JP2008023698A - Stage device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stage device capable of being transported without using a special vehicle and facilitating the machining of a base even if the device is enlarged. <P>SOLUTION: This stage device 1 can be divided in the horizontal direction X orthogonally to the moving direction of a gantry 9 using dividing faces 12 and 13 as boundaries. This stage device 1 is thus constituted to be divided into a body 1a, a division part 1b and a division part 1c which have such dimensions as being mountable to a transporter and is machined by being divided into the body 1a, the division part 1b and the division part 1c. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、基台に支持され、当該基台上を進行方向である一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置に関する。   The present invention relates to a stage apparatus having a gantry section that is supported by a base and moves on the base in a uniaxial direction that is a traveling direction.

従来、液晶パネルや半導体の各種基板の製造装置として用いられるステージ装置として、複数本の缶材を連結して構築された製缶構造の基台と、基台上の両側に設けられたガイドレールと、ガイドレールに沿って案内される案内スライダを有するビームとを備え、ビームがガイドレールに沿って移動するステージ装置が知られている。（例えば、特許文献１参照）。
特開２００６−２６９５０９号公報 Conventionally, as a stage device used as an apparatus for manufacturing various substrates for liquid crystal panels and semiconductors, a base of a can manufacturing structure constructed by connecting a plurality of cans and guide rails provided on both sides of the base And a beam having a guide slider guided along the guide rail, and a stage device in which the beam moves along the guide rail is known. (For example, refer to Patent Document 1).
JP 2006-269509 A

しかしながら、上記ステージ装置にあっては、近年液晶ディスプレイの大型化などに伴い装置の大型化を図った場合、輸送用の車両などに積載することができない場合がある。ここで、特殊車両を用いて輸送することが考えられるが、コストが膨大となってしまう。また、基台を構築するための缶材も長くなるため、加工装置で機械加工を施すことが困難となってしまう場合がある。   However, in the case of the above stage device, when the size of the device is increased with the increase in the size of the liquid crystal display in recent years, it may not be able to be loaded on a transportation vehicle or the like. Here, although it can be considered to transport using a special vehicle, the cost becomes enormous. Moreover, since the can material for constructing the base becomes long, it may be difficult to perform machining with the processing apparatus.

本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、装置の大型化を図った場合であっても、特殊車両を用いることなく輸送を可能とすると共に、基台の機械加工を容易に行うことのできるステージ装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and even when the apparatus is increased in size, it can be transported without using a special vehicle, and the base is machined. It is an object of the present invention to provide a stage apparatus that can easily perform the above.

本発明によるステージ装置は、基台に支持され、当該基台上を進行方向である一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置において、基台は、ガントリ部の移動方向と直行する水平方向に分割可能に構成されていることを特徴とする。   A stage apparatus according to the present invention includes a gantry unit that is supported by a base and moves on the base in a uniaxial direction that is a traveling direction. In the stage apparatus, the base is in a horizontal direction orthogonal to the moving direction of the gantry part. It is configured to be separable.

このような構成によれば、ガントリ部の移動方向と直行する水平方向に基台を分割することによって、装置を分割して輸送車に積載することができる。これによって、装置の大型化を図った場合であっても特殊車両を用いることなく輸送が可能となる。また、基台を機械加工する際も、分割された部分ごとに行うことができるため、容易に機械加工を行うことができる。   According to such a configuration, the apparatus can be divided and loaded on the transport vehicle by dividing the base in the horizontal direction perpendicular to the moving direction of the gantry portion. As a result, even if the apparatus is increased in size, it can be transported without using a special vehicle. Further, when machining the base, it can be performed for each divided portion, so that machining can be easily performed.

ここで、ワークの載置領域に基台の分割面が形成された場合は基台と共にワークも分割する必要があるため、基台の分割面は、載置領域を除く領域に形成されることが好ましい。これにより、ワークを分割することなく装置を分割できる。   Here, when the base dividing surface is formed in the work placement area, it is necessary to divide the work together with the base, so that the base split surface is formed in an area excluding the placement area. Is preferred. Thereby, the apparatus can be divided without dividing the work.

