JP2008018376A - 洗浄システムおよびそれに用いることが好適なスピン乾燥装置ならびにその洗浄システムを用いて製造された光学部品 - Google Patents

Abstract

【課題】 小型の光学部品を超音波洗浄した後の乾燥はスピン乾燥ではシミや汚れができてしまい、光学部品をピンセットでつかみクリーニングペーパーで汚れを拭き取るという高度の熟練を要する手拭き作業に頼らざるを得なかった。
【解決手段】 スピン乾燥装置に装着する光学部品の遠心力の方向あるいは回転中心軸の方向に対する角度を２５°より大きく３５°より小さい大きさの角度か５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度にし、磁気を帯びた或いは磁気を帯びる光学部品と磁石を対向させて配置するなど光学部品保持部品を開発して超音波洗浄とスピン乾燥を行うことによって課題を解決した。
【選択図】 図２

Description

本発明は光通信に用いられるアイソレーター、サーキュレーター、ＷＤＭ、フィルター等のモジュールに組み込まれる結晶や多層膜フィルター等ならびにカメラ付きの携帯電話等の小型機器に用いられる半球形レンズなどの小型の光学部品、特殊な形状をした光学部品を洗浄する洗浄システムおよびその洗浄システムに用いることが好適なスピン乾燥装置ならびにその洗浄システムを用いて製造された光学部品に関する。

光通信では種々のモジュールが使用されるが これらの光学モジュールには水晶、イットリュウム、バナデート、方解石、バリウム等の単結晶や多層膜フィルター、プリズム等が組み込まれている。

フィルター等の表面が汚れていると、たとえば、光ファイバーからモジュールに入力された光が汚れたフィルターの表面で減衰したり乱反射したりして結合損失が増大したり、モジュールの機能を損なってしまうことがある。モジュールに用いる光学素子の表面の清浄度はモジュールの品質上きわめて重要である。

また、昨今のカメラ付きの携帯電話、小型のカメラ、光通信機器などの進展は著しく、その小型化、高性能化、低価格化が急速に進められようとしている。このような機器においては、半球レンズの如き小型の光学部品の洗浄、洗浄後の乾燥、搬送が難しく、製造時間がながくかかり、製造歩留まりが低く、製造コストが高くなるなどの大きな問題がある。

たとえば、カメラ付きの携帯電話に使われている半球レンズは、プラスチックなどのレンズ素材を半球レンズの形状に加工してから、半球レンズの周辺部にメタライズ加工、すなわち、蒸着等によって金属薄層をつける加工、さらにレンズの中央部に反射防止膜を蒸着などによって形成する加工など、多くの工程を経て製造されている。この製造工程においても、レンズ材の表面の清浄度は極めて重要である。

以下の説明では、これらを含め、携帯電話、小型のカメラ、光通信機器などに用いられている光学部品や特殊な形状をした光学部品などを総称して、単に、光学部品と称して説明する。

半導体ウエハーの洗浄に関しては多くの研究開発がなされ、技術的に確立されているとも思われる。しかしながら、小型の光学部品や特殊な形状の光学部品の場合は半導体ウエハーの場合と事情が大きく異なり、特に超音波洗浄後のスピン乾燥が難しく、洗浄に多くの工夫が施されてきたにもかかわらず、後述の手拭き作業に頼らざるを得ないのが実状である。

図８は、従来のスピン乾燥装置の要部をモデル的に示した図である。

図８で、符号１３０１は従来のスピン乾燥装置、１３０２はスピン乾燥装置１３０１の外枠、１３０３はスピン乾燥装置１３０１を構成する回転させることが出来る回転板を有する回転体、１３１０〜１３１３は回転体１３０３の回転板に取り付けられたホルダで被乾燥物としての光学部品（以下、ワークとも称する）を保持した乾燥用の光学部品保持部品や光学部品保持部品を保持した保持枠（以下、クレードルともいう）（図示せず）を保持するためのホルダ、１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃはそれぞれホルダ１３１０〜１３１３の側壁、１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂはそれぞれ側壁１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ，１３１３ｃに設けられたクレードル設置用溝、１３１５は前記クレードルの位置決めのための支持棒、１３１６は回転方向を示す矢印、１３２０はスピン乾燥装置の蓋、１３２３は蓋１３２０に設けられた送風口、１３２２は送風口に取り付けられているフィルタである。

図８で、ホルダ１３１０〜１３１３は回転体１３０３にネジなどで固定された状態で保持されている。

図８のようなスピン乾燥装置で、洗浄したワークのスピン乾燥を行う際は、ワークを保持した光学部品保持部品を入れたクレードルを、クレードルに設けられた突起部（図９に図示）をホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれのクレードル設置用溝１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂに挿入してホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれに配置した後に、回転体１３０３をたとえば矢印１３１６の方向に回転させることによってスピン乾燥を行う。このとき、回転体に装着されたクレードルの底面は、図９のように、回転体の回転により与えられる遠心力に対してクレードルが最も安定に保持されるように、回転体の回転により与えられる遠心力の方向に直交するように前記ホルダに取り付けられるようになっている。

図９は従来のスピン乾燥装置について回転体を中心にさらに説明する断面図である。

図９において、符号１０１０はスピン乾燥装置の回転体、１０１１は回転体１０１０を回転させるときの回転軸、１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂは回転体１０１０と回転軸１０１１を連結・固定する固定ネジ、１０１４，１０１５は乾燥するワークを入れて保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持部品、１０１６，１０１７はワークを載置し保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持部品１０１４，１０１５を載置するクレードル、１０１８ａ，１０１９ａはクレードルの突起部を保持するホルダ、１０２０は回転体の上部枠、１０１８ｂ、１０１９ｂはホルダ１０１８ａ，１０１９ａに設けられたクレードル吊り下げ用の溝、１０１８，１０１９はクレードルの突起部でホルダ１０１８ａ，１０１９ａの溝１０１８ｂ、１０１９ｂに入れてホルダ１０１８ａ，１０１９ａにクレードル１０１６，１０１７を保持する連結ピン，１０２１〜１０２４は回転体１０１０の回転時にクレードルを支えるためにホルダ１０１８ａ，１０１９ａに取り付けられている支持棒、１３７０は回転板である。

図９で、クレードル１０１６，１０１７は、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の上面部分１０１４ａ，１０１５ａが（洗浄・乾燥用の光学部品保持部品が平行平板のときは、同様に、前記クレードルの底面も）、回転軸１０１１の回転中心となる中心軸線Ａ１−Ａ２にそれぞれ平行になるように、かつ、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の上面部分１０１４ａ，１０１５ａの中央における前記中心軸線Ａ１−Ａ２を中心とする仮想の円筒の外側面の接平面（図示せず）にそれぞれ平行になるように、さらに、多くの場合、回転体１０１０の中心軸線であるＡ１−Ａ２に対して対称に配置されており、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品に載置した洗浄後の光学部品を、回転軸１０１１を中心にして回転体全体を回転させることによって洗浄した光学部品に残った洗浄液を除去して光学部品を乾燥させるようになっている。

光学部品の保持は、従来、たとえば３本の棒状の支持具で多数の光学部品を３方向から３点支持をしたり、光学部品を光学部品挿入部を有する光学部品保持部品（前記光学部品保持部品は、ケースと呼称するのが適切な場合もあるが、その場合も含めて、特に必要な場合を除き光学部品保持部品と総称する）に入れて保持したりして超音波洗浄装置で光学部品の汚れを落とし表面を清浄にして後、図８と図９を参照して説明したスピン乾燥装置で乾燥を試みていた。

