JP2007523485A - マイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ - Google Patents

Abstract

マイクロリソグラフィ投射露光システムの投射レンズは、複数の光学要素（１５、１６、１８、２０、Ｌ１〜Ｌ４）を備える。選択された光学要素（２０）、たとえば、ミラーは、アクチュエータ（３０、１３０、３３０、４３０、５３０）によって生成される機械的力を加えることによって変形する。マニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、１２６ａ、１２６ｂ、２２６ａ、２２６ｂ、３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ、４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ、５２６ｂ）を使用して、光学要素、特に、変形された光学要素（２０）の１つの空間位置が、アクチュエータ（３０；１３０、３３０、４３０、５３０）によって加えられる力に応じて変えられる。これによって、取り付けユニット（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、１２２ａ、１２２ｂ、２２２ａ、２２２ｂ）の相互作用とアクチュエータ（３０、１３０、３３０、４３０、５３０）によって生成される力によって起こる、傾斜動きまたは位置の他の変化が、少なくとも部分的に相殺される。

Description

本発明は、大規模集積化電気回路や他の微細構造化部品の生産に使用される装置などのマイクロリソグラフィ投射露光装置用の投射対物レンズに関する。本発明は、特に、少なくとも１つの光学要素を、アクチュエータを使用して変形することができる投射対物レンズに関する。本発明は、さらに、こうした投射対物レンズの光学特性を補正する方法に関する。

マイクロリソグラフィ投射露光装置における投射対物レンズの目的は、マスクに含まれる構造の縮小イメージを、支持体上に塗布された感光性層上に投射することである。結像される構造のサイズが小さいために、投射対物レンズの結像特性には、非常に厳しい要求が課される。

出願人の名義のＵＳ ６ ３８８ ８２３は、力を、アクチュエータを使用して光学要素に加えることができ、力が、光学要素の円周の周りに分配される投射対物レンズを開示する。これらの力によって、たとえば、レンズまたはミラーなどの光学要素が曲がる。その曲がりは、光学要素の肉厚プロファイルに影響を及ぼさないか、または、少なくとも、実質的に影響を及ぼさない。特に、こうした曲がることのある光学要素によって、非点収差結像誤差を補正することができる。

しかし、曲がりが、所望の補正作用を伴うだけでなく、投射対物レンズの結像特性の望ましくない損傷もまた起こる可能性があることがわかっている。これは、イソスタティック(isostatic:均衡)に取り付けられる光学要素について特に当てはまる。イソスタティック取り付けは、光学要素が、円周に沿って１２０°だけずれた３つの取り付け点で単に保持されるという点が特徴である。

しかし、結像特性のこうした望ましくない損傷は、曲がるのではなく、従来技術でそれ自体知られているように、結像誤差を補正するためにその他の方法で変形する光学要素によって引き起こされる場合がある。

光学要素の故意の変形による、こうした望ましくない結像の損傷が、実質的に防止されるマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズを提供することが、本発明の目的である。

投射対物レンズの光学特性を補正する改良された方法を提供することも、本発明の目的である。

第１の目的は、投射対物レンズであって、複数の光学要素と、投射対物レンズの選択された光学要素を変形させることができる少なくとも１つのアクチュエータとを有する投射対物レンズによって達成される。本発明によれば、投射対物レンズは、光学要素のうちの１つの光学要素の空間位置が、好ましくは、それによって少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる力に応じて自動的に修正することができる少なくとも１つのマニピュレータを有する。

方法に関して、光学要素のうちの１つの光学要素の空間位置が、少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる力に応じて修正される、こうした投射対物レンズによって目的が達成される。

