JP2008021873A - Lsi package with interface module - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、高速信号を外部配線するための信号伝送用インターフェイスモジュールとLSIを搭載したインターポーザとの電気接続部構造の改良をはかったインターフェイスモジュール付きLSIパッケージに関する。 The present invention relates to an LSI package with an interface module in which the structure of an electrical connection between an interface module for signal transmission for external wiring of high-speed signals and an interposer equipped with an LSI is improved.
近年、LSIのクロック周波数は益々高くなっており、パーソナルコンピュータ用のCPUにおいても4GHz以上が実用化されている。さらには、マルチコア化が進展するに伴い、CPU内部の処理能力は一段と向上している。しかしながら、LSI間インターフェイスのスループット向上のペースは、内部の処理能力の上昇に比較すると緩やかで、これがパーソナルコンピュータの性能のボトルネックとなっている。そのため、インターフェイスの高スループット化の研究開発が盛んに行われている。 In recent years, the clock frequency of LSIs has been increasing, and 4 GHz or higher has been put into practical use in CPUs for personal computers. Furthermore, as multicore processing advances, the processing capability inside the CPU is further improved. However, the pace of improving the throughput of the interface between LSIs is moderate compared to the increase in internal processing capability, and this has become a bottleneck in the performance of personal computers. For this reason, research and development for increasing the throughput of interfaces has been actively conducted.
インターフェイスのスループット向上には、1端子当たりの信号周波数の向上と端子数の増加が必要である。しかし、並列度を上げてスループットを向上させるために端子数を多くすると、LSIやパッケージに占める配線の面積が大きくなり、接続のために必要な配線長が長くなる傾向にある。一方、1端子当たりの周波数を高くすると、単位長さ当たりの電気信号の減衰は大きくなり線路長に制限が生じる。そのため、高速信号でも減衰量を極力抑えた伝送線路を用いるなど工夫が必要である。 In order to improve the throughput of the interface, it is necessary to improve the signal frequency per terminal and increase the number of terminals. However, when the number of terminals is increased in order to increase the parallelism and improve the throughput, the area of the wiring occupying the LSI and the package tends to increase, and the wiring length necessary for connection tends to increase. On the other hand, when the frequency per terminal is increased, the attenuation of the electric signal per unit length is increased and the line length is limited. Therefore, it is necessary to devise such as using a transmission line that suppresses attenuation as much as possible even for high-speed signals.
信号周波数依存の信号減衰の影響が少ない伝送路として、光伝送路を用いることが有効である。光ファイバでは、数十m程度では伝送による信号減衰は殆ど無視できる。光導波路を用いる場合では、減衰量絶対値は0.2dB/cm程度とやや大きいが、信号の劣化につながる減衰の信号周波数依存は小さいため、波形の劣化は小さく数十cm程度の伝送では大きな影響を与えない。 It is effective to use an optical transmission line as a transmission line with little influence of signal frequency-dependent signal attenuation. In an optical fiber, signal attenuation due to transmission is almost negligible at about several tens of meters. When an optical waveguide is used, the absolute value of attenuation is a little as large as about 0.2 dB / cm. However, since the signal frequency dependence of attenuation that leads to signal degradation is small, the waveform degradation is small and large in transmission of about several tens of centimeters. Does not affect.
光伝送路を用いるためには、LSI直近で電気/光信号変換を行うほうが有利であるため、光電変換機能を持つ光インターフェイスモジュールをLSIパッケージ直近に配置する構造の検討が行われている。なかでも、LSIパッケージを実装基板(PWB)に通常の実装工程を用いてアセンブリした後、光インターフェイスモジュールを後から熱過程を経ずして搭載することにより、従来のLSIパッケージ実装と完全コンパチを実現したLSIパッケージが提案されている(例えば特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1の例では次のような問題があった。即ち、LSIのスループットがさらに上昇すると、電気接続のピッチをさらに微細化して接続ピン数を増加させる必要があるが、ピンを用いた場合は小型化に限界があり、狭ピッチ化に対応することが困難である。 However, the example of Patent Document 1 has the following problems. In other words, as LSI throughput further increases, it is necessary to further reduce the pitch of electrical connections and increase the number of connection pins. However, if pins are used, there is a limit to miniaturization, and it is necessary to cope with narrow pitches. Is difficult.