ここで、ガントリ部を移動方向に案内するための部材であり移動方向に延在するガイドレールは、基台に対する組付精度が特に要求される部分であるため、ガイドレールがステージ装置の本体部側と分割部側のうちの分割部側に設けられていた場合は、組立時の位置決め精度出し作業が非常に手間のかかるものとなる。従って、基台の分割面は、一対のガイドレールより外側の領域に形成されることが好ましい。このような構成を採用した場合、ガイドレールがステージ装置の本体部側に設けられているため、組立時、ステージ装置の分割部を本体部に連結させる際の位置決め精度出し作業を容易に行うことができる。   Here, the guide rail that is a member for guiding the gantry portion in the moving direction and that extends in the moving direction is a part that requires particularly high assembling accuracy with respect to the base, so the guide rail is the main body portion of the stage device. In the case of being provided on the divided portion side of the side and the divided portion side, the work for obtaining the positioning accuracy at the time of assembly becomes very troublesome. Therefore, it is preferable that the dividing surface of the base is formed in a region outside the pair of guide rails. When such a configuration is adopted, since the guide rail is provided on the main body side of the stage device, it is easy to perform positioning accuracy work when connecting the divided portion of the stage device to the main body portion during assembly. Can do.

また、ガントリ部には、ガイドレールに沿って案内される一対のガイド部が設けられ、ガントリ部は、移動方向と直行する水平方向に分割可能に構成され、その分割面は、ガイド部よりも外側の領域に形成されることが好ましい。このような構成を採用した場合、ガイドレールと同様に、特に組付精度の要求される部分であるガイド部がステージ装置の本体部側に設けられているため、組立時、ステージ装置の分割部を本体部に連結させる際の位置決め精度出し作業を容易に行うことができる。   Further, the gantry part is provided with a pair of guide parts guided along the guide rail, and the gantry part is configured to be divided in a horizontal direction perpendicular to the moving direction. It is preferably formed in the outer region. When such a configuration is adopted, as with the guide rail, since the guide part, which is a part that requires particularly assembling accuracy, is provided on the main body side of the stage apparatus, the divided part of the stage apparatus during assembly. Positioning accuracy can be easily obtained when connecting the main body to the main body.

また、ガントリ部は、鉛直方向に延在する中心軸線周りに回動可能に支持されていることが好ましい。このような構成を採用した場合、ガントリ部を分割すること無く、中心軸線周りにガントリ部を回動させることによって、ガイドレールよりも外側にはみ出るガントリ部の端部を内側に収めることができる。これによって、上記作用に加えて、位置調整が必要とされる箇所を減らすことができ、容易に装置の組み立てを行うことができる。   Moreover, it is preferable that the gantry part is supported so that rotation around the center axis line extended in a perpendicular direction is possible. When such a configuration is adopted, the end of the gantry portion that protrudes outside the guide rail can be accommodated inside by rotating the gantry portion around the central axis without dividing the gantry portion. Thereby, in addition to the above-described operation, the locations where position adjustment is required can be reduced, and the apparatus can be easily assembled.

このように、本発明によれば、装置の大型化を図った場合であっても、特殊輸送車を用いることなく、輸送が可能となると共に、基台の機械加工が容易となる。   As described above, according to the present invention, even if the apparatus is increased in size, it can be transported without using a special transport vehicle, and the base can be easily machined.

以下、本発明によるステージ装置の好適な実施形態について添付図面を参照しながら説明する。なお、各図において、同一又は相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   Hereinafter, a preferred embodiment of a stage apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係るステージ装置１を示す斜視図、図２は、図１に示すステージ装置１の駆動部及びその近傍の部分拡大斜視図、図３は、図１に示すステージ装置１にワーク定盤（ワーク）１５をセットした斜視図、図４は、図３に示すステージ装置１の部分正面図である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a perspective view showing a stage apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged perspective view of a drive unit and its vicinity shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a partial front view of the stage device 1 shown in FIG. 3. FIG. 4 is a perspective view of the stage device 1 shown in FIG.