関連する光学要素が、特に、たとえば、イソスタティック取り付けに関してそうであるように、比較的少数の点でだけ取り付けられる時に、アクチュエータが、光学要素の変形だけでなく、空間位置の変化ももたらす力を誘起するという発見に基づく。位置変化のタイプは、特に、光学要素が保持される点とアクチュエータによって生成される力が光学要素に係合する場所によって決まる。たとえば、３つの取り付け点が、円周に沿って１２０°だけずれて設けられる光学要素のイソスタティック取り付けの場合、非点収差を補正するために光学要素がサドル方式で曲がる時に、光学要素の交軸を中心とする光学要素の傾斜が起こる。光学要素の取り付け点と光学要素に係合するアクチュエータの異なる集合の場合、位置変化は、対称軸に垂直な平面内での光学要素の併進変位となる。

しかし、変形による望ましくない位置変化は、光学要素が非常に多くの点で取り付けられる時でさえも起こる可能性がある。これが起こる理由は、一般に、作製公差や取り付けによって誘起される非対称性である。

本発明による少なくとも１つのマニピュレータを使用して、結像特性の損傷をもたらす光学要素の上述した位置変化を補償することが可能である。ほとんどの場合、単一マニピュレータはこの補償にとって十分ではなく、そのため、複数のマニピュレータが設けられ、光学要素に関するその作用が適切に調整されるべきである。

少なくとも１つのマニピュレータは、好ましくは、望ましくない位置変化が変形によって起こった、選択された光学要素に作用する。それでも、変形により、選択された光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、少なくとも１つのマニピュレータを使用して、変形した光学要素以外の光学要素を、傾斜させるか、変位させるか、または、その他の方法で位置を変化させることも可能である。

光学要素を変形させることができる少なくとも１つのアクチュエータと、位置変化を誘起する少なくとも１つのマニピュレータが共に、流体式に、すなわち、油圧または空気圧で作動することができる場合、少なくとも１つのアクチュエータと少なくとも１つのマニピュレータは、共に、同時に流体式に作動することができるように、流体圧力システムに接続されることが好ましい。特に、流体圧力システムは、システム内の異なる位置において同時に力を作用させる機会を提供する。圧力システムを適切に設計することによって、少なくとも１つのアクチュエータが作動する時に、少なくとも１つのマニピュレータが、それ自身のさらなる制御または調節を行うことなく、光学要素の所望の位置変化を与える要求される力を加えるように、少なくとも１つのマニピュレータによって自動位置変化を誘起することが可能である。

少なくとも１つのアクチュエータと少なくとも１つのマニピュレータの同時作動についての１つの可能性は、アクチュエータに印加される流体圧力の変化が、マニピュレータに印加される流体圧力の対応する変化をもたらすように、圧力システムを設計することにある。たとえば、これは、圧力システムにおいて、マニピュレータをアクチュエータに並列に接続することによって行われる。

本発明の特に好ましい構成では、圧力変動によって生じる変形を、伝送要素を介して少なくとも１つのマニピュレータに伝える弾性補償要素が、少なくとも１つのアクチュエータにつながる圧力ライン内に一体化される。マニピュレータは、こうして、圧力ライン内の流体圧力の変化によってではなく、補償要素に結合する伝送要素を介して機械的に作動する。たとえば、一種のベローズであってもよい弾性補償要素の目的は、選択された光学要素上に振動が伝達されないように、圧力システムの供給デバイスや投射対物レンズのハウジングからアクチュエータを分離することである。こうした補償要素の圧力変化は、変形、したがって、変位をもたらすため、少なくとも１つのマニピュレータを使用して、１つの光学要素の位置変化に使用することができる機械的力を、補償要素または補償要素に接続された圧力ラインから誘起させることができる。

補償要素から少なくとも１つのマニピュレータへの力のこうした伝達が行われない場合、圧力ライン内に複数の弾性補償要素を一体化することによって、光学要素からの圧力ラインの分離を改善することが望ましく、複数の弾性補償要素は、圧力変化がある場合に、補償要素内に形成される変形力が、相互に、少なくとも実質的に補償するように、互いに対して配列される。補償要素内の圧力変化がある場合に作用する変形力は、したがって、光学要素に好ましくなく伝達される可能性がない。圧力システムの供給デバイスに対する光学要素の、力を生じないこの接続は、有利には、本発明によるマニピュレータと無関係に使用されてもよい。

