JP2008016507A - 電気配線の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】エッチング処理時に基板への悪影響を極力小さくして、効率的にパターン形成を行うことができる電気配線の製造方法を得ることにある。
【解決手段】本発明の電気配線の製造方法は、基材層12上に導体となる金属層25を形成し、レーザアブレーションにより金属層25の不要部分26を除去した後、腐食液で金属層25をエッチング処理することにより、レーザアブレーション後に基材層12上に残っている金属層25の不要部分26の残渣27を除去する。
【選択図】図2
【解決手段】本発明の電気配線の製造方法は、基材層12上に導体となる金属層25を形成し、レーザアブレーションにより金属層25の不要部分26を除去した後、腐食液で金属層25をエッチング処理することにより、レーザアブレーション後に基材層12上に残っている金属層25の不要部分26の残渣27を除去する。
【選択図】図2
Description
本発明は、電気信号の伝達に用いられる電気配線の製造方法に関する。
電気配線を製造する方法として、例えば、エッチング液に耐性のあるレジストを用いて被膜を形成し、配線パターンを形成するプリント配線板の製造方法がある。この製造方法では、金属箔を含んだ基材層の表面にレジストを被覆する。そして、配線としては不要な部分の金属箔に対応する箇所のレジストをレーザアブレーションで除去する。このレーザアブレーション後に残ったレジストをエッチングレジストとして、金属箔を湿式エッチング法によってパターニングする。パターニング後にレジストを剥離液などで除去し、パターニングされた金属配線を完成させる(例えば、特許文献1参照)。
特開平10−270826号公報
しかし、前記従来の金属配線の製造方法では、湿式のエッチングにより、金属箔の全厚さ分を除去する必要があり、エッチング処理に時間がかかる問題がある。また、エッチング液に侵される材質の基材層を用いる場合には、エッチング処理に時間がかかると基材層へのダメージが大きくなるため、パターニングした金属箔と基材層との密着力が弱くなって、配線が壊れやすくなる問題がある。
本発明の目的は、エッチング処理時に基板への悪影響を極力小さくして、効率的に配線パターンを形成できる電気配線の製造方法を得ることにある。
前記課題を解決するため、本発明の一つの形態に係る電気配線の製造方法は、基材層上に導体となる金属層を形成し、レーザアブレーションにより前記金属層の不要部分を除去した後、腐食液でエッチングすることにより、前記レーザアブレーション後に前記基材層上に残っている前記金属層の不要部分の残渣を除去してパターン形成を行う。
前記課題を解決するため、本発明の他の形態に係る電気配線の製造方法は、基材層上に導体となる第1の金属層を形成し、腐食液に対して耐性のある第2の金属層を前記第1の金属層の上側に形成し、レーザアブレーションにより前記第1の金属層および前記第2の金属層の不要部分を除去した後、前記腐食液でエッチングすることにより、前記レーザアブレーション後に前記基材層上に残っている前記金属層の不要部分の残渣を除去してパターン形成を行う。
前記課題を解決するため、本発明の他の形態に係る電気配線の製造方法は、基材層上に導体となる金属層を形成し、腐食液に対して耐性のあるレジスト層を前記金属層よりも上側に形成し、レーザアブレーションにより前記金属層および前記レジスト層の不要部分を除去した後、前記腐食液でエッチングすることにより、前記レーザアブレーション後に前記基材層上に残っている前記金属層の不要部分の残渣を除去してパターン形成を行う。
前記課題を解決するため、本発明の他の形態に係る電気配線の製造方法は、 基材層上に導体となる金属層を形成し、エッチングガスに対して耐性のあるレジスト層を前記金属層よりも上側に形成し、レーザアブレーションにより前記金属層および前記レジスト層の不要部分を除去した後、前記エッチングガスでエッチングすることにより、前記レーザアブレーション後に前記基材層上に残っている前記金属層の不要部分の残渣を除去してパターン形成を行う。
これらの場合、前記エッチング処理において、前記金属層の不要部分の残渣の厚さ分をエッチングすることが好ましい。
本発明によれば、レーザアブレーションとエッチング処理とを併用することによって、金属層の不要部分を迅速に除去して、効率的に配線パターンを形成することができる。また、レーザアブレーション後の残渣の除去にエッチングを用いているため、エッチング処理にかかる時間を短縮することができる。このため、エッチング処理による基材層へのダメージを極力小さなものにすることができる。
以下、図面を参照しながら本発明の第1の実施形態について説明する。
