JP2008034100A - メモリ不良解析システム - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な操作によりより不特定多数者に対してフェイルビットマップ等の不良情報の開示を可能とする。
【解決手段】上記ネットワークを介してファイルサーバに接続される複数の表示端末装置のそれぞれは、半導体ウェハ上に形成されたメモリチップの少なくとも開発及び設計を含む複数の関係者に利用可能に配置され、表示を行うディスプレイ装置と、表示動作の制御を行うための入出力装置と、ｗｅｂブラウザが動作するためのＣＰＵ及びメモリを備えたパーソナルコンピュータにより構成される。上記ネットワークとｗｅｂブラウザにより上記ファイルサーバにアクセスし、上記ファイルサーバに格納されている複数のフェイルビットマップの中から目的のものを上記表示制御ファイルを用いて選択して上記メモリに取り込んで、上記メモリチップの不良解析結果を上記ディスプレイ装置に表示させる。
【選択図】図１

Description

この発明は、メモリ不良解析表示システムに関し、主としてＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）における不良解析の表示技術に利用して有効な技術に関するものである。

半導体ウェハ上に完成されたＲＡＭにプローブを当てて、動作試験を行うプロービング試験があり、この試験結果はフェイルビットマップとして表示させて不良解析に役立てるものである。従来、この種の不良解析装置は、回路設計者等のように特定用途向のソフトウェアにより実現されている。フェイルビットマップの表示方法としては、例えば特開平９−０９１９９９号公報がある。
特開平９−０９１９９９号公報

本願発明者においては、半導体ウェハ上に完成されたＲＡＭについての試験結果をより有効に使うことを考えた。つまり、ＲＡＭの開発や製造に関係するより多くの者に、上記試験結果を知らしめることにより、従来のように回路設計者等特定の限られた者以外の、例えばレイウト設計者や製造プロセス管理者、実際に製造に携わっている作業者等においても、製造されたＲＡＭの不良パターンを知らしめるようにすることにより、その不良原因等の的確な判定が早期にできるように役く立てることができる。そこで、不特定多数の者において簡単な操作によりメモリ不良解析結果の表示を行うようにしたシステムとして、既存のインーネット又はイントラネットで用いられるｗｅｂサイトを利用することを考えた。

この発明の目的は、簡単な操作によりより不特定多数者に対してフェイルビットマップ等の不良情報の開示を可能とするメモリ不良解析表示システムを提供することにある。この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。プローブ試験装置と、ネットワークと、上記ネットワークに接続されたファイルサーバ及び複数の表示端末装置とを備える。プローブ試験装置は、所定のパターンのテスト信号による書き込み動作と読み出し動作とを上記メモリチップに行ったテスト結果から不良メモリセルを検出して半導体ウェハを特定するための番号、それに形成された上記メモリチップの位置情報、及び上記メモリチップ内の不良アドレス信号が記録された試験結果ファイルを生成する。上記不良解析装置は、ワークステーション又はパーソナルコンピュータからなり、上記試験結果ファイルを読み込み、上記メモリチップ内の不良メモリセルの不良アドレス信号が記録された上記試験結果ファイルから、論理的なアドレス情報（ＸとＹアドレス）に対応して不良メモリセルの位置が表示されたフェイルビットマップを作成するフェイルビットマップ作成動作および表示制御ファイル作成動作を行う。上記ファイルサーバは、複数の上記フェイルビットマップをＨＴＭＬドキュメントである上記表示制御ファイルとともにそれぞれ格納する。上記複数の表示端末装置のそれぞれは、上記メモリチップの少なくとも開発及び設計を含む複数の関係者に利用可能に配置され、表示を行うディスプレイ装置と、表示動作の制御を行うための入出力装置と、ｗｅｂブラウザが動作するためのＣＰＵ及びメモリを備えたパーソナルコンピュータにより構成され、上記ネットワークとｗｅｂブラウザにより上記ファイルサーバにアクセスし、上記複数のフェイルビットマップの中から目的のものを上記表示制御ファイルを用いて選択して上記メモリに取り込んで、上記メモリチップの不良解析結果を上記ディスプレイ装置に表示させる。