圧力投入ラインに共に接続され、圧力放出ラインに共に接続される、２つの補償要素が、互いに向き合って位置するように配列される場合、こうした配置を、最も簡単に生成することができる。ただ１つのさらなる補償要素が、こうした配置において必要とされる。

少なくとも１つのマニピュレータ自体は、直接に光学要素に係合してもよいし、あるいは、少なくとも１つのマニピュレータは、選択された光学要素を含むホルダを介して光学要素に係合してもよい。少なくとも１つのマニピュレータがホルダに係合する場合、少なくとも１つのマニピュレータが作動すると、一方で、ホルダとそのホルダ内に収容される光学要素との間で、また、他方で、ホルダと対物レンズのハウジングとの間で相対運動が生じる。

ホルダが、次に、対物レンズのハウジングに対して固定されるフレーム内で支持される場合、少なくとも１つのマニピュレータを、こうしたフレームに係合してもよい。こうして、ホルダ内に光学要素を取り付けることは、少なくとも１つのマニピュレータによって影響を及ぼされない。

もちろん、流体圧力システムの代わりに、他の制御要素を使用して、少なくとも１つのアクチュエータおよび／または少なくとも１つのマニピュレータを作動させてもよい。たとえば、圧電素子を使用して、精密に調整可能な力が加えられてもよい。この場合、少なくとも１つのアクチュエータおよび／または少なくとも１つのマニピュレータを駆動する制御デバイスまたは調節デバイスを設けることが一般に必要である。

本発明の他の利点および特徴は、図面を参照して、例示的な実施形態の以下の説明から明らかになるであろう。

図１は、全体を１０で示すマイクロリソグラフィ投射露光装置の、投射対物レンズを通る子午線断面の略図を示す。出願人の名義のＰＣＴ／ＥＰ０３／０４０１５にも記載される投射対物レンズを使用して、レチクル１１内に含まれる構造の縮小イメージが、フォトレジストからなり、かつ、基板１３上に塗布される感光性層１２上に投射される。レチクル１１は物体平面ＯＰ内に配列され、感光性層１２は投射対物レンズ１０の像平面ＩＰ内に配列される。

投射露光装置の照射装置によって生成され、示す例示的な実施形態では１５７ｎｍの波長を有する、図１に点線で示す投射光１４は、レチクル１１を通過した後、平面平行板１５とレンズＬ１を通って進み、ビーム・スプリッタ・キューブ１６内に入る。そこで、投射光１４は、ビーム・スプリッタ・キューブ１６内に含まれる偏光選択性ビーム・スプリッタ層１７によって反射され、レンズＬ２、４分の１波長板１８、２つのさらなるレンズＬ３とＬ４を通って送られ、以下でより詳細に説明されることになる、球面ミラー２０とホルダを有するミラー・ユニット１９上に入る。

球面ミラー２０によって反射された後、投射光１４は、レンズＬ４とＬ３、４分の１波長板１８、レンズＬ２を通って戻り、偏光選択性ビーム・スプリッタ層１７に当たる。しかし、そこでは、投射光１４の偏光が４分の１波長板１８を２度通過して９０°だけ回転したため、投射光１４は反射せずに透過する。ビーム・スプリッタ・キューブ１６から、投射光１４は、平面ミラー２１を経て投射対物レンズ１０の純粋に屈折光学部分２３内に進む。投射対物レンズ１０内には、屈折光学要素（詳細には示さない）が、２５で示す光学軸に沿って配列される。

図２、図３は、第１の例示的な実施形態による投射対物レンズ１０用のミラー・ユニット１９の非常に簡略化した図を、それぞれ、側面図とラインIII−IIIに沿う水平断面で示している。ミラー・ユニット１９のミラー２０は、３つの取り付けユニット２２ａ、２２ｂ、２２ｃによって形成されるイソスタティック・ホルダ内に収容される。取り付けユニット２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、図３を見てわかるように、ミラー２０の円周にわたって１２０°の間隔で分配される。イソスタティック取り付けのために、ミラー２０は、固く、しかし、それでもほとんど力を生じないでホルダ内に収容される。取り付けユニット２２ａ、２２ｂ、２２ｃについての可能な設計は、従来技術において知られており、たとえば、ＵＳ ２００２１７６０９４ Ａ１に相当するＥＰ １ ２４５ ９８２ Ａ２を参照されたい。