光学部品保持部品の例は特開２０００−２４９４６６（以下，特許文献１という）に記載されている。特許文献１には，パレットに設けられたすり鉢状の貫通穴に光学部品をいれて乾燥を行うことが記載されている（特許文献１の図１と図３参照）。そして、特許文献１の図２，図７，図９には前記穴に蓋を取り付けた断面図が記載されており，前記蓋には，適当にあけられた穴が設けられている。この蓋の穴に関しては，偶然すり鉢状の貫通穴の周縁部に当たっているものもあるように見えるが，特別の効果は考えられているとは思われない。

図１０は、特許文献１の例とは異なる例であるが、従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の斜視図である。図１０で、符号１３５５は従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品、１３５６はワークを入れるための光学部品挿入部である。光学部品挿入部１３５６は穴状になっており、穴の底部の周辺部にはそこに挿入した光学部品を保持するための光学部品載置枠１３５６ａが設けられており、その内側に洗浄液を通過させるための貫通孔１３５６ｂが設けられている。この貫通孔１３５６ｂの直径はワークより十分小さく、光学部品載置枠１３５６ａの中央部に設けられている。

前記３本の棒状を用いて３点支持を行った光学部品支持具や図１０のような洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を用いて洗浄と乾燥を行うときは、光学部品挿入部にワークを入れて、光学部品支持具や光学部品保持部品ごとクレードルなどに入れて超音波洗浄装置で洗浄を行い、スピン乾燥装置の所定位置に前記のように載置してスピン乾燥を行っていた。

本発明の発明者らは，３本の棒状を用いて３点支持を行った光学部品支持具や、特許文献１や図１０のような光学部品保持部品に光学部品を装着して前記と同様な洗浄と乾燥を行ったが、良好な洗浄および乾燥を行うことができなかった。そして，光学部品としては使用できない低い清浄度の光学部品が多発し、それらを手拭き工程で清浄にしなければならなかったのみならず、光学部品の損傷，取り扱いにも大きな問題があることがわかった。

図１１および図１２は従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭きによるふき取り方法について説明するための模式図である。

図１１および図１２において、符号４００はワーク、５０１は綿棒、５０２，５０３は綿棒５０１の端部、５０４は綿棒の動く方向を示す矢印、５１０はハンドラップ、５１１は有機溶剤、５１２はハンドラップの皿部、５１３はピンセット、５１４は管である。 図１１で、ハンドラップ５１０の内部には有機溶剤５１１が入っており、皿部５１２をたとえば綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３で押し下げると、有機溶剤５１１は管５１４を毛管現象によって皿部５１２まで上がり、綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３に適量の有機溶剤５１１を付けることが出来る。

図１２で、ワーク４００をピンセット５１３によってつまみ、有機溶剤をしみこませた綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３を矢印５０４の方向へ動かしながら、ワーク４００の光学面４０１と４０２を拭いて清浄にすることが出来る。

また、綿棒５０１に有機溶剤を付けないでワーク４００をふき、水分をワーク４００から除去することも出来る。

特開２０００−２４９４６６

以上説明したように、従来は、回転による遠心力の方向におおむね直交するように光学部品の表面や、それを保持した光学部品保持部品の表面を載置する方式のスピン乾燥装置を用いて洗浄後のワークを乾燥してきたが、多層膜フィルターなどのワークに洗浄液が残ってしまい、良好な洗浄を施された清浄な光学面の多層膜フィルターなどを得ることができず、残留洗浄液やそれにより生じたシミを拭き取るために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつまみ、クリーニングペーパーや綿棒などでそれらを拭き取る手作業を必要としていた。たとえば、ワークが小型の場合、この拭き作業は避けられなかった。

この拭き作業は、非常に高度な熟練を要し、満足した品質特性を得るためには、数ヶ月の作業者トレーニングが必要であった。そして、この拭き作業を収得した作業者が行った場合でも、作業効率が悪く、高々２０個／時間の多層膜フィルターしか清浄にすることが出来なかった。

また、従来は、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品として、棒状の支持部品による３点支持の光学部品保持部品や、平板にワークを入れる凹部を設け、その凹部の中央部などに適当に貫通孔を設けた光学部品保持部品を用いて、ワークの洗浄・乾燥を行ってきた。

しかしながら、ワークが小型になると、良好な洗浄ができず、前記スピン乾燥だけでは良好な乾燥もできないという大きな問題があった。

また、前記以外の問題として、重いブロック状や長い棒状のワークの洗浄・乾燥を一度に多数行うことができなかった。

そのため、従来のような、長時間の作業者トレーニングが不可欠で高度な熟練を要する拭き作業を必要とせず、一度に多数の光学部品を洗浄・乾燥することが出来て、モジュールの機能を満足に発揮できるような清浄な光学面を有する光学部品を得ることが出来るスピン乾燥方法の実現が強く望まれていた。

本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、本発明の目的の一つは、長時間の作業者トレーニングが必要で高度な熟練を要する拭き作業を不可欠とせず、小型の光学部品の場合でも、一度に多数の洗浄後の光学部品を良好な状態に乾燥することが可能なスピン乾燥装置、スピン乾燥方法、それに適した光学部品保持部品を提供することにある。また、一度に多数のブロック状や長い光学部品など特殊な光学部品の洗浄・乾燥を可能にすることにもある。

さらに、本発明の目的の一つは、前記難題を解決するにとどまらず、清浄な光学面の光学部品をその製造コストを大幅に低減させて安価に提供することにある。

本発明は前記の課題を解決せんとしてなされたものである。

本発明者らが従来行われている光学部品の超音波洗浄とスピン乾燥の状況を詳細に調べた結果，カメラ付携帯電話用の半球レンズ，フッ素化ポリイミド薄膜を利用して形成された多層膜フィルタ、小型の水晶平板等の小型の光学部品を一度に、大量に、高い品質で、歩留まりよく超音波洗浄をしスピン乾燥をするには、従来のスピン乾燥の思想では全くだめであり、新しい技術思想に基づくスピン乾燥を開発することが必要であり、さらに、洗浄・乾燥装置の改善とともに、洗浄・乾燥時に光学部品を保持する光学部品保持部品の改善が極めて大きな効果をもたらすという結論に達した。

このような検討の結果、本発明の発明者らは、新たなスピン乾燥装置とそれに使用して大きな効果を奏することができるいくつかの光学部品保持部品を発明した。

本発明は、いくつかの顕著な特徴を有するものである。本発明のスピン乾燥方法とスピン乾燥装置の特に顕著な特徴の一つは、スピン乾燥時に被乾燥物である光学部品の光学面とあるいは光学部品保持部品の表面と、たとえば、前記光学部品の光学面あるいは光学部品保持部品の表面にかかる遠心力の方向のなす角度が、従来のように０°か９０°でなく、従来行われていなかった後述のようないずれかの条件を満たすように、被乾燥物をスピン乾燥装置に配置してスピン乾燥を行うところにある。そして、本発明のスピン乾燥方法とスピン乾燥装置の特に顕著な特徴の一つは、後述のような光学部品保持部品を用いて、この乾燥効果を確実に高めることができるところにある。

