンで装着する装着ツール、半導体素子を封止用樹脂を介して半導体キャリアにフェイスダウンで実装して半導体装置を製造する方法、および半導体装置に関する。
携帯情報機器等の小型化、軽量化に伴って、半導体装置の高密度化、小型化、薄型化が要求されている。これらの要求に応えるために、半導体素子を半導体キャリアにフェイスダウンでフリップチップ実装する技術が開発されている。このフリップチップ実装型の半導体装置としては、例えばCSP(Chip Size Package)等が従来から提供されている。
以下、従来のフリップチップ実装型の半導体装置の製造方法について、図8(a)〜(f)を用いて説明する。図8(a)〜(d)は従来の半導体装置の製造工程を説明するための概略断面図、図8(e)は従来の半導体装置の概略断面図、図8(f)は従来の半導体装置の概略平面図である。
図8(a)〜(f)において、101は半導体素子が上面部に実装される半導体キャリア、102は絶縁性基板、103は絶縁性基板102の上面に形成された電極、104は絶縁性基板102の下面に形成された外部接続端子、105は絶縁性基板102の上面に形成された配線パターン、106は絶縁性の封止用樹脂、107は半導体素子、108は半導体素子107の表面に形成された突起電極(バンプ電極)、109は半導体素子107を加熱加圧して半導体キャリア101の上面部に装着するとともに、半導体素子107の周囲に封止用樹脂106のフィレット部を形成して樹脂封止する装着ツール、109aは装着ツール109が備える第1のツール部、109bは装着ツール109が備える第2のツール部である。
まず、図8(a)に示す半導体キャリア101を用意する。半導体キャリア101は、絶縁性基板102、電極103、外部接続端子104、および配線パターン105を備える。配線パターン105は絶縁性基板102の上面で電極103に接続しており、配線パターン105と図示しないビア等により電極103と外部接続端子104とが電気的に接続される。
絶縁性基板102の上面には、半導体素子が実装される素子実装領域が予め設定されており(図8の中央部)、半導体素子の突起電極を接続するための電極103は、その素子実装領域の周縁部に形成されている。また、外部接続端子104は、一定の間隔で格子状に形成されている。
次に、図8(b)に示すように、シート状の封止用樹脂106を半導体キャリア101の上面部の素子実装領域の中央部に貼り付ける。次に、図8(c)に示すように、例えば半導体素子107を吸着保持した装着ツール109を位置制御して、半導体素子107の各突起電極108と半導体キャリア101の各電極103の位置合わせを行う。
装着ツール109は、図8(c)、(d)に示すように、半導体素子の装着時に半導体素子の裏面に接触して半導体素子の裏面を押圧する長方形又は正方形の平坦な加圧面を有する第1のツール部109aと、内側側面が絶縁性基板102の厚み方向沿いであって上記加圧面の周囲に配置された断面長方形の枠状の第2のツール部109bを備えている。第1のツール部109aの加圧面は、半導体素子の装着時に半導体素子107の裏面と略面一となる。また、第2のツール部109bの底面は、半導体素子107の装着時に半導体キャリア101の上面部に接触する。
ここで、加圧面を長方形又は正方形とするのは、長方形又は正方形の半導体素子に対応するためである。要するに、加圧面の形状は半導体素子の形状に対応し、かつ、半導体素子の裏面より大きな形状で、好ましくは、半導体素子の形状の大略相似形状とする。また、第2のツール部109bの枠形状は、少なくとも、その枠内の平面が半導体素子の裏面の領域よりも大きいことが好ましい。
次に、図8(d)に示すように、半導体素子107を半導体キャリア101の上面部に搭載し、装着ツール109の加圧面により半導体素子107の裏面を加熱加圧し、シート状の封止用樹脂106を軟化させつつ半導体キャリア101の各電極103と半導体素子107の各突起電極108との間の封止用樹脂106を排除し、半導体素子107の各突起電極108を変形させながら半導体キャリア101の各電極103に接合し、半導体素子107の各突起電極108と半導体キャリア101の各電極103とを電気的に接続する。
また、このとき、第2のツール部109bの底面が半導体キャリア101の上面部に接触して、第1のツール部109aの加圧面、第2のツール部109bの内側側面、半導体キャリア101の上面部、および半導体素子107の側面により封止用樹脂のフィレット部を成形する略閉空間が形成され、半導体素子107と半導体キャリア101との間に介在する封止用樹脂106は流動化してその間隙を充填するとともに略閉空間側へ押し出される。
その後、加熱を停止した後、装着ツール109を上昇させ、封止用樹脂106を冷却固化して樹脂封止する。結果、図8(e)、(f)に示すような、上面部に電極103およびその電極103に接続された配線パターン105を具備するとともに下面部に電極103と電気的に接続された外部接続端子104を具備する半導体キャリア101の上面部に、表面に突起電極108が形成された半導体素子107がフェイスダウンでフリップチップ実装され、封止用樹脂106が半導体キャリア101と半導体素子107との間隙を充填するとともに半導体素子107の周囲を被覆する半導体装置が実現される。