取り付けユニット２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、たとえば、円形の台座とすることができるフレーム２４上に固定される。ここで述べるイソスタティック取り付けの場合、それでも、上述したＥＰ １ ２４５ ９８２ Ａ２からも知られる、三角形台座を使用することも考えられる。

フレーム２４は、仮想的な正三角形の頂点に配列される３つのマニピュレータ２６ａ、２６ｂ、２６ｃを介して投射対物レンズ１０のハウジング２８に対して取り付けられる。示す例示的な実施形態におけるマニピュレータ２６ａ〜２６ｃは、それぞれ、マニピュレータ２６ａ〜２６ｃの長さを機械的に変えることができるように２つの油圧式の自在伸縮可能なシリンダを備える。マニピュレータ２６ａ〜２６ｃを適切に駆動させることによって、フレーム２４は、投射対物レンズ１０の光学軸２５に垂直な任意の軸を中心にしてハウジング２８に対して傾斜することができる。

ミラー２０を曲げる、全体を３０で示すアクチュエータ・ユニットは、ミラー２０の下側に配列される。このために、アクチュエータ・ユニット３０は、光学軸２５を中心にして配列される複数の個々のアクチュエータ（アクチュエータはそれ自体知られているため示されない）を備える。アクチュエータ・ユニット３０は、個々のアクチュエータが、円周からミラー２０に作用するように設計されてもよい。複数の個々のアクチュエータを有するアクチュエータ・ユニット３０の可能な実施形態は、ＤＥ １９８ ５９ ６３４ Ａ１（ＵＳ ６ ３０７ ６８８に相当する）やＤＥ １９８ ２７ ６０３ Ａ１（ＵＳ ６ ３８８ ８２３に相当する）に見出すことができる。

示す例示的な実施形態では、アクチュエータ・ユニット３０を使用して、２次非点収差を補正することを予定している。このために、アクチュエータ・ユニット３０内に収容される個々のアクチュエータは、ミラー２０が、アクチュエータによって生成される曲がりモーメントによってサドル方式で曲がるように、ミラー２０に係合すべきである。このサドルに似た曲がりは、円で囲った大文字ＨとＴで図３に示される。文字Ｈを含む円は、ミラー２０上の、フレーム２４から最も遠くに離れた一番上にある位置を示している。文字Ｔを含む円は、一番下にあり、したがって、フレーム２４から最も近い距離にある。

こうしたサドルに似た曲がりを生成するために、光学軸２５の方向への圧縮力が１８０°の角度で互いに向き合って位置する２点で生成され、一方、反対に向いた力が、１８０°に対して９０°の角度だけそれぞれずれた２点でミラー２０に作用するように、アクチュエータ・ユニット３０の個々のアクチュエータが配列され、作動させられる。

図３を見てはっきりわかるように、示されるイソスタティック取り付けにおけるこうした力は、下部に位置する点Ｔを通して延びる水平軸３４を中心としたミラー２０の傾斜をもたらす。傾斜の方向は、図３において矢印３６で示される。傾斜する理由は、力の２フォールド(two-fold)対称性が、取り付けユニット２２ａ、２２ｂ、２２ｃにおける取り付けの３フォールド(three-fold)対称性に整合させることができないためである。適切に選択された４点で取り付ければこの傾斜は起こらないであろう。しかし、４点での取り付けは、イソスタティック取り付けに比較して、多くの点で不利であることが知られている。

軸３４を中心とする傾斜は、このために、ＥＰ １ ２４５ ９８２ Ａ２（ＵＳ ２００２１７６０９４ Ａ１に相当する）に記載される弾性特性を有することができる取り付けユニット２２ａ〜２２ｃによって吸収される。