以下、本発明の特徴を具体的に説明する。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第１の発明(以下，発明１という)のスピン乾燥装置は、光学部品を回転させて前記光学部品に付着した洗浄液等の液を除去することができる新規のスピン乾燥装置であって、前記スピン乾燥装置は回転体を有しており、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明１を展開してなされた本発明の例としての第２の発明(以下，発明２という)のスピン乾燥装置は、発明１に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明１または２を展開してなされた本発明の例としての第３の発明(以下，発明３という)のスピン乾燥装置は、発明１または２に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明１〜３を展開してなされた本発明の例としての第４の発明(以下，発明４という)のスピン乾燥装置は、発明１〜３のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されてスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とするスピン乾燥装置である。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第５の発明(以下，発明５という)のスピン乾燥装置は、光学部品を回転させて前記光学部品に付着した洗浄液等の液を除去することができる新規のスピン乾燥装置であって、前記スピン乾燥装置は回転体を有しており、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明５を展開してなされた本発明の例としての第６の発明(以下，発明６という)のスピン乾燥装置は、発明５に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されてスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明５または６を展開してなされた本発明の例としての第７の発明(以下，発明７という)のスピン乾燥装置は、発明５または６に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置である。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第８の発明(以下，発明８という)のスピン乾燥装置は、光学部品を光学部品保持部品に保持し、回転させて前記光学部品や前記光学部品保持部品に付着した洗浄液等の液を除去することができる新規のスピン乾燥装置であって、前記スピン乾燥装置は回転体を有しており、前記光学部品保持部品が一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明８を展開してなされた本発明の例としての第９の発明(以下，発明９という)のスピン乾燥装置は、発明８に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明８または９を展開してなされた本発明の例としての第１０の発明(以下，発明１０という)のスピン乾燥装置は、発明８または９に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明８〜１０を展開してなされた本発明の例としての第１１の発明(以下，発明１１という)のスピン乾燥装置は、発明８〜１０のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明８〜１１を展開してなされた本発明の例としての第１２の発明(以下，発明１２という)のスピン乾燥装置は、発明８〜１１のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とするスピン乾燥装置である。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第１３の発明(以下，発明１３という)のスピン乾燥装置は、光学部品を光学部品保持部品に保持し、回転させて前記光学部品や前記光学部品保持部品に付着した洗浄液等の液を除去することができる新規のスピン乾燥装置であって、前記光学部品保持部品は一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明１３を展開してなされた本発明の例としての第１４の発明(以下，発明１４という)のスピン乾燥装置は、発明１３に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明１３または１４を展開してなされた本発明の例としての第１５の発明(以下，発明１５という)のスピン乾燥装置は、発明１３または１４に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は当該光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置である。

前記発明１３〜１５を展開してなされた本発明の例としての第１６の発明(以下，発明１６という)のスピン乾燥装置は、発明１３〜１５のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とするスピン乾燥装置である。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第１７の発明(以下，発明１７という)の洗浄システムは、光学部品を洗浄することができる複数の超音波洗浄部と少なくとも１つのスピン乾燥部を有する洗浄システムにおいて、前記スピン乾燥部が少なくとも１つの回転体を有しており、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明１７を展開してなされた本発明の例としての第１８の発明(以下，発明１８という)の洗浄システムは、発明１７に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明１７または１８を展開してなされた本発明の例としての第１９の発明(以下，発明１９という)の洗浄システムは、発明１７または１８に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明１７〜１９を展開してなされた本発明の例としての第２０の発明(以下，発明２０という)の洗浄システムは、発明１７〜１９のいずれか１項に記載の洗浄システムにおいて、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されてスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする洗浄システムである。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第２１の発明(以下，発明２１という)の洗浄システムは、光学部品を洗浄することができる複数の超音波洗浄部と少なくとも１つのスピン乾燥部を有する洗浄システムにおいて、前記スピン乾燥部が少なくとも１つの回転体を有しており、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２１を展開してなされた本発明の例としての第２２の発明(以下，発明２２という)の洗浄システムは、発明２１に記載の洗浄システムにおいて、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されてスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２１または２２を展開してなされた本発明の例としての第２３の発明(以下，発明２３という)の洗浄システムは、発明２１または２２に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする洗浄システムである。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第２４の発明(以下，発明２４という)の洗浄システムは、光学部品を光学部品保持部品に保持した状態で光学部品を洗浄することができる複数の超音波洗浄部と少なくとも１つのスピン乾燥部を有する洗浄システムにおいて、前記スピン乾燥部が少なくとも１つの回転体を有しており、前記光学部品保持部品が一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２４を展開してなされた本発明の例としての第２５の発明(以下，発明２５という)の洗浄システムは、発明２４に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２４または２５を展開してなされた本発明の例としての第２６の発明(以下，発明２６という)の洗浄システムは、発明２４または２５に記載の洗浄システムにおいて、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２４〜２６を展開してなされた本発明の例としての第２７の発明(以下，発明２７という)の洗浄システムは、発明２４〜２６のいずれか１項に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２４〜２７を展開してなされた本発明の例としての第２８の発明(以下，発明２８という)の洗浄システムは、発明２４〜２７のいずれか１項に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とする洗浄システムである。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第２９の発明(以下，発明２９という)の洗浄システムは、光学部品を光学部品保持部品に保持した状態で光学部品を洗浄することができる複数の超音波洗浄部と少なくとも１つのスピン乾燥部を有する洗浄システムにおいて、前記光学部品保持部品は一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記スピン乾燥部は少なくとも１つの回転体を有しており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２９を展開してなされた本発明の例としての第３０の発明(以下，発明３０という)の洗浄システムは、発明２９に記載の洗浄システムにおいて、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２９または３０を展開してなされた本発明の例としての第３１の発明(以下，発明３１という)の洗浄システムは、発明２９または３０に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は当該光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする洗浄システムである。

前記発明２９〜３１を展開してなされた本発明の例としての第３２の発明(以下，発明３２という)の洗浄システムは、発明２９〜３１のいずれか１項に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とする洗浄システムである。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第３３の発明(以下，発明３３という)の光学部品は、製造工程に超音波洗浄とスピン乾燥を含む洗浄工程を有する製造方法により製造された光学部品において、前記洗浄工程は光学部品を洗浄することができる超音波洗浄工程と洗浄されて光学部品に残された洗浄液を除去することができるスピン乾燥工程を有しており、前記スピン乾燥工程は少なくとも１つの回転体を用いる工程であり、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明３３を展開してなされた本発明の例としての第３４の発明(以下，発明３４という)の光学部品は、発明３３に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明３３または３４を展開してなされた本発明の例としての第３５の発明(以下，発明３５という)の光学部品は、発明３３または３４に記載の光学部品において、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明３３〜３５を展開してなされた本発明の例としての第３６の発明(以下，発明３６という)の光学部品は、発明３３〜３５のいずれか１項に記載の光学部品において、前記スピン乾燥工程が、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されて前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うスピン乾燥工程であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第３７の発明(以下，発明３７という)の光学部品は、製造工程に超音波洗浄とスピン乾燥を含む洗浄工程を有する製造方法により製造された光学部品において、前記洗浄工程は光学部品を洗浄することができる超音波洗浄工程と洗浄されて光学部品に残された洗浄液を除去することができるスピン乾燥工程を有しており、前記スピン乾燥工程は少なくとも１つの回転体を用いる工程であり、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明３７を展開してなされた本発明の例としての第３８の発明(以下，発明３８という)の光学部品は、発明３７に記載の光学部品において、前記スピン乾燥工程が、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されて前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うスピン乾燥工程であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明３７または３８を展開してなされた本発明の例としての第３９の発明(以下，発明３９という)の光学部品は、発明３７または３８に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第４０の発明(以下，発明４０という)の光学部品は、製造工程に超音波洗浄とスピン乾燥を含む洗浄工程を有する製造方法により製造された光学部品において、前記洗浄工程は光学部品を光学部品保持部品に保持した状態で光学部品を洗浄することができる超音波洗浄工程と洗浄されて光学部品に残された洗浄液を除去することができるスピン乾燥工程を有しており、前記スピン乾燥工程は少なくとも１つの回転体を用いる工程であり、前記光学部品保持部品が一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明４０を展開してなされた本発明の例としての第４１の発明(以下，発明４１という)の光学部品は、発明４０に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明４０または４１を展開してなされた本発明の例としての第４２の発明(以下，発明４２という)の光学部品は、発明４０または４１に記載の光学部品において、前記スピン乾燥工程が、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置して前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うスピン乾燥工程であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明４０〜４２を展開してなされた本発明の例としての第４３の発明(以下，発明４３という)の光学部品は、発明４０〜４２のいずれか１項に記載の製造方法により製造された光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明４０〜４３を展開してなされた本発明の例としての第４４の発明(以下，発明４４という)の光学部品は、発明４０〜４３のいずれか１項に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

