JP2007517347A - 磁気テスタ内においてマイクロアクチュエータを試験する方法 - Google Patents

Abstract

マイクロアクチュエータのストロークと周波数応答を試験するシステム及び方法を開示している。動的パラメータテスタにより、磁気記憶媒体の無雑音部分上に２つの同心トラックを書き込む。２つの同心トラックの間に磁気読み出し／書き込みヘッド及びマイクロアクチュエータを配置する。２つの同心トラックから信号を読み出しつつ、第１周波数において初期発振電圧をマイクロアクチュエータに印加する。読み出し信号に部分的に基づいてマイクロアクチュエータのストローク特性を算出する。初期発振電圧は、以前の試験から判定される。マイクロアクチュエータの第１ストローク特性は、第１信号の時間平均振幅に基づいている。２つの同心トラックは、既定のピッチで書き込まれる。
【選択図】図３

Description

本発明は、磁気ハードディスクドライブに関するものである。更に詳しくは、本発明は、ハードディスクドライブ内において使用されるマイクロアクチュエータのストローク及び周波数応答を試験する方法に関するものである。

ハードディスクドライブは、一般的な情報記憶装置であり、基本的に、磁気読み出し及び書き込み要素によってアクセスされる一連の回転可能なディスク、又は、その他の磁気記憶媒体、から構成されている。一般にトランスデューサと呼ばれるこれらのデータ転送要素は、通常、読み出し又は書き込み動作の実行を実現するべくディスク上に形成される個別のデータトラック上の近接した相対的な位置に保持されているスライダ本体によって保持されており、その内部に組み込まれている。ディスクの表面に対してトランスデューサを適切に配置するべく、スライダ及びトランスデューサをディスクのデータトラック上において「浮上」させるのに十分な揚力を提供する流動気流が、スライダ本体上に形成されたエアベアリングサーフェイス（ＡＢＳ）に対して作用する。磁気ディスクの高速回転により、ディスクの接線方向の速度に対して実質的に平行な方向において、その表面に沿って気流の流れ又は風が生成される。この気流がスライダ本体のＡＢＳと協働することにより、スライダは、回転するディスク上において浮上することができるのである。実際に、吊り下げられているスライダは、この自己駆動型のエアベアリングにより、ディスクの表面から物理的に離隔している。

ＡＢＳ設計における主な目的のいくつかは、スライダ及びその付随するトランスデューサを、回転するディスクの表面に可能な限り接近した状態で浮上させる共に、変化する浮上状態とは無関係に、その一定の近接した距離を均一に維持することにある。エアベアリングスライダと、回転する磁気ディスクの間の高さ又は離隔ギャップは、一般に、浮上高さと定義されている。一般に、取り付けられているトランスデューサ又は読み出し／書き込み要素は、回転するディスクの表面のおよそ数マイクロインチだけ上方を浮上している。このスライダの浮上高さは、取り付けられている読み出し／書き込み要素の磁気ディスク読み出し及び記録能力に影響を及ぼす最も重要なパラメータの１つと見なされている。浮上高さが相対的に小さければ、トランスデューサは、ディスク表面上の異なるデータビット場所間において相対的に大きな分解能を実現可能であり、この結果、データ密度と記憶容量が改善されることになる。相対的に小型であるが強力なディスクドライブを利用している軽量で小型のノートブックタイプのコンピュータが人気を博していることから、益々、更に低い浮上高さに対するニーズが継続的に拡大している。

図１は、当技術分野における代表的なハードディスクドライブの設計を示している。ハードディスクドライブ１００は、一般的な情報記憶装置であり、基本的に、磁気読み出し及び書き込み要素によってアクセスされる一連の回転可能なディスク１０４から構成されている。一般に、トランスデューサと呼ばれるこれらのデータ転送要素は、通常、読み出し又は書き込み動作の実行を実現するべくディスク上に形成された個別のデータトラック上の近接した相対的な位置に保持されたスライダ本体１１０によって保持されており、且つこの内部に組み込まれている。スライダは、サスペンションにより、ディスクの上方