JP2008000923A - スクリーン印刷装置及びその印刷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】従来の半田ペースト廃棄作業をせずに、印刷バンプの微細化に対しメンテナンスフリーで対応でき、半田コスト及び生産性の向上を可能にしたスクリーン印刷装置及び印刷方法を提供する。
【解決手段】印刷ヘッド４に半田ペーストＰを供給するペースト供給機構７が、スクリーンマスクＳに対して印刷ヘッドと反対側に設けられていて、供給時に印刷ヘッドのノズル４２先端をペースト供給機構７の供給口７１ａとスクリーンマスクの貫通孔Ｓ₂を介して連通させ、ノズル先端から半田ペーストを供給する。更に、洗浄ペーパ８１とペーパ送りローラ８２とからなる洗浄機構８を付加してもよい。
【選択図】図１

Description

本発明は、半田ペースト等をスクリーンマスクを介して基板に印刷するスクリーン印刷装置及びその印刷方法に係り、特に高密度・高多層基板のスクリーン印刷を得るのに好適なスクリーン印刷装置及びその印刷方法に関する。

一般にプリント基板と半導体チップを接続する技術としてフリップチップ（ＦＣ）方式と呼ばれる半田バンプ（微細な半田の突起物）を使用して接合する方式が採用されている。この方式は、平面的に半田バンプを配置することで数千から数万の接続点数を一度に接続できるため、ＩＴ化の進展によって益々高機能化する半導体チップの接続条件は微細・高密度・高点数化が急速に進んでいる。この近年の半導体の高機能化、高集積化の流れから、パッケージ基板の半田バンプにおいても、印刷バンプの益々の微細化が求められている。

半田バンプの印刷装置は印刷パターンに合わせて穴Ｓ₁が開けられたスクリーンマスクＳをワークＷ上に載せ、印刷ヘッドにより半田ペーストＰをマスク穴Ｓ₁に充填することで印刷を行う装置であり、従来では図４に示すようなスクリーン印刷装置が用いられている。このスクリーン印刷装置１は、ワーク（基板）Ｗの位置決めを行うワークアライメント部２、スクリーンマスクＳを上下に昇降するマスク上下駆動部３、印刷ヘッド４、該印刷ヘッド４を上下に昇降するヘッド上下駆動部５及び該印刷ヘッド４を左右（横方向）に往復移動するヘッド往復駆動部６等より基本的に構成されている。この印刷装置１では、ワークＷをワークアライメント部２のテーブル上に載置した後、ワークＷの位置決めを行い、次いで半田印刷装置１のマスク上下駆動部６によりスクリーンマスクＳをワークＷ上に重ね、ヘッド往復駆動部６及びヘッド上下駆動部５によって印刷ヘッド４を移動して半田ペーストＰをスクリーンマスクＳを介してワークＷ上に塗布することによって、ワークＷ上に半田バンプＢを印刷している。

この従来の印刷装置１では、印刷ヘッド４として一般に図５に示されるスキージ型印刷ヘッドか又は図６に示される密閉型印刷ヘッドが使用されている。スキージ型印刷ヘッド４は、半田ペーストＰをスキージ４１で挟んでスクリーンマスクＳ上を移動してワークＷ上にバンプ印刷を行うものであり、一方、密閉型印刷ヘッド４は、その先端にノズル４２を有していて、半田ペーストＰを吐出するノズル４２をスクリーンマスクＳに接触した状態でこの上を移動させてワークＷ上にバンプ印刷を行うものである。

近年、印刷バンプの微細化に応じてスクリーンマスクＳのマスク穴Ｓ₁も微細化し、半田ペーストＰも印刷だれ防止のために高粘度化していることから、従来のスキージ型印刷ヘッド４のスキージ４１による印圧ではペーストのマスク穴Ｓ₁への充填が難しくなり、高圧で充填可能な密閉型印刷ヘッドが主流になりつつある。しかしながら、スキージ型印刷ヘッドに比べ、密閉型印刷ヘッド４ではノズル４２先端の半田ペーストＰが固着して印刷不良を起こすという問題がある。