課題を解決するためになされた本発明の例としての第４５の発明(以下，発明４５という)の光学部品は、製造工程に超音波洗浄とスピン乾燥を含む洗浄工程を有する製造方法により製造された光学部品において、前記洗浄工程は光学部品を光学部品保持部品に保持した状態で光学部品を洗浄することができる超音波洗浄工程と洗浄されて光学部品に残された洗浄液を除去することができるスピン乾燥工程を有しており、前記スピン乾燥工程は少なくとも１つの回転体を用いる工程であり、前記光学部品保持部品は一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明４５を展開してなされた本発明の例としての第４６の発明(以下，発明４６という)の光学部品は、発明４５に記載の光学部品において、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明４５または４６を展開してなされた本発明の例としての第４７の発明(以下，発明４７という)の光学部品は、発明４５またあ４６に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は当該光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

前記発明４５〜４７を展開してなされた本発明の例としての第４８の発明(以下，発明４８という)の光学部品は、発明４５〜４７のいずれか１項に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品である。

以上説明したように、本発明により、小型の光学部品を、手拭き工程を頼りにせずに、一度に大量に、光学面が極めて優れた清浄度でかつ品質のバラツキが少ない高い品質になるように洗浄・乾燥することができるようになった。そして、本発明により、極めて優れた清浄度でかつ品質のバラツキが少ない高い品質の光学部品を安価に提供することができた。

以上のように、本発明は工業上多大な効果を発揮するものである。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について説明する。なお、説明に用いる各図は本発明の例を理解できる程度に各構成成分の寸法、形状、配置関係などを概略的に示してある。そして本発明の説明の都合上、部分的に拡大率を変えて図示する場合もあり、本発明の例の説明に用いる図は、必ずしも実施例などの実物や記述と相似形でない場合もある。また、各図において、同様な構成成分については同一の番号を付けて示し、重複する説明を省略することもある。

また、本発明の詳細な説明から自明のことであるが、以下の説明では、本発明のスピン乾燥装置の説明によって、本発明のスピン乾燥方法・それを用いた洗浄システム・その洗浄工程を製造工程に用いて製造された光学部品を明確に理解することができるので、説明の重複を避けるため、以下においては、本発明のスピン乾燥装置の説明によって、本発明のスピン乾燥方法・それを用いた洗浄システム・その洗浄工程を製造工程に用いて製造された光学部品の説明に代えることがあり、またその逆の場合もある。

図１３は、洗浄や乾燥工程において用いるクレードルについて説明する図である。図１３中の（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図で、点線８０１〜８０４でそれらの対応する位置関係を示してある。

図１３で、符号８００はクレードル、８１１〜８１４はクレードルの側壁、８２０と８２１は側壁８１２と８１３の下部につけられているピン、８３０はクレードル８００をもつときに用いる取っ手部分、８５２〜８５５はそれぞれ側壁８１１〜８１４の内側の下方（すなわち、クレードルの底部）に設けられた支柱、８５１は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を載置する載置部で支柱８５２〜８５４に固定されている。クレードル８００は、たとえばステンレス鋼製のものを用いることができる。

図１３で、光学部品を保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品をクレードル８００に入れて洗浄した光学部品のスピン乾燥を行う場合、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を載置部８５１の上に載置して、クレードルをスピン乾燥装置に装着する。載置部８５１は、これに限定されないが、クレードルの下方、たとえばピン８２０，８２１の位置よりわずかに上に形成しておき、平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を用いる場合は、スピン乾燥装置の回転体に装着した状態のクレードルの底面と載置部８５１と平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の表面と裏面がすべて平行になるように形成しておくと取扱上好都合である。

図１と図２は本発明の光学部品のスピン乾燥方法を用いるスピン乾燥装置の特徴を説明するための模式図であり、図１は、スピン乾燥装置の回転体を回転体の表面に平行な面で切った断面図、図２は、スピン乾燥装置の回転体を図１の直線Ｘ５−Ｘ６に相当する位置で回転体の回転中心軸線に平行な面で切った断面図である。

図１、図２において、符号３００は本発明の光学部品のスピン乾燥方法に用いるスピン乾燥装置（要部のみ図示してある）、３０１ａ、３０１ｂ、３０２ａ、３０２ｂはワークを保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品、３０３は回転体、３０４および３０５はそれぞれ洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を保持するための保持具、３１０は回転体３０３の回転方向を示すための矢印、３１１は回転体３０３の回転中心を表す点、Ｚは回転体の回転中心軸線、Ｚ’はそれぞれ図示の位置におけるワークを保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の表面または裏面の中央における前記回転体の回転中心軸線Ｚに平行な直線、Ｙは図示の位置におけるワークを保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の表面または裏面の中央から前記回転体の回転中心軸線Ｚに下ろした垂線を含む直線、Ｘは図示の位置におけるワークを保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の表面または裏面の中央において前記直線Ｙと直線Ｚ’に直交する直線、θ３は図示の位置におけるワークを保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の裏面の中央における法線と前記光学部品保持部品の表面または裏面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線Ｙとがなす角、θ４は図示の位置におけるワークを保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の表面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線Ｚに平行な直線Ｚ’とがなす角（すなわち、前記光学部品保持部品の表面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線Ｚとがなす角）である。自明のことであるが、矢印３１０の方向に回転体３０３が回転した場合、遠心力は図１に示した直線Ｙの矢印方向に作用する。

なお、以下の説明で直線Ｘ，Ｙ，Ｚ，Ｚ’は座標系として表現することができるのでを説明の便利上右手座標系のＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸，Ｚ’軸とも称する。

この例では、光学部品保持部品３０１ａ、３０１ｂ、３０２ａ、３０２ｂはその表面と裏面が、それに形成されている光学部品保持部（図示せず）の部分等の細部の凹凸形状を除いて、主要部分がおおむね平行な平行平板になっている。図１、図２で、ワークとしての光学部品は、光学部品保持部品の図で回転中心軸側になっている側に保持することが作業上から、あるいは信頼性の観点から好ましい。

図１、図２で、スピン乾燥装置３００の要部は回転体３０３および回転体３０３に洗浄・光学部品保持部品３０１および３０２を保持する保持具３０４および３０５などによって構成されている。