図１に示すように、本実施形態のステージ装置１は、複数本の缶材を連結して構築された製缶構造のベースフレーム（基台）２と、ベースフレーム２を下から支持する支持架台３と、ベースフレーム２上を移動するガントリ部９と、ベースフレーム２に設けられ、ガントリ部９の移動を案内するガイドレール４及び永久磁石６と、ガントリ部９の下部に設けられ、ガイドレール４に案内される案内スライダ７及び永久磁石６と対向する電磁石８とを備え、このガントリ部９がガイドレール４に沿って移動するものである。なお、図１において、ベースフレーム２の長手方向をＹ軸方向とし、それと直交する水平方向をＸ軸方向とする。   As shown in FIG. 1, the stage apparatus 1 of the present embodiment includes a base frame (base) 2 having a can manufacturing structure constructed by connecting a plurality of cans, and a support for supporting the base frame 2 from below. A frame 3, a gantry section 9 that moves on the base frame 2, a guide rail 4 and a permanent magnet 6 that are provided on the base frame 2 and guides the movement of the gantry section 9, and a lower part of the gantry section 9, A guide slider 7 guided by the rail 4 and an electromagnet 8 opposed to the permanent magnet 6 are provided, and the gantry portion 9 moves along the guide rail 4. In FIG. 1, the longitudinal direction of the base frame 2 is defined as the Y-axis direction, and the horizontal direction perpendicular thereto is defined as the X-axis direction.

ベースフレーム２は、Ｘ軸方向に延在する缶材２ａ，２ｂと、Ｙ軸方向に延在する缶材２ｃ，２ｄとを各々連結させることで形成される矩形状の枠体の内側を、複数の缶材で補強することにより構成される。また、ベースフレーム２は、缶材２ｃ，２ｄの上面に、ガイドレール４を載置するための部材２ｆ，２ｇをＹ軸方向に延在するように各々備えると共に、部材２ｆ，２ｇの外側の側面に、永久磁石８を載置するためのブラケット２ｈ，２ｋをＹ軸方向に延在するように各々備えている。   The base frame 2 has an inner side of a rectangular frame formed by connecting can materials 2a, 2b extending in the X-axis direction and can materials 2c, 2d extending in the Y-axis direction. It is configured by reinforcing with multiple cans. Further, the base frame 2 includes members 2f and 2g for placing the guide rail 4 on the upper surfaces of the cans 2c and 2d so as to extend in the Y-axis direction, and outside the members 2f and 2g. Brackets 2h and 2k for placing the permanent magnet 8 are provided on the side surfaces so as to extend in the Y-axis direction.

支持架台３は、ベースフレーム２の四隅をそれぞれ支持する脚部３ａと、脚部３ａ同士を連結して補強する連結部３ｂとから構成される。なお、脚部３ａとベースフレーム２との間には、空気バネやバネなどの弾性材による除振機構が設けられている。   The support frame 3 includes leg portions 3a that respectively support the four corners of the base frame 2, and a connecting portion 3b that connects and reinforces the leg portions 3a. A vibration isolation mechanism using an elastic material such as an air spring or a spring is provided between the leg 3a and the base frame 2.

ガイドレール４は、部材２ｆ，２ｇの上面に各々設けられ、Ｙ軸方向に延在する。また、永久磁石６は、ブラケット２ｈ，２ｋの上面に、ガイドレール４に隣接して設けられ、Ｙ軸方向に延在する。この永久磁石６は、Ｙ軸方向にＳ極とＮ極の所定パターンが繰り返されているものである。   The guide rails 4 are provided on the upper surfaces of the members 2f and 2g, respectively, and extend in the Y-axis direction. Further, the permanent magnet 6 is provided adjacent to the guide rail 4 on the upper surfaces of the brackets 2h and 2k, and extends in the Y-axis direction. The permanent magnet 6 has a predetermined pattern of S and N poles repeated in the Y-axis direction.