このように、従来は、第1のツール部の加圧面、第2のツール部の内側側面、半導体キャリアの上面部、および半導体素子の側面で形成される略閉空間により封止用樹脂のフィレット部を形成していた(例えば、特許文献1参照。)。しかしながら、従来の手法では、絶縁性基板の上面に形成されている配線パターンの上部が第2のツール部の底面により加圧され、配線パターンに大きな衝撃が加えられていた。近年、半導体素子と半導体キャリアを接続するバンプピッチが狭くなってきており、それに伴い相対的に配線パターンも細くなってきているため、従来の手法では、場合によっては、配線パターンが断線する危険が生じる。
特開2003−109988号公報
本発明は、上記問題点に鑑み、半導体素子の装着時に装着ツールの第2のツール部の底面(第2の面)で覆われる基板上面の領域を配線パターンが存在しない配線不形成領域とすることにより、半導体素子の装着時に第2のツール部の底面により配線パターンが断線されないようにする半導体キャリア、およびこの半導体キャリアを用いた半導体装置の製造方法、並びに半導体装置を提供することを目的とする。また、従来の半導体キャリアの第2のツール部の底面で加圧される領域には、配線パターンの存在する箇所と存在しない箇所があり、凸凹が生じているため、第2のツール部の底面と基板上面との隙間から封止用樹脂がはみ出すおそれがあるが、本発明によれば、第2のツール部の底面と基板上面との間に隙間が形成されないようにして、封止用樹脂が第2のツール部よりも外側へはみ出さないようにできる。
また、本発明は、上記問題点に鑑み、第1と第2のツール部を加圧調整機構で接続して、半導体素子の装着時に第2のツール部の底面(第2の面)から半導体キャリアの上面部へかかる圧力を、第1のツール部の加圧面(第1の面)から半導体素子の裏面へかける圧力よりも小さくすることにより、半導体素子の装着時に第2のツール部の底面により配線パターンが断線されないようにすることができる装着ツール、およびこの装着ツールを用いた半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の請求項1記載の半導体キャリアは、半導体素子が上面部に実装される半導体キャリアであって、基板と、前記基板の上面に予め設定された素子実装領域内に形成された電極と、前記基板の下面に形成された外部接続端子と、前記電極と前記外部接続端子とを電気的に接続する配線パターンと、を備え、前記基板の上面においては、前記素子実装領域から所定の距離だけ離れて前記素子実装領域を取り囲む予め設定された配線不形成領域外に前記配線パターンが形成されていることを特徴とする。
また、本発明の請求項2記載の半導体キャリアは、半導体素子が上面部に実装される半導体キャリアであって、基板と、前記基板の上面に予め設定された素子実装領域内に形成された電極と、前記基板の下面に形成された外部接続端子と、前記電極と前記外部接続端子とを電気的に接続する配線パターンと、を備え、実装された半導体素子の周囲を被覆する封止用樹脂のフィレット部が形成される前記基板の上面の領域の周辺に、前記配線パターンが存在しない配線不形成領域が設けられていることを特徴とする。
また、本発明の請求項3記載の半導体キャリアは、半導体素子が上面部に実装される半導体キャリアであって、基板と、前記基板の上面に予め設定された素子実装領域内に形成された電極と、前記基板の下面に形成された外部接続端子と、前記電極と前記外部接続端子とを電気的に接続する配線パターンと、を備え、前記配線パターンは前記基板の内層に形成され、前記基板の上面は前記配線パターンが存在しない配線不形成領域となっていることを特徴とする。
また、本発明の請求項4記載の装着ツールは、半導体素子を加熱加圧して半導体キャリアの上面部に装着するとともに、半導体素子の周囲に封止用樹脂のフィレット部を形成して樹脂封止する装着ツールであって、半導体素子の装着時に半導体素子の裏面に接触して加圧する第1の面を有する第1のツール部と、半導体素子の装着時に半導体キャリアの上面部に接触する枠形状の第2の面、および前記第2の面の内側辺に沿い、半導体素子の装着時に前記第1の面と共にフィレット部を成形する略閉空間の一部を形成する第3の面を有する第2のツール部と、前記第1と第2のツール部を接続する加圧調整機構と、を備え、前記加圧調整機構は、半導体素子の装着時に前記第2の面から半導体キャリアの上面部へかかる圧力を、前記第1の面から半導体素子の裏面へかける圧力よりも小さくすることを特徴とする。
また、本発明の請求項5記載の装着ツールは、請求項4記載の装着ツールであって、半導体素子の装着時に前記第1の面と前記第3の面からなるコーナー部の断面形状が曲線形状となることを特徴とする。
また、本発明の請求項6記載の装着ツールは、請求項4もしくは5のいずれかに記載の装着ツールであって、前記第3の面は、平面視したときの各隅部が曲線形状であることを特徴とする。
