JP2008020839A5 - - Google Patents

Description

本発明者らは、上記課題を解決するために、感光性樹脂組成物における高感度化、高解像度化について、鋭意、実験、検討を重ねた結果、特定の混合物と特定の光カチオン重合開始剤とを組み合わせて感光性樹脂組成物を調製し、この感光性樹脂組成物を使用して、樹脂パターンを形成すれば、高感度で、アスペクト比が高い樹脂パターンを形成できることを見出した。すなわち、本発明は下記を提供する。

（１）スルホニウムトリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤（Ａ）と２−［４−（２，３−エポキシプロポキシ）フェニル］−２−［４−［１，１−ビス［４−（２，３−エポキシプロポキシ）フェニル］エチル］フェニル］プロパンと１，３−ビス［４−［１−［４−（２，３−エポキシプロポキシ）フェニル］−１−［４−［１−［４−（２，３−エポキシプロポキシ）フェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチル］フェノキシ］−２−プロパノールの混合物（Ｂ）を含有してなる感光性樹脂組成物、

以下に、本発明の実施形態について説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、スルホニウムのトリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートイオンとの塩である光カチオン重合開始剤（Ａ）と前記混合物（Ｂ）を含有することを特徴とし、高感度で、高アスペクト比の樹脂パターンを形成することができる。さらに上記樹脂パターンを形成する能力が劣化することなく長期間にわたり発揮できる特性を付与することができる。これらの組み合わせとしては、種々可能であるが、特に前記混合物である日本化薬（株）製 ＮＣ６３００と前記式（２）で表される化合物である光カチオン重合開始剤との組み合わせが最も好ましい。

本発明における前記混合物（Ｂ）とは、ＮＣ６３００ 日本化薬（株）製である。

前記光カチオン重合開始剤（Ａ）の該感光性樹脂組成物中の含有量が高すぎ、前記混合物（Ｂ）の前記感光性樹脂組成物中の含有量が低すぎる場合には、該樹脂組成物の現像が困難な上、硬化後の膜がもろくなり、好ましくない。逆に、前記光カチオン重合開始剤（Ａ）の該感光性樹脂組成物中の含有量が低すぎ、前記混合物（Ｂ）の前記感光性樹脂組成物中の含有量が高すぎる場合には、基板にコーティングしたとき該樹脂組成物の放射線露光による硬化時間が長くなり好ましくない。これらを考慮すると、光カチオン重合開始剤（Ａ）と前記混合物（Ｂ）との使用割合は０．１：９９．９〜１５：８５で、好ましくは０．５：９９．５〜１０：９０である。

（感光性樹脂組成物）
（実施例１〜３）（比較例１）
表２に記載の配合量（単位は重量部）に従って、混合物、光カチオン重合開始剤、及びその他の成分を撹拌機付きフラスコで６０℃で１時間撹拌混合し、感光性樹脂組成物を得た。

注：
（Ａ）：光カチオン重合開始剤
（商品名 ＣＰＩ−２１０Ｓ サンアプロ（株）製）
（Ｂ）：本発明による混合物
（商品名 ＮＣ６３００ 日本化薬（株）製）
（Ｃ）：反応性エポキシモノマー
（商品名 ＥＤ５０６ 旭電化工業（株）製）
（Ｄ）：溶剤 シクロペンタノン
（Ｅ）：レベリング剤
（商品名 メガファックＦ−４７０ 大日本インキ化学工業（株）製）
（Ｆ）：シランカップリング剤
（商品名 Ｓ−５１０ チッソ（株）製）
（Ｇ）：光カチオン重合開始剤
（商品名 ＵＶＩ−６９７４ ダウケミカル社製５０％炭酸プロピレン溶液）

（実施例４）
（感光性樹脂組成物）
本発明による混合物（商品名 ＮＣ６３００ 日本化薬（株）製）を１００重量部、光カチオン重合開始剤（商品名 ＣＰＩ−２１０Ｓ サンアプロ（株）製）を４．６重量部、反応性エポキシモノマー（商品名 ＥＤ５０６ 旭電化工業（株）製）を４重量部、およびメチルエチルケトンを３０重量部混合した感光性樹脂組成物を得た。

実施例１〜４の結果と比較例の比較から明らかなように、特定の混合物と特定の光カチオン重合開始剤との組み合わせにより、他の組み合わせでは得られない、高感度でありかつ高アスペクトなプロファイルの樹脂パターンが得られることがわかった。

Claims (8)

1. スルホニウムトリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤（Ａ）と２−［４−（２，３−エポキシプロポキシ）フェニル］−２−［４−［１，１−ビス［４−（２，３−エポキシプロポキシ）フェニル］エチル］フェニル］プロパンと１，３−ビス［４−［１−［４−（２，３−エポキシプロポキシ）フェニル］−１−［４−［１−［４−（２，３−エポキシプロポキシ）フェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチル］フェノキシ］−２−プロパノールの混合物（Ｂ）を含有してなる感光性樹脂組成物。
2. 請求項１記載の光カチオン重合開始剤（Ａ）が、下記式（２）で表される化合物
   

   

   
   であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
3. 反応性エポキシモノマー（Ｃ）を含有することを特徴とする請求項１及び２記載の感光性樹脂組成物。
4. 溶剤（Ｄ）を含有する感光性樹脂組成物において、その固形分濃度が５〜９５重量％であることを特徴とする請求項１〜３記載の感光性樹脂組成物。
5. 請求項１〜３記載の感光性樹脂組成物を基材で挟み込んだ感光性樹脂組成物積層体。
6. 請求項１〜５記載の感光性樹脂組成物の硬化物。
7. 請求項１〜４記載のいずれかの感光性樹脂組成物を所望の支持体上に塗布し、乾燥後、前記感光性樹脂組成物層を所定のパターンに露光し、露光後ベークし、樹脂組成物層を現像し、得られた樹脂パターンを加熱処理して、所定形状の硬化樹脂パターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
8. 請求項５記載の積層体の基材を除去し、前記所望の支持体上に貼り付け、前記感光性樹脂組成物層を所定のパターンに露光し、露光後ベークし、樹脂組成物を現像し、得られた樹脂パターンを加熱処理して、所定形状の硬化樹脂パターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。