本発明によれば、簡単な操作によりより不特定多数者に対してフェイルビットマップ等の不良情報の開示が可能になり、その不良原因等の的確な判定が早期にできるように役く立てることができる。

図１には、この発明に係るメモリ不良解析表示システムの一実施例の概略構成図が示されている。同図には、本願発明の部分の他に、試験結果を得るための主要部も合わせて描かれている。

半導体ウェハ（ＬＳＩウェハ）上に碁盤目状に形成されたＲＡＭ等のメモリチップは、そのボンディングパッドに図示しないプローブを接触させて給電を行うとともプローブ試験装置（テスタ）から所定のパターンのテスト信号による書き込み動作と読み出し動作とを行い、その結果から不良のメモリセルを検出してＬＳＩウェハを特定するための番号、それに形成されたメモリチップの位置情報及びメモリチップ内の不良アドレス信号等の試験結果ファイルに記録される。

この実施例では、特に制限されないが、周知のｗｗｗ（world wide web）ブラウザを利用して、上記試験結果ファイルの内容を誰でもが容易に見られるようにするものである。ここで、ｗｅｂとは、電子的にリンクされたドキュメントによるハイパーテキストシステムである。ｗｅｂでは、リンクされたテキストをマウスでクリックすることで、ドキュメントの間をナビゲートしていくことができる。

上記ｗｅｂを構成している中心的な要素は、ＨＴＭＬドキュメントである。ＨＴＭＬとは、Ｈyper Ｔext Ｍarkup Ｌanguage の略であり、簡単なＡＳＣＩＩコードのテキストで書かれている。このテキストにはタグと呼ばれる特殊なコードが含まれ、ｗｅｂブラウザがデータを認識するためにある。ブラウザは、ＨＴＭＬドキュメントを読むためのプログラムである。ブラウザでＨＴＭＬ文書を開くと、ブラウザはタグを正確に読み取る。タグは、別のドキュメントへリンクする単語、見出しの行、ドキュメントのタイトルなどのテキストの定義をブラウザに伝える。ブラウザはタグを読み取ると、次にテキストを表示画面に表示させる。タグは、テキストから切り離され、タグの命令に従ってドキュメントが形作られる。そして、ワードプロセッサの文書のように、ブラウザのコンテンツエリア（ウインドウ）に表示される。

インターネットにおけるあらゆるドキュメントには、アドレスが必要である。ｗｅｂ上のすべてのリソースには、ＵＲＬ（Uniform Resouece Locator) というアドレスが付いており、例えばｈｔｔｐ：／／は、このサイトが通常のＨＴＴＰ（Ｈyper Ｔext Ｔransfer Ｐrotocol)サイトであることを表しており、ＨＴＭＬドキュメントを見ることができる。その次に、ホストコンピュータのアドレス（これから接続しようとするｗｅｂサーバーが動作しているコンピュータのアドレス）で、その後にリソースの置かれているディレクトリの場所を示し、最後にリソースの名前が付加される。

この発明に係るメモリ不良解析表示システム１は、ＲＡＭ不良解析装置２と、ファイルサーバ３と、表示端末装置４及びこれらを接続するネットワーク接続５から構成される。

上記ＲＡＭ解析装置２は、ワークステーション又はパーソナルコンピュータからなり、ａ試験結果ファイルを読み込む動作、ｂ不良情報の切出し動作、ｃフェイルビットマップ作成動作及びｄ表示制御ファイル作成動作を行う。上記ファイルビットマップ作成動作では、メモリセルの不良情報を２次元状のアドレス情報に変換してフェイルビットマップを作成する。このフェイルビットマップは、画像ファイルを作成する。この画像ファイルに添付する説明文、つまり画像の種類、ウェハ名、チップアドレス等の情報は文字ファイルとして作成する。

上記ｄ表示制御ファイルは、特に制限されないが、上記ＨＴＭＬで書かれ、別のドキュメントへリンクする単語、見出しの行、ドキュメントのタイトルなどのテキストの定義を上記タグを用いて指示する。