また、本発明の請求項7記載の半導体装置の製造方法は、半導体素子の装着時に半導体素子の裏面に接触して加圧する第1の面と、半導体素子の装着時に半導体キャリアの上面部に接触する枠形状の第2の面と、前記第2の面の内側辺に沿い、半導体素子の装着時に前記第1の面と共に半導体素子の周囲に封止用樹脂のフィレット部を成形する略閉空間の一部を形成する第3の面と、を有する装着ツールにより、半導体素子を加熱加圧して請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体キャリアの上面部に装着して、半導体装置を製造する方法であって、前記半導体キャリアの上面部にシート状の封止用樹脂を載置する工程と、半導体素子の表面に形成された突起電極と前記半導体キャリアの上面部に形成された電極とを位置合わせして、半導体素子を前記半導体キャリアの上面部に搭載する工程と、前記装着ツールにより半導体素子を加熱加圧して半導体素子の突起電極と前記半導体キャリアの電極とを電気的に接続するとともに、前記半導体キャリアの上面部の配線不形成領域に前記装着ツールの前記第2の面を接触させ、半導体素子と前記半導体キャリアとの間隙に存在する封止用樹脂を流動させる加熱加圧工程と、半導体素子と前記半導体キャリアとの間隙および半導体素子の周囲に存在する封止用樹脂を硬化させ樹脂封止する工程と、を備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項8記載の半導体装置の製造方法は、請求項4記載の装着ツールを用いた半導体装置の製造方法であって、半導体キャリアの上面部にシート状の封止用樹脂を載置する工程と、半導体素子の表面に形成された突起電極と半導体キャリアの上面部に形成された電極とを位置合わせして、半導体素子を前記半導体キャリアの上面部に搭載する工程と、前記装着ツールにより半導体素子を加熱加圧して半導体素子の突起電極と半導体キャリアの電極とを電気的に接続するとともに、半導体キャリアの上面部に前記装着ツールの第2の面を接触させ、半導体素子と半導体キャリアとの間隙に存在する封止用樹脂を流動させる加熱加圧工程と、半導体素子と半導体キャリアとの間隙および半導体素子の周囲に存在する封止用樹脂を硬化させ樹脂封止する工程と、を備え、加熱加圧工程の際に前記装着ツールの第2の面から半導体キャリアの上面部へかかる圧力を、前記装着ツールの第1の面から半導体素子の裏面へかける圧力よりも小さくすることを特徴とする。
また、本発明の請求項9記載の半導体装置の製造方法は、請求項4記載の装着ツールにより請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体キャリアの上面部に半導体素子を装着して半導体装置を製造する方法であって、前記半導体キャリアの上面部にシート状の封止用樹脂を載置する工程と、半導体素子の表面に形成された突起電極と前記半導体キャリアの上面部に形成された電極とを位置合わせして、半導体素子を前記半導体キャリアの上面部に搭載する工程と、前記装着ツールにより半導体素子を加熱加圧して半導体素子の突起電極と前記半導体キャリアの電極とを電気的に接続するとともに、前記半導体キャリアの上面部の配線不形成領域に前記装着ツールの第2の面を接触させ、半導体素子と前記半導体キャリアとの間隙に存在する封止用樹脂を流動させる加熱加圧工程と、半導体素子と前記半導体キャリアとの間隙および半導体素子の周囲に存在する封止用樹脂を硬化させ樹脂封止する工程と、を備え、加熱加圧工程の際に前記装着ツールの第2の面から半導体キャリアの上面部へかかる圧力を、前記装着ツールの第1の面から半導体素子の裏面へかける圧力よりも小さくすることを特徴とする。
また、本発明の請求項10記載の半導体装置は、請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体キャリアと、前記半導体キャリアの上面部に実装された半導体素子と、前記半導体キャリアと前記半導体素子との間隙を充填するとともに前記半導体素子の周囲を被覆する封止用樹脂と、を備えた半導体装置であって、前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂が形成された前記半導体キャリアの上面部の領域の周辺に配線不形成領域が存在することを特徴とする。
また、本発明の請求項11記載の半導体装置は、請求項10記載の半導体装置であって、前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂の前記半導体素子の厚み方向の断面形状は、前記半導体素子の裏面側のコーナー部が曲線形状であることを特徴とする。
また、本発明の請求項12記載の半導体装置は、請求項10もしくは11のいずれかに記載の半導体装置であって、前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂を平面視したときの各隅部は曲線形状であることを特徴とする。
また、本発明の請求項13記載の半導体装置は、半導体素子が半導体キャリアの上面部に実装された半導体装置であって、前記半導体キャリアと前記半導体素子との間隙を充填するとともに前記半導体素子の周囲を被覆する封止用樹脂を備え、前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂の前記半導体素子の厚み方向の断面形状は、前記半導体素子の裏面側のコーナー部が曲線形状であることを特徴とする。
また、本発明の請求項14記載の半導体装置は、請求項13記載の半導体装置であって、前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂を平面視したときの各隅部は曲線形状であることを特徴とする。
