JP2005505764A - 防食圧力変換器 - Google Patents
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Abstract
半導体ダイヤフラムと、エレクトロニクスと、リード線(48)がソニック結合された導電パッド(46)とを備えたチップ(42)を有する、排気ガス圧力を測定するための防食圧力変換器である。内燃機関の排気ガスによる変換器の劣化を防止するべく、チップは、薄いガラス・パッシベーション層と、真空蒸着重合体コーティングと、真空蒸着重合体コーティングの上にゲル層とを備えている。
Description
【技術分野】
【0001】
本発明は、高振動及び腐食性流体を始めとする不利な条件下で使用するための超高信頼圧力センサ・アセンブリに関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、米国特許第5,935,189号に開示されているように、圧力センサを使用して内燃機関の排気圧力を感知することができる。内燃機関の排気ガスには、水分及び極めて腐食性の強いガスが含まれている。表面に極めて薄いガラス・パッシベーション層を備えた半導体圧力センサの使用が予てより提案されている。また、ゲルを使用してさらに腐食が防止されている。これについては、米国特許出願第09/204,326号を参照されたい。しかしながら、以下で考察するように、これらのセンサは、ゲルが追加されている場合であっても、あるいは追加されていない場合であっても、いずれにせよガラス・コーティングにもかかわらず腐食劣化を余儀なくされている。
【0003】
ついでながら、センサ自体は、すべて本発明の譲受人に譲渡された、米国特許第5,929,498号及び第5,578,843号に開示されており、また、2000年11月2日出願の米国特許出願第09/704,376号(事件要領書410005−144)に開示されている。これらの従来技術の特許及び特許出願の明細書及び図面は、参照により本明細書に組み込まれている。また、電子半導体チップ・アセンブリを保護するべく、真空蒸着重合体コーティングが既に使用されていることに留意されたい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の一態様によれば、自動車排気ガスの不利な環境においては、ガラス・パッシベーション及びゲルによる保護の下であっても、半導体圧力変換器は、ゲルを通して侵入する水分による重大な劣化を常に余儀なくされることが分かっている。より詳細には、チップ上の導電パッドに鉛がソニック結合すると、微小クラックが形成され、それにより腐食性ガス及び水分が浸入することになる。また、ピン・ホール開口が薄いガラス層中に存在することになる。
【0005】
この問題を解決するべく、ガラス層及びゲルに加えて、さらに真空蒸着重合体コーティングを追加することにより、有効な追加防食保護が得られることが確認されている。したがって、導電ワイヤ・ボンディング・パッド及びソニック溶接されたリード線を備え、かつ、ガラス・パッシベーションで覆われた基板上に実装された半導体圧力ダイヤフラム及び関連するエレクトロニクス、追加ゲル、及び半導体素子及びリード・ボンディング領域の完全な保護を保証するための気相成長重合体コーティングを使用することにより、内燃機関の不利な振動及び腐食性の強い環境で使用するための、敏感で、かつ、信頼性の高い防食圧力センサ・システムを実現することができる。薄いガラス層によって半導体材料の酸化が防止され、真空成形重合体層が蒸着され、最後にゲル層によってサブアセンブリが覆われることが好ましい。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の特徴によれば、防食圧力変換器システムは、半導体ダイヤフラムであることが好ましいダイヤフラム及び導電パッドを備えた可変コンデンサを有するチップを備えた圧力変換器を、可変コンデンサ及びパッドに結合された追加電子回路と共に有している。チップは、ガラス・パッシベーション、パッドにソニック結合されたワイヤ、パッドを備えたチップを覆っている真空蒸着重合体コーティング、ワイヤ接続及びリード線を有している。また、重合体コーティングを蒸着する前又は蒸着した後にチップを覆うべく、ゲルが任意選択で提供されている。
【0007】
要約すると、一般的には、圧力センサの腐食劣化を防止するためには、ガラス・パッシベーション層及びゲル層が適切であることが期待されるが、(1)ワイヤ・ボンディングによって生成されるクラック、(2)自動車排気システムに存在する振動、及び(3)極めて腐食性の強い排気ガス及び水分のため、長寿命で信頼性が高く、かつ、信頼し得る圧力センサを提供するためには、上で概説したように、さらなる保護が望ましいことが確認されている。
【0008】
本発明の他の目的、特徴及び利点については、以下の詳細な説明及び添付の図面を考察することによって明らかになるであろう。
【実施例】
【0009】