上記ＲＡＭ不良解析装置２で作成された画像ファイルと文字ファイルとは、ファイルサーバに保管される。ファイルサーバ３は、ブラウザを搭載している表示端末装置４からのリクエストを受信したとき、ｗｅｂドキュメントを送り返すためのプログラムが作動する。上記ファイルサーバ３に保管されたそれぞれのＨＴＭＬドキュメントは、ドキュメント又はページと呼ばれ、あるいはサイトと呼ばれることもある。これはコンピュータ上に蓄えられている、あるいはテーマについてのドキュメントの集合を意味するものであり、サイトは、多数のドキュメントやページを蓄えているコンピュータのことを指すこともある。

したがって、上記ＲＡＭ不良解析装置２とファイルサーバ３は、機能別で表現すると上記のように２つに分けられるが、実際上においては１つのワークステーション等のコンピュータシステムで構成される。

表示端末装置４は、パーソナルコンピュータからなり、特に制限されないが、マウスやデジタイズ・パッド等の入力装置と、ＣＲＴ又は液晶等のディスプレイ装置とを備える。また、上記ＨＴＭＬドキュメントを見るためのｗｅｂブラウザや備え、上記マウス等の操作によってファイルサーバ３から上記不良解析結果に対応した画像と文字データを見ることができる。

ネットワーク接続５には、特に制限されないが、ＴＣＰ／ＩＰ接続が利用される。このＴＣＰ／ＩＰ（Transmisson Control Protocol / Internet Protocol) 接続は、インターネット上のコンピュータをお互いにコミュニケーションできるようにするプロトコルの意味である。このＴＣＰ／ＩＰ接続には、基本的にはＬＡＮ接続とダイヤルアップ接続の２つの方法がある。ＬＡＮ接続では、ローカル・エリア・ネットワークを通してインターネットに接続する。ダイヤルアップ接続は、電話回線を使用する。つまり、モデムを用いて電話をかけることにより、ソフトウェアがＴＣＰ／ＩＰ接続を行うものである。

図２には、上記表示端末装置４から上記ファイルサーバ３をアクセスしてＲＡＭ試験結果を見る場合の最初の表示例が示されている。つまり、上記表示端末装置４は、上記ファイルサーバに対応されたｈｔｔｐ：／／で始まり、ＲＡＭの品種毎に割り当てられたアドレスを送る。ファイルサーバ３は上記アドレスを認識し、それに対応したＲＡＭの品種毎に設けられた先頭のページ（ホームページ）のＨＭＬＴドキュメントを送出する。表示端末装置５は、そのドキュメントを受け取り、それを同図のようなメイン・メュー・画面として表示させる。特に制限されないが、メニーには、フェイルビット数表示、ファイルビットマップ表示、不良原因解析結果表示の３つが用意されており、併せプログラム終了を指示する終了も用意されている。マウスの移動に対応して画面上では矢印で示されたカーソルが移動する。

図３には、上記メイン・メニュー・画面においてフェイルビットマップ表示を選択する例が示されている。上記のようにマウスの移動によりカーソルを２番目のメニューである上記フェイルビットマット表示のボタンの部分に移動させ、マウスの左ボタンのクリックにより選択を行う。これにより、画面上では上記フェイルビットマット表示のボタンの部分に色が変化し、それが選択されたことを表す。これと同時に、表示端末装置４は上記ファイルサーバ３に対してファイルビットマップ表示に対応したページのリクエストを行う。

図４には、ウェハの選択する例が示されている。上記のような表示端末装置５からのリクエストに対しファイルサーバ３からは同図に示すようにウェハ選択画面に対応したドキュメントが返送されて表示画面に表示される。この表示画面には、Ａ００−０〜Ｃ０１−０のような８種類のウェハ番号と、元の画面に戻るボタンとが併せて表示される。もしも、上記指定したＲＡＭのウェハの数が８以上なら追加の追加ボタンが設けられそれを選択することよって８以上の追加文のウェハ選択ができるようにされる。この例では、マウスの移動によりカーソルをＢ００−１の箇所に移動し、それを左ボタンのクリックにより選択する例が示されている。上記の選択動作により表示のボタンの部分に色が変化し、それが選択されたことを表すとともに、表示端末装置４は上記ファイルサーバ３に対してＢ００−１のファイルビットマップに対応した文書と画像のドキュメントのリクエストを行う。