本発明によれば、半導体素子の装着時に装着ツールの第2のツール部の第2の面で覆われる基板上面の領域を配線パターンが存在しない配線不形成領域とすることにより、半導体素子の装着時に第2の面により配線パターンが断線されないようにすることができる。さらに、第2の底面と基板上面との間に隙間が形成されないようにして、封止用樹脂が第2のツール部よりも外側へはみ出さないようにできる。
また、本発明によれば、第1と第2のツール部を加圧調整機構で接続して、半導体素子の装着時に第2のツール部の第2の面から半導体キャリアの上面部へかかる圧力を、第1のツール部の第1の面から半導体素子の裏面へかける圧力よりも小さくすることにより、半導体素子の装着時に第2の面により配線パターンが断線されないようにすることができる。
したがって、本発明によれば、フリップチップ実装の接続信頼性、歩留りを考慮しつつ、封止用樹脂のはみ出し量の制御を容易に向上することが可能となる。
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1について、以下、図面を参照しながら説明する。図1(a)〜(d)は本発明の実施の形態1における半導体装置の製造工程を説明するための概略断面図、図1(e)は本発明の実施の形態1における半導体装置の概略断面図、図1(f)は本発明の実施の形態1における半導体装置の概略平面図である。
本発明の実施の形態1について、以下、図面を参照しながら説明する。図1(a)〜(d)は本発明の実施の形態1における半導体装置の製造工程を説明するための概略断面図、図1(e)は本発明の実施の形態1における半導体装置の概略断面図、図1(f)は本発明の実施の形態1における半導体装置の概略平面図である。
図1(a)〜(f)において、1は半導体素子が上面部に実装される半導体キャリア、2は絶縁性基板、3は絶縁性基板2の上面に形成された電極、4は絶縁性基板2の下面に形成された外部接続端子、5は絶縁性基板2の上面に形成された配線パターン、6は絶縁性基板2の内層に形成された配線パターン、7は絶縁性基板2の内層に形成されたビア、8は絶縁性の封止用樹脂、9は半導体素子、10は半導体素子9の表面に形成された突起電極(バンプ電極)、11は半導体素子9を加熱加圧して半導体キャリア1の上面部に装着するとともに、半導体素子9の周囲に封止用樹脂8のフィレット部を形成して樹脂封止する装着ツール、11aは装着ツール11が備える第1のツール部、11bは装着ツール11が備える第2のツール部である。
まず、図1(a)に示す半導体キャリア1を用意する。半導体キャリア1は、絶縁性基板2、電極3、外部接続端子4、配線パターン5、6、およびビア7を備える。配線パターン5、6およびビア7は、電極3と外部接続端子4を電気的に接続する。
絶縁性基板2の上面には、半導体素子が実装される素子実装領域が予め設定されており(図1の中央部)、半導体素子の突起電極を接続するための電極3は、その素子実装領域の周縁部に形成されている。また、外部接続端子4は、一定の間隔で格子状に形成されている。なお、絶縁性基板としては、多層セラミック基板、ガラス布積層エポキシ基板(ガラエポ基板)、アラミド不織布基板、ガラス布積層ポリイミド樹脂基板等を用いる。
本実施の形態1における半導体キャリアは、図1(a)、(f)に示すように、素子実装領域から所定の距離だけ離れて素子実装領域を取り囲む予め設定された配線不形成領域外に配線パターン5が形成されている。この配線不形成領域は、図1(e)、(f)に示すように、半導体素子9の周囲を被覆する封止用樹脂8のフィレット部が形成される絶縁性基板2の上面の領域の周辺に設けられている。
なお、絶縁性基板の内層にのみ配線パターンを形成して、絶縁性基板の上面全部を配線パターンが存在しない配線不形成領域としてもよい。例えば図2(b)に示すように絶縁性基板2の上面の電極3がグリットアレイ状に形成される場合には、図2(a)に示すように絶縁性基板2の上面に配線パターンを全く形成しない構成にすることができる。
次に、図1(b)に示すように、所望のサイズにカットしたシート状の封止用樹脂(樹脂シート)8を半導体キャリア1の上面部の素子実装領域の中央部に貼り付ける。樹脂シートの貼り付け方法としては、樹脂シートを載置し、例えば80〜120℃に熱せられた貼付けツールにより例えば5〜10kgf/cm2程度の圧力で半導体キャリアに貼付ける。
なお、絶縁性の樹脂シートとしては、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミドなどにシリカなどの無機系フィラーを入れたものや、無機系フィラーを全く入れないものが好ましいとともに、後工程のリフロー工程での高温に耐えうる程度の耐熱性(例えば、240℃に10秒間耐えうる程度の耐熱性)を有することが好ましい。
次に、図1(c)に示すように、半導体素子9の各突起電極10と半導体キャリア1の各電極3の位置合わせを行い、半導体キャリア1に半導体素子9を搭載する。次に、図1(d)に示すように、装着ツール11により半導体素子9を加熱加圧する。