図1と図2に示すように、インクジェットヘッド11は、いわゆるシェアモードタイプのものであり、インク循環式のヘッドで構成されている。このインクジェットヘッド11は、基材層の一例である基板12と、内部にインク室13を有するインク導入部14と、基板12とインク導入部14とにまたがって接着されたノズルプレート15などを備えている。
図1と図2に示すように、インクジェットヘッド11は、いわゆるシェアモードタイプのものであり、インク循環式のヘッドで構成されている。このインクジェットヘッド11は、基材層の一例である基板12と、内部にインク室13を有するインク導入部14と、基板12とインク導入部14とにまたがって接着されたノズルプレート15などを備えている。
基板12は、例えば、圧電セラミックス材料であるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)製である。基板12は、溝状に切削形成される複数の圧力室16と、各圧力室16の両側に配置する支柱17と、圧力室16の側面および底面に形成される電極18と、を有している。また、基板12上には、後述する方法で製造された電気配線21のパターンが形成されている。各電気配線21は、その一端で電極18に接続するとともに、他端で図示しないヘッド駆動用のICに接続している。
ノズルプレート15は、例えば一列に並んだ複数個のノズル22を有している。各ノズル22は、各圧力室16に対応しており、例えば、基板12と平行な方向に開口している。また、インク導入部14には、インクを循環させるためのインク供給口23とインク排出口24とが設けられている。
続いて、第1の実施形態に係る電気配線の製造方法について説明する。図2(a)に示すように、基材層の一例である基板12の表面に、導体となる金属層の一例であるニッケル薄膜25を形成する。ニッケル薄膜25は、無電解ニッケルメッキ法により、例えば2μm程度の厚さで形成される。
図2(b)に示すように、このニッケル薄膜25を形成した基板12に対して、レーザアブレーション、すなわちレーザ光の照射により電気配線21のパターニングを施す。このレーザアブレーションにより、不要部分26のニッケル薄膜25の一部が気化するとともに、その一部が周囲のニッケル薄膜25のほうに除去される。
この工程に用いられるレーザとしては、例えば、YAGレーザや、YV04レーザなどが使用可能であるが、本実施形態では、YAGレーザを用いている。なお、ニッケル薄膜25を効率よく除去するため、レーザの第2高調波や、第3高調波を用いてレーザ加工を行うことが好ましい。第2高調波や、第3高調波を用いることにより、金属に対するレーザ光の吸収率が向上し、加工性を向上できる。
なお、基板12には、微小な凹凸が生じていることもあるため、レーザアブレーションによって除去しきれないニッケル薄膜25の不要部分26の残渣27が基板12上に残ることがある。図2(b)は、残渣27を模式的に示している。この残渣27は、続くエッチング処理によって除去される。
エッチング処理では、ニッケル薄膜25を形成した基板12全体を腐食液であるエッチング液に浸す。このエッチングに用いられるエッチング液としては、例えば、1%濃度の低濃度の塩化第二鉄水溶液がある。1%濃度の塩化第二鉄水溶液を用いて行うエッチング処理は、例えば1分以内の短時間で、基板12を塩化第二鉄水溶液に浸漬することによって実施される。
図2(c)に示すように、エッチング処理により、レーザアブレーションで残った残渣27が完全に除去されて、基板12上に電気配線21のパターンが形成される。なお、このエッチング処理によって、電気配線21となる必要部分のニッケル薄膜25もエッチングされることになるが、短時間で終了するため、必要部分の電気配線21の接続は維持される。
より具体的には、例えば、厚さ2μmのニッケル薄膜25をエッチングするには、1%濃度の塩化第二鉄水溶液で5分以上の時間を要する。このため、本実施形態のように1分以内でエッチング処理を行うようにすれば、電気配線21の必要部分に断線が生ずることはない。すなわち、本実施形態では、エッチング処理において、金属層であるニッケル薄膜25の不要部分26の残渣27の厚さ分をエッチングしている。
第1の実施形態によれば、レーザアブレーション後に不要部分26の残渣27をエッチングで除去しているため、不要部分26をエッチングのみで除去した場合に比して、エッチングにかかる時間を短縮することができる。このため、エッチングによる基板12へのダメージを低減して、基板12と電気配線21との密着力が低下するのを防止することができる。
また、基板12のPZTは、酸に弱いため、エッチング時に塩化第二鉄水溶液によって一部が侵食される。しかし本実施形態では、エッチング時間が短縮されているため、このPZTにダメージを生じてしまうことが極力低減されている。このため、本実施形態の電配配線の製造方法は、PZTの基板12上に電気配線21を製造するのに、特に好適である。
