JP2008026252A - デバイスの製造方法及びこれを用いた傾斜センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は以上のような課題を解決するため、単結晶水晶基板の上に固定部1に対して変位する変位部2を有し、加速度によって変位部2が変位し、これに伴う固定部1と変位部2との間の静電容量の変化で変位部2の変位量を測定するようにしたセンサ素子を一対設けるものであって、水晶の結晶のX軸に対して互いに45°離れてX軸に対して180°線対称の位置に一対のセンサ素子を形成した。これによって一対のセンサ素子は互いに90°の角度をもって正確に形成され、一対のセンサ素子の出力によって正確にあらゆる方向の傾斜を測定することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明はそのような傾斜センサの一種であり、極めて検出感度が高くかつ容易に量産が可能なものを提供するものである。また、そのような傾斜センサを用いて極めて高感度でかつ、1つの結晶から正確に相互に90°(或いは他の角度βでも可能)の線対称関係を有する2つのセンサ素子を有する傾斜センサを提供するものである。
また固定部3と変位部4とは幅狭部5によって連結され、この幅狭部5も固定部3及び変位部4とともに1枚の基板2をエッチング加工して作られている。これによって固定部3と変位部4とに加速度が加わると、変位部4の質量によって幅狭部5が湾曲し、変位部4の下端が図3の矢印方向つまり左右に揺動する。
2 基板
3 固定部
4 変位部
5 幅狭部
6 溝
7−1,7−2 対向部
8−1,8−2 変位電極
9−1.9−2 固定電極
10−1,10−2 導電薄膜
11,12 接続端子
Claims (7)
- 単結晶材料の中で偶数対称軸Aに直交するn回対称軸Bを有する結晶から、任意の角度θで結晶構造的にも対称なデバイスを作製する方法であって、軸Bに直交したウエハを作製し、作製したウエハ上にある軸Aから角度βずらせてデバイスを作製し、これと結晶構造的にも対称なデバイスをθずらせた位置に作製する方法として、2β=θ或いは−β+360/n=θとなるようにβの角度を設定したデバイスの製造方法。
- θを90°とした場合、2β=90°或いは−β+360/n=β+90となるようにした請求項1記載のデバイスの製造方法。
- デバイスは固定部に対して変位する変位部を有し、重力加速度によって変位部が変位し、これに伴う固定部と変位部との間の静電容量の変化で変位部の変位量を測定するようにしたセンサ素子である請求項1或いは請求項2記載のデバイスの製造方法。
- 三方晶系の結晶の3つの結晶軸の内2回対称軸をX軸、3回対称軸をZ軸、残りの軸をY軸とし、Y軸及びX軸の通る平面上でX軸を中心にして+45°、−45°の対称位置であって180°回転対象位置にそれぞれ、固定部に対して変位する変位部を有し、重力加速度によって変位部が変位し、これに伴う固定部と変位部との間の静電容量の変化で変位部の変位量を測定するようにしたセンサ素子を設けた傾斜センサ。
- 三方晶系結晶として単結晶水晶を用いた請求項4記載の傾斜センサ。
- 三方晶系の結晶の3つの結晶軸の内2回対称軸をX軸、3回対称軸をZ軸、残りの軸をY軸とし、Y軸及びX軸の通る平面上でX軸を中心にして+15°、−15°の対称位置であって120°回転対称位置にそれぞれ、固定部に対して変位する変位部を有し、重力加速度によって変位部が変位し、これに伴う固定部と変位部との間の静電容量の変化で変位部の変位量を測定するようにしたセンサ素子を設けた傾斜センサ。
- 三方晶系として単結晶水晶を用いた請求項6記載の傾斜センサ。
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