装着ツール11は、図1(d)に示すように、半導体素子の装着時に半導体素子の裏面に接触して半導体素子の裏面を押圧(加圧)する長方形又は正方形の平坦な加圧面(第1の面)を有する第1のツール部11aと、半導体素子の装着時に半導体キャリアの上面部に接触する枠形状の第2の面(底面)、および第2の面の内側辺に沿い、半導体素子の装着時に加圧面と共に半導体素子の周囲に封止用樹脂のフィレット部を成形する略閉空間の一部を形成する第3の面(内側側面)を有する第2のツール部11bを備える。
第1のツール部11aの加圧面は、半導体素子の装着時に半導体素子9の裏面と略面一となる。また、第2のツール部11bの内側側面は絶縁性基板2の厚み方向沿いであり、第2のツール部11bは、加圧面の周囲に配置され、断面長方形の枠状をしている。
また、この装着ツールを用いて半導体素子を半導体キャリアに装着すると、装着する半導体素子の厚みと、半導体素子の突起電極と半導体キャリアの電極を接合したときの接合高さ(半導体素子と半導体キャリアとの間隙)の和が、第1のツール部11aの加工面と第2のツール部11bの底面の段差に等しくなる。したがって、この装着ツールを用いることにより、半導体キャリアに対して全ての突起電極を平行にでき、かつ接合高さを所望の高さにすることが可能となり、安定した半導体素子の実装を実現することができる。
また、ここで、加圧面を長方形又は正方形とするのは、長方形又は正方形の半導体素子に対応するためである。要するに、加圧面の形状は半導体素子の形状に対応し、かつ、半導体素子の裏面より大きな形状で、好ましくは、半導体素子の形状の大略相似形状とする。また、第2のツール部11bの枠形状は、少なくとも、その枠内の平面が半導体素子の裏面の領域よりも大きいことが好ましい。
図1(d)に示す加熱加圧工程では、装着ツール11の加圧面により半導体素子9の裏面を加熱加圧して、シート状の封止用樹脂8を軟化させつつ半導体キャリア1の各電極3と半導体素子9の各突起電極10との間の封止用樹脂8を排除し、半導体素子9の各突起電極10を変形させながら半導体キャリア1の各電極3に接合し、半導体素子9の各突起電極10と半導体キャリア1の各電極3とを電気的に接続する。
また、このとき、第2のツール部11bの底面が半導体キャリア1の上面部の配線不形成領域に接触して、第1のツール部11aの加圧面、第2のツール部11bの内側側面、半導体キャリア1の上面部、および半導体素子9の側面により封止用樹脂のフィレット部を成形する略閉空間が形成され、半導体素子9と半導体キャリア1との間に介在する封止用樹脂8は流動化してその間隙を充填するとともに略閉空間側へ押し出される。
その後、加熱を停止した後、装着ツール11を上昇させ、封止用樹脂8を冷却固化(硬化)して樹脂封止する。結果、図1(e)、(f)に示すような、上面部に電極3およびその電極3に接続された配線パターン5を具備するとともに下面部に電極3と電気的に接続された外部接続端子4を具備する半導体キャリア1の上面部に、表面に突起電極10が形成された半導体素子9がフェイスダウンでフリップチップ実装され、封止用樹脂8が半導体キャリア1と半導体素子9との間隙を充填するとともに半導体素子9の周囲を被覆する半導体装置であって、封止用樹脂8のフィレット部が形成された半導体キャリア1の上面部の領域の周辺に、配線パターン5が存在しない配線不形成領域が設けられた半導体装置を実現できる。
本実施の形態1によれば、図1(f)に示すように、半導体素子9の各隅部に封止用樹脂の未充填部分が発生することなく、少ない封止用樹脂のはみ出し量を実現できる。また、装着ツールにより加圧される半導体キャリアの上面部の領域には配線パターンが存在しないので、配線パターンにダメージを与えることなく半導体装置を実現することが可能となり、配線パターンの断線等の不具合の発生なく、小型化、高信頼性化された半導体装置を安定かつ容易に得ることができる。
(実施の形態2)
続いて、本発明の実施の形態2について、以下、図面を参照しながら説明する。図3(a)〜(d)は本発明の実施の形態2における半導体装置の製造工程を説明するための概略断面図、図3(e)は本発明の実施の形態2における半導体装置の概略断面図、図3(f)は本発明の実施の形態2における半導体装置の概略平面図である。但し、前述した実施の形態1で説明した部材に対応する部材については同一符号を付して、説明を省略する。また、前述した実施の形態1で説明した工程については、適宜その説明を省略する。
続いて、本発明の実施の形態2について、以下、図面を参照しながら説明する。図3(a)〜(d)は本発明の実施の形態2における半導体装置の製造工程を説明するための概略断面図、図3(e)は本発明の実施の形態2における半導体装置の概略断面図、図3(f)は本発明の実施の形態2における半導体装置の概略平面図である。但し、前述した実施の形態1で説明した部材に対応する部材については同一符号を付して、説明を省略する。また、前述した実施の形態1で説明した工程については、適宜その説明を省略する。
本実施の形態2は、図3(d)に示すように、第1のツール部11aと第2のツール部11bを加圧調整機構11cで接続した装着ツール11を用いる点に特徴がある。この加圧調整機構11cは、半導体素子の装着時に第2のツール部11bの底面(第2の面)から半導体キャリア1の上面部へかかる圧力を、第1のツール部11aの加圧面(第1の面)から半導体素子9の裏面へかける圧力よりも小さくする機能を有する。なお、図3(d)においては、加圧調整機構としてバネを図示しているが、無論、これに限るものではなく、例えば、エアーシリンダーや油圧式のシリンダーなどであってもよい。