また、電気接続に異方性導電性フィルムを用いた場合は比較的微細化に対応可能であるものの、異方性導電性フィルムの材料利用効率が低い(即ち、対向する電極のない部分にも導電性粒子や金属微細線が配置される)ため、価格が高騰するなどの課題がある。さらに、信号ラインとして使用される導電部に非常に近接した部位に電気的にフローティングの導電性粒子若しくは金属細線が存在するため、ノイズ源となったりインピーダンス整合設計が困難などの問題があった。 In addition, when an anisotropic conductive film is used for electrical connection, it can cope with a relatively small size, but the material utilization efficiency of the anisotropic conductive film is low (that is, even in a portion where there is no opposing electrode). Since conductive particles and fine metal wires are disposed), there is a problem that the price increases. Furthermore, since electrically floating conductive particles or fine metal wires exist in a portion very close to a conductive portion used as a signal line, there are problems such as noise sources and difficulty in impedance matching design.
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、インターポーザとインターフェイスモジュールとを簡易に接続することができ、且つ微細化に対応可能で高周波特性に優れたインターフェイスモジュール付きLSIパッケージを提供することにある。 The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an interface module that can easily connect an interposer and an interface module, can cope with miniaturization, and has excellent high-frequency characteristics. It is to provide an attached LSI package.
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。 In order to solve the above problems, the present invention adopts the following configuration.
即ち、本発明の一態様は、信号処理LSIが搭載され、裏面側に実装基板接続用電気端子を有し、表面側に第1の電気接続端子を有するインターポーザと、外部機器と配線するための高速信号用の伝送線路が設けられ、裏面側に第2の電気接続端子を有し、前記インターポーザが実装基板上に実装された状態で、前記第1及び第2の電気接続端子の機械的接触により前記インターポーザと電気的に接続されるインターフェイスモジュールと、を具備したインターフェイスモジュール付きLSIパッケージであって、前記第1及び第2の電気接続端子の少なくとも一方は、導電性ゴムバンプからなることを特徴とする。 That is, according to one embodiment of the present invention, a signal processing LSI is mounted, an interposer having a mounting board connecting electrical terminal on the back surface side and a first electrical connecting terminal on the front surface side, and wiring with an external device. A high-speed signal transmission line is provided, has a second electrical connection terminal on the back side, and mechanical contact between the first and second electrical connection terminals in a state where the interposer is mounted on a mounting substrate. An interface module electrically connected to the interposer, wherein at least one of the first and second electrical connection terminals is made of a conductive rubber bump. To do.
また、本発明の別の一態様は、信号処理LSIが搭載され、裏面側に実装基板接続用電気端子を有し、表面側に第1の電気接続端子を有するインターポーザと、外部機器と配線するための高速信号用の伝送線路と該伝送線路に信号を送出又は該伝送線路から信号を受信する駆動素子が設けられ、裏面側に前記第1の電気接続端子と対となる第2の電気接続端子を有し、前記インターポーザが実装基板上に実装された状態で、前記第1及び第2の電気接続端子の機械的接触により前記インターポーザと電気的に接続されるインターフェイスモジュールと、を具備したインターフェイスモジュール付きLSIパッケージであって、前記第1及び第2電気接続端子の少なくとも一方は、導電性ゴムバンプからなることを特徴とする。 Further, according to another aspect of the present invention, a signal processing LSI is mounted, an interposer having a mounting board connection electric terminal on the back surface side and a first electric connection terminal on the front surface side, and wiring with an external device. A high-speed signal transmission line and a drive element for sending a signal to the transmission line or receiving a signal from the transmission line, and a second electrical connection paired with the first electrical connection terminal on the back side An interface module having a terminal and electrically connected to the interposer by mechanical contact of the first and second electrical connection terminals in a state where the interposer is mounted on a mounting substrate. In the LSI package with a module, at least one of the first and second electrical connection terminals is made of a conductive rubber bump.