図７は、（ａ）ノズル先端に半田ペーストＰの固着が発生する前と、（ｂ）固着が発生した後の状態とを説明する図である。即ち、半田ペーストＰは、固体の半田粒子とフラックス溶剤の混合物であり、図７（ａ）に示すように半田粒子間がフラックス溶剤で満たされているため、半田ペーストＰは流動性を保っている。この点、スキージ型印刷ヘッドでは図５に示すように印刷動作により半田ペーストＰは全体に流動・撹拌するため凝集が防止され流動性を維持するが、密閉型印刷ヘッドでは半田ペーストＰはノズル４２内に拘束されるため、印刷動作により流動することも無く、特にノズル先端付近の半田粒子はほとんど流動せず、液体のフラックス溶剤のみがノズル４２とスクリーンマスクＳとの密着面やスクリーンマスクＳとワークＷとの隙間から流れ出るため、図７（ｂ）に示すように半田粒子同士が凝集・固着し流動性を失う。流動性を失った半田ペーストＰは印刷の際にスクリーンマスクＳのマスク穴Ｓ₁の中に十分に流入せず、バンプ欠け不良の原因になる。

上記の問題に対し従来のスクリーン印刷装置では、定期的にノズル先端に固着した半田ペーストＰを掻き出して廃棄する方法で対処してきたが、現状でも５０回の印刷作業毎にこの廃棄作業が必要であり、更に微細バンプに対応した小型印刷ヘッドでは１０回の印刷毎に廃棄作業が必要となり、著しく生産性を低下させている。今後、更にバンプの微細化が進むことから半田ペーストＰの半田粒子の微細化・高機能化が要求されており、廃棄作業による従来の固着対応方法における半田コスト及び生産性の低下が問題となっているため、廃棄作業が不要でより高生産性・省資源な半田バンプの印刷方法が求められている。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、定期的に印刷ヘッドのノズル先端に固着した半田ペーストを掻き出して廃棄する従来の廃棄作業を必要とせず、印刷バンプの微細化に対してもメンテナンスフリーで対応でき、半田コスト及び生産性の向上を可能としたスクリーン印刷装置及びその印刷方法を提供することである。

本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載のスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供する。
請求項１に記載のスクリーン印刷装置は、印刷ヘッド４に半田ペーストＰを供給するペースト供給機構７が、印刷ヘッド４のノズル４２先端から半田ペーストＰを印刷ヘッド４に供給するようにしたものであり、これにより、印刷時にフラックス溶剤が抜けて減少した印刷面半田ペーストＰは新しい半田ペーストＰと混合されることにより、フラックス濃度が正常な状態に保たれ、印刷不良が防止される。従って、ノズル先端に凝集した半田ペーストを廃棄するための廃棄作業を行うことなく、メンテナンスフリーで１００回以上の連続印刷が可能となる。

請求項２の該印刷装置は、ペースト供給機構７をスクリーンマスクＳに対して印刷ヘッド４と反対側に位置して設置したものであり、これにより、ペースト供給機構７と印刷ヘッド４とを上下方向に連結することで、ノズル先端から半田ペーストＰを供給することができる。
請求項３の該印刷装置は、ペースト供給機構７の供給口７１ａがスクリーンマスクＳのワークＷと接する側の面に密着するように設けられ、かつスクリーンマスクＳには供給口７１ａの位置に貫通孔Ｓ₂が形成されているものであり、これにより、数回の印刷毎に印刷ヘッド４をスクリーンマスクＳの半田ペーストＰ供給領域に移動するだけで、スクリーンマスクＳの貫通孔Ｓ₂を介してペースト供給機構７の供給口７１ａから供給される半田ペーストＰをノズル先端から印刷ヘッド４に容易に供給することができる。