図５には、上記Ｂ００−１のフェイルビットマップの表示例が示されている。上記のような表示端末装置５のリクエストに対してファイルサーバ３は、図示のような画像ドキュメントとその説明する文字ドキュメントを返送するので、表示端末装置５の表示画面にそれが表示される。文字情報としては、ウェハスケール・フェイルビットマップであること、そのウェハ名がＢ００−１であることが表示される。そして、画像データとして同図のようなウァハ上に形成された半導体チップと、黒い点で示された不良メモリセルが位置が表示される。

図６には、１つのメモリチップを選択する例が示されている。マウスの操作によりカーソルを上から２段目で右端のメモリチップに移動させ、上記左ボタンでクリックすると、このメモリチップの部分が全体として色が変わり、それが選択されたことが表示される。これと同時に、表示端末装置４は上記ファイルサーバ３に対して上記選択されたメモリチップのファイルビットマップに対応した文書と画像のドキュメントのリクエストを行う。

図７には、上記メモリチップのフェイルビットマップの表示例が示されている。上記のような表示端末装置５のリクエストに対してファイルサーバ３は、図示のような画像ドキュメントとその説明する文字ドキュメントを返送するので、表示端末装置５の表示画面にそれが表示される。文字情報としては、ウェハスケール・フェイルビットマップであること、そのウェハ名がＢ００−１であることに加えて、チップアドレスが５２であることが表示される。そして、画像データとして同図のようなメモリチップに黒い点で示された不良メモリセルの位置が表示される。特に制限されないが、このメモリセルの不良位置は、論理的なアドレス情報（ＸとＹアドレス）に対応したものであり、半導体チップの幾何学的なメモリセルの実際上の位置に一対一に対応しものではない。

図８から図１１は、上記表示例を終了を説明するための手順が示されている。各画面に示された戻るのボタンを上記のようにマウスでクリックすると、１つ前の画面に順次に戻るようにされる。図９において別のメモリチップを選択すると別のメモリチップのフェイルビットマップが図７のように表示される。図１０において、別のウェハを選択すると図６のように別のウェハのフェイルビットマップが表示される。図１１においてファイルビット数表示とか不良原因解析結果表示を選択すると、それに対応したウェハの選択、メモリチップの選択が行われてその不良原因解析結果が表示される。

図１２には、上記フェイルビットマップ表示の手順のフローが示されている。表示端末装置の立ち上げを行って、前記説明したように(1) において前記図２のようなメイン・メニュー・画面を表示させる。(2) ではウェハ選択画面を表示させる。(3) ではウェハスケールでのフェイルビットマップを表示させる。(4) ではチップスケールでのフェイルビットマップを表示させる。戻りは、上記とは逆に(4) 、(3) 、(2) そして(1) の順に戻って動作が終了させられる。なお、(1)-(4) は、図面では丸付き数字で表している。

図１３には、この発明に係る不良解析表示システムの他の一実施例の表示例が示されている。同図では、ブラウザとしてネットスケープ コミュニケーション（Netscape Communications)社が開発したコンピュータプログラムであるネットスケープ ナビゲータ（Netscape Navigator) を用いた表示例が示されている。ここで上記のNetscape（ネットスケープ）及びNetscape Navigator（ネットスケープ ナビゲータ）、Netscape Communications(ネットスケープ コミュニケーション) は、米国のネットスケープ コミュニケーション コーポレイションが使用している商標である。

同図（ａ）には、第１番目のページ（ホームページ）の表示例が示されており、ＲＡＭの種類、ロット番号等が表題として示され、その下にメニューとして複数種類の試験結果が示され、見たいウェハを選んでクリックするような説明文が挿入されている。上記メニューの中で１つを選択すると、同図（ｂ）のようにウェハスケールのフェイルビットマップであること、そのウェハ名が特定され、画像データとしてメモリチップと、その不良箇所を黒点で示した画像が表示される。以下、この中の特定のメモリチップをクリックして選択すると、上記と同様にチップスケールでのフェイルビットマップが表示される。