図１、図２では光学部品保持部品を保持具３０４および３０５などの保持具によって保持した例を示したが、本発明は、このほかに、光学部品あるいは光学部品保持部品をクレードルのような光学部品あるいは光学部品保持部品を載置する載置部を有する光学部品保持部品載置部品に載置し、その光学部品保持部品載置部品をスピン乾燥装置の回転体に、本発明の角度θ３とθ４と同様の思想に基づいて設けられている回転体の取付溝やネジ止めや載置部に載置するなどの手段を利用して取付ける構成も含むものである。この場合は、前記角度θ３とθ４については、前記および後述の本発明の技術思想にしたがって、たとえば光学部品保持部品載置部品の裏面が前記光学部品保持部品の当該表面または裏面に相当する場合があり、光学部品保持部品載置部品の載置部の載置面が前記光学部品保持部品の当該表面または裏面に相当する場合があり、いずれも本発明として効果を発揮するものである。

前記角度θ３とθ４の値は本発明を構成する極めて重要な構成要件となっている。図１と図２で、光学部品保持部品３０２ａ、３０２ｂは角度θ３が０°で、角度θ４が０°でない例を表しており、光学部品保持部品３０１ａ、３０１ｂは角度θ３が０°でない例を表している。モデル的に図示しているが、本発明のスピン乾燥の好ましい角度は、前記角度θ４が２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度であることが好ましく、前記角度θ３が２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度であることが好ましい。角度θ３とθ４の前記好ましい値は互いに独立に成り立つものであるが、光学部品、光学部品保持部品、光学部品保持部品載置部品によって互いに相乗効果を発揮することができる。すなわち、前記のように、図１と図２において、本発明の説明をわかりやすくするために、光学部品保持部品をスピン乾燥装置の回転体に取り付けるときの光学部品保持部品を傾ける角度について、前記のように、角度θ３と角度θ４のうちの一方を０°近傍にした状態で他方を変えるように光学部品保持部品を傾けて取り付けた状態を例示したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、本発明は、角度θ３と角度θ４の双方を変えるように光学部品保持部品をスピン乾燥装置の回転体に傾けて取り付けてスピン乾燥を行なって、顕著な効果を発揮することができるものである。

たとえば、図１で、図示の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品３０１ｂは、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品３０１ｂの裏面中央３０１ｂ１の位置でＹ軸に直交する位置から、その位置での前記Ｚ’軸のまわりに角度θ３だけ回転した位置に配置されているが、この位置で、Ｙ軸をＺ’軸のまわりに角度θ３だけ回転した座標軸をＹ’軸と定義し、さらに、この位置でＺ’軸とＹ’軸に直交する右手座標系の座標軸をＸ’軸と定義すると、図示の位置にある洗浄・乾燥用の光学部品保持部品３０１ｂをＸ’軸のまわりに前記θ１で説明したのに準じて回転した状態にして配置してもよく、あるいは、図示の位置にある洗浄・乾燥用の光学部品保持部品３０１ｂをＸ軸のまわりに前記θ１で説明したのに準じて回転した回転した状態にして配置してもよい。これらのバリエーションは、被乾燥物としての光学部品の形状・寸法・材質等によって選択される。

なお、図１，図２に図示の例とは異なるが、前記のように、同一の光学部品保持部品において、Ｚ’軸のまわりに角度θ３だけ回転した状態とＸ軸のまわりに角度θ４だけ回転した状態の両方の状態を組み合わせた状態で洗浄・乾燥用の光学部品保持部品をスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けて良好なスピン乾燥を行うことができる。さらに具体的に記すと、たとえば、これに狭く限定されないが、光学部品保持部品を、その内側面がＺ’Ｘ面に平行な状態から、まず、Ｘ軸のまわりに角度θ４だけ回転し、つぎに、Ｚ’軸のまわりに角度θ３だけ回転した状態にし、その最終の状態でスピン乾燥装置の回転体に取り付けるように全体を構成することができる。このような状態にして取り付けるときの、良好なスピン乾燥を行うことができる角度θ３と角度θ４の条件は、各角度を測るときの角度θ３と角度θ４の定義を、最終の状態における光学部品保持部品の、前記ＹＺ’交線とＺ’軸のなす角をθ４とし、前記ＸＹ交線とＸ軸のなす角をθ３としたときに、角度θ３と角度θ４に関する前記の好ましい条件、特に好ましい条件をそれぞれ適用することができる。

本発明のスピン乾燥装置ならびにスピン乾燥方法は、被乾燥物としての光学部品やそれを洗浄や乾燥のために収納している洗浄・乾燥用の光学部品保持部品のスピン乾燥装置の前記回転体への取り付け方とそれを回転させることによる遠心力の方向の関係ならびに洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の構造を適切に選ぶことあるいは形成することによって、従来はスピン乾燥で洗浄液を十分に除去できなかった前記光学部品の洗浄液を、極めて正確に除去することができるものである。

すなわち、本発明のこのような角度θ３とθ４の好ましい値は、小型の光学部品の超音波洗浄・スピン乾燥工程から従来のような手拭き作業を必須とすることを一掃することができるものである。

つぎに、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の構造を適切に選ぶことに関して、超音波洗浄・スピン乾燥による洗浄が極めて難しいガーネットを例にとって説明する。

ファラデー回転子に使用するガーネットは、通常はウエハーの状態でウエハーの両面に反射防止膜を蒸着してファラデー回転子に加工されて用いられるが、この反射防止膜を蒸着するにあたって、ウエハーの反射防止膜を蒸着する面から、その表面に付着しているゴミやシミを洗浄により除去することが重要である。

しかし、磁気を帯びたガーネットウエハーの場合は、従来のアルカリ洗剤や超純水による超音波洗浄では、非磁性の付着物を完全に洗浄することができたとしても、多数のガーネットの微粉であるパーティクルが付着してしまい、しかも、洗剤や超音波の条件などを如何に選択しても、また、洗剤を一回ごとに新しいものに取りかえても、このパーティクルのないガーネットウエハーを得ることができない。

図３と図４はガーネットウエハーの洗浄原理を説明する図で、超音波洗浄槽の洗剤中に、被洗浄光学部品としてのガーネットウエハーの清浄に洗浄する光学面と磁石を対向して配置した例を示す図である。図中、ガーネットウエハーと磁石を保持している光学部品保持部品ならびに保持枠を省略して図示していない。

図３と図４で、符号５１は被洗浄光学部品としてのガーネットウエハー、５１ａと５１ｂはガーネットウエハー５１の光学面、５３〜５６は磁石、５３ａ，５４ａ，５５ａ，５６ａはそれぞれ磁石５３〜５６のガーネットウエハー５１の光学面５１ａまたは５１ｂに対向して配置された表面である。各磁石に記したＮとＳはそれぞれ磁石のＮ極側とＳ極側を示しており、ｄ２〜ｄ５はそれぞれ図示の光学面と磁石の表面の間隔を示している。

図３では、ガーネットウエハー５１の光学面５１ａと磁石５３のＮ極側の表面５３ａが間隔ｄ２で対向して配置されており、ガーネットウエハー５１の光学面５１ｂと磁石５４のＳ極側の表面５４ａが間隔ｄ３で対向して配置されており、図４では、ガーネットウエハー５１の光学面５１ａと磁石５５のＮ極側の表面５５ａが間隔ｄ４で対向して配置されており、ガーネットウエハー５１の光学面５１ｂと磁石５６のＮ極側の表面５６ａが間隔ｄ５で対向して配置されている。

光学部品の３点支持を行う光学部品保持部品を用いて、図３、図４のようにガーネットウエハー５１と磁石５３〜５６の当該磁石を配置して、アルカリ洗剤中と超純水中で超音波洗浄を適宜繰り返し、スピン乾燥による乾燥を行って後、暗視野顕微鏡を用いて、光学面のパーティクルの存在など清浄さを調べた。洗浄条件としては、超音波の有無、超音波洗浄の超音波の振動数、前記間隔ｄ２〜ｄ５の当該間隔などを種々変えて、洗浄結果を調べた。