図3を参照して、第2の実施形態に係る電気配線の製造方法について説明する。第2の実施形態に係る電気配線の製造方法によって製造されるインクジェットヘッドは、第1の実施形態のインクジェットヘッド11と同様であるため、インクジェットヘッドの構造についての説明は省略する。
第2の実施形態に係る電気配線の製造方法では、図3(a)に示すように、基材層の一例である基板12の表面に、導体となる金属層の一例であるニッケル薄膜25を形成する。ニッケル薄膜25は、無電解ニッケルメッキ法により、例えば2μm程度の厚さで形成される。
図3(b)に示すように、金属層であるニッケル薄膜25の表面を覆うように、金で成膜した薄膜(金薄膜)31を第2の金属層として形成する。金薄膜31は、例えば電気メッキによって、0.1μm程度の厚さで形成される。なお、本実施形態では、第2の金属層の一例として、金を用いているが、エッチングに耐性のある金属、例えばプラチナ等であればどのような金属であっても良い。
このニッケル薄膜25および金薄膜31を形成した基板12に対して、レーザアブレーションにより、図3(c)に示すように、電気配線21のパターニングを施す。本実施形態では、例えばYAGレーザを用いている。なお、ニッケル薄膜25および金薄膜31の不要部分26を効率よく除去するため、レーザの第2高調波や、第3高調波を用いてレーザ加工を行うのがよい。
なお、基板12には、微小な凹凸が生じていることもあるため、レーザアブレーションによって除去しきれないニッケル薄膜25の不要部分26の残渣27が基板12上に残ることがある。図3(c)は、残渣27を模式的に示している。この残渣27は、続くエッチング処理によって除去される。
レーザアブレーションを施した後、基板12全体を腐食液であるエッチング液に浸す。このエッチングに用いられるエッチング液としては、例えば、1%濃度の低濃度の塩化第二鉄水溶液がある。低濃度の塩化第二鉄水溶液を用いて行うエッチング処理は、例えば1分以内の短時間で、ニッケル薄膜25を形成した基板12を溶液に浸すことで実施される。
図3(d)に示すように、エッチング処理により、レーザ光の照射で残った残渣27が完全に除去されて、基板12上に電気配線21のパターンが形成される。なお、このエッチングにより、電気配線21となるニッケル薄膜25の露出部分25Aもエッチングされることになるが、短時間で終了するため、露出部分25Aで電気配線21が断線することがないようになっている。第2の実施形態においても、金属層であるニッケル薄膜25の不要部分26の残渣27の厚さ分をエッチングしている。
第2の実施形態によれば、レーザアブレーション後の残渣27をエッチングするようにしているため、エッチングにかかる時間を短縮することができる。このため、エッチングによる基板12へのダメージを低減して、基板12と電気配線21との密着力が低下するのを防止できる。このため、本実施形態の電気配線の製造方法は、エッチング液に侵されやすいPZTの基板12上に電気配線21を製造するのに、特に好適である。
また、第1の金属層であるニッケル薄膜25が、第2の金属層である金薄膜31によって被覆されるため、電気配線21として必要な部分について、腐食液による浸食から保護することができる。また、エッチングによって電気配線21の抵抗値が変化してしまうおそれもない。さらに、第2の金属層として抵抗値の小さい金が用いられているため、配線の抵抗値を全体として小さくすることができる。
続いて、図4を参照して、第3の実施形態に係る電気配線の製造方法について説明する。この第3の実施形態に係る電気配線の製造方法によって製造されるインクジェットヘッドは、第1の実施形態のインクジェットヘッド11と同様であるため、その構造の説明を省略する。
第3の実施形態に係る電気配線の製造方法では、図4(a)に示すように、基材層の一例である基板12の上側に、無電解メッキ法により、導体となる金属層の一例であるニッケル薄膜25を形成する。
図4(a)に示すように、金属層であるニッケル薄膜25の表面を覆うように、レジスト層41を形成する。レジスト層41は、例えばスピンコーターにより、例えば1μm程度の膜厚で形成される。レジスト層41は、プリベーク程度の温度で硬化させる。
図4(b)に示すように、ニッケル薄膜25およびレジスト層41が形成された基板12にレーザアブレーションを施して、電気配線21のパターンを基板12上に形成する。ニッケル薄膜25およびレジスト層41の不要部分26を除去するレーザアブレーションには、第二高調波や第三高調波を用いる。
基板12には、微小な凹凸が生じていることもあるため、レーザアブレーションによって除去しきれないニッケル薄膜25の不要部分26の残渣27が基板12上に残ることがある。図4(b)は、残渣27を模式的に示している。この残渣27は、続くエッチング処理によって除去される。
