JP2007532865A - 圧力センサのための腐食保護 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、マイクロマシニング圧力センサ若しくはケーシング内のセンサ素子を不動態化剤によって被覆する、マイクロマシニング圧力センサの製作法から出発する。
本発明は、ケーシングと、少なくとも1つの電気的な構成部材とを備えた装置を説明するものである。ケーシングは少なくとも1つの電気的な構成部材を有しており且つ少なくとも部分的に不動態化剤を充填されている。更に、電気的な構成部材が少なくとも部分的に不動態化剤によって被覆されているということが規定されている。本発明の核心は、不動態化剤に付加的な材料層を付与するという点にある。この付加的な材料層により、環境破壊に対して耐性を有する装置の簡単且つ廉価な構成が実現され得る。つまり、腐食性の周辺環境における電気的な構成部材の使用が可能になる。
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
Claims (17)
- ケーシング(250,350,355,450)と、少なくとも1つの電気的な構成部材(110,120,130,400,420,430)とを備えた装置であって、ケーシング(250,350,355,450)が、少なくとも1つの電気的な構成部材(110,120,130,400,420,430)を有しており且つ少なくとも部分的に不動態化剤(140)によって満たされており、電気的な構成部材(110,120,130,400,420,430)が、少なくとも部分的に不動態化剤(140)によって被覆されている形式のものにおいて、
ケーシング(250,350,355,450)内の不動態化剤(140)中若しくは不動態化剤(140)上に、付加的な材料層(200,300,460)が付与されていることを特徴とする、圧力センサのための腐食保護装置。 - 電気的な構成部材(110,120,130,400,420,430)が、マイクロマシニングセンサ素子(110,120,400)を有しており、該マイクロマシニングセンサ素子(110,120,400)によって、当該装置及び/又はマイクロマシニングセンサ素子(110,120,400)を包囲する少なくとも1つの媒体の圧力値及び/又は温度値及び/又は空気質量及び/又は抵抗値及び/又は濃度が検出される、請求項1記載の装置。
- 電気的な構成部材(110,120,400)が、少なくとも1つの腐食に敏感な領域、特に例えばボンディングパッド及び/又はボンディングワイヤ(130,430)等の接触接続面又は接触接続部材を有しており、この腐食に敏感な領域が不動態化剤(140)によって被覆されている、請求項1記載の装置。
- 前記材料層(200,300,460)が、不動態化剤(140)を周辺環境媒体から隔離し且つ/又は不動態化剤(140)内での周辺環境媒体の浸透速度を低下させ且つ/又は周辺環境媒体の腐食成分を、相応の化学反応によって無害にし、当該材料層(200,300,460)が耐腐食性及び/又は水分非透過性の材料を有している、請求項1記載の装置。
- 材料層(200,300,460)が薄膜層として形成されており、該薄膜層が波形の表面構造を有している、請求項1記載の装置。
- 不動態化剤(140)がゲル、特にフルオロシリコーンゲルを有しており且つ/又は材料層(200,300,460)の材料がテフロン又はパリレンを有している、請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。
- 不動態化剤(140)及び材料層(200,300,460)の材料が、それぞれ概ね等しい温度膨張係数及び/又は光学的な屈折率を有している、請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。
- ケーシング(250,350,355,450)が、ケーシング壁(250,350,450)を備えたケーシング下側部分を有しており、該ケーシング下側部分が、ケーシング壁の構成高さまで不動態化剤(140)によって満たされている、請求項1から7までのいずれか1項記載の装置。
- ケーシング(250,350,355)が、ケーシングカバー(355)を備えたケーシング上側部分を有しており、ケーシングカバー(355)が、開口(370)を有しており且つ材料層(300)を不動態化剤(140)において位置固定する、請求項1から8までのいずれか1項記載の装置。
- 電気的な接触接続面及び/又は電気的な接触接続部材が、規定可能な少なくとも1つの層厚さの不動態化剤(140)によって被覆されており、少なくとも1つのボンディングパッド及び/又はボンディングワイヤ(130,430)を被覆する不動態化剤(140)が0.2mm以上の層厚さを有している、請求項3記載の装置。
- 不動態化剤における周辺環境媒体の浸透速度若しくは該媒体の部分物質の浸透速度を低下させることに適した材料層(200,300,460)の材料が、少なくとも1つの雲母薄片を有しているか、又は材料成分としてヒドロタルサイト又は水酸化マグネシウム又は水酸化アルミニウム又はヒドロマグネサイト/ハンタイトを有している、請求項4記載の装置。