請求項４の該印刷装置は、ペースト供給機構７には半田ペーストＰを押し出すための加圧ピストン７３が設けられているものであり、これにより、半田ペーストＰに適正な加圧力を加えて供給口７１ａから押し出すことができ、印刷時にフラックスが抜けて減少した印刷面半田ペーストＰを印刷ヘッド４内に押し込み、新しい半田ペーストＰと混合させるのに有効である。
請求項５の該印刷装置は、更に洗浄ペーパ８１とペーパ送りローラ８２とからなる洗浄機構８を、スクリーンマスクＳの下面に設けると共に、洗浄機構８と対応する位置にあるスクリーンマスクＳに貫通した開口Ｓ₃を設けたものであり、これにより、印刷ヘッド４のノズル４２内部に劣化した半田ペーストＰ（フラックスが減少した半田ペースト）が蓄積した場合でも、印刷ヘッド４をスクリーンマスクＳの開口Ｓ₃の位置に移動させることで、劣化した半田ペーストＰを自動的に廃棄させることができ、メンテナンスフリーのまま連続で印刷することが可能となる。

請求項６に記載のスクリーン印刷方法は、請求項１乃至３の装置発明を方法発明に変えたものであり、その作用効果は、請求項１乃至３と同様である。
請求項７の該印刷方法は、請求項５の装置発明を方法発明としたものであり、その作用効果は請求項５と同様である。

以下、図面に従って本発明の実施の形態のスクリーン印刷装置及びその印刷方法について説明する。本発明のスクリーン印刷装置１は、その基本的な構成は図４の従来のスクリーン印刷装置と同様であるので、まずその全体的な構成を図４に基づいて簡単に説明する。スクリーン印刷装置１は、基本的に、テーブル２１上に載置したパッケージ基板であるワークＷをＸ軸、Ｙ軸及びθ方向に位置決めするワークアライメント部２、スクリーンマスクＳ（以下、「スクリーン」と称す）を上下に昇降するマスク上下駆動部３、半田ペーストＰを吐出する印刷ヘッド４、この印刷ヘッド４を上下に昇降するヘッド上下駆動部５及び印刷ヘッド４を横方向（図で左右方向）に往復移動するヘッド往復駆動部６等より構成されている。

ワークアライメント部２は、ワークＷを載置して保持するテーブル２１、このテーブル２１をＸ軸方向に移動するＸ方向移動台２２、Ｙ軸方向に移動するＹ方向移動台２３及びθ方向に回動する回動台２４とより構成されていて、これらが一緒に組み合わされて印刷装置１の基台１１上に載置されている。テーブル２１の上面は、多数の吸引孔（図示せず）を有する吸着面であって、ワークＷを載せた状態でこれを吸着して位置決めすることができる。これら吸引孔は図示されない真空ポンプに接続している。テーブル２１は、Ｘ方向移動台２２上に支持され、Ｘ方向移動台２２はＹ方向移動台２３上に支持され、更にＹ方向移動台２３が回動台２４上に支持されている。これによって、テーブル２１上のワークＷの位置がＸ軸、Ｙ軸及びθ方向に修正できるようになっている。なお、Ｘ軸、Ｙ軸方向の移動及びθ方向の回動は、サーボモータ２５によってそれぞれ行われる。

スクリーンＳとは、マスクの表面に所定のパターン（マスク穴Ｓ₁）が形成されているもの、例えば、メタルマスクや狭義のスクリーンマスクを含む概念である。このスクリーンＳは、マスク上下駆動部３によって上下に昇降することが可能である。即ち、マスク上下駆動部３は、基台１１上に立設された昇降ガイド体１２に取り付けられた昇降用シリンダ３１と、この昇降用シリンダ３１内を摺動するピストン体３２と、このピストン体３２に固定されている昇降部材３３及びこの昇降部材３３に結合されている、スクリーンＳを両側で保持する保持部材３４より構成されており、昇降部材３３を上下動させることによって、保持部材３４により保持されたスクリーンＳが上下に昇降する。昇降部材３３は、例えば昇降用シリンダ３１内に導入される流体によって作動される。