本発明によれば、第1及び第2電気接続端子の少なくとも一方を導電性ゴムバンプで形成したことにより、接続ピンを用いて接続する場合と異なり、LSIパッケージの微細化にも十分対応可能となる。しかも、異方性導電性フィルムを用いた場合と異なり、材料利用効率が高く、電気接続端子間にフローティングの金属が存在しないため、高周波特性に優れている。 According to the present invention, since at least one of the first and second electrical connection terminals is formed of the conductive rubber bump, unlike the case where the connection is made using the connection pins, the LSI package can be sufficiently miniaturized. . And unlike the case where an anisotropic conductive film is used, since material utilization efficiency is high and there is no floating metal between electrical connection terminals, it is excellent in high frequency characteristics.
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。 The details of the present invention will be described below with reference to the illustrated embodiments.
(第1の実施形態)
図1及び図2は、本発明の第1の実施形態に係わるインターフェイスモジュール付きLSIパッケージの概略構成を示す断面図である。図1はインターフェイスモジュールとインターポーザの接続前の状態、図2は接続後の状態を示している。
(First embodiment)
1 and 2 are sectional views showing a schematic configuration of an LSI package with an interface module according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a state before the interface module and the interposer are connected, and FIG. 2 shows a state after the connection.
図中の10はインターポーザであり、このインターポーザ10の表面側の中央部に信号処理LSI11が搭載されている。LSI11の入出力のうち高速信号は、インターポーザ10の表面に形成された高速電気配線13と電気的に接続されている。インターポーザ10は、実装ボード接続用電気端子14を裏面に有しており、例えばボールグリッドアレイ(BGA)などで構成されており、実装ボード(図示せず)に半田リフロー実装される。そして、実装ボードから電源電圧や比較的低速の制御信号、更にはGNDが、インターポーザ10を通じてLSI11に供給されるようになっている。
In the figure,
インターポーザ10の表面には、配線13に電気的に接続された第1の電気接続端子17が設けられている。配線13の表面はレジスト15で覆われており、レジスト15の一部に開口が設けられている。第1の電気接続端子17は、このレジスト15の開口で規定されている。また、第1の電気接続端子17の周辺に、後述する導電性バンプのつぶれを防止するためのつぶれ防止用スペーサ16が設けられている。
A first
図中の20はインターフェイスモジュールである。このインターフェイスモジュール20は、高速信号を外部配線するための伝送線路21を有しており、片端がインターフェイスモジュール20内に内蔵されもう一方の端部が外部に突き出たピグテール型である。ピグテール型とすることにより、伝送線路同士を接続するためのコネクタをインターフェイスモジュール20内に内蔵する必要がなくなり、小型化が可能となる。そのため、インターフェイスモジュール20をインターポーザ10上のLSI11の直近に配置することが可能となり、高速動作するためには、より有利となる。
20 in the figure is an interface module. This
インターフェイスモジュール20には、伝送線路21を駆動するための駆動素子22及び23が内蔵されている。これらの駆動素子22,23は、内部配線24により内側(LSI1側)に引き出され、インターフェイスモジュール20の下面に設けられた第2の電気接続端子26に接続されている。駆動素子22は、例えば光ファイバ(伝送線路21)と光結合された発光素子又は受光素子からなる光素子であり、駆動素子23は光素子の駆動用のインターフェイス(バッファ)ICである。伝送線路21に光ファイバを用いた場合には、細線同軸線路に比較して伝送損失が数十mの長さでは殆ど無視できることや径を小さくでき小型化が可能であること、グランドラインを送信受信で分離できるなど利点は多い。
The
内部配線24の表面はレジスト25で覆われており、レジスト25の一部に開口が設けられている。第2の電気接続端子26は、このレジスト25の開口で規定され、開口に露出した配線24に導電性バンプを設けることにより形成されている。
The surface of the
第2の電気接続端子26は、インターポーザ10上に形成された電気配線13と接続された第1の電気接続端子17と機械的接触することにより電気的に接続される。前述の通り、インターポーザ10は実装ボード接続用電気端子14により他の部品やコネクタ部材(図示せず)と共に実装ボードに予めリフロー実装されている。その後に、熱的過程を経ずして第1の電気接続端子17と第2の電気接続端子26が機械的接触によってのみ電気接続されるため、伝送線路21に使用される同軸線路の絶縁体や光ファイバの被覆膜といった、熱に弱い材料を内蔵したインターフェイスモジュール20を高温に晒すことなく実装できるといった利点がある。
The second