- 前記媒体の腐食成分を適当な反応によって無害にすることに適した材料層(200,300,460)の材料が、少なくともアミノ官能化されたシロキサン、又はシラザン、又はアミノ末端基を有する高粘度のシリコーン油、又はモノアルキルアミン、ジアルキルアミン又はトリアルキルアミン、又はヒドロタルサイト、又は水酸化マグネシウム、又は水酸化アルミニウム、又はヒドロマグネサイト/ハンタイト、又はポリ(1.1ジメチルシラザン)、又はポリアミン、又はポリアミドを有しており、前記シロキサン、ポリ(1.1ジメチルシラザン)、ポリアミン又はポリアミドが材料層内で繊維形状を有している、請求項4記載の装置。
- 材料層(200,300,460)の材料が、不動態化剤中の28〜50重量%の充填材濃度を有しており、特に28〜40重量%の充填材濃度が規定されている、請求項11又は12記載の装置。
- 当該装置が、周辺環境媒体の圧力又は2つの周辺環境媒体の差圧を表す圧力値を検出するためのマイクロマシニング圧力センサ、ホットエアマスセンサ又は発電機制御装置である、請求項1から13までのいずれか1項記載の装置。
- ケーシング(250,350,355,450)に少なくとも1つの電気的な構成部材(110,120,130,400,420,430)を設け且つ少なくとも部分的に不動態化剤(140)を充填し、電気的な構成部材(110,120,130,400,420,430)を少なくとも部分的に不動態化剤(140)によって被覆する方法において、
ケーシング(250,350,355,450)内の不動態化剤(140)中若しくは不動態化剤(140)上に、付加的な材料層(200,300,460)を付与することを特徴とする、ケーシング(250,350,355,450)と少なくとも1つの電気的な構成部材(110,120,130,400,420,430)とを備えた,請求項1から14までのいずれか1項記載の装置の製作法。 - ケーシング(250,350,355,450)に不動態化剤(140)を充填する前に、電子構成部材(110,120,400)に少なくとも1つの電気的な接触接続面及び/又は電気的な接触接続部材を形成し、この接触接続面及び/又は接触接続部材にボンディングパッド及び/又はボンディングワイヤ(130,430)を備え且つ/又は当該接触接続面及び/又は接触接続部材を不動態化剤(140)によって被覆する、請求項15記載の方法。
- 電気的な接触接続面及び/又は接触接続部材を、規定可能な少なくとも1つの層厚さの不動態化剤(140)によって被覆し、少なくとも1つのボンディングパッド及び/又はボンディングワイヤ(130,430)を覆う不動態化剤(140)に0.2mm以上の層厚さを付与する、請求項16記載の方法。
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US4686764A (en) * | 1986-04-22 | 1987-08-18 | Motorola, Inc. | Membrane protected pressure sensor |
US4993265A (en) * | 1988-03-03 | 1991-02-19 | The Foxboro Company | Protected pressure sensor and method of making |
FR2686692B1 (fr) * | 1992-01-28 | 1996-08-23 | Jaeger | Capteur de pression a base de semi-conducteur et procede de fabrication. |
US5461922A (en) * | 1993-07-27 | 1995-10-31 | Lucas-Novasensor | Pressure sensor isolated within housing having integral diaphragm and method of making same |
US5889211A (en) * | 1995-04-03 | 1999-03-30 | Motorola, Inc. | Media compatible microsensor structure and methods of manufacturing and using the same |
FR2764113B1 (fr) * | 1997-05-28 | 2000-08-04 | Motorola Semiconducteurs | Dispositif capteur et son procede de fabrication |
WO2001026136A2 (en) * | 1999-10-05 | 2001-04-12 | Delta Danish Electronics, Light & Acoustics | Encapsulation for a three-dimensional microsystem |
US6584853B2 (en) * | 2001-10-12 | 2003-07-01 | Kavlico Corporation | Corrosion-proof pressure transducer |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11193802B2 (en) | 2016-06-14 | 2021-12-07 | Robert Bosch Gmbh | Sensor arrangement |
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