図面をより詳細に参照すると、図1に、二重排気管14及び16を備え、かつ、排気管14及び16の圧力を感知するべく取り付けられた容量性センサ18及び20を備えた内燃機関12が示されている。排気管14及び16は、継ぎ合わされ、かつ、当然のことではあるが自動車に取り付けることができるシステムから最終排気へのルート上の接触コンバータ22に導かれている。
【0010】
次に図2を参照すると、この図は、本発明の譲受人に譲渡された、1999年7月27日に承認された米国特許第5,929,498号の図7と同じである。図2では、ダイヤフラム32に可変圧力が印加され、その可変圧力に応じてダイヤフラム32が内側に、半導体構造36中の空洞34に向かって撓んでいる。このダイヤフラム32の撓みにより、図2に示す半導体ユニットの電気状態が変化し、ダイヤフラム32に印加される圧力の変化に対応した出力信号が提供される。図2に示すアセンブリのさらに詳細な動作モードについては、上で言及した米国特許第5,929,498号を参照されたい。
【0011】
図3は、図2に示すダイヤフラム32を備えた電子チップ42を示したもので、この実施例では、ダイヤフラム32は円で示されている。その近傍の小さい方の円44は、コンデンサを示している。チップ42上には多数の追加半導体素子が実装され、また、図に示す導電パッド46には、リード線48がソニック結合されている。リード線48は、チップ42上の電子素子に電力を提供し、また、チップからの出力に、ダイヤフラム32に印加される圧力の変化に対応した信号を提供している。
【0012】
図4は、導電パッド46にソニック結合されたリード線48を拡大図で示したものである。リード線48を導電パッド46にソニック結合している間、ソニック結合工程によって導電パッド46にクラック及び開口50が生じることに留意されたい。クラックが生成されると、その領域は、開口50に侵入する有害ガス及び有害ガスに結合した水分又は水蒸気に起因する腐食による化学損傷を受けやすくなる。図3に示す多数の導電パッド46上でこれが繰り返されると、圧力センサの機能が常に大きく劣化することになる。
【0013】
次に図5を参照すると、ダイヤフラム66を有するチップ64を備えた圧力センサ・アセンブリ62が略図で示されている。矢印68で示す圧力が印加されるとダイヤフラム66が撓み、印加された圧力の指示が、例えば図3に示すリード線48に図式的に対応しているリード線70を介して伝送される。チップ64の上部能動表面は、極めて薄いガラス・パッシベーション層で覆われている。このガラス・パッシベーション層は非常に薄く、したがってチップ64の上部表面すなわち境界を示す上部の線によって基本的に示されている。チップ64上のパッドへのリード線70のソニック結合に続いて、真空成形重合体コーティング72がチップ64及び導電リード線70に塗布されている。ダイヤフラム66に印加される、矢印68で示す圧力を伝導すなわち伝達するゲル層74が、チップ64の上部表面を覆っている。図に示すように、このゲル層74を重合体誘電材料でできた任意選択の真空成形コーティングの追加層76が覆っている。
【0014】
図5に示すアセンブリの場合、2つの真空蒸着重合体誘電コーティング層72及び76を提供することができ、あるいはそれらのうちのいずれか一方のみを使用することができる。この真空蒸着重合体誘電コーティングには、Speedline Coating Systems(4435 East Airport Drive、Suite 100、Ontario、California、91761−8157)が市販している、Parylene(商標)で知られている製品を使用することができる。
【0015】
以上、本発明による好ましい実施例を、前記詳細説明及び添付の図面を参照して開示したが、本発明の精神及び範囲を逸脱することなく、様々な変更及び改変を加えることが可能である。したがって、何ら制限されることのない実施例では、指示されているように参照数表示72及びリード線70上にのみ真空蒸着コーティングを適用し、追加コーティング76は省略することができる。別法としては、真空蒸着コーティング72を省略してコーティング76を適用することができ、あるいは両方のコーティングを使用することも可能である。また、上で識別した特定の真空成形コーティングの代わりに、薄い統合コーティングを形成する他のコーティングを使用することも可能である。さらに、図2に示すような特定の容量性半導体ダイヤフラム・アセンブリの代わりに、フレキシブル・ダイヤフラムを使用した他の圧力センサを使用することも可能である。したがって、本発明は、上で詳細に説明し、かつ、図面で示した通りの実施例に何ら制限されることはない。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】内燃機関の排気システムに結合された圧力変換器を備えたエンジンを示す図である。
【図2】半導体圧力感応ダイヤフラムを示す図である。
【図3】セラミック基板及びその上に半導体素子を備えたチップであって、半導体素子が、チップ上の導電パッドに結合されたワイヤを備えたチップを示す図である。