第2の電気接続端子26は、導電性ゴムバンプからなっている。導電性ゴムバンプは、例えばシリコーンゴム内にAgやCフィラーを混入したもので、弾性を有している。このため、機械的に押し当てて圧力をかけた状態で電気接続を構成することで、伝送線路21が実装ボードに対して上方向に引っ張られた場合などに、電気接続部にかかる力による上下方向の歪みに対応して伸縮することで電気接続を維持することが可能である。従って、多数の微細な電気接続部が並ぶ構造に対しても、ばらつきや場所による変形の大きさの違いを吸収することが可能である。
The second
導電性ゴムバンプの具体的材料としては、例えば(東レ・ダウコーニング社製DA6524)等が挙げられる。導電性ゴムバンプは、ディスペンサやスクリーン印刷によって、電気接続部に相当する部分に塗布された後、熱硬化することによって形成される。このため、パターニングすることが容易で、材料利用効率が高く、しかも数百μmの高さのバンプを形成することも容易である。従って、数十〜数百μmの大きなそりや変形に対してもその弾性で対応することができ、電気接続を維持可能な電気接続部を実現することができる。 Specific examples of the conductive rubber bump material include (DA6524 manufactured by Toray Dow Corning). The conductive rubber bump is formed by applying it to a portion corresponding to the electrical connection portion by dispenser or screen printing and then thermosetting. For this reason, patterning is easy, material utilization efficiency is high, and it is also easy to form bumps with a height of several hundreds μm. Therefore, it is possible to cope with a large warp or deformation of several tens to several hundreds μm with its elasticity, and it is possible to realize an electrical connection part capable of maintaining electrical connection.
先にも説明したように、電気配線13上にはレジスト15により絶縁部分及び開口が形成されており、開口が第1の電気接続端子17を規定するよう形成していてもかまわない。つぶれ防止用スペーサ16は、第1の電気接続端子17を取り囲むように形成されている。ここで、つぶれ防止用スペーサ16の厚さは、インターフェイスモジュール20とインターポーザ10とが最終的に接続された状態で、導電性ゴムバンプ26が適度につぶれて良好な形状となるように設定されている。
As described above, the insulating portion and the opening are formed by the resist 15 on the
即ち、つぶれ防止用スペーサ16の厚さで決まる、導電性ゴムバンプ26の設置位置での、インターフェイスモジュール20とインターポーザ10とが最終的に接続された状態における両者間の距離が、導電性ゴムバンプ26の初期高さよりも短く、且つ導電性ゴムバンプ20が圧縮されて弾性限界を超える高さよりも長くなるように設定されている。
In other words, the distance between the
スペーサ16を挿入する効果は以下の通りである。導電性ゴムバンプ26は押し当てにより弾性限界内で圧縮された状態で電気接続を保持することが想定されているが、熱によるインターポーザ10やインターフェイスモジュール20の変形などにより大きな歪みがかかった場合、導電性ゴムバンプ26が弾性限界を超えて圧縮されることで破壊されてしまう可能性がある。そのため、ある規定の高さ以下に圧縮された場合、スペーサ16が当たることによってつぶれ量を制御することが可能である。この例では、スペーサ16はインターポーザ10側に形成しているが、インターフェイスモジュール20側の導電性ゴムバンプ26の周辺を囲むように形成していてもかまわず、図2に示したようにインターフェイスモジュール20とインターポーザ10が電気接続された状態で導電性ゴムバンプ26の周囲に位置するよう形成されていれば良い。
The effect of inserting the
このように本実施形態によれば、インターフェイスモジュール20側の第2の電気接続端子26として導電性ゴムバンプを用い、インターポーザ10が実装基板上に実装された状態で、インターポーザ10上の第1の電気接続端子17に導電性ゴムバンプ26を接触させることにより、インターフェイスモジュール20を高温に晒すことなく、インターポーザ10とインターフェイスモジュール20とを電気的に接続させることができる。
As described above, according to the present embodiment, the conductive rubber bumps are used as the second
そしてこの場合、インターポーザ10とインターフェイスモジュール20との電気的接続にピンを用いた場合と比較して、LSIパッケージの更なる微細化にも十分対応することができる。さらに、異方性導電性フィルムを用いた場合と異なり、信号ラインとして使用される導電部に近接した部位に電気的にフローティングの導電性粒子若しくは金属細線が存在する等の不都合はなく、高速化により優れている。また、スペーサ16を設けたことにより、導電性バンプ26のつぶれ過ぎによる破損を防止することができ、接続の信頼性向上をはかることができる。
In this case, as compared with the case where pins are used for electrical connection between the
(第2の実施形態)
図3及び図4は、本発明の第2の実施形態に係わるインターフェイスモジュール付きLSIパッケージの要部構成を示す断面図である。図3はインターフェイスモジュールとインターポーザの接続前の状態、図4は接続後の状態を示している。なお、図1及び図2と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
(Second Embodiment)