図２に示すように、ガイドレール４及び永久磁石６の上方には、Ｘ軸方向に延びるガントリ部９の両側の下部に連結された連結板１１が配置されており、この連結板１１の下面には、案内スライダ７と電磁石８が各々隣接して設けられている。電磁石８は、永久磁石６のＳ極とＮ極のパターンにあわせて磁極を変化させ、永久磁石６との間で反発力を発生させることによってガントリ部９をガイドレール４で案内しながらＹ軸方向に移動させることができる。そして、永久磁石６及び電磁石８により駆動部が構成される。   As shown in FIG. 2, a connecting plate 11 connected to lower portions on both sides of a gantry portion 9 extending in the X-axis direction is disposed above the guide rail 4 and the permanent magnet 6. The guide slider 7 and the electromagnet 8 are provided adjacent to each other. The electromagnet 8 changes the magnetic pole according to the patterns of the S pole and the N pole of the permanent magnet 6 and generates a repulsive force between the permanent magnet 6 and guides the gantry portion 9 with the guide rail 4 while moving the Y axis. Can be moved in the direction. The permanent magnet 6 and the electromagnet 8 constitute a drive unit.

図１へ戻り、ガントリ部９は、Ｘ軸方向に延びる支持部９ａ、リニアモータ部９ｂ及び移動部９ｃを備える。移動部９ｃは、リニアモータ部９ｂにより当該リニアモータ部９ｂに沿ってＸ軸方向へ移動可能とされている。そして、この移動部９ｃに所定の処理装置を付設することで、処理装置がＸ軸方向に移動し所定の処理が実行される。   Returning to FIG. 1, the gantry unit 9 includes a support portion 9a, a linear motor portion 9b, and a moving portion 9c extending in the X-axis direction. The moving part 9c can be moved in the X-axis direction along the linear motor part 9b by the linear motor part 9b. Then, by attaching a predetermined processing device to the moving unit 9c, the processing device moves in the X-axis direction and predetermined processing is executed.

図３に示すように、ステージ装置１のベースフレーム２上には、液晶パネルなどを載置するためのワーク定盤１５が設置される。ベースフレーム２において、ワーク定盤１５が載置される領域を載置領域２ｅとする。この載置領域２ｅは、ベースフレーム２よりＸ軸方向及びＹ軸方向において小とされ、詳しくは、Ｘ軸方向において、部材２ｆ，２ｇより内側の領域とされている。なお、ステージ装置１が輸送車で輸送される際、このワーク定盤１５が設置された状態で輸送車に積載される。   As shown in FIG. 3, a work surface plate 15 for placing a liquid crystal panel or the like is installed on the base frame 2 of the stage apparatus 1. In the base frame 2, an area where the work surface plate 15 is placed is referred to as a placement area 2e. The placement area 2e is smaller than the base frame 2 in the X-axis direction and the Y-axis direction, and more specifically, is an area inside the members 2f and 2g in the X-axis direction. When the stage apparatus 1 is transported by a transport vehicle, the work surface plate 15 is loaded on the transport vehicle.

ここで、特に本実施形態においては、図３及び図４に示すように、ベースフレーム２の缶材２ｄ側において、ベースフレーム２、支持部９ａ、リニアモータ部９ｂ及び連結板１１はＸ軸方向と直交する分割面１２で分割される。この分割面１２は、ベースフレーム２の部材２ｇとブラケット２ｋとの境い目、すなわち、ガイドレール４及び案内スライダ７と永久磁石６及び電磁石８との境い目に合わせて形成される。そして、分割面１２により分割されたベースフレーム２、支持部９ａ、リニアモータ部９ｂ及び連結板１１は、分割面１２でボルト等によって連結される。   Here, particularly in the present embodiment, as shown in FIGS. 3 and 4, the base frame 2, the support portion 9 a, the linear motor portion 9 b and the connecting plate 11 are arranged in the X-axis direction on the can material 2 d side of the base frame 2. Is divided by a dividing surface 12 orthogonal to the above. The dividing surface 12 is formed in accordance with the boundary between the member 2g of the base frame 2 and the bracket 2k, that is, the boundary between the guide rail 4 and the guide slider 7, the permanent magnet 6 and the electromagnet 8. The base frame 2, the support portion 9 a, the linear motor portion 9 b, and the connecting plate 11 that are divided by the dividing surface 12 are connected by a bolt or the like on the dividing surface 12.