各磁石のガーネットウエハー５１に対向する面は、ガーネットウエハー５１の磁石に対向する面とおおむね同じ大きさと形状にして洗浄を行った。

その結果は以下のようであった。

第１の洗浄例として、洗浄工程に超音波を用いないで洗浄した場合は、前記パーティクルの存在有無を問題にするまでもなく、従来から洗浄の対象になっていた磁性の付着物以外の汚れを落とすことができず、ガーネットウエハー５１の光学面の有効な洗浄ができなかった。

第２の洗浄例として、洗浄工程で、ガーネットウエハー５１の光学面に磁石を対向して配置せずに超音波洗浄を行い、通常の汚れを落として後、図３、図４のようにガーネットウエハー５１と磁石５３〜５６の当該磁石を配置して、空気中、アルカリ洗剤中、超純水中で、超音波を用いずに所定時間放置して、乾燥後の光学面の前記パーティクルの存在を調べた結果、通常の汚れを落とすことはできたが、光学面に多くのパーティクルが付着した状態であった。

第３の洗浄例として、図３、図４のようにガーネットウエハー５１と磁石５２〜５６の当該磁石を配置して、アルカリ洗剤中で第１回目の超音波洗浄を行い、続いて超純水中で第２回目の超音波洗浄を行い、続いてアルカリ洗剤中で第３回目の超音波洗浄を行い、続いて超純水中で第４回目の超音波洗浄を行って、本発明のスピン乾燥機によって乾燥し、乾燥後の光学面の前記パーティクルの存在を調べた結果、通常の汚れを落とすことができ、さらに、磁石を対向して配置して洗浄した光学面の付着パーティクルの数を大幅に減少されることができた。

第３の洗浄例において、磁石の表面における磁束密度と当該前記間隔ｄ２〜ｄ５を種々変えて実験をした結果、光学面の表面における磁束密度をある程度以上にしないと、効果的なパーティクルの除去を行うことができないことがわかった。

そこで、磁石として、断面の寸法が１．３ｍｍ角の棒状の磁石２−１７系のサマリウムコバルト磁石を用いて図５に図示のような磁石棒の集合（以下、磁石合板ともいう）を構成して、第３の洗浄例と同様の洗浄実験を種々行い、洗浄結果を調査した。

図５は前記磁石合板を説明する図で、符号５７は磁石合板、５７ｂ１と５７ｂ２は磁化されにくいステンレスＳＵＳ３１６Ｌ製のカバー板、５７ａはカバー板５７ｂ１の表面すなわち磁石合板５７の表面、５７ｃ１〜５７ｃ５は２−１７系サマリウムコバルト（Ｓｍ２Ｃｏ１７）磁石棒、５７ｄ１〜５７ｄ３は磁石棒の間隔である。磁石棒５７ｃ１〜５７ｃ５の配置状態を示すため、カバー板５７ｂ１は一部を取り除いて示してある。各磁石棒５７ｃ１〜５７ｃ５等の磁化の方向は、カバー板５７ｂ１の方向がＮ極またはＳ極に、カバー板５７ｂ２の方向がＳ極またはＮ極になるように着磁されている。したがって、磁石合板５７はカバー板５７ｂ１とカバー板５７ｂ２が両極の磁石と等価に構成されている。

図６は、図５の磁石合板とガーネットウエハー５１を、図３あるいは図４のように対向させて、図示していない光学部品支持部品に支持して、洗浄工程ならびに乾燥工程に使う光学部品保持部品に保持した状態の一部を、前記光学部品保持部品を省略して示した図である。図中、符号５８，５９は磁石合板、５８ａ，５９ａはそれぞれ磁石合板５８，５９のガーネットウエハー５１の表面５１ａ，５１ｂに対向して配置された表面である。

磁石合板５８，５９は、表面５８ａ，５９ａにおける磁束密度が５３９０Ｇ（ガウス）で、表面から距離１ｍｍ離れた位置における磁束密度が４０４２Ｇ、表面から距離２ｍｍ離れた位置における磁束密度が２６９５Ｇ、表面から距離３ｍｍ離れた位置における磁束密度が２１５６Ｇ、表面から距離４ｍｍ離れた位置における磁束密度が１３４８Ｇである。したがって、磁石合板５８，５９の表面５８ａ，５９ａとガーネットウエハー５１の表面５１ａ，５１ｂとの距離を変えて、ガーネットウエハー５１の表面５１ａ，５１ｂにおける磁束密度を変えることができる。

図３、図４の各磁石の代わりに、各磁石の磁極と同様な磁極を有する前記のような磁石合板を用いて、間隔ｄ２〜ｄ５の当該間隔を種々に変えて洗浄の実験を行った。

実験の結果、光学面と磁石表面の間隔ｄ２〜ｄ５は、光学面近傍の磁束密度が１０００Ｇ以上になるような近接した間隔にすることが好ましいことがわかった。そして、ガーネットウエハー５１の表面５１ａ，５１ｂのいずれか一方の表面を特に前記パーティクルが少ないきれいな面にしたいときと、ガーネットウエハー５１の表面５１ａ，５１ｂの両方の表面を前記パーティクルが少ないきれいな面にしたいときとで磁極の配置を変えることが好ましいといえることがわかった。

図７は、本発明の洗浄方法、洗浄装置に用いることができる光学部品保持部品に、被洗浄物の光学部品としての前記ガーネットウエハーと磁石合板を対向して配置した状態を示す平面図である。

図７で、符号８０は光学部品保持部品、８１，８２は保持枠、８２ａは保持枠８２の一部、８３，８４は光学部品支持部品、８６は磁石合板、８７は被洗浄物としてのガーネットウエハー、８８は光学部品支持部品８３，８４に形成されている第１の溝、８９は光学部品支持部品８３，８４に形成されている第２の溝、８３ａ、８４ａは光学部品支持部品８３，８４の取り付け部である。前記第１の溝と第２の溝は、そこの装着する光学部品と磁石合板等に適用できるように、溝の開き角度や寸法などその構造が異なる溝である。

光学部品支持部品８３，８４に形成されている第１の溝８８は磁石合板８６を挿入する溝で、光学部品支持部品８３，８４に形成されている第２の溝８９はガーネットウエハー８７を挿入する溝である。

光学部品保持部品８０へのガーネットウエハー８７と磁石合板８６の装着方法は次の如くである。まず、光学部品支持部品８３を保持枠８２の穴に挿入して，取り付け部８３ａのネジを軽く締めて仮止めし、光学部品支持部品８４を保持枠８１の穴に挿入して，取り付け部８４ａのネジを軽く締めて仮止めしておき、磁石合板８６を必要箇所の前記第２の溝に挿入して光学部品支持部品８３，８４の位置を磁石合板８６を確実に固定するように位置決めしてから、取り付け部８３ａ，８４ａのネジを締めて、磁石合板のついた光学部品保持部品８０を構成する。

つぎに、このように磁石合板を取り付けた光学部品保持部品８０の前記第１の溝に挿入してガーネットウエハー８７を挿入して、前記第１の溝のＶ溝でガーネットウエハー８７を保持する。ガーネットウエハー８７は第１の溝のＶ溝によって、曲げストレスがかからないように軽く保持されている。

このように、磁石合板８６を有する光学部品保持部品８０にガーネットウエハー８７を装着して、前記のような超音波洗浄とスピン乾燥を行うことにより、手拭き作業に頼ることなく、従来は全く期待できなかった超音波洗浄によって極めてきれいに洗浄された光学面を有するガーネットウエハーを得ることができた。