【図4】電子チップ上のパッドにソニック結合されたリード線を示す拡大図である。
【図5】ガラス・パッシベーション、真空蒸着重合体コーティング及びゲルで保護された半導体ダイヤフラムを備えたチップを示す図である。
【0001】
本発明は、高振動及び腐食性流体を始めとする不利な条件下で使用するための超高信頼圧力センサ・アセンブリに関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、米国特許第5,935,189号に開示されているように、圧力センサを使用して内燃機関の排気圧力を感知することができる。内燃機関の排気ガスには、水分及び極めて腐食性の強いガスが含まれている。表面に極めて薄いガラス・パッシベーション層を備えた半導体圧力センサの使用が予てより提案されている。また、ゲルを使用してさらに腐食が防止されている。これについては、米国特許出願第09/204,326号を参照されたい。しかしながら、以下で考察するように、これらのセンサは、ゲルが追加されている場合であっても、あるいは追加されていない場合であっても、いずれにせよガラス・コーティングにもかかわらず腐食劣化を余儀なくされている。
【0003】
ついでながら、センサ自体は、すべて本発明の譲受人に譲渡された、米国特許第5,929,498号及び第5,578,843号に開示されており、また、2000年11月2日出願の米国特許出願第09/704,376号(事件要領書410005−144)に開示されている。これらの従来技術の特許及び特許出願の明細書及び図面は、参照により本明細書に組み込まれている。また、電子半導体チップ・アセンブリを保護するべく、真空蒸着重合体コーティングが既に使用されていることに留意されたい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の一態様によれば、自動車排気ガスの不利な環境においては、ガラス・パッシベーション及びゲルによる保護の下であっても、半導体圧力変換器は、ゲルを通して侵入する水分による重大な劣化を常に余儀なくされることが分かっている。より詳細には、チップ上の導電パッドに鉛がソニック結合すると、微小クラックが形成され、それにより腐食性ガス及び水分が浸入することになる。また、ピン・ホール開口が薄いガラス層中に存在することになる。
【0005】
この問題を解決するべく、ガラス層及びゲルに加えて、さらに真空蒸着重合体コーティングを追加することにより、有効な追加防食保護が得られることが確認されている。したがって、導電ワイヤ・ボンディング・パッド及びソニック溶接されたリード線を備え、かつ、ガラス・パッシベーションで覆われた基板上に実装された半導体圧力ダイヤフラム及び関連するエレクトロニクス、追加ゲル、及び半導体素子及びリード・ボンディング領域の完全な保護を保証するための気相成長重合体コーティングを使用することにより、内燃機関の不利な振動及び腐食性の強い環境で使用するための、敏感で、かつ、信頼性の高い防食圧力センサ・システムを実現することができる。薄いガラス層によって半導体材料の酸化が防止され、真空成形重合体層が蒸着され、最後にゲル層によってサブアセンブリが覆われることが好ましい。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の特徴によれば、防食圧力変換器システムは、半導体ダイヤフラムであることが好ましいダイヤフラム及び導電パッドを備えた可変コンデンサを有するチップを備えた圧力変換器を、可変コンデンサ及びパッドに結合された追加電子回路と共に有している。チップは、ガラス・パッシベーション、パッドにソニック結合されたワイヤ、パッドを備えたチップを覆っている真空蒸着重合体コーティング、ワイヤ接続及びリード線を有している。また、重合体コーティングを蒸着する前又は蒸着した後にチップを覆うべく、ゲルが任意選択で提供されている。
【0007】
要約すると、一般的には、圧力センサの腐食劣化を防止するためには、ガラス・パッシベーション層及びゲル層が適切であることが期待されるが、(1)ワイヤ・ボンディングによって生成されるクラック、(2)自動車排気システムに存在する振動、及び(3)極めて腐食性の強い排気ガス及び水分のため、長寿命で信頼性が高く、かつ、信頼し得る圧力センサを提供するためには、上で概説したように、さらなる保護が望ましいことが確認されている。
【0008】
本発明の他の目的、特徴及び利点については、以下の詳細な説明及び添付の図面を考察することによって明らかになるであろう。
【実施例】
【0009】
図面をより詳細に参照すると、図1に、二重排気管14及び16を備え、かつ、排気管14及び16の圧力を感知するべく取り付けられた容量性センサ18及び20を備えた内燃機関12が示されている。排気管14及び16は、継ぎ合わされ、かつ、当然のことではあるが自動車に取り付けることができるシステムから最終排気へのルート上の接触コンバータ22に導かれている。
【0010】