また、図３に示すように、ベースフレーム２の缶材２ｃ側の端部においても、ベースフレーム２の部材２ｆとブラケット２ｈとの境い目、すなわち、ガイドレール４及び案内スライダ７と永久磁石６及び電磁石８との境い目に合わせて分割面１３が形成され、分割面１３により分割されたベースフレーム２、支持部９ａ、リニアモータ部９ｂ及び連結板１１は、分割面１３でボルト等によって連結される。   As shown in FIG. 3, also at the end of the base frame 2 on the can 2c side, the boundary between the member 2f of the base frame 2 and the bracket 2h, that is, the guide rail 4, the guide slider 7, the permanent magnet 6, and A dividing surface 13 is formed in accordance with the boundary with the electromagnet 8, and the base frame 2, the support portion 9 a, the linear motor portion 9 b, and the connecting plate 11 divided by the dividing surface 13 are connected to each other by a bolt or the like on the dividing surface 13. .

以上のように、ベースフレーム２、支持部９ａ、リニアモータ部９ｂ及び連結板１１はＸ軸方向に分割可能に構成されているため、ステージ装置１はＸ軸方向の中央の本体部１ａと、Ｘ軸方向の一端側の分割部１ｂと、Ｘ軸方向の他端側の分割部１ｃに分割可能に構成されることになる。   As described above, since the base frame 2, the support portion 9a, the linear motor portion 9b, and the connecting plate 11 are configured to be divided in the X-axis direction, the stage apparatus 1 includes the main body portion 1a in the center in the X-axis direction, The split part 1b on one end side in the X-axis direction and the split part 1c on the other end side in the X-axis direction are configured to be separable.

このように、本実施形態に係るステージ装置１では、Ｘ軸方向にベースフレーム２を分割することによって、分割して輸送車に積載することができる。これによって、ステージ装置１の大型化を図った場合であっても特殊車両を用いることなく輸送が可能となる。また、ベースフレーム２を機械加工する際も、分割された部分ごとに行うことができるため、容易に機械加工を行うことができる。永久磁石６及び電磁石８は、元々非接触の部分なので、分割しても精度の調整が容易となる。   Thus, in the stage apparatus 1 according to the present embodiment, the base frame 2 can be divided and loaded on the transport vehicle by dividing the base frame 2 in the X-axis direction. Thereby, even if the stage apparatus 1 is increased in size, it can be transported without using a special vehicle. Further, when machining the base frame 2, since it can be performed for each divided portion, machining can be easily performed. Since the permanent magnet 6 and the electromagnet 8 are originally non-contact parts, the accuracy can be easily adjusted even if they are divided.

また、ワーク定盤１５の載置領域２ｅにベースフレーム２の分割面１２，１３が形成された場合はベースフレーム２と共にワーク定盤１５も分割する必要があるが、ベースフレーム２の分割面１２，１３が、載置領域２ｅを除く領域に形成されているため、ワーク定盤１５を分割することなく装置を分割できる。   Further, when the divided surfaces 12 and 13 of the base frame 2 are formed in the placement area 2e of the work surface plate 15, the work surface plate 15 needs to be divided together with the base frame 2, but the divided surface 12 of the base frame 2 is also required. , 13 are formed in an area excluding the placement area 2e, so that the apparatus can be divided without dividing the work surface plate 15.

また、ガントリ部９を案内するための部材であるガイドレール４は、ベースフレーム２に対する組付精度が特に要求される部分であるため、ガイドレール４がステージ装置１の分割部１ｂ，１ｃ側に設けられている場合は、組立時の位置決め精度出し作業が非常に手間のかかるものとなる。しかしながら、本実施形態に係るステージ装置１では、分割面１２，１３は、各々のガイドレール４より外側の領域に形成されている。これによって、ガイドレール４がステージ装置１の本体部１ａ側に設けられることとなるため、組立時、ステージ装置１の分割部１ｂ，１ｃを本体部１ａに連結させる際の位置決め精度出し作業を容易に行うことができる。   Further, since the guide rail 4 which is a member for guiding the gantry portion 9 is a portion that requires particularly high assembling accuracy with respect to the base frame 2, the guide rail 4 is arranged on the divided portions 1 b and 1 c side of the stage device 1. In the case where it is provided, the work for obtaining the positioning accuracy at the time of assembly becomes very time-consuming. However, in the stage apparatus 1 according to this embodiment, the dividing surfaces 12 and 13 are formed in regions outside the respective guide rails 4. As a result, the guide rail 4 is provided on the side of the main body 1a of the stage device 1, so that it is easy to obtain positioning accuracy when connecting the divided portions 1b and 1c of the stage device 1 to the main body 1a during assembly. Can be done.