FIG. 3 and FIG. 4 are cross-sectional views showing the main configuration of an LSI package with an interface module according to the second embodiment of the present invention. FIG. 3 shows a state before the interface module and the interposer are connected, and FIG. 4 shows a state after the connection. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
本実施形態が先に説明した第1の実施形態と異なる点は、インターポーザ10とインターフェイスモジュール20との機械的接続強度を増すための接続保持部を設けたことにある。即ち、インターポーザ10の端部近傍には、表面から裏面まで貫通するガイド穴18が設けられている。一方、インターフェイスモジュール20にはガイド穴18に挿入される固定用ピン28が設けられている。この固定用ピン28は、導電性ゴムバンプ26と伝送線路21との間に配置されており、インターポーザ10に形成されたガイド穴18に挿入されることでインターフェイスモジュール20とインターポーザ10の機械的な接続強度を増強する目的で形成されている。
This embodiment is different from the first embodiment described above in that a connection holding portion for increasing the mechanical connection strength between the
図4に示すように、インターフェイスモジュール20とインターポーザ10が電気的に接続された状態では、伝送線路21は実装ボード30に対して上方へ引っ張られる方向(図4中の矢印A)の力による歪みが大きい傾向にある。何故なら、下方向に力が働く場合は、実装ボード30に伝送線路21そのものが接触し、それ以上の力がインターフェイスモジュール20にかからなくなるのに比して、上方向にはフリーに大きな変形が可能であり、大きな力がインターフェイスモジュール20にかかるためである。
As shown in FIG. 4, when the
図5に、この様子を拡大して示す。本実施形態のように、伝送線路21と導電性ゴムバンプ26との中間位置に固定用ピン28などからなる固定部を設けることにより、伝送線路21に上方向(図中矢印A方向)に力が働いた場合に、固定用ピン28が支点となりインターフェイスモジュール10の左側端部が下方向(図中矢印B方向)に移動し、導電性ゴムバンプ26に圧縮される方向の力が働くようにすることが可能となり、導電性ゴムバンプ26の弾性限界内であれば電気接続を維持することが可能である。
FIG. 5 shows an enlarged view of this situation. As in this embodiment, by providing a fixing portion including a fixing
ここで、周辺にスペーサ16を形成しておくことで、導電性ゴムバンプ26が弾性限界以上につぶれることを防止することができるため、より有効である。このスペーサ16の形状は種々の変形が可能である。
Here, by forming the
図6(a)〜(c)に、スペーサ形状の異なる実施形態を示した。図6(a)は、複数の導電性ゴムバンプ26を一括して取り囲んだ形状のスペーサ16を示している。この例では、電気接続端子のピッチが細かい場合などに有効である。図6(b)は、個々の導電性ゴムバンプ26の周辺を取り囲みつつ、一括して形成されたスペーサ16を示した例である。この場合、導電性ゴムバンプ26のより直近にスペーサ16を配置できるため、より厳密に高さ制限を行うことができる。
6A to 6C show embodiments having different spacer shapes. FIG. 6A shows the
また、図6(c)は、複数のスペーサ16により等価的に導電性ゴムバンプ26を取り囲んだ状態になるよう形成した例である。この例では、電気配線13などに接触してスペーサ16を配置することでインピーダンスなどの電気特性に影響が出る場合に、影響を極力排除できるなどの効果がある。
FIG. 6C shows an example in which the conductive rubber bumps 26 are equivalently surrounded by the plurality of
このように本実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果が得られるのは勿論のこと、インターポーザ10とインターフェイスモジュール20との機械的接続強度を増すための接続保持部を設けたことにより、次のような効果が得られる。
As described above, according to the present embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained, and the connection holding portion for increasing the mechanical connection strength between the
伝送線路21が上方に引っ張られた場合にも、接続保持部が伝送線路21と機械的接触(電気的な接続)との中間に位置することで、導電性ゴムバンプ26がつぶれる方向に力が働くように構成できる。従って、つぶれ防止用スペーサ16でつぶれ過ぎによる破損を生じることがなく、かつ接触面積の減少による抵抗増加を防止することができる。
Even when the
(第3の実施形態)
図7(a)〜(c)は、本発明の第3の実施形態に係わるインターフェイスモジュール付きLSIパッケージの要部構成を示す断面図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
(Third embodiment)
FIGS. 7A to 7C are cross-sectional views showing the main configuration of an LSI package with an interface module according to the third embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to FIG. 1 and an identical part, and the detailed description is abbreviate | omitted.