ネットスケープ ナビゲータでは、画面の上の部分に戻る、進む等ひとつ前のｗｅｂドキュメントを表示させたり、次のｗｅｂドキュメントを表示させたりする機能があるので、上記実施例のように表示画面上で上記戻りを選択する機能を省略できるものである。このようなＲＡＭ不良解析表示システムにより、ＲＡＭの開発や製造に関係するより多くの者に、上記試験結果を知らしめることにより、従来のように回路設計者等特定の限られた者以外の、例えばレイウト設計者や製造プロセス管理者、実際に製造に携わっている作業者等においても、製造されたＲＡＭの不良パターンを知らしめるようにすることにより、その不良原因の早期で的確な判定に役く立てることができる。

上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りである。
（１）半導体ウェハ上に完成された半導体メモリのプロービング試験結果を取り込む動作と、上記試験結果から不良情報の切り出しを行う動作と、表示プログラムに従ってメモリセルの不良情報を２次元上のアドレス情報に変換してファイルビットマップの画像ファイルとして作成する動作と、上記画像ファイルを表示させるための表示制御命令を文字ファイルとして作成する動作を行うメモリ不良解析装置から上記作成された画像ファイルと文字ファイルをネットワークを介して受け取り保管するファイルサーバと、図形及び文字の表示を行うディスプレイ装置と表示動作の制御を行うための入出力装置とを備え、上記ネットワークを介してファイルサーバに対して表示させるべき画像ファイル又は文字ファイルを指定してそれを取り込んで上記ディスプレイ装置の表示画面上に表示させるための上記表示プログラムとを備える表示端末装置によりメモリ不良解析表示システムを構成することにより、簡単な操作によりより不特定多数者に対してフェイルビットマップ等の不良情報の開示が可能になるという効果が得られる。

（２）上記のように不良解析表示システムとして、ｗｗｗブラウザを利用して、上記のように不良解析装置、ファイルサーバ、表示端末装置及びそれらを接続するネットワーク接続を組み合わせことで、装置それぞれに独立した機能を与えることにより、どれかを別の方式の装置に変更した場合の他の装置への変更内容な小さくすることができる。

（３）上記表示端末装置に設けられる入出力装置は、表示画面上に表示されたカーソルの位置を制御と、その選択と実行を指示するマウス又はデジタイズ・パッド用いることにより、簡便な操作によって誰でも容易に所望の試験結果ファイルを判り易い形態で見ることができるという効果が得られる。

（４）上記ファイルサーバは、上記保管されている画像ファイル及び文字ファイルの中から上記表示端末装置からの要求に対応する画像ファイル、又は文字ファイル出力する機能のみとすることにより、表示を行うたびに余分な処理時間待ちが発生することなく高速な表示動作が実現できるという効果が得られる。

（５）上記ネットワークには、少なくとも上記１つのメモリ不良解析装置と１つのファイルサーバと複数の表示端末装置が接続されるものであり、上記複数の表示端末装置のそれぞれに表示用プログラムを設けるという構成により、その表示方式が異なるものに置き換えた場合でも、新たにシステム全体を構築しなおさなければならない部分が、表示用プログラムのみとなり柔軟な対応ができるという効果が得られる。

（６）上記表示端末装置は上記入力装置に含まれるマウスによりカーソルを移動させ、次に表示させるべき文字ファイル又は画像ファイルを指示して選択することにより、上記ファイルサーバに対する要求信号を形成させることにより、特別な訓練を要することなく必要な不良解析データを誰でも取り出せるという効果が得られる。

（７）上記メモリ不良解析装置にファイルビットマットの画像模様から不良原因を推測する不良原因推定プログラムを搭載させることにより、メモリ回路の知識がそれほど無い者に対しても大凡の不良原因を知らしめることができるという効果が得られる。

（８）上記ネットワークは、ＴＣＰ／ＩＰ接続を使用するものであり、上記表示用プログラムはｗｗｗブラウザであり、ファイルサーバはｈｔｔｐサーバーを利用することにより、既存のシステムを有効に利用することができ、使い勝手の良いメモリ不良解析表示システムを最小の費用で構築することができるという効果が得られる。