また、ガントリ部９は、Ｘ軸方向に分割可能に構成され、分割面１２，１３は、各々の案内スライダ７よりも外側の領域に形成されており、ガイドレール４と同様に、特に組付精度の要求される部分である案内スライダ７がステージ装置１の本体部１ａ側に設けられているため、組立時、ステージ装置１の分割部１ｂ，１ｃを本体部１ａに連結させる際の位置決め精度出し作業を容易に行うことができる。   Further, the gantry portion 9 is configured to be divided in the X-axis direction, and the dividing surfaces 12 and 13 are formed in regions outside the respective guide sliders 7, and in particular, as with the guide rail 4, the assembly is particularly performed. Since the guide slider 7, which is a part requiring high accuracy, is provided on the main body 1 a side of the stage device 1, positioning accuracy when connecting the divided portions 1 b and 1 c of the stage device 1 to the main body 1 a during assembly. The unloading operation can be performed easily.

なお、ここでは、ガントリ部９がＹ軸方向に移動し、移動部９ｃがＸ軸方向に移動する２軸タイプのステージ装置に対する適用を述べているが、ガントリ部のみが移動する１軸タイプにも適用可能である。   Here, the application to the two-axis type stage device in which the gantry unit 9 moves in the Y-axis direction and the moving unit 9c moves in the X-axis direction is described, but the single-axis type in which only the gantry unit moves is described. Is also applicable.

また、ガントリ部９や移動部９ｃの移動は、接触タイプ、非接触タイプの何れであってもよい。   The movement of the gantry unit 9 and the moving unit 9c may be either a contact type or a non-contact type.

また、本実施形態においては、ベースフレーム２及びガントリ部９の両端部を分割可能としているが、一方の端部のみを分割可能としてもよい。   Moreover, in this embodiment, although the both ends of the base frame 2 and the gantry part 9 can be divided | segmented, it is good also as a division | segmentation of only one edge part.

［第２の実施形態］
図５は、本発明の第２の実施形態に係るステージ装置２１の部分正面図である。この第２の実施形態が第１の実施形態と違う点は、ガントリ部９を分割しない構成とした点である。 [Second Embodiment]
FIG. 5 is a partial front view of the stage apparatus 21 according to the second embodiment of the present invention. The second embodiment is different from the first embodiment in that the gantry unit 9 is not divided.

図５に示すように、ステージ装置２１にあっては、支持部９ａ、リニアモータ部９ｂ及び連結板１１には分割面が形成されず、ベースフレーム２のみに第１の実施形態の分割面１２と同様な分割面２２が形成される。これによって、ステージ装置２１は、ガントリ部９を有する本体部２１ａと分割部２１ｂとに分割可能に構成されることとなる。なお、図示しないが、ベースフレーム２の缶材２ｃ側の端部においても同様に分割可能に構成される。   As shown in FIG. 5, in the stage device 21, no dividing surface is formed on the support portion 9 a, the linear motor portion 9 b, and the connecting plate 11, and only the base frame 2 has the dividing surface 12 of the first embodiment. The same dividing surface 22 is formed. As a result, the stage device 21 is configured to be divided into a main body 21 a having the gantry unit 9 and a dividing unit 21 b. Although not shown, the end of the base frame 2 on the can material 2c side is also configured to be divided in the same manner.