本実施形態が、先の第1の実施形態と異なる点は、第1の電気接続端子17の導電面の一部に凹凸などを設けることにより、平坦な導電面に比較して鋭利な突起部としたことである。
This embodiment is different from the first embodiment in that projections sharper than a flat conductive surface are provided by providing irregularities on a part of the conductive surface of the first
この突起部が導電性ゴムバンプ26が押し付けられた際に、導電性ゴムバンプ26の表面に突き刺さることになり、導電性ゴムバンプ26の表面に形成された絶縁皮膜を突き破って安定した電気接続を保持することができるという効果がある。 When the conductive rubber bumps 26 are pressed against the protrusions, the protrusions pierce the surface of the conductive rubber bumps 26 and break through the insulating film formed on the surface of the conductive rubber bumps 26 to maintain a stable electrical connection. There is an effect that can be.
図7(a)は、第1の電気接続端子17として、平坦な電気配線に金スタッドバンプ71を追加した例を示している。これにより、スタッド71の先端が導電性ゴムバンプ26に突き刺さる。図7(b)は、第1の電気接続端子17の開口の一部の導電面の裏面側にレジストなどの絶縁物やCuメタルなどからなる金属の突起72を設けて導電面に凸凹を形成した例である。これは、突起72のエッジに相当する部分が導電性ゴムバンプ26に突き刺さる構成である。図7(c)は、電気配線13を予め形成した後に、第1の電気接続端子17の部分で別の配線73をオーバーラップさせて形成することにより凸凹(段差)を形成した例である。
FIG. 7A shows an example in which a
このように本実施形態によれば、先の第1の実施形態と同様の効果が得られるのは勿論のこと、導電性ゴムバンプ26に対向する電気接続端子の導電面に突起部を設けることで、機械的接触時に突起部がバンプ26上に生じた絶縁膜を突き破ることにより、より安定した低接触抵抗接続を得ることが可能である。
As described above, according to the present embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and a protrusion can be provided on the conductive surface of the electrical connection terminal facing the
(変形例)
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。導電性ゴムバンプの材料は、シリコーンゴム内にAgやCフィラーを混入したものに限らず、低抵抗で十分な弾性を有するものであればよい。また、実施形態では、インターフェイスモジュール20側の第2の電気接続端子に導電性ゴムバンプを形成したが、これとは逆にインターポーザ側の第1の電気接続端子に導電性ゴムバンプを形成しても良い。さらに、第1及び第2の電気接続端子の両方に導電性ゴムを形成しても良い。
(Modification)
In addition, this invention is not limited to each embodiment mentioned above. The material of the conductive rubber bump is not limited to a material in which Ag or C filler is mixed in the silicone rubber, and may be any material having low resistance and sufficient elasticity. In the embodiment, the conductive rubber bumps are formed on the second electrical connection terminals on the
また、実施形態では、伝送線路として光ファイバを用いる例を取り上げて説明したが、伝送線路を同軸ケーブルやセミリジドケーブル或いはフレキシブル配線板等のような電気の伝送線路を用いた場合にも同様の効果が得られる。即ち、光インターフェイスモジュールの代わりに、線路駆動用のラインドライバICと電気伝送線路、これらを接続する手段(例えば、半田バンプやワイヤボンディングなど)と、インターフェイスモジュール外部の信号処理LSIの入出力端子と接続される入出力電気端子を内蔵したインターフェイスモジュールとしても良い。 In the embodiment, an example in which an optical fiber is used as the transmission line has been described. However, the same applies to the case where an electric transmission line such as a coaxial cable, a semi-rigid cable, or a flexible wiring board is used as the transmission line. The effect is obtained. That is, instead of the optical interface module, a line driver IC for driving the line and an electric transmission line, means for connecting them (for example, solder bumps and wire bonding), input / output terminals of the signal processing LSI outside the interface module, An interface module having a built-in input / output electrical terminal may be used.