図4(c)に示すように、電気配線21のパターンが形成された基板を腐食液であるエッチング液に浸漬する。エッチング液としては、例えば、1%濃度の低濃度の塩化第二鉄水溶液を用いる。エッチング処理は、1分以下の短時間で行う。エッチング処理により、レーザアブレーションでニッケル薄膜25の不要部分26の残渣27を完全に除去する。第3の実施形態においても、金属層であるニッケル薄膜25の不要部分26の残渣27の厚さ分をエッチングする。なお、このエッチングにより、電気配線21となるニッケル薄膜25の露出部分25Aもエッチングされることになるが、短時間で終了するため、露出部分25Aで電気配線21が断線することがないようになっている。
図4(d)に示すように、エッチングを行った基板をレジスト剥離液に浸して、基板12からレジスト層41を剥離させる。上記工程により、第3の実施形態に係る電気配線21の製造工程が終了する。この場合、配線抵抗を下げるため、さらに必要に応じて、図4(e)に示すように、電気メッキ法を利用して、ニッケル薄膜25の配線パターンに金を被着させた金薄膜42を、例えば0.1μm程度の厚さで形成することもできる。
第3の実施形態によれば、レーザアブレーション後の残渣27をエッチングするようにしているため、エッチングにかかる時間を短縮することができる。このため、エッチングによる基板12へのダメージを小さくできる。したがって、本実施形態の電気配線の製造方法は、エッチング液に侵されやすいPZTの基板12上に電気配線21を製造するのに特に好適である。
また、ニッケル薄膜25の配線となる部分がレジスト層41で覆われているため、当該部分がエッチングによって侵食されてしまうことを防止できる。これにより、配線部分の配線抵抗が変化してしまうのを防止できる。また、レーザアブレーションを行うと、加工した箇所の周囲にニッケル薄膜25の飛散物が飛び散ることになるが、第3の実施形態によれば、これらの飛散物をレジスト層41と一緒に除去できる。
さらに、ニッケル薄膜25の上側にさらに金薄膜42を被着させる場合には、電気メッキを利用することにより、電気配線21としてのニッケル薄膜25が付着されている部分にのみ金薄膜42を形成できる。すなわち、第2の実施形態では、配線として不要な部分の上側にも金薄膜31を形成された後、レーザアブレーションによってニッケル薄膜25と一括して金薄膜31が除去されるが、第4の実施形態によれば、不要部分26にも一律に金薄膜31が形成される無駄を省いて、高価な金の使用量を最小限に抑えることができる。
図5を参照して、第4の実施形態の電気配線の製造方法について説明する。この第4の実施形態に係る電気配線の製造方法によって製造されるインクジェットヘッド11の構造は、第1の実施形態と同様であるため、その構造の説明を省略する。
第4の実施形態の製造方法では、第1から第3の実施形態に係る製造方法におけるエッチング液を用いる湿式のエッチングと異なり、エッチング液を用いない乾式のエッチング(ドライエッチング)を行っている。ドライエッチングは、例えば、装置チャンバ内でプラズマ(放電)を発生させ、その内部で生成したイオンやラジカルを利用して処理物を加工する方法である。
図5(a)に示すように、基材層の一例である基板12の上側に、金属層の一例であるニッケル薄膜25を形成する。また、ニッケル薄膜25の上側に、エッチングに対して耐性のあるレジスト層41を例えばスピンコーターなどで塗布する。レジスト層41は、例えば、1μm程度の膜厚で形成される。レジスト層41は、プリベーク程度の温度で硬化させる。
図5(b)に示すように、ニッケル薄膜25およびレジスト層41が形成された基板12にレーザアブレーションを施して、配線パターンを基板12上に形成する。ニッケル薄膜25およびレジスト層41の不要部分26を除去するレーザアブレーションには、第二高調波や第三高調波を用いると良い。
基板12には、微小な凹凸が生じていることもあるため、レーザアブレーションによって除去しきれないニッケル薄膜25の残渣27が基板12上に残ることがある。図5(b)に、残渣27を模式的に示す。この残渣27は、続くドライエッチングによって除去される。
図5(c)に示すように、配線パターンが形成された基板12をドライエッチングで処理する。ドライエッチングに用いるエッチングガスとしては、例えば、CF4/O2/N2を用いている。このエッチングにより、レーザアブレーション後に残ってしまったニッケル薄膜25の残渣27を完全に除去できる。最も、ドライエッチングに用いるエッチングガスとしては、上記のものに限定されることはなく、その他のエッチングガスを用いてもよい。第4の実施形態においても、金属層であるニッケル薄膜25の不要部分26の残渣27の厚さ分をエッチングする。