磁石あるいは磁石合板に用いる磁石として、コストや取扱いなどいくつかの利点により、特に好ましい例として、２−１７系サマリウムコバルト磁石を例にとって説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、前記磁石としては、１−５系サマリウムコバルト磁石を用いることもでき、あるいは、ネオジウム・鉄・ボロン磁石を用いることもできるなど、種々の磁石を用いることができる。前記磁石としては、磁石表面に接触して測定したときの磁束密度が２５００Ｇ以上のものが好ましく、前記２−１７系サマリウムコバルト磁石のように５０００Ｇ以上の磁石が特に好ましい。ネオジウム・鉄・ボロン磁石は前記２−１７系サマリウムコバルト磁石よりもさらに強い磁束密度を得ることができるが、衆知のように、錆びるおそれがあるため、一般に行われているように、防錆コーティングを行って使用するか、樹脂を利用して成形したものをさらに防錆コーティングを行って使用することが好ましい。

また、前記実施の形態例では、被洗浄物の光学部品の光学面に磁石あるいは磁石合板を対向させて配置し、清浄にしたい光学面の表面近傍に磁場を形成した状態で洗浄したが、光学面に磁石あるいは磁石合板を対向させて配置して磁場を形成するかわりに、他の手段で形成した磁場中に光学部品を配置して洗浄することもできる。

光学面の近傍における磁束密度が１０００Ｇ以上にすることが好ましいが、被洗浄物によっては、５００Ｇ以上の磁束密度で洗浄効果をあげることもできる。

このような本発明のスピン乾燥装置に３点支持による光学部品保持部品１セットに平板状の水晶板を４０個取り付けて超音波洗浄を行い、スピン乾燥装置の回転体に４セットの光学部品保持部品を配置してスピン乾燥を行った結果、従来のような手拭き作業を行わずに高い歩留まりで良好な洗浄を行うことができた。

スピン乾燥装置の回転体にワークを装着する方法は、光学部品保持部品載置部品としての前記クレードルの他に種々の方法がある。ワークを保持した前記光学部品保持部品と前記クレードルを用いる場合の一つの好適な例として、前記クレードルの光学部品保持部品を載置する載置部の接平面すなわちを光学部品保持部品を載置したときにみなされる平面が前記光学部品保持部品の外形寸法より少し大きい内径寸法を有するように構成し、クレードルの載置部に載置された光学部品保持部品が可動な状態で載置されることが、洗浄・乾燥時の作業性もよく、洗浄・乾燥の品質もよくなる。

回転体にクレードル取付溝の如き光学部品保持部品載置部品取付溝を前記角度θ３とθ４の少なくとも一方の好適条件を満たすように傾けて形成したり、前記光学部品保持部品載置部品の光学部品保持部品を載置する載置部の接平面が前記本発明の例としての各発明に記載のように前記角度θ３とθ４の少なくとも一方の好適条件を満たすように傾けて配置できるように光学部品保持部品載置部品取付溝あるいは光学部品保持部品載置部品取付部をスピン乾燥装置の回転体に設けたりすると本発明の前記効果を発揮させるスピン乾燥装置を構成することができる。

光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける場合、光学部品保持部品の光学部品を挿入する光学部品保持部が上方を向くようにすると作業性がよい。

光学部品を洗浄し、乾燥する場合、洗浄・乾燥の品質をよくするとともに、製造コストを低減するなどのために、洗浄するときに光学部品を保持する保持具を乾燥するときにそのまま使用することができることが好ましい。

本発明において、被乾燥物としての光学部品を保持する保持具を洗浄・乾燥用の光学部品保持部品（あるいは、洗浄・乾燥治具ということもある）と呼称することが多いのは、同一の保持具を洗浄に用いることができるとともに、洗浄後、その保持具に入れたままで当該光学部品の乾燥を行うことができることによるものである。

さらに、本発明を適用して、洗浄・乾燥工程にとどまらず、真空蒸着工程や、梱包工程などとも連続した工程を構成することもでき、さらには、これらの自動化工程を実現することができる。

そして、このような大きな効果のために、本発明の洗浄・乾燥工程を製造工程の一部に有する光学部品は、その品質の向上や製造コストの低減によってその製品価値を顕著に向上させることができるものであり、このような光学部品は本発明に含まれるものである。

以上、本発明のスピン乾燥方法とスピン乾燥装置について図を用いて説明したが、本発明のスピン乾燥方法、スピン乾燥装置、スピン乾燥装置を含む洗浄システム、前記スピン乾燥方法あるいはスピン乾燥装置あるいはスピン乾燥装置を含む洗浄システムを製造工程に含んで製造された光学部品はこれに狭く限定されるものではなく、本発明の技術思想を用いて多くのバリエーションを可能とするものである。

以上説明したように、本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可避とせずに、一度に大量に短時間で高い品質で乾燥することがすることができるようになった。そして、本発明は、光学部品の洗浄と乾燥を、洗浄と乾燥で同一の治具で保持し、一環工程として行うことを可能にした。

以上のように、本発明は工業上多大な効果を発揮するものである。

本発明のスピン乾燥装置の回転体の断面図である。 本発明のスピン乾燥装置の回転体の図１の直線Ｘ５−Ｘ６に相当する位置で切った断面図である。 ガーネットウエハーの洗浄原理を説明する図である。 ガーネットウエハーの洗浄原理を説明する図である。 磁石合板を説明する図である。 磁石合板とガーネットウエハーを光学部品支持部品（図示せず）に支持した状態の一部を示した図である。 本発明の洗浄方法、洗浄装置に用いることができる光学部品保持部品にガーネットウエハーと磁石合板を対向して配置した状態を示す平面図である。 従来のスピン乾燥装置の要部をモデル的に示した斜視図である。 従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。 従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の斜視図である。 従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。 従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。 クレードルについて説明する図である。図中、（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図である。

符号の説明

５１，８７：ガーネットウエハー
５１ａ，５１ｂ：ガーネットウエハーの光学面
５３〜５６：磁石
５７，５８，５９，８６：磁石合板
５７ｂ１，５７ｂ２：カバー板
５７ｃ１〜５７ｃ５：磁石棒
８１，８２：保持枠
８３，８４：光学部品支持部品
８０，３０１ａ，３０１ｂ，３０２ａ，３０２ｂ，１０１４，１０１５，１３５５：光学部品保持部品
８８：光学部品支持部品に形成されている第１の溝
８９：光学部品支持部品に形成されている第２の溝
３００，１３０１：スピン乾燥装置
３０３，１０１０，１３０３：回転体
１３７０：回転板
８００，１０１６，１０１７：クレードル
８３０：取っ手部分
１０１８ａ，１０１９ａ，１３１０〜１３１３：ホルダ
１０１８ｂ，１０１９ｂ，１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂ：溝
１０２１〜１０２４，１３１５：支持棒
１３５６：光学部品挿入部
１３５６ｂ：貫通孔
４００：ワーク（光学部品）
３０４，３０５：保持具
３１１：回転中心を表す点
５０１：綿棒
５０２，５０３：端部
５１０：ハンドラップ
５１１：有機溶剤
５１２：皿部
５１３：ピンセット
５１４：管
１０１１：回転軸
１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂ：ネジ
１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃ：側壁
θ３，θ４：角度

Claims (48)