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。 In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
10…インターポーザ
11…信号処理LSI
13…電気配線
14…実装ボード接続用電気端子
15…レジスト
16…つぶれ防止用スペーサ
17…第1の電気接続端子
18…ガイド穴
20…インターフェイスモジュール
21…伝送線路
22,23…駆動素子
26…導電性ゴムバンプ
28…固定用ピン
30…実装ボード
10 ...
DESCRIPTION OF
Claims (6)
外部機器と配線するための高速信号用の伝送線路が設けられ、裏面側に第2の電気接続端子を有し、前記インターポーザが実装基板上に実装された状態で、前記第1及び第2の電気接続端子の機械的接触により前記インターポーザと電気的に接続されるインターフェイスモジュールと、
を具備し、
前記第1及び第2の電気接続端子の少なくとも一方は、導電性ゴムバンプからなることを特徴とするインターフェイスモジュール付きLSIパッケージ。 A signal processing LSI, an interposer having a mounting board connecting electrical terminal on the back side and a first electrical connecting terminal on the front side;
A high-speed signal transmission line for wiring with an external device is provided, the second electrical connection terminal is provided on the back side, and the interposer is mounted on a mounting board, and the first and second An interface module electrically connected to the interposer by mechanical contact of electrical connection terminals;
Comprising
An LSI package with an interface module, wherein at least one of the first and second electrical connection terminals comprises a conductive rubber bump.
外部機器と配線するための高速信号用の伝送線路と該伝送線路に信号を送出又は該伝送線路から信号を受信する駆動素子が設けられ、裏面側に前記第1の電気接続端子と対となる第2の電気接続端子を有し、前記インターポーザが実装基板上に実装された状態で、前記第1及び第2の電気接続端子の機械的接触により前記インターポーザと電気的に接続されるインターフェイスモジュールと、
を具備し、
前記第1及び第2電気接続端子の少なくとも一方は、導電性ゴムバンプからなることを特徴とするインターフェイスモジュール付きLSIパッケージ。 A signal processing LSI, an interposer having a mounting board connecting electrical terminal on the back side and a first electrical connecting terminal on the front side;
A high-speed signal transmission line for wiring with an external device and a drive element for sending a signal to the transmission line or receiving a signal from the transmission line are provided, and is paired with the first electrical connection terminal on the back surface side. An interface module having a second electrical connection terminal and electrically connected to the interposer by mechanical contact of the first and second electrical connection terminals in a state where the interposer is mounted on a mounting substrate; ,
Comprising
An LSI package with an interface module, wherein at least one of the first and second electrical connection terminals comprises a conductive rubber bump.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2006193101A JP2008021873A (en) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | Lsi package with interface module |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006193101A JP2008021873A (en) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | Lsi package with interface module |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008021873A true JP2008021873A (en) | 2008-01-31 |
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ID=39077617
Family Applications (1)
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Country | Link |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016171079A (en) * | 2010-06-15 | 2016-09-23 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh | Electrical connection device |
WO2023042854A1 (en) * | 2021-09-17 | 2023-03-23 | 三菱電機株式会社 | Composite printed wiring board and method for manufacturing composite printed wiring board |
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-
2006
- 2006-07-13 JP JP2006193101A patent/JP2008021873A/en active Pending
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