図４は、図２に相当する側面図でミラー２０を示すが、ミラー２０は、サドルに似た曲がり（図４では見ることができない）のために上述した方法で軸３４を中心にして傾斜している。通常、投射対物レンズ２０の光学軸２５に一致する、ミラー２０の対称軸３２は、傾斜のために、元々の設定点位置に対して傾斜角度だけずれる。この傾斜角度は、明確にするために、非常に誇張して示されている。

ミラー２０の傾斜した対称軸３２がその設定点位置（図４では垂直である）に戻るように３つのマニピュレータ２６ａ〜２６ｃが駆動される。このために、傾斜軸の外側に配列されるマニピュレータ２６ａ〜２６ｃが、取り付けユニット２２ａ〜２２ｃとミラー２０を含むフレーム２４全体が、必要とされる補償角度だけ戻るべく傾斜するように調整される。この補償角度は、曲がるあいだに、ミラー２０がフレーム２４に対して傾斜する傾斜角度に一致する。図５を見てはっきりわかるように、３つのマニピュレータ２６ａ〜２６ｃによって生成される補償傾斜のために、ミラー２０が曲がった後でも、ミラー２０の対称軸３２は、図５において垂直上方を指す設定点にある。したがって、曲がりによって生成される取り付けユニット２２ａ〜２２ｃ内のミラー２０の傾斜は、ミラー２０の結像特性を損傷しない。

図６は、第２の例示的な実施形態による投射対物レンズ１０に適するミラー・ユニット１１９を示す。上述した例示的な実施形態の場合と同じである部分は、同じ参照数字で示され、互いに対応する部分は、１００だけ増加した参照数字で示される。

ミラー・ユニット１１９では、曲がりによる傾斜運動を補償するために、それに応じて傾斜するのは、フレーム２４ではなく、ミラー２０のみである。このために、３つの取り付けユニットの長さを調整することができるマニピュレータ１２６ａまたは１２６ｂは、それぞれ、２つの取り付けユニット１２２ａ、１２２ｂと第３取り付けユニット（図６の取り付けユニット１２２ｂによって隠される）に一体化される。しかし、フレームは、接続要素３８ａ、３８ｂを介してハウジング２８にしっかりと接続される。ミラー・ユニット１９について図４で示すように、ミラー２０の傾斜を訂正するために、マニピュレータ１２６ａとマニピュレータ１２６ａの後ろに位置するマニピュレータ（図６では見えない）は、引っ込み、マニピュレータ１２６ｂは、延びるべきであり、それによって、その長さがそれぞれ増減する。

図７は、第３の例示的な実施形態による投射対物レンズ１０に適するミラー・ユニット２１９を示す。ミラー・ユニット１９の場合と同じである部分は、同じ参照数字で示され、互いに対応する部分は、２００だけ増加した参照数字で示される。

図７に示すミラー・ユニット２１９は、取り付けユニット２２２ａ、２２２ｂが、投射対物レンズ１０のハウジング２８上にマニピュレータ２２６ａ、２２６ｂを介して直接に、すなわち、介在するフレーム２４が無い状態で固定される点でだけ、図６に示すミラー・ユニット１１９と異なる。

図８は、第４の例示的な実施形態による投射対物レンズ１０に適するミラー・ユニット３１９を示す。ミラー・ユニット１９の場合と同じである部分は、同じ参照数字で示され、互いに対応する部分は、３００だけ増加した参照数字で示される。

ミラー・ユニット３１９は、図２に示すミラー・ユニット１９に実質的に相当する。油圧液体をアクチュエータ・ユニット３３０とマニピュレータ３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃに供給する油圧デバイス４０も示されている。