1. 光学部品を回転させて前記光学部品に付着した洗浄液等の液を除去することができる新規のスピン乾燥装置であって、前記スピン乾燥装置は回転体を有しており、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置。
2. 請求項１に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置。
3. 請求項１または２に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されてスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とするスピン乾燥装置。
5. 光学部品を回転させて前記光学部品に付着した洗浄液等の液を除去することができる新規のスピン乾燥装置であって、前記スピン乾燥装置は回転体を有しており、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置。
6. 請求項５に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されてスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とするスピン乾燥装置。
7. 請求項５または６に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置。
8. 光学部品を光学部品保持部品に保持し、回転させて前記光学部品や前記光学部品保持部品に付着した洗浄液等の液を除去することができる新規のスピン乾燥装置であって、前記スピン乾燥装置は回転体を有しており、前記光学部品保持部品が一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置。
9. 請求項８に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置。
10. 請求項８または９に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とするスピン乾燥装置。
11. 請求項８〜１０のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置。
12. 請求項８〜１１のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とするスピン乾燥装置。
13. 光学部品を光学部品保持部品に保持し、回転させて前記光学部品や前記光学部品保持部品に付着した洗浄液等の液を除去することができる新規のスピン乾燥装置であって、前記光学部品保持部品は一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とするスピン乾燥装置。
14. 請求項１３に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥装置の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とするスピン乾燥装置。
15. 請求項１３または１４に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は当該光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置。
16. 請求項１３〜１５のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とするスピン乾燥装置。
17. 光学部品を洗浄することができる複数の超音波洗浄部と少なくとも１つのスピン乾燥部を有する洗浄システムにおいて、前記スピン乾燥部が少なくとも１つの回転体を有しており、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システム。
18. 請求項１７に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする洗浄システム。
19. 請求項１７または１８に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システム。
20. 請求項１７〜１９のいずれか１項に記載の洗浄システムにおいて、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されてスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする洗浄システム。
21. 光学部品を洗浄することができる複数の超音波洗浄部と少なくとも１つのスピン乾燥部を有する洗浄システムにおいて、前記スピン乾燥部が少なくとも１つの回転体を有しており、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システム。
22. 請求項２１に記載の洗浄システムにおいて、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されてスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする洗浄システム。
23. 請求項２１または２２に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする洗浄システム。
24. 光学部品を光学部品保持部品に保持した状態で光学部品を洗浄することができる複数の超音波洗浄部と少なくとも１つのスピン乾燥部を有する洗浄システムにおいて、前記スピン乾燥部が少なくとも１つの回転体を有しており、前記光学部品保持部品が一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システム。
25. 請求項２４に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システム。
26. 請求項２４または２５に記載の洗浄システムにおいて、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする洗浄システム。
27. 請求項２４〜２６のいずれか１項に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする洗浄システム。
28. 請求項２４〜２７のいずれか１項に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とする洗浄システム。
29. 光学部品を光学部品保持部品に保持した状態で光学部品を洗浄することができる複数の超音波洗浄部と少なくとも１つのスピン乾燥部を有する洗浄システムにおいて、前記光学部品保持部品は一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記スピン乾燥部は少なくとも１つの回転体を有しており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央における法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする洗浄システム。
30. 請求項２９に記載の洗浄システムにおいて、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする洗浄システム。
31. 請求項２９または３０に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は当該光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする洗浄システム。
32. 請求項２９〜３１のいずれか１項に記載の洗浄システムにおいて、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とする洗浄システム。
33. 製造工程に超音波洗浄とスピン乾燥を含む洗浄工程を有する製造方法により製造された光学部品において、前記洗浄工程は光学部品を洗浄することができる超音波洗浄工程と洗浄されて光学部品に残された洗浄液を除去することができるスピン乾燥工程を有しており、前記スピン乾燥工程は少なくとも１つの回転体を用いる工程であり、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
34. 請求項３３に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
35. 請求項３３または３４に記載の光学部品において、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
36. 請求項３３〜３５のいずれか１項に記載の光学部品において、前記スピン乾燥工程が、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されて前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うスピン乾燥工程であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
37. 製造工程に超音波洗浄とスピン乾燥を含む洗浄工程を有する製造方法により製造された光学部品において、前記洗浄工程は光学部品を洗浄することができる超音波洗浄工程と洗浄されて光学部品に残された洗浄液を除去することができるスピン乾燥工程を有しており、前記スピン乾燥工程は少なくとも１つの回転体を用いる工程であり、前記回転体は、光学部品もしくは光学部品保持部品を載置することができる載置部を有する光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の法線と前記光学部品・光学部品保持部品載置部品の光学部品もしくは光学部品保持部品を載置する面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
38. 請求項３７に記載の光学部品において、前記スピン乾燥工程が、前記光学部品もしくは光学部品保持部品が前記光学部品もしくは光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品の載置部に可動な状態で載置されて前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うスピン乾燥工程であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
39. 請求項３７または３８に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
40. 製造工程に超音波洗浄とスピン乾燥を含む洗浄工程を有する製造方法により製造された光学部品において、前記洗浄工程は光学部品を光学部品保持部品に保持した状態で光学部品を洗浄することができる超音波洗浄工程と洗浄されて光学部品に残された洗浄液を除去することができるスピン乾燥工程を有しており、前記スピン乾燥工程は少なくとも１つの回転体を用いる工程であり、前記光学部品保持部品が一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の法線と前記回転体の回転の中心軸線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を傾けて前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
41. 請求項４０に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
42. 請求項４０または４１に記載の光学部品において、前記スピン乾燥工程が、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置して前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うスピン乾燥工程であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
43. 請求項４０〜４２のいずれか１項に記載の製造方法により製造された光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
44. 請求項４０〜４３のいずれか１項に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は前記回転体の回転の中心軸線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
45. 製造工程に超音波洗浄とスピン乾燥を含む洗浄工程を有する製造方法により製造された光学部品において、前記洗浄工程は光学部品を光学部品保持部品に保持した状態で光学部品を洗浄することができる超音波洗浄工程と洗浄されて光学部品に残された洗浄液を除去することができるスピン乾燥工程を有しており、前記スピン乾燥工程は少なくとも１つの回転体を用いる工程であり、前記光学部品保持部品は一方の側に光学部品を開口部から挿入することができる光学部品挿入部を複数有しており、複数の前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有しており、前記底部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する複数の貫通孔が形成されており、前記回転体は、前記光学部品保持部品を前記回転体に取り付ける取り付け手段を有しており、前記取り付け手段は、前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の法線と前記光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように前記光学部品・光学部品保持部品載置部品を前記回転体に取り付けることができる取り付け手段であることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
46. 請求項４５に記載の光学部品において、前記光学部品保持部品が光学部品保持部品の外形寸法より大きな内径寸法を有する光学部品保持部品載置部品に可動な状態で載置してスピン乾燥部の前記回転体に取り付けられ、前記回転体を回転させることによりスピン乾燥を行うことを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
47. 請求項４５またあ４６に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されている取り付け溝か前記回転体に取り付けられている部品に形成されている取り付け溝を利用する手段であり、前記取り付け溝は当該光学部品保持部品の光学部品挿入部が形成されている面の中心から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線と２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
48. 請求項４５〜４７のいずれか１項に記載の光学部品において、前記取り付け手段が、前記回転体の一部に形成されているか取り付けられている光学部品保持部品載置部を利用する手段であり、前記光学部品保持部品載置部は、光学部品保持部品を載置する面の中央における法線と光学部品保持部品を載置する面の中央から前記回転体の回転の中心軸線に下ろした垂線を含む直線とが２５°より大きく３５°より小さい大きさかあるいは５５°より大きく６５°より小さい大きさの角度をなすように傾けて形成されているか取り付けられていることを特徴とする製造方法により製造された光学部品。
    
    
    

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