印刷装置１の基台１１上に立設された左右の昇降ガイド体１２間を架設して横架体１３が設けられている。この横架体１３には、これに平行に横方向のガイド体１４が設けられている。ガイド体１４には、ガイド体１４に沿って横方向に往復摺動可能な往復移動部材１５が嵌合していて、この往復移動部材１５にヘッド上下駆動部５が取り付けられている。また、横架体１３上にはヘッド往復駆動部６が設置されており、このヘッド往復駆動部６の往復動部材６１の先端にヘッド上下駆動部５が取り付けられている。図４では、ヘッド往復駆動部６としてボールネジ機構が採用されている。したがって、ヘッド往復駆動部６の作動による往復動部材６１の横方向の前進／後退に従って、ヘッド上下駆動部５も横方向に移動する。

ヘッド上下駆動部５は、ヘッド往復駆動部６の往復動部材６１の先端に固着されたシリンダ部５１と、このシリンダ部５１内を摺動するピストン部５２とから構成され、このピストン部５２の先端部位に印刷ヘッド４が取り付けられている。このようにして印刷ヘッド４は、上下方向への昇降及び左右方向（横方向）への往復移動ができるようになっている。なお、上記説明においては、マスク上下駆動部３及びヘッド上下駆動部５をピストン−シリンダ機構とし、ヘッド往復駆動部６をボールネジ機構としているが、これら駆動部３，５，６として直線往復動機構であれば、ピストン−シリンダ機構、ボールネジ機構、ラック−ピニオン機構、リニアモータ機構等の公知の機構が適宜採用可能である。

次に本発明の特徴とする構成について、図１に基づいて説明する。
印刷ヘッド４は、ノズル４２に相当する小径の円筒状の第１シリンダ４２と、第１シリンダ４２よりも大径の円筒状の第２シリンダ４３と、これら第１、第２シリンダ４２，４３内を摺動する第１加圧ピストン４４とより構成されている。即ち、第１加圧ピストン４４は、第１シリンダ４２内を摺動する小径ピストン４４ａと、第２シリンダ４３内を摺動する大径ピストン４４ｂとを両シリンダ４２，４３を貫通するロッド４４ｃで連結したバーベル形状をしている。第２シリンダ４３は、エア供給源に連通しており、第２シリンダ４３内に作動流体であるエアが導入されることにより、第１加圧ピストン４４は下降し、ノズル（第１シリンダ）４２内の半田ペーストＰをノズル４２先端から押し出すようになっている。

印刷ヘッド４は、スクリーンＳの上側に設けられている一方で、スクリーンＳの下側にはペースト供給機構７が設けられている。ペースト供給機構７も基本的な構成は印刷ヘッド４と同様であり、半田ペーストＰを供給するための供給口７１ａを有する第３シリンダ７１と、作動流体用の第４シリンダ７２と、半田ペーストＰに供給圧をかける第２加圧ピストン７３とから構成されている。この第２加圧ピストン７３も、第３シリンダ７１内を摺動するピストン７３ａと、第４シリンダ７２内を摺動するピストン７３ｂとを両シリンダ７１，７２を貫通するロッド７３ｃで連結したバーベル形状をしている。第４シリンダ７２は、エア供給源に連通しており、第４シリンダ７２に作動流体であるエアが導入されることにより、第２加圧ピストン７３は上昇し、第３シリンダ７１の供給口７１ａより半田ペーストＰを押し出すようになっている。