油圧デバイス４０は、コントローラ４２を収容し、コントローラ４２は、弁を介して（詳細には示さない方法で）、アクチュエータ・ユニット３０内に収容される個々のアクチュエータとマニピュレータ２６ａ、２６ｂ、２６ｃを作動させるのに使用される油圧液体の圧力を制御する。このために、ミラー・ユニット３１９では、アクチュエータ・ユニット３０内に収容される４つの個々のアクチュエータは、それぞれ独立した第１圧力ライン４４ａ〜４４ｄを介して油圧デバイス４０に接続される。

油圧デバイス４０は、さらに、第２圧力ライン４６ａ、４６ｂ、４６ｄを介してマニピュレータ３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃに接続される。ベローズの形態の補償要素４８は、第１と第２圧力ライン４４ａ〜４４ｄ、４６ａ〜４６ｃのそれぞれに一体化される。補償要素の目的は、アクチュエータ・ユニット３３０とマニピュレータ３２６ａ〜３２６ｃから油圧デバイス４０を分離することであり、それによって、そこに収容される弁またはポンプによって、あるいは、そこに接続される投射対物レンズ・ハウジング２８によって、油圧デバイス４０内で引き起こされる振動が、第１と第２圧力ライン４４ａ〜４４ｄ、４６ａ〜４６ｃを介してミラー２０に伝達されることがない。

油圧デバイス４０のコントローラ４２は、アクチュエータ・ユニット３３０の作動が、マニピュレータ３２６ａ〜３２６ｃの同期作動を伴うように設計される。このために、コントローラ４２は、記憶されたテーブルにアクセスし、テーブルには、アクチュエータ・ユニット３３０によって引き起こされる曲がりによるミラー２０の傾斜を再び訂正することができるのに必要なマニピュレータ３２６ａ〜３２６ｃの設定点可動域が、アクチュエータ・ユニット３３０内に収容される個々のアクチュエータの複数の設定について記憶される。

図９は、第５の例示的な実施形態による投射対物レンズ１０に適するミラー・ユニット４１９を示す。ミラー・ユニット１９の場合と同じである部分は、同じ参照数字で示され、互いに対応する部分は、４００だけ増加した参照数字で示される。

ミラー・ユニット４１９は、とりわけ、ミラー２０の空間位置を記録する位置センサにライン４９（点線で示す）を介して接続されるレギュレータ４２’によって、コントローラ４２が置き換えられる点で、図８に示すミラー・ユニット３１９と異なる。さらに、１つの圧力ライン５０のみが、油圧デバイス４０’からアクチュエータ・ユニット４３０へつながっている。アクチュエータ・ユニット４３０は、さらなる圧力ライン５２を介して、マニピュレータ４２６ａ〜４２６ｃと直列に接続される。したがって、圧力ライン５０のいずれの圧力変化も、アクチュエータ・ユニット４３０とマニピュレータ４２６ａ〜４２６ｃの対応する圧力変化をもたらす。アクチュエータ・ユニット４３０の個々のアクチュエータとマニピュレータ４２６ａ〜４２６ｃに割り当てられる、対応して事前設定された弁を介して達成することができる作用は、圧力ライン５０内の油圧液体の圧力を変えるだけで、ミラー２０の所望の変形、ならびに、同時に、ハウジング２８に対するフレーム２４の傾斜を引き起こすことである。アクチュエータ・ユニット４３０とマニピュレータ４２６ａ〜４２６ｃは、したがって、もはや互いに独立に制御することができないが、それによって、ミラー・ユニット４１９の制御は、著しく簡略化される。

図１０と図１１は、それぞれ、曲がらないミラーと曲がるミラーを有する、第６の例示的な実施形態による投射対物レンズ１０に適するミラー・ユニット５１９を示す。ミラー・ユニット１９の場合と同じである部分は、同じ参照数字で示され、互いに対応する部分は、５００だけ増加した参照数字で示される。

ミラー・ユニット５１９では、マニピュレータ５２６ｂのみが能動的に構成される。他方では、他の２つのマニピュレータ５２６ａ、５２６ｃは、受動的に構成される。これは、マニピュレータ５２６ａ、５２６ｃが、受動的にだけ長さ変化を達成することができ、たとえば印加される油圧を変えることによる、能動的な長さ変化が可能でないことを意味する。

