JP2007535169A - 処理チャンバを乾式洗浄する方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
Description
cleaning)に関する終点の検出結果を示す。横座標は時間(秒)を表し、縦座標は終点信号(すなわち、COに関する発光に比例する信号の傾きの絶対値)を表す。終点時間は基板ロットのサイズと共に増加することが理解されよう。例えば、ポスト・トレンチ・エッチング乾式洗浄時には、基板ロットが12個の基板から24個の基板に増加するとき、終点は約125秒から210秒に増加する。
Claims (20)
- プラズマ処理システムを乾式洗浄する方法であって、
前記プラズマ処理システムの前記乾式洗浄時に微粒子汚染を実質的に低減するための乾式洗浄処理レシピを含み、前記乾式洗浄処理レシピは、処理ガスの質量流量、前記乾式洗浄処理のための圧力、および前記処理ガスからプラズマを形成するための電力の少なくとも1つを設定するステップを含んでおり、さらに、
前記乾式洗浄を容易にするために前記乾式洗浄処理レシピを前記プラズマ処理システムで実行するステップを含む方法。 - 前記プラズマ処理システムにおける乾式洗浄率のばらつきを実質的に低減するための乾式処理レシピを選択するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記乾式洗浄処理の終点の検出に続いて前記乾式洗浄処理を終了するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記乾式洗浄処理の終点の検出を過ぎて延長する超過洗浄時間に続いて前記乾式洗浄処理を終了するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記終点の前記検出に続いて前記乾式洗浄処理を前記終了するステップは、発光分光法を使用するステップを含む、請求項3に記載の方法。
- 前記圧力を前記設定するステップは、前記圧力を100ミリトールよりも低いかまたは等しい値に設定するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記処理ガスの前記質量流量を前記設定するステップは、酸素(O2)の質量流量を設定するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記乾式洗浄処理レシピを前記選択するステップは、実験計画法を実施するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記乾式洗浄処理レシピを前記選択するステップは、0.5ミクロンおよびそれよりも大きい微粒子を実質的に低減するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 0.5ミクロンおよびそれよりも大きい微粒子を前記実質的に低減するステップは、前記微粒子の数を基板1個当たり10個よりも少ないかまたは等しい微粒子に低減するステップを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記プラズマ処理システムにおける微粒子濃度を監視するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記微粒子濃度にしたがって前記処理レシピを調整するステップをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記微粒子濃度を前記監視するステップは、レーザ光波散乱計測法を使用するステップを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記プラズマ処理システムにおいて洗浄率の均一性を監視するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記洗浄率の均一性にしたがって前記処理レシピを調整するステップをさらに含む、請求項14に記載の方法。
- 基板を処理するためのプラズマ処理システムであって、
処理チャンバと、
前記処理チャンバに結合され、かつ前記基板を支持するように構成された基板保持器と、
前記処理チャンバに結合され、かつ洗浄ガスを導入するように構成されたガス注入システムと、
前記処理チャンバに結合され、かつ前記洗浄ガスからプラズマを形成するように構成されたプラズマ源と、
前記処理チャンバに結合され、かつ前記処理システムを定期的に乾式洗浄するための処理レシピを実行するように構成された制御装置と、を含み、
前記処理レシピは前記乾式洗浄時に微粒子形成を実質的に最小化する、プラズマ処理システム。 - 前記プラズマ処理システムは、前記処理チャンバに結合された診断システムをさらに備え、前記制御装置は、前記プラズマ処理システムからの発光の監視、前記プラズマ処理システムにおける微粒子濃度の監視、および前記プラズマ処理システムの内側表面上の膜厚の監視の少なくとも1つを実施するように構成される、請求項16に記載のプラズマ処理システム。
- プラズマ処理システムにおける乾式洗浄処理を最適化する方法であって、
前記プラズマ処理システムで、酸素を含有する処理ガスを導入するステップ、前記プラズマ処理システム中の圧力を設定するステップ、および前記処理ガスからのプラズマを点火するステップを含む乾式洗浄処理を実施するステップと
第1の洗浄率を第1の箇所で求めるステップと、
第2の洗浄率を第2の箇所で求めるステップと、
前記第1の洗浄率と前記第2の洗浄率との間の差を最小化するために前記乾式洗浄処理を調整するステップと、を含む方法。 - 前記第1の洗浄率および前記第2の洗浄率を前記求めるステップは、前記乾式洗浄処理を実施する前に第1のテスト試料を前記第1の箇所に布置するステップと、前記乾式洗浄処理を実施する前に第2のテスト試料を前記第2の箇所に布置するステップと、前記乾式洗浄処理に続いて前記第1のテスト試料を除去するステップと、前記第1のテスト試料上の膜厚を測定するステップと、前記乾式洗浄処理に続いて前記第2のテスト試料を除去するステップと、前記第2のテスト試料上の膜厚を測定するステップとを含む、請求項18に記載の方法。
- 前記第1の洗浄率および前記第2の洗浄率を前記求めるステップは、イン・サイチューの薄膜干渉計を利用するステップを含む、請求項18に記載の方法。
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