次に図2を参照すると、この図は、本発明の譲受人に譲渡された、1999年7月27日に承認された米国特許第5,929,498号の図7と同じである。図2では、ダイヤフラム32に可変圧力が印加され、その可変圧力に応じてダイヤフラム32が内側に、半導体構造36中の空洞34に向かって撓んでいる。このダイヤフラム32の撓みにより、図2に示す半導体ユニットの電気状態が変化し、ダイヤフラム32に印加される圧力の変化に対応した出力信号が提供される。図2に示すアセンブリのさらに詳細な動作モードについては、上で言及した米国特許第5,929,498号を参照されたい。
【0011】
図3は、図2に示すダイヤフラム32を備えた電子チップ42を示したもので、この実施例では、ダイヤフラム32は円で示されている。その近傍の小さい方の円44は、コンデンサを示している。チップ42上には多数の追加半導体素子が実装され、また、図に示す導電パッド46には、リード線48がソニック結合されている。リード線48は、チップ42上の電子素子に電力を提供し、また、チップからの出力に、ダイヤフラム32に印加される圧力の変化に対応した信号を提供している。
【0012】
図4は、導電パッド46にソニック結合されたリード線48を拡大図で示したものである。リード線48を導電パッド46にソニック結合している間、ソニック結合工程によって導電パッド46にクラック及び開口50が生じることに留意されたい。クラックが生成されると、その領域は、開口50に侵入する有害ガス及び有害ガスに結合した水分又は水蒸気に起因する腐食による化学損傷を受けやすくなる。図3に示す多数の導電パッド46上でこれが繰り返されると、圧力センサの機能が常に大きく劣化することになる。
【0013】
次に図5を参照すると、ダイヤフラム66を有するチップ64を備えた圧力センサ・アセンブリ62が略図で示されている。矢印68で示す圧力が印加されるとダイヤフラム66が撓み、印加された圧力の指示が、例えば図3に示すリード線48に図式的に対応しているリード線70を介して伝送される。チップ64の上部能動表面は、極めて薄いガラス・パッシベーション層で覆われている。このガラス・パッシベーション層は非常に薄く、したがってチップ64の上部表面すなわち境界を示す上部の線によって基本的に示されている。チップ64上のパッドへのリード線70のソニック結合に続いて、真空成形重合体コーティング72がチップ64及び導電リード線70に塗布されている。ダイヤフラム66に印加される、矢印68で示す圧力を伝導すなわち伝達するゲル層74が、チップ64の上部表面を覆っている。図に示すように、このゲル層74を重合体誘電材料でできた任意選択の真空成形コーティングの追加層76が覆っている。
【0014】
図5に示すアセンブリの場合、2つの真空蒸着重合体誘電コーティング層72及び76を提供することができ、あるいはそれらのうちのいずれか一方のみを使用することができる。この真空蒸着重合体誘電コーティングには、Speedline Coating Systems(4435 East Airport Drive、Suite 100、Ontario、California、91761−8157)が市販している、Parylene(商標)で知られている製品を使用することができる。
【0015】
以上、本発明による好ましい実施例を、前記詳細説明及び添付の図面を参照して開示したが、本発明の精神及び範囲を逸脱することなく、様々な変更及び改変を加えることが可能である。したがって、何ら制限されることのない実施例では、指示されているように参照数表示72及びリード線70上にのみ真空蒸着コーティングを適用し、追加コーティング76は省略することができる。別法としては、真空蒸着コーティング72を省略してコーティング76を適用することができ、あるいは両方のコーティングを使用することも可能である。また、上で識別した特定の真空成形コーティングの代わりに、薄い統合コーティングを形成する他のコーティングを使用することも可能である。さらに、図2に示すような特定の容量性半導体ダイヤフラム・アセンブリの代わりに、フレキシブル・ダイヤフラムを使用した他の圧力センサを使用することも可能である。したがって、本発明は、上で詳細に説明し、かつ、図面で示した通りの実施例に何ら制限されることはない。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】内燃機関の排気システムに結合された圧力変換器を備えたエンジンを示す図である。
【図2】半導体圧力感応ダイヤフラムを示す図である。
【図3】セラミック基板及びその上に半導体素子を備えたチップであって、半導体素子が、チップ上の導電パッドに結合されたワイヤを備えたチップを示す図である。
【図4】電子チップ上のパッドにソニック結合されたリード線を示す拡大図である。
【図5】ガラス・パッシベーション、真空蒸着重合体コーティング及びゲルで保護された半導体ダイヤフラムを備えたチップを示す図である。
Claims (13)
- 防食圧力変換器システムであって、
排気システムを有する自動車と、