スクリーンＳのマスク穴Ｓ₁が形成されている部位を避けるようにして、スクリーンＳにはノズル孔と略同じ大きさの貫通孔Ｓ₂が穿設されている。スクリーンＳがテーブル２１上に載置されたワークＷ上に位置付けされたとき、ペースト供給機構７の供給口７１ａがスクリーンＳの貫通孔Ｓ₂に一致するように、ペースト供給機構７は固定又は調整可能に印刷装置１に設置されている。このようにして、ペースト供給機構７は供給口７１ａがスクリーンＳのワークＷと接する側の面に密着するように設けられ、スクリーンＳには供給口７１ａの位置に貫通孔Ｓ₂が開いていることから、印刷ヘッド４を供給口７１ａの真上に動かすことで、印刷ヘッド４のノズル４２先端口とペースト供給機構７の供給口７１ａとが貫通孔Ｓ₂を介して直結する構造となっている。

上記構成よりなる本実施形態のスクリーン印刷装置１の動作（印刷方法）について説明する。図２は、本実施形態のスクリーン印刷装置の動作を説明する図であり、図２（ａ）は半田ペーストの供給を、図２（ｂ）は半田印刷を、図２（ｃ）は半田ペーストの再供給をそれぞれ説明する図である。なお、本発明のスクリーン印刷装置１においても通常の動作と同様にワークＷをテーブル２１上に載置してアライメント操作が行われ、その後マスク上下駆動部３の作動によってスクリーンＳが下降し、ワークＷ上に密着配置されるものである。

まず、図２（ａ）に示すように印刷ヘッド４をヘッド往復駆動部６によってペースト供給機構７の真上に動かし、ヘッド上下駆動部５により印刷ヘッド４のノズル４２先端口をスクリーンＳの貫通孔Ｓ₂に密着させる。なお、この場合、ペースト供給機構７の供給口７１ａはスクリーンＳの貫通孔Ｓ₂に下面より密着配置されている。したがって、ノズル４２先端口と供給口７１ａとが貫通孔Ｓ₂を介して連通する。この状態で、印刷ヘッド４の第１加圧ピストン４４の加圧力を切り、ペースト供給機構７の第２加圧ピストン７３を加圧することによって、一定量の半田ペーストＰを印刷ヘッド４（ノズル４２）内に供給する。

次に図２（ｂ）に示すように印刷ヘッド４がヘッド上下駆動部５によってスクリーンＳの上面に密着しながら、ヘッド往復駆動部６によって印刷ヘッド４を横方向に移動し、同時に印刷ヘッド４の第１加圧ピストン４４を加圧することで、ワークＷのマスク穴Ｓ₁に半田ペーストＰを供給することで半田印刷を施す。この印刷動作を紙面の表裏方向に位置をずらしながら数回行う。

数回の印刷後、再び図２（ｃ）に示すように印刷ヘッド４をペースト供給機構７の真上に動かして、図２（ａ）で説明したのと同じ状態にして、ペースト供給機構７の供給口７１ａから印刷ヘッド４（ノズル４２）内へ半田ペーストＰを再び供給する。この半田ペーストＰの再供給により、数回の印刷動作によってノズル４２先端部位に残っていた、フラックスが抜けて減少した半田ペーストＰが押し戻されて新しく供給された半田ペーストＰと混合される。

このように本実施形態では、数回の印刷毎にノズル先端から新しく半田ペーストＰが供給されるため、印刷時にフラックスが抜けて減少した印刷面半田ペーストＰは新しい半田ペーストＰと混合されることにより、フラックス濃度が正常な状態に保たれ、印刷不良が防止される。具体的には、従来のように本実施形態のペースト供給機構を用いない場合においては、印刷を約１０回程度実施するとノズル印刷面の半田ペーストが固着し、図７（ｂ）に示すような印刷不良が発生するのに対し、５回の印刷毎にペースト供給機構７から半田ペーストをノズル４２先端から供給すると、印刷不良が生じず、メンテナンスフリーで１００回以上の連続印刷が可能となる。