本実施の形態2では、実施の形態1と同様に、まず、半導体キャリア1を用意し(図3(a))、所望のサイズにカットしたシート状の封止用樹脂8を半導体キャリア1の上面部の素子実装領域の中央部に貼り付け(図3(b))、半導体素子9の各突起電極10と半導体キャリア1の各電極3の位置合わせを行い、半導体キャリア1に半導体素子9を搭載する(図3(c))。
次に、図3(d)に示す加熱加圧工程において、実施の形態1と同様に、装着ツール11の加圧面により半導体素子9の裏面を加熱加圧して、半導体素子9の各突起電極10と半導体キャリア1の各電極3とを電気的に接続する。その際、半導体素子9と半導体キャリア1との間に介在する封止用樹脂8を流動化してその間隙を充填するとともに、第1のツール部11aの加圧面、第2のツール部11bの内側側面、半導体キャリア1の上面部、および半導体素子9の側面により形成される略閉空間へ封止用樹脂8を押し出す。
その後、加熱を停止した後、装着ツール11を上昇させ、封止用樹脂8を冷却固化(硬化)して樹脂封止する。結果、図3(e)、(f)に示すような実施の形態1と同様の半導体装置を実現できる。
本実施の形態2によれば、図3(f)に示すように、半導体素子9の各隅部に封止用樹脂の未充填部分が発生することなく、少ない封止用樹脂のはみ出し量を実現できる。また、装着ツールが加圧調整機構を保有しているため、半導体素子の裏面に大きな圧力をかける必要がある場合であっても、半導体キャリアの上面部に過度の圧力がかかることを防いで、配線パターンにダメージを与えることなく半導体装置を実現することが可能となり、配線パターンの断線等の不具合の発生なく、小型化、高信頼性化された半導体装置を安定かつ容易に得ることができる。
なお、本実施の形態2では、実施の形態1と同様に、第2のツール部の底面(第2の面)が接触する半導体キャリアの上面部の領域に配線パターンが存在しない半導体キャリアを用いて説明したが、図4に示すように、第2のツール部11bの底面が接触する半導体キャリア1の上面部の領域に配線パターン5が存在する半導体キャリアを用いた場合であっても、装着ツール11が加圧調整機構11cを保有しているため、半導体キャリアの上面部に過度の圧力がかかることを防ぐことができ、半導体キャリア上面部の配線パターンにダメージを与えることなく半導体装置を実現することが可能となり、配線パターンの断線等の不具合の発生なく、小型化、高信頼性化された半導体装置を安定かつ容易に得ることができる。
(実施の形態3)
続いて、本発明の実施の形態3について、以下、図面を参照しながら説明する。図5(a)は本発明の実施の形態3における装着ツールの高さ方向の概略断面図、図5(b)は本発明の実施の形態3における装着ツールの幅方向の概略断面図(図5(a)のA−A矢視図)、図6は本発明の実施の形態3における半導体装置の概略断面図、図7は本発明の実施の形態3における半導体装置の概略平面図である。但し、前述した実施の形態1で説明した部材に対応する部材については同一符号を付して、説明を省略する。
続いて、本発明の実施の形態3について、以下、図面を参照しながら説明する。図5(a)は本発明の実施の形態3における装着ツールの高さ方向の概略断面図、図5(b)は本発明の実施の形態3における装着ツールの幅方向の概略断面図(図5(a)のA−A矢視図)、図6は本発明の実施の形態3における半導体装置の概略断面図、図7は本発明の実施の形態3における半導体装置の概略平面図である。但し、前述した実施の形態1で説明した部材に対応する部材については同一符号を付して、説明を省略する。
本実施の形態3における装着ツール11は、図5(a)に示すように、第1のツール部11aの加圧面(第1の面)と第2のツール部11bの内側側面(第3の面)からなるコーナー部の断面形状が緩やかな曲線形状である点に特徴がある。このような形状の装着ツール11を用いて、前述した実施の形態1の製造方法で半導体装置を製造した場合、そのコーナー部の形状が封止用樹脂のフィレット部にも複写される。すなわち、図6に示すように、半導体素子9の周囲を被覆する封止用樹脂8のフィレット部の半導体素子の裏面側のコーナー部が緩やかな曲線形状となる。
また、本実施の形態3における装着ツール11は、図5(b)に示すように、第2のツール部11bの内側側面を平面視したときの各隅部が緩やかな曲線形状である点に特徴がある。このような形状の装着ツール11を用いて、前述した実施の形態1の製造方法で半導体装置を製造した場合、その各隅部の形状が封止用樹脂のフィレット部にも複写される。すなわち、図7に示すように、半導体素子9の周囲を被覆する封止用樹脂8のフィレット部を平面視したときの各隅部が緩やかな曲線形状となる。
このような装着ツールの緩やかな曲線形状は、例えば超硬性の金属材料に対してフライス加工を施すことで実現できる。本実施の形態3によれば、加圧面と第2のツール部の内側側面からなる各コーナー部および第2のツール部の内枠の各隅部を緩やかな曲線形状にすることにより、それに対応するフィレット部の各箇所も緩やかな曲線形状となるので、フィレット部の各コーナー部や各隅部に発生する温度差による応力集中を緩和することができ、信頼性の高い半導体装置安定かつ容易に得ることができる。