前記排気システムの圧力を感知するべく取り付けられた、半導体ダイヤフラム及び導電パッドを有するチップを備えた圧力変換器と、
ダイヤフラム及び前記導電パッドに結合された前記チップ上に実装された電気回路と、
前記導電パッドにソニック結合されたワイヤであって、前記チップがその上にガラス・パッシベーション・コーティングを有し、前記ガラス・パッシベーション・コーティングが、前記チップの上部表面及び前記チップ上の前記回路と密に接触したワイヤと、
前記ガラス・コーティングが施された、前記導電パッドを備えたチップを覆い、かつ、その前記上部表面を密閉している真空蒸着重合体誘電コーティングと、
前記チップを覆っているゲル材料層とを備え、前記ガラス・コーティング中の可能ピンホールあるいは前記導電パッド中の可能クラックが、前記排気システムの腐食性排気ガスに対して密閉される防食圧力変換器システム。 - 前記ゲル材料が前記チップ及び前記重合体コーティングを覆っている、請求項1に記載のシステム。
- 他の真空成形重合体コーティングが前記ゲル材料層を覆っている、請求項1に記載のシステム。
- 防食圧力変換器システムであって、
排気システムを有する自動車と、
前記排気システムの圧力を感知するべく取り付けられた、半導体ダイヤフラム及び導電パッドを有するチップを備えた圧力変換器と、
前記導電パッドにソニック結合されたワイヤであって、前記チップがその上にガラス・パッシベーション・コーティングを有し、前記ガラス・パッシベーション・コーティングが、前記チップの上部表面及び前記チップ上の回路と密に接触したワイヤと、
前記ガラス・コーティングが施された、前記導電パッドを備えたチップを覆い、かつ、その前記上部表面を密閉しているシーリング誘電コーティングとを備え、前記ガラス・コーティング中の可能ピンホールあるいは前記導電パッド中の可能クラックが、前記排気システムの腐食性排気ガスに対して密閉される防食圧力変換器システム。 - 前記チップを覆うゲル材料をさらに備えた、請求項4に記載のシステム。
- 前記チップ上に実装された電子素子をさらに備えた、請求項4に記載のシステム。
- 防食圧力変換器システムであって、
半導体ダイヤフラム及び導電パッドを有するチップを備えた圧力変換器と、
前記チップを覆っているゲル材料と、
前記導電パッドにソニック結合されたワイヤであって、前記チップがその上にガラス・パッシベーション・コーティングを有し、前記ガラス・パッシベーション・コーティングが、前記チップの上部表面及び前記チップ上の回路と密に接触したワイヤと、
前記ガラス・コーティングが施された、前記導電パッドを備えたチップを覆い、かつ、その前記上部表面を密閉している真空蒸着重合体誘電コーティングとを備え、前記ガラス・コーティング中の可能ピンホールあるいは前記導電パッド中の可能クラックが、不利な環境条件に対して密閉される防食圧力変換器システム。 - 防食圧力変換器システムであって、
フレキシブル・ダイヤフラム及び導電パッドを有するチップを備えた圧力変換器と、
ダイヤフラム及び前記導電パッドに結合された前記チップ上に実装された電気回路と、
前記導電パッドに結合されたワイヤと、
前記導電パッドを備えた前記チップを覆い、かつ、その上部表面を密閉しているシーリング重合体誘電コーティングと、
前記チップを覆っている追加保護層とを備え、前記チップが不利な環境条件に対して密閉される防食圧力変換器システム。 - ゲル材料が前記チップ及び前記重合体コーティングを覆っている、請求項8に記載のシステム。
- 真空成形重合体コーティングがゲル材料層を覆っている、請求項8に記載のシステム。
- 前記チップが極めて薄いガラス・パッシベーション・コーティングでコーティングされ、前記ガラス・パッシベーション・コーティングが、前記チップの前記上部表面及び前記チップ上の前記回路と密に接触している、請求項8に記載のシステム。
- 前記システムが前記チップを覆うゲル層を備えた、請求項8に記載のシステム。
- 前記ダイヤフラムが半導体材料で形成された、請求項8に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/977,931 US6584853B2 (en) | 2001-10-12 | 2001-10-12 | Corrosion-proof pressure transducer |
PCT/US2002/032551 WO2003031687A2 (en) | 2001-10-12 | 2002-10-11 | Corrosion-proof pressure transducer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005505764A true JP2005505764A (ja) | 2005-02-24 |
Family
ID=25525659
Family Applications (1)
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