図３は、本発明の第２実施形態のスクリーン印刷装置の要部を説明する図である。第２実施形態では、第１実施形態のペースト供給機構７に加えて、ノズル先端を洗浄する洗浄機構８を設けている。ペースト供給機構７については、その構成、配置及び動作について第１実施形態と同じであるので説明を省略する。洗浄機構８は、洗浄ペーパ８１と、この洗浄ペーパ８１を移動させる送りローラ８２とから構成されている。洗浄機構８は、ペースト供給機構７と同様にスクリーンＳの下面側であって、ワークＷを挟んでペースト供給機構７と対向するように配置されている。また、スクリーンＳの洗浄機構８に対応した位置には、貫通した、長穴形状の開口Ｓ₃が形成されている。したがって、印刷ヘッド４を洗浄機構８の洗浄ペーパ８１上にヘッド往復駆動部６及びヘッド上下駆動部５によって移動すると、洗浄ペーパ８１上のスクリーンＳに開口Ｓ₃が開いていることから、印刷ヘッド４のノズル４２先端面を洗浄ペーパ８１に密着させることができるようになっている。

第２実施形態のスクリーン印刷装置の動作においては、図２で示す第１実施形態の動作に加え、定期的に印刷ヘッド４をヘッド往復駆動部６及びヘッド上下駆動部５によって、ノズル４２の洗浄エリア（開口Ｓ₃の位置）に移動させ、印刷ヘッド４のノズル４２先端面を洗浄ペーパ８１に密着させて、印刷ヘッド４の第１加圧ピストン４４を加圧することにより、ノズル４２内部の半田ペーストＰを洗浄ペーパ８１上に廃棄する。洗浄ペーパ８１の廃棄半田ペーストが付着した部位は、送りローラ８２により送られる。

第２実施形態では、上記した第１実施形態の作用効果に加え、ノズル４２内部に劣化した半田ペーストＰが蓄積した場合でも、この劣化半田ペーストを自動的に廃棄し、メンテナンスフリーのまま連続で印刷することが可能になる。

本発明では、上記で説明した作用効果の他に、印刷ヘッドはノズルに供給する半田ペーストを蓄積する必要が無く、半田ペーストの供給と供給との間に行われる数回の印刷に必要な量の半田ペーストを保持するだけでよいことから、従来よりも装置を小型化でき、また装置生産後の印刷ヘッドの洗浄においても、洗浄廃棄される半田ペースト量が少量で済むため、更なる省資源化に寄与する。

本発明の第１実施形態のスクリーン印刷装置の要部を説明する断面図である。 第１実施形態のスクリーン印刷装置の動作を説明する図であって、（ａ）は半田ペーストの供給を、（ｂ）は半田印刷を、（ｃ）は半田ペーストの再供給を説明する図である。 本発明の第２実施形態のスクリーン印刷装置の要部を説明する断面図である。 従来のスクリーン印刷装置の全体構成図である。 従来のスキージ型印刷ヘッドを説明する図である。 従来の密閉型印刷ヘッドを説明する図である。 従来の密閉型印刷ヘッド内部の半田ペーストとその印刷状態を、（ａ）固着発生前と（ｂ）固着発生後で説明する図である。

符号の説明

１ スクリーン印刷装置
１４ ガイド体
１５ 往復移動部材
２ ワークアライメント部
２１ テーブル
３ マスク上下駆動部
４ 印刷ヘッド
４２ ノズル（第１シリンダ）
４３ 第２シリンダ
４４ 第１加圧ピストン
５ ヘッド上下駆動部
６ ヘッド往復駆動部
７ ペースト供給機構
７１ 第３シリンダ
７１ａ 供給口
７２ 第４シリンダ
７３ 第２加圧ピストン
８ 洗浄機構
８１ 洗浄ペーパ
８２ 送りローラ
Ｗ ワーク
Ｓ スクリーンマスク（スクリーン）
Ｓ₁ マスク穴
Ｓ₂ 貫通孔
Ｓ₃ 開口
Ｐ 半田ペースト

Claims (7)