なお、前述した実施の形態2で説明した加圧調整機構を保有する装着ツールにおいても、半導体素子の装着時に第1のツール部11aの加圧面と第2のツール部11bの底面からなるコーナー部の断面形状が曲線形状となるようにし、第2のツール部11bの底面を平面視したときの各隅部が曲線形状となるようにすれば、本実施の形態3と同様の効果を得ることができる。
また、本実施の形態3では、第2のツール部の底面(第2の面)が接触する半導体キャリア1の上面部の領域に配線パターンが存在しない半導体キャリアを用いて説明を行ったが、第2のツール部の底面が接触する半導体キャリアの上面部の領域に配線パターンが存在する半導体キャリアを用いても同様に実施できる。
なお、上記した実施の形態1ないし3では単数チップによる半導体装置について説明したが、複数の半導体素子を積層した構造の半導体装置や、半導体装置を積層した構造の半導体装置についても同様に実施できる。
本発明にかかる半導体キャリア、装着ツール、半導体装置の製造方法、および半導体装置は、半導体素子を半導体キャリアへ装着する際に装着ツールにより半導体キャリアの配線パターンが断線されないようにすることができ、特に加熱加圧式のフリップチップ実装にて構成される半導体装置に有用である。
1、101 半導体キャリア
2、102 絶縁性基板
3、103 電極
4、104 外部接続端子
5、6、105 配線パターン
7 ビア
8、106 封止用樹脂
9、107 半導体素子
10、108 突起電極
11、109 装着ツール
11a、109a 第1のツール部
11b、109b 第2のツール部
11c 加圧調整機構
2、102 絶縁性基板
3、103 電極
4、104 外部接続端子
5、6、105 配線パターン
7 ビア
8、106 封止用樹脂
9、107 半導体素子
10、108 突起電極
11、109 装着ツール
11a、109a 第1のツール部
11b、109b 第2のツール部
11c 加圧調整機構
Claims (14)
- 半導体素子が上面部に実装される半導体キャリアであって、基板と、前記基板の上面に予め設定された素子実装領域内に形成された電極と、前記基板の下面に形成された外部接続端子と、前記電極と前記外部接続端子とを電気的に接続する配線パターンと、を備え、前記基板の上面においては、前記素子実装領域から所定の距離だけ離れて前記素子実装領域を取り囲む予め設定された配線不形成領域外に前記配線パターンが形成されていることを特徴とする半導体キャリア。
- 半導体素子が上面部に実装される半導体キャリアであって、基板と、前記基板の上面に予め設定された素子実装領域内に形成された電極と、前記基板の下面に形成された外部接続端子と、前記電極と前記外部接続端子とを電気的に接続する配線パターンと、を備え、実装された半導体素子の周囲を被覆する封止用樹脂のフィレット部が形成される前記基板の上面の領域の周辺に、前記配線パターンが存在しない配線不形成領域が設けられていることを特徴とする半導体キャリア。
- 半導体素子が上面部に実装される半導体キャリアであって、基板と、前記基板の上面に予め設定された素子実装領域内に形成された電極と、前記基板の下面に形成された外部接続端子と、前記電極と前記外部接続端子とを電気的に接続する配線パターンと、を備え、前記配線パターンは前記基板の内層に形成され、前記基板の上面は前記配線パターンが存在しない配線不形成領域となっていることを特徴とする半導体キャリア。
- 半導体素子を加熱加圧して半導体キャリアの上面部に装着するとともに、半導体素子の周囲に封止用樹脂のフィレット部を形成して樹脂封止する装着ツールであって、
半導体素子の装着時に半導体素子の裏面に接触して加圧する第1の面を有する第1のツール部と、
半導体素子の装着時に半導体キャリアの上面部に接触する枠形状の第2の面、および前記第2の面の内側辺に沿い、半導体素子の装着時に前記第1の面と共にフィレット部を成形する略閉空間の一部を形成する第3の面を有する第2のツール部と、
前記第1と第2のツール部を接続する加圧調整機構と、
を備え、前記加圧調整機構は、半導体素子の装着時に前記第2の面から半導体キャリアの上面部へかかる圧力を、前記第1の面から半導体素子の裏面へかける圧力よりも小さくすることを特徴とする装着ツール。 - 半導体素子の装着時に前記第1の面と前記第3の面からなるコーナー部の断面形状が曲線形状となることを特徴とする請求項4記載の装着ツール。
- 前記第3の面は、平面視したときの各隅部が曲線形状であることを特徴とする請求項4もしくは5のいずれかに記載の装着ツール。
- 半導体素子の装着時に半導体素子の裏面に接触して加圧する第1の面と、半導体素子の装着時に半導体キャリアの上面部に接触する枠形状の第2の面と、前記第2の面の内側辺に沿い、半導体素子の装着時に前記第1の面と共に半導体素子の周囲に封止用樹脂のフィレット部を成形する略閉空間の一部を形成する第3の面と、を有する装着ツールにより、半導体素子を加熱加圧して請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体キャリアの上面部に装着して、半導体装置を製造する方法であって、
前記半導体キャリアの上面部にシート状の封止用樹脂を載置する工程と、
半導体素子の表面に形成された突起電極と前記半導体キャリアの上面部に形成された電極とを位置合わせして、半導体素子を前記半導体キャリアの上面部に搭載する工程と、