以上本発明者よりなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、メモリは、ダイナミック型ＲＡＭやスタティック型ＲＡＭのような書き込み／読み出しが行われるメモリの他、ＥＰＲＯＭやＥＥＰＥＯＭのような不揮発性メモリあるいはマスクＲＯＭのようなメモリであってもよい。ＲＡＭ不良解析装置２とファイルサーバ３とは、１つのワークステーションのようなコンピュータで実現するもの他、それぞれを１１つのコンピュータで構成してもよい。使用するブラウザとしては上記のような機能を持つものであれば何であってもよい。表示端末装置は、上記ｗｗｗブラウザのような表示プログラムが搭載されたものであれば、その表示方式が異なるものであってもよい。

この発明は、メモリ不良解析表示システムとして広く利用できるものである。

この発明に係るメモリ不良解析表示システムの一実施例を示す概略構成図である。 図１の表示端末装置４から上記ファイルサーバ３をアクセスしてＲＡＭ試験結果を見る場合の最初の表示画面図である。 図２のメイン・メニュー・画面においてフェイルビットマップ表示の選択操作を説明するための表示画面図である。 ウェハの選択操作を説明するための表示画面図である。 ウェハスケールでのフェイルビットマップの表示画面図である。 メモリチップの選択操作を説明するための表示画面図である。 チップスケールでのフェイルビットマップの表示画面図である。 戻り操作を説明するためのチップスケールでのフェイルビットマップの表示画面図である。 戻り操作を説明するためのウェハスケールでのフェイルビットマップの表示画面図である。 戻り操作を説明するためのウェハの選択表示画面図である。 システム終了操作を説明するためのメイン・メニュー・画面の表示画面図である。 フェイルビットマップ表示の手順を説明するためのフロー図である。 この発明に係る不良解析表示システムにおける他の一実施例を示す表示画面図である。

符号の説明

１…メモリ不良解析表示システム、２…ＲＡＭ不良解析装置、３…ファイルサーバ、４…表示端末装置、５…ネットワーク接続。

Claims (2)

1. プローブ試験装置と、ネットワークと、上記ネットワークに接続されたファイルサーバ及び複数の表示端末装置とを備え、
   プローブ試験装置は、所定のパターンのテスト信号による書き込み動作と読み出し動作とを上記メモリチップに行ったテスト結果から不良メモリセルを検出して半導体ウェハを特定するための番号、それに形成された上記メモリチップの位置情報、及び上記メモリチップ内の不良アドレス信号が記録された試験結果ファイルを生成し、
   上記不良解析装置は、ワークステーション又はパーソナルコンピュータからなり、上記試験結果ファイルを読み込み、上記メモリチップ内の不良メモリセルの不良アドレス信号が記録された上記試験結果ファイルから、論理的なアドレス情報（ＸとＹアドレス）に対応して不良メモリセルの位置が表示されたフェイルビットマップを作成するフェイルビットマップ作成動作および表示制御ファイル作成動作を行い、
   上記ファイルサーバは、複数の上記フェイルビットマップをＨＴＭＬドキュメントである上記表示制御ファイルとともにそれぞれ格納し、
   上記複数の表示端末装置のそれぞれは、上記メモリチップの少なくとも開発及び設計を含む複数の関係者に利用可能に配置され、表示を行うディスプレイ装置と、表示動作の制御を行うための入出力装置と、ｗｅｂブラウザが動作するためのＣＰＵ及びメモリを備えたパーソナルコンピュータにより構成され、上記ネットワークとｗｅｂブラウザにより上記ファイルサーバにアクセスし、上記複数のフェイルビットマップの中から目的のものを上記表示制御ファイルを用いて選択して上記メモリに取り込んで、上記メモリチップの不良解析結果を上記ディスプレイ装置に表示させるメモリ不良解析システム。
2. 請求項１において、
   上記ネットワークは、ＴＣＰ／ＩＰ接続を用いるメモリ不良解析システム。

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