1. ワーク（Ｗ）を載置し、その位置決めを行うワークアライメント部（２）と、
   スクリーンマスク（Ｓ）を上下に昇降するマスク上下駆動部（３）と、
   半田ペースト（Ｐ）をワーク（Ｗ）上に印刷するノズル（４２）を有する印刷ヘッド（４）と、
   前記印刷ヘッド（４）を横方向に往復移動するヘッド往復駆動部（６）と、
   前記印刷ヘッド（４）を上下に昇降するヘッド上下駆動部（５）と、
   を具備していて、所定のパターンが印刷されるワーク（Ｗ）に所定のパターンが形成された前記スクリーンマスク（Ｓ）を重ね、前記スクリーンマスク（Ｓ）を介して半田ペースト（Ｐ）をワーク（Ｗ）上に印刷するスクリーン印刷装置において、
   前記印刷ヘッド（４）に半田ペースト（Ｐ）を供給するペースト供給機構（７）が設けられていて、前記ペースト供給機構（７）は前記印刷ヘッド（４）の前記ノズル（４２）先端から半田ペースト（Ｐ）を前記印刷ヘッド（４）に供給することを特徴とするスクリーン印刷装置。
2. 前記ペースト供給機構（７）が、前記スクリーンマスク（Ｓ）に対して前記印刷ヘッド（４）と反対側に位置して設置されていることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
3. 前記ペースト供給機構（７）の供給口（７１ａ）が前記スクリーンマスク（Ｓ）のワーク（Ｗ）と接する側の面に密着するように設けられ、かつ前記スクリーンマスク（Ｓ）には前記供給口（７１ａ）の位置に貫通孔（Ｓ₂）が形成されていることを特徴とする請求項２に記載のスクリーン印刷装置。
4. 前記ペースト供給機構（７）には、前記半田ペースト（Ｐ）を押し出すための加圧ピストン（７３）が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷装置。
5. 更に洗浄ペーパ（８１）とペーパ送りローラ（８２）とからなる洗浄機構（８）が、前記スクリーンマスク（Ｓ）の下面に設けられると共に、前記洗浄機構（８）と対応する位置にある前記スクリーンマスク（Ｓ）には、貫通した開口（Ｓ₃）が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のスクリーン印刷装置。
6. 所定のパターンが印刷されるワーク（Ｗ）に所定のパターンが形成されたスクリーンマスク（Ｓ）を重ね、印刷ヘッド（４）のノズル（４２）から吐出する半田ペースト（Ｐ）を前記スクリーンマスク（Ｓ）を介してワーク（Ｗ）上に印刷するスクリーン印刷方法において、
   前記スクリーンマスク（Ｓ）を挟んで前記印刷ヘッド（４）と半田ペースト（Ｐ）を前記印刷ヘッドに供給するペースト供給機構（７）とが配置され、かつ前記スクリーンマスク（Ｓ）には前記ペースト供給機構（７）の供給口（７１ａ）に対応する位置に貫通孔（Ｓ₂）が形成されていて、
   半田ペースト供給時に、前記印刷ヘッド（４）を前記スクリーンマスク（Ｓ）の前記貫通孔（Ｓ₂）の位置に移動し、前記ペースト供給機構（７）の前記供給口（７１ａ）から前記貫通孔（Ｓ₂）を介して前記印刷ヘッド（４）のノズル（４２）先端から半田ペースト（Ｐ）を前記印刷ヘッド（４）に供給することを特徴とするスクリーン印刷方法。
7. 更に、洗浄ペーパ（８１）とペーパ送りローラ（８２）とからなる洗浄機構（８）が、前記スクリーンマスク（Ｓ）の下面に設けられると共に、前記洗浄機構（８）と対応する位置にある前記スクリーンマスク（Ｓ）には、貫通した開口（Ｓ₃）が形成されていて、
   前記印刷ヘッドの前記ノズル（４２）を前記洗浄ペーパ（８１）に密着させて、前記印刷ヘッド（４）の加圧ピストン（４４）を加圧することにより、前記ノズル（４２）内部の廃棄ペーストを廃棄することを特徴とする請求項６に記載のスクリーン印刷方法。

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