能動マニピュレータ５２６ｂは、実質的に、レバー機構５４の上部腕からなり、レバー機構５４の下部腕５５は、圧力デバイス（図示せず）をアクチュエータ・ユニット５３０に接続する圧力ライン５６に結合する。

アクチュエータ・ユニット５３０内に収容される個々のアクチュエータを作動するために、圧力ライン５６内の油圧液体の圧力が増加すると、これは、図１１の２重矢印５８で示すように弾性補償要素４８の延長がもたらされる。レバー機構５４によって、この延長５８は、矢印６０で示す方向におけるフレーム２４の傾斜運動に変換される。フレーム２４は、それによって、付加的な制御または調節デバイスが無い状態で、ミラー２０が曲がるたびに、所望の方向に自動的に傾斜する。レバー機構５４を適切に構成することによって、傾斜角度に適応することが容易に可能である。

図８によるミラー・ユニット３１９の場合にそうであったように、マニピュレータによって生成される傾斜運動が、アクチュエータ・ユニット３０と無関係に制御可能であるように意図される場合、それぞれ、第１と第２圧力ライン４４ａ〜４４ｄ、４６ａ〜４６ｃの補償要素４８を、図１２に示す補償ユニット４８’によって置き換えることが有利である。補償ユニット４８’は、圧力ライン４４を、２つの平行な圧力ライン６６、６８に分割する第１のＴ字部６４を含む。補償要素４８ａまたは４８ｂは、それぞれ、平行圧力ライン６６、６８のそれぞれに、かつ、特に、補償要素４８ａ、４８ｂが互いに向き合って位置するように一体化される。第２のＴ字部７０によって、平行圧力ライン６６、６８は、補償要素４８ａ、４８ｂの下流で再結合して、圧力ライン４４’になる。

補償要素４８ａ、４８ｂは、互いに向き合って対称的に位置するため、２重矢印７２、７４で示す補償要素４８ａ、４８ｂの長さ変化は、第２のＴ字部７０から離れて導かれる圧力ライン４４’の長手方向の力を与えない。そのため、２つの補償要素４８ａ、４８ｂの間に位置する第２のＴ字部７０を通って出て行くことによって、好ましくない制御用の力が、圧力ライン４４’とアクチュエータ・ユニットおよび／またはマニピュレータを介してミラー２０に伝えることを防止する力の均衡が誘起される。

ミラー・ユニットを有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の反射屈折式投射対物レンズを示す子午線断面図である。 第１の例示的な実施形態による、図１に示す投射対物レンズ用のミラー・ユニットの、拡大し、かつ、著しく簡略化した側面図である。 図２に示すミラー・ユニットのラインIII−IIIに沿った断面図である。 図２に示すミラー・ユニットの図であり、アクチュエータによって生成される曲がりによる傾斜がある、 傾斜がマニピュレータによって訂正される、図４に示すミラー・ユニットを示す図である。 第２の例示的な実施形態による、図１に示す投射対物レンズ用のミラー・ユニットの、拡大し、かつ、著しく簡略化した側面図である。 第３の例示的な実施形態による、図１に示す投射対物レンズ用のミラー・ユニットの、拡大し、かつ、著しく簡略化した側面図である。 油圧システムを有する、図１〜５に示すミラー・ユニットを示す図である。 別の油圧システムを有する、図１〜５に示すミラー・ユニットを示す図である。 変形していない状態のさらなる油圧システムを有する、図１〜５に示すミラー・ユニットを示す図である。 傾斜補正を有する、変形した状態の、図１０に示すミラー・ユニットを示す図である。 圧力ラインを介してハウジングに対するミラー・ユニットの力を生じない接続を行う補償ユニットを示す図である。

Claims (18)