前記装着ツールにより半導体素子を加熱加圧して半導体素子の突起電極と前記半導体キャリアの電極とを電気的に接続するとともに、前記半導体キャリアの上面部の配線不形成領域に前記装着ツールの前記第2の面を接触させ、半導体素子と前記半導体キャリアとの間隙に存在する封止用樹脂を流動させる加熱加圧工程と、
半導体素子と前記半導体キャリアとの間隙および半導体素子の周囲に存在する封止用樹脂を硬化させ樹脂封止する工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の装着ツールを用いた半導体装置の製造方法であって、
半導体キャリアの上面部にシート状の封止用樹脂を載置する工程と、
半導体素子の表面に形成された突起電極と半導体キャリアの上面部に形成された電極とを位置合わせして、半導体素子を前記半導体キャリアの上面部に搭載する工程と、
前記装着ツールにより半導体素子を加熱加圧して半導体素子の突起電極と半導体キャリアの電極とを電気的に接続するとともに、半導体キャリアの上面部に前記装着ツールの第2の面を接触させ、半導体素子と半導体キャリアとの間隙に存在する封止用樹脂を流動させる加熱加圧工程と、
半導体素子と半導体キャリアとの間隙および半導体素子の周囲に存在する封止用樹脂を硬化させ樹脂封止する工程と、
を備え、加熱加圧工程の際に前記装着ツールの第2の面から半導体キャリアの上面部へかかる圧力を、前記装着ツールの第1の面から半導体素子の裏面へかける圧力よりも小さくすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の装着ツールにより請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体キャリアの上面部に半導体素子を装着して半導体装置を製造する方法であって、
前記半導体キャリアの上面部にシート状の封止用樹脂を載置する工程と、
半導体素子の表面に形成された突起電極と前記半導体キャリアの上面部に形成された電極とを位置合わせして、半導体素子を前記半導体キャリアの上面部に搭載する工程と、
前記装着ツールにより半導体素子を加熱加圧して半導体素子の突起電極と前記半導体キャリアの電極とを電気的に接続するとともに、前記半導体キャリアの上面部の配線不形成領域に前記装着ツールの第2の面を接触させ、半導体素子と前記半導体キャリアとの間隙に存在する封止用樹脂を流動させる加熱加圧工程と、
半導体素子と前記半導体キャリアとの間隙および半導体素子の周囲に存在する封止用樹脂を硬化させ樹脂封止する工程と、
を備え、加熱加圧工程の際に前記装着ツールの第2の面から半導体キャリアの上面部へかかる圧力を、前記装着ツールの第1の面から半導体素子の裏面へかける圧力よりも小さくすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体キャリアと、前記半導体キャリアの上面部に実装された半導体素子と、前記半導体キャリアと前記半導体素子との間隙を充填するとともに前記半導体素子の周囲を被覆する封止用樹脂と、を備えた半導体装置であって、前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂が形成された前記半導体キャリアの上面部の領域の周辺に配線不形成領域が存在することを特徴とする半導体装置。
- 前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂の前記半導体素子の厚み方向の断面形状は、前記半導体素子の裏面側のコーナー部が曲線形状であることを特徴とする請求項10記載の半導体装置。
- 前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂を平面視したときの各隅部は曲線形状であることを特徴とする請求項10もしくは11のいずれかに記載の半導体装置。
- 半導体素子が半導体キャリアの上面部に実装された半導体装置であって、前記半導体キャリアと前記半導体素子との間隙を充填するとともに前記半導体素子の周囲を被覆する封止用樹脂を備え、前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂の前記半導体素子の厚み方向の断面形状は、前記半導体素子の裏面側のコーナー部が曲線形状であることを特徴とする半導体装置。
- 前記半導体素子の周囲を被覆する前記封止用樹脂を平面視したときの各隅部は曲線形状であることを特徴とする請求項13記載の半導体装置。
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---|---|---|---|---|
US11978717B2 (en) | 2021-03-12 | 2024-05-07 | Kioxia Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus |
-
2006
- 2006-07-28 JP JP2006205464A patent/JP2008034571A/ja active Pending
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