なお、このエッチングにより、電気配線21となるニッケル薄膜25の露出部分25Aもエッチングされることになるが、短時間で終了するため、露出部分25Aで電気配線21が断線することがないようになっている。
図5(d)に示すように、エッチングを行った基板12をレジスト剥離液に浸して、基板12からレジスト層41を剥離させる。これにより、第3の実施形態に係る電気配線の製造工程が終了する。この場合、配線抵抗を下げるため、さらに必要に応じて、図5(e)に示すように、電気メッキ法を利用して、ニッケル薄膜25の配線パターンに対して金薄膜42を、例えば0.1μm程度の厚さで形成することもできる。
第4の実施形態によれば、レーザアブレーション後の残渣27をエッチングするようにしているため、エッチングにかかる時間を短縮することができる。このため、エッチングによる基板12へのダメージを小さくすることができる。また、本実施形態の電気配線の製造方法は、酸性のエッチング液に侵されやすいPZTの基板12上に電気配線21を製造するのに特に好適である。
また、ニッケル薄膜25の配線となる部分がレジスト層41で覆われているため、当該部分がエッチングガスによって侵食されてしまうことを防止できる。これにより、電気配線21の抵抗値が変化してしまうことを防止できる。また、レーザアブレーションを行うと、加工した箇所の周囲にニッケル薄膜25の飛散物が飛び散ることになるが、第4の実施形態によれば、これらの飛散物をレジスト層41と一緒に除去することができる。
さらに、ニッケル薄膜25の上側にさらに金薄膜42を被着させる場合には、電気メッキを利用してニッケル薄膜25がある部分にのみ金薄膜42を形成できる。すなわち、第2の実施形態では、電気配線21として不要な部分の上側にも金薄膜31が形成されるが、第4の実施形態によれば、高価な金の使用量を最小限に抑えることができる。
本発明は、前記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では、基材層は、PZTの基板12で構成されるが、例えば、アルミナなどのその他のセラミックスの基板であってもよい。また、基材層は、例えばプリント配線板の製造に用いられる絶縁性の基板であってもよく、第1から第4の実施形態に係る電気配線の製造方法は、プリント配線板のパターンに形成にも用いることができる。金属層は、ニッケル薄膜25で構成されているが、例えば、銅をメッキした銅薄膜などで構成してもよい。
このほか、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
11…インクジェットヘッド、12…基板、21…電気配線、25…ニッケル薄膜、26…不要部分、27…残渣、31…金薄膜、41…レジスト層、42…金薄膜
Claims (5)
- 基材層上に導体となる金属層を形成し、レーザアブレーションにより前記金属層の不要部分を除去した後、腐食液で前記金属層をエッチング処理することにより、前記レーザアブレーション後に前記基材層上に残っている前記金属層の不要部分の残渣を除去することを特徴とする電気配線の製造方法。
- 基材層上に導体となる金属層を形成するとともに、腐食液に対して耐性のある第2の金属層を前記金属層の表面を覆うように形成し、レーザアブレーションにより前記金属層および前記第2の金属層の不要部分を除去した後、前記腐食液で前記金属層をエッチング処理することにより、前記レーザアブレーション後に前記基材層上に残っている前記金属層の不要部分の残渣を除去することを特徴とする電気配線の製造方法。
- 基材層上に導体となる金属層を形成するとともに、腐食液に対して耐性のあるレジスト層を前記金属層の表面を覆うように形成し、レーザアブレーションにより前記金属層および前記レジスト層の不要部分を除去した後、前記腐食液で前記金属層をエッチング処理することにより、前記レーザアブレーション後に前記基材層上に残っている前記金属層の不要部分の残渣を除去することを特徴とする電気配線の製造方法。
- 基材層上に導体となる金属層を形成するとともに、エッチングガスに対して耐性のあるレジスト層を前記金属層の表面を覆うように形成し、レーザアブレーションにより前記金属層および前記レジスト層の不要部分を除去した後、前記エッチングガスで前記金属層をエッチング処理することにより、前記レーザアブレーション後に前記基材層上に残っている前記金属層の不要部分の残渣を除去することを特徴とする電気配線の製造方法。
- 前記エッチング処理において、前記金属層の不要部分の残渣の厚さ分をエッチングすることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の電気配線の製造方法。
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