1. 複数の光学要素（１５、１６、１８、２０、Ｌ１〜Ｌ４）と、投射対物レンズ（１０）の選択された光学要素（２０）を変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）とを有しているマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズであって、
   前記光学要素（２０）のうちの１つの光学要素の空間位置を、好ましくは、前記アクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）によって加えられる前記力に応じて自動的に修正する少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有することを特徴とする投射対物レンズ。
2. 前記１つの光学要素（２０）は、前記少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）によって、前記光学要素（２０）の対称軸（３２）に対して実質的に垂直な軸（３４）を中心にして傾斜することを特徴とする請求項１に記載の投射対物レンズ。
3. 前記１つの光学要素は、前記少なくとも１つのマニピュレータによって、前記光学要素の対称軸（３２）に対して垂直な平面内で変位することを特徴とする請求項１または２に記載の投射対物レンズ。
4. 空間位置を修正する前記１つの光学要素は、前記選択された光学要素（２０）であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。
5. 前記少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）は、流体式に作動することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。
6. 前記少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）は、流体式に作動することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。
7. 前記少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、前記少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）は、共に、同時に流体式に作動するように、流体圧力システム（４０；４０’）に接続されることを特徴とする請求項５および６に記載の投射対物レンズ。
8. 前記圧力システム（４０’）は、前記少なくとも１つのアクチュエータ（４３０；５３０）に印加される前記流体圧力の変化が、好ましくは、前記少なくとも１つのマニピュレータ（４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ａ）に印加される前記流体圧力の変化を自動的にもたらすように設計されることを特徴とする請求項７に記載の投射対物レンズ。
9. 前記少なくとも１つのマニピュレータ（４２６ａ、４２６ｂ）は、前記圧力システムにおいて前記少なくとも１つのアクチュエータ（４３０）と直列に接続されることを特徴とする請求項８に記載の投射対物レンズ。
10. 前記１つの光学要素（２０）の前記位置変化を、前記少なくとも１つのアクチュエータ（４３０）によって加えられる前記力に応じて調節するレギュレータ（４２’）を有することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。
11. 前記１つの光学要素（２０）の前記位置変化を、前記少なくとも１つのアクチュエータ（３３０）によって加えられる前記力に応じて制御するコントローラ（４０）を有することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。
12. 圧力変動によって生じる変形を、伝送要素（５５）を介して前記少なくとも１つのマニピュレータ（５２６ｂ）に伝達する弾性補償要素（４８）が、前記少なくとも１つのアクチュエータ（５３０）につながる圧力ライン（５５６）内に一体化されることを特徴とする請求項５に記載の投射対物レンズ。
13. 前記少なくとも１つのマニピュレータは、前記光学要素に直接係合することを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。
14. 前記少なくとも１つのマニピュレータ（１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ）は、前記１つの光学要素（２０）を含むホルダ（１２２ａ、１２２ｂ；２２２ａ、２２２ｂ）に係合することを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。
15. 前記少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６、５２６ｂ、５２６ｃ）は、前記１つの光学要素（２０）を含むホルダ（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ）が支持されるフレーム（２４）に係合することを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。
16. 前記複数の弾性補償要素（４８ａ、４８ｂ）は、圧力ライン（４４）に一体化され、圧力変化が起こった場合に、前記弾性補償要素内に形成される前記変形力が、相互に、少なくとも実質的に補償されるように、互いに対して配列されることを特徴とする請求項５または６に記載の投射対物レンズ。
17. 圧力投入ライン（４４）に共に接続され、圧力放出ライン（４４’）に共に接続される２つの補償要素（４８ａ、４８ｂ）は、互いに向き合って位置するように配列されることを特徴とする請求項１６に記載の投射対物レンズ。
18. マイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）の光学特性を補正する方法であって、投射対物レンズは、複数の光学要素（１５、１６、１８、２０、Ｌ１〜Ｌ４）と、投射対物レンズ（１０）の選択された光学要素（２０）を変形させることができる少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）とを有しており、
    前記光学要素（２０）のうちの１つの光学要素の空間位置を、前記少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）によって加えられる力に応じて修正されることを特徴とする方法。

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