ここで、支持部９ａと連結板１１との境界部分におけるガイドレール４の上方の位置には、ガントリ部９を水平面内において回動可能に支持する回動部２５が設けられる。この回動部２５は缶材２ｄ側の端部のみに設けられている。そして、ステージ装置２１の本体部２１ａを輸送車に積載する際、ガントリ部９を回動部２５の中心軸線Ｌ周りに回動させ、その位置で所定の固定手段にて固定する。あるいは、ガントリ部９を取り外しておく。   Here, at a position above the guide rail 4 at the boundary portion between the support portion 9a and the connecting plate 11, a rotation portion 25 that supports the gantry portion 9 so as to be rotatable in a horizontal plane is provided. The rotating portion 25 is provided only at the end on the can material 2d side. Then, when the main body 21a of the stage device 21 is loaded on the transport vehicle, the gantry 9 is rotated around the central axis L of the rotating unit 25, and is fixed by a predetermined fixing means at that position. Alternatively, the gantry unit 9 is removed.

このような第２の実施形態によれば、ガントリ部９を分割することなく中心軸線Ｌを中心としてガントリ部９を回動させることによって、ガイドレール４よりも外側にはみ出でる両端部を内側に収めることができる。これによって、位置調整が必要とされる箇所を減らすことができ、容易に装置の組み立てを行うことができる。   According to the second embodiment as described above, by rotating the gantry portion 9 about the central axis L without dividing the gantry portion 9, both end portions protruding outward from the guide rail 4 are inward. Can fit. As a result, the number of places where position adjustment is required can be reduced, and the apparatus can be easily assembled.

なお、本実施形態においては、ベースフレーム２の両端部を分割可能にしているが、一方の端部のみを分割可能としても良い。このように、ベースフレーム２の一方の端部のみを分割する場合には、回動軸線のある側とは反対側の端部側を分割し、回動軸線を中心軸としてガントリ部９を多少回動すれば輸送が可能となる。   In the present embodiment, both ends of the base frame 2 can be divided, but only one end may be divided. As described above, when only one end portion of the base frame 2 is divided, the end portion side opposite to the side where the rotation axis is located is divided, and the gantry portion 9 is slightly moved around the rotation axis. If it rotates, it can be transported.

［第３の実施形態］
図６は、本発明の第３の実施形態に係るステージ装置３１の部分正面図である。この第３の実施形態が第２の実施形態と違う点は、ベースフレーム２を更に分割可能な構成とした点である。 [Third Embodiment]
FIG. 6 is a partial front view of the stage apparatus 31 according to the third embodiment of the present invention. The third embodiment is different from the second embodiment in that the base frame 2 can be further divided.

図６に示すように、ステージ装置３１にあっては、ベースフレーム２は分割面２２のみならず、Ｘ軸方向と直交する分割面３２によっても分割される。この分割面３２は、缶材２ｄと缶材２ｂ及び缶材２ａとの境い目に合わせて形成される。これによって、ステージ装置３１は、本体部３１ａと、第２の実施形態と同様な分割部３１ｂと、ガントリ部９を有する分割部３１ｃとに分割可能に構成されることとなる。なお、図示しないが、ベースフレーム２の缶材２ｃ側の端部においても同様に分割可能に構成される。これによって、第２の実施形態の本体部２１ａを更に分割することができる。   As shown in FIG. 6, in the stage apparatus 31, the base frame 2 is divided not only by the dividing surface 22 but also by a dividing surface 32 that is orthogonal to the X-axis direction. The dividing surface 32 is formed in accordance with the boundary between the can material 2d, the can material 2b, and the can material 2a. As a result, the stage device 31 is configured so as to be divided into a main body portion 31a, a dividing portion 31b similar to the second embodiment, and a dividing portion 31c having the gantry portion 9. Although not shown, the end of the base frame 2 on the can material 2c side is also configured to be divided in the same manner. Thereby, the main body 21a of the second embodiment can be further divided.

なお、本実施形態においては、ベースフレーム２の両端部を分割可能にしているが、一方の端部のみを分割可能としても良い。このように、ベースフレーム２の一方の端部のみを分割する場合には、回動軸線のある側とは反対側の端部側を分割し、回動軸線を中心軸としてガントリ部９を多少回動すれば輸送が可能となる。また、第１の実施形態のようにガントリ部９を分割する場合にも、本実施形態は適用可能である。   In the present embodiment, both ends of the base frame 2 can be divided, but only one end may be divided. As described above, when only one end portion of the base frame 2 is divided, the end portion side opposite to the side where the rotation axis is located is divided, and the gantry portion 9 is slightly moved around the rotation axis. If it rotates, it can be transported. The present embodiment can also be applied to the case where the gantry unit 9 is divided as in the first embodiment.

以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、分割面１２，１３，２２，３２を、図７（ａ）に示すように、上下方向に沿って凹凸が並ぶインロー型の分割面５０としてもよく、また、図７（ｂ）に示すように、傾斜する分割面５１としても良い。   Although the present invention has been specifically described above based on the embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment. For example, the dividing surfaces 12, 13, 22, and 32 are illustrated in FIG. As shown, it may be an inlay type dividing surface 50 in which unevenness is arranged along the vertical direction, or may be an inclined dividing surface 51 as shown in FIG. 7B.

本発明の第１の実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the stage apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図１に示すステージ装置の駆動部及びその近傍を示す部分拡大斜視図である。FIG. 2 is a partially enlarged perspective view showing a drive unit and its vicinity of the stage apparatus shown in FIG. 1. 図１に示すステージ装置にワーク定盤をセットした斜視図である。It is the perspective view which set the work surface plate to the stage apparatus shown in FIG. 図３に示すステージ装置の部分正面図である。It is a partial front view of the stage apparatus shown in FIG. 本発明の第２の実施形態に係るステージ装置の部分正面図である。It is a partial front view of the stage apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態に係るステージ装置の部分正面図である。It is a partial front view of the stage apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 他の分割面を示す図であり、（ａ）は分割面をインロー型とした場合を示し、（ｂ）は分割面を傾斜面とした場合を示す図である。It is a figure which shows another division surface, (a) shows the case where a division surface is made into an inlay type, (b) is a figure which shows the case where a division surface is made into an inclined surface.

符号の説明Explanation of symbols

１，２１，３１…ステージ装置、２…ベースフレーム（基台）、２ｅ…載置領域、３…支持架台、９…ガントリ部、１２，１３，２２，３２，５０，５１…分割面、１５…ワーク定盤（ワーク）。   1, 21, 31 ... stage device, 2 ... base frame (base), 2 e ... mounting area, 3 ... support frame, 9 ... gantry section, 12, 13, 22, 32, 50, 51 ... dividing surface, 15 ... Work surface plate (work).

Claims (5)

基台に支持され、当該基台上を進行方向である一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置において、
前記基台は、前記ガントリ部の移動方向と直行する水平方向に分割可能に構成されていることを特徴とするステージ装置。 In a stage apparatus that is supported by a base and has a gantry section that moves on the base in a uniaxial direction that is a traveling direction,
The stage apparatus is configured to be divided in a horizontal direction perpendicular to a moving direction of the gantry unit. 前記基台はワークを載置する載置領域を有し、
前記基台の分割面は、前記載置領域を除く領域に形成されることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。 The base has a placement area for placing a workpiece;
The stage apparatus according to claim 1, wherein the division surface of the base is formed in an area excluding the placement area. 前記基台上には、前記ガントリ部を移動方向に案内する一対のガイドレールが前記移動方向に延在するように設けられ、
前記基台の分割面は、前記ガイドレールより外側の領域に形成されることを特徴とする請求項２記載のステージ装置。 On the base, a pair of guide rails for guiding the gantry portion in the movement direction is provided so as to extend in the movement direction,
The stage apparatus according to claim 2, wherein the dividing surface of the base is formed in a region outside the guide rail. 前記ガントリ部には、前記ガイドレールに沿って案内される一対のガイド部が設けられ、
前記ガントリ部は、前記移動方向と直行する水平方向に分割可能に構成され、その分割面は、前記ガイド部より外側の領域に形成されることを特徴とする請求項３記載のステージ装置。 The gantry part is provided with a pair of guide parts guided along the guide rails,
4. The stage apparatus according to claim 3, wherein the gantry unit is configured to be divided in a horizontal direction perpendicular to the moving direction, and the dividing surface is formed in a region outside the guide unit. 前記ガントリ部は、鉛直方向に延在する中心軸線周りに回動可能に支持されていることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。   The stage device according to claim 1, wherein the gantry unit is supported so as to be rotatable about a central axis extending in a vertical direction.
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