JP2008030235A - 3次元構造体およびそれを有する発光素子ならびにその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】誘電体材料からなる第1部材4aと、第1部材と同じ誘電体材料からなり第1部材よりも径が小さな第2部材4bとが交互に積層された積層構造をそれぞれ有する複数の基本要素4が基板2上に設けられ、複数の基本要素は基板上に周期的に配列されている。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態による3次元構造体を図1乃至図6(d)を参照して説明する。図1に示すように、本実施形態の3次元構造体1は、基板2上に同一構造の基本要素4が複数個、周期的に配列された構造を有している。ここで、「複数個の基本要素4が基板2上に周期的に配列される」とは、基板2の面に平行な少なくとも1つの方向に、最近接基本要素との間の間隔が一定の周期Λで規則的に配列されること意味し、例えば、図2(a)に示すように基本要素4が周期Λの正方格子に配列されたり、または図2(b)に示すように周期Λの三角格子に配列されたりすることを意味する。なお、図2(a)、2(b)は、2方向、すなわちx、y方向に周期的に配列された2次元周期構造を有している。
k1・sinθ1 +m(2π/Λ)=k2・sinθ2 (1)
ここで、k1=n1×2π/λ、k2=n2×2π/λであり、n1、n2は屈折率、θ1は入射角、θ2は出射角、λは発光波長である。
njdjcosθj=λ/4 (2)
で与えられる。θjは入射角度である。(2)式から分かるように、単なる積層膜の場合では、ある角度において高反射条件が得られる。
次に、本実施形態の3次元構造体の製造方法の第1具体例を図5(a)乃至図5(d)を参照して説明する。
次に、本発明の第2実施形態を説明する。本実施形態は、第1実施形態で説明した3次元構造体1を備えた有機EL素子である。
次に、本発明の第3実施形態を、図8を参照して説明する。本実施形態は第1実施形態で説明したAl2O3からなる3次元構造体1を備えた白色LEDである。
本発明の実施例1による有機EL素子を図9(a)乃至図11(b)を参照して説明する。
次に、本発明の実施例2による有機EL素子を、図12(a)乃至図14(c)を参照して説明する。
次に、本発明の実施例3による有機EL素子を図9(a)乃至図11(b)を参照して説明する。
次に、本発明の実施例4によるLEDを、図15(a)乃至図168b)を参照して説明する。
[表1]
蛍光体 色:波長 組成比
ZnS:Cu,Al 緑:λ=530nm 22.80%
Y2O2S:Eu 赤:λ=626nm 55.80%
BaNgAl1017:Eu 青:λ=454nm 21.40%
次に、本発明の実施例5によるLEDを図15(a)乃至図16(b)を参照して説明する。
2 基板
4 基本要素
4a 部材
4b 部材
26 陽極
27 有機EL膜
28 陰極
Claims (11)
- 誘電体材料からなる第1部材と、前記第1部材と同じ誘電体材料からなり前記第1部材よりも径が小さな第2部材とが交互に積層された積層構造をそれぞれ有する複数の基本要素が基板上に設けられ、
前記複数の基本要素は前記基板上に周期的に配列されていることを特徴とする3次元構造体。 - 前記基本要素のそれぞれの前記第1部材の大きさが50nmから1000nmで、最隣接する前記基本要素の周期が100nmから2000nmであり、前記基本要素のそれぞれの前記積層構造における前記第1部材の厚さと前記第2部材の厚さとの和が一定で25nmから200nmの値を有することを特徴とする3次元構造体。
- 前記複数の基本要素は前記基板上に四角格子状または三角格子状に配列されていることを特徴とする請求項1または2記載の3次元構造体
- 第1および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた有機EL膜と、
前記第1および第2電極のうちの一方の電極の、前記有機EL膜の発光方向とは反対側の面に設けられた請求項1乃至3のいずれかに記載の3次元構造体と、
を備えたことを特徴とする発光素子。 - 透明基板と、
前記透明基板上に設けられた発光ダイオードと、
前記透明基板の、前記発光ダイオードと反対側の面に設けられた請求項1または2のいずれかに記載の3次元構造体と、
を備えたことを特徴とする発光素子。 - 前記透明基板はサファイア基板であることを特徴とする請求項4記載の発光素子。
- 前記透明基板と前記3次元構造体との間に蛍光体層が設けられていることを特徴とする請求項5または6記載の発光素子。
- 基板上に、金属を含む第1の層と、前記金属を含み前記第1の層とはエッチング速度の異なる第2の層とが交互に周期的に積層された積層構造を形成するステップと、
前記積層構造をパターニングすることにより、前記第1の層および前記第2の層の積層膜からなる2次元周期構造を前記基板上に形成するステップと、
前記2次元周期構造の前記第1および第2の層をエッチングすることにより、前記基板の面に垂直な方向に周期構造を形成するステップと、
エッチングされた前記第1および第2の層を酸化し、前記第1および第2の層を同一の誘電体に変えるステップと、
を備えたことを特徴とする3次元構造体の製造方法。 - 前記第1の層の材料Aと前記第2の層の材料Bとの組(A,B)が、(Al,AlF3)、(Ti,TiO2)、(TiO,TiO2)、(Mg,MgF2)、(La2O3,LaF3)のいずれかであることを特徴とする請求項8記載の3次元構造体の製造方法。
- 基板上に、Siを含む第1の層と、Siを含み前記第1の層とはエッチング速度の異なる第2の層とが交互に周期的に積層された積層構造を形成するステップと、
前記積層構造をパターニングすることにより、前記第1の層および前記第2の層の積層膜からなる2次元周期構造を前記基板上に形成するステップと、
前記2次元周期構造の前記第1および第2の層をエッチングすることにより、前記基板の面に垂直な方向に周期構造を形成するステップと、
エッチングされた前記第1および第2の層を酸化し、前記第1および第2の層を同一の誘電体に変えるステップと、
を備えたことを特徴とする3次元構造体の製造方法。 - 前記第1の層の材料Aと前記第2の層の材料Bとの組(A,B)が、(Si,SiO2)、(SiO,SiO2)、(Si,SiO)のいずれかであることを特徴とする請求項10記載の3次元構造体の製造方法。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101419524B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2014-07-14 | (재)한국나노기술원 | 3차원 블락킹 패턴을 이용한 반도체 발광 다이오드 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 발광 다이오드 소자 |
KR101419525B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2014-07-14 | (재)한국나노기술원 | 스텝형 3차원 블락킹 패턴을 이용한 반도체 발광 다이오드 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 발광 다이오드 소자 |
WO2015133000A1 (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-11 | 丸文株式会社 | 深紫外led及びその製造方法 |
US9349918B2 (en) | 2011-07-12 | 2016-05-24 | Marubun Corporation | Light emitting element and method for manufacturing same |
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5214284B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2013-06-19 | 株式会社東芝 | 発光装置用光取り出し層、およびそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子 |
CN104101945A (zh) * | 2014-07-23 | 2014-10-15 | 宁波屹诺电子科技有限公司 | 一种基于水平狭缝光波导的微盘谐振腔及其制作方法 |
CN105355546A (zh) * | 2014-08-19 | 2016-02-24 | 北大方正集团有限公司 | 一种氮化镓器件电极结构的制作方法及氮化镓器件 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5335240A (en) * | 1992-12-22 | 1994-08-02 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Periodic dielectric structure for production of photonic band gap and devices incorporating the same |
DE10063151B4 (de) * | 2000-12-18 | 2004-03-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur Analyse der qualitativen und/oder quantitativen Zusammensetzung von Fluiden |
KR100581850B1 (ko) * | 2002-02-27 | 2006-05-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 표시 장치와 그 제조 방법 |
US7768023B2 (en) * | 2005-10-14 | 2010-08-03 | The Regents Of The University Of California | Photonic structures for efficient light extraction and conversion in multi-color light emitting devices |
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9349918B2 (en) | 2011-07-12 | 2016-05-24 | Marubun Corporation | Light emitting element and method for manufacturing same |
KR101419524B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2014-07-14 | (재)한국나노기술원 | 3차원 블락킹 패턴을 이용한 반도체 발광 다이오드 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 발광 다이오드 소자 |
KR101419525B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2014-07-14 | (재)한국나노기술원 | 스텝형 3차원 블락킹 패턴을 이용한 반도체 발광 다이오드 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 발광 다이오드 소자 |
US9929311B2 (en) | 2013-07-17 | 2018-03-27 | Marubun Corporation | Semiconductor light emitting element and method for producing the same |
WO2015133000A1 (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-11 | 丸文株式会社 | 深紫外led及びその製造方法 |
CN105934833A (zh) * | 2014-03-06 | 2016-09-07 | 丸文株式会社 | 深紫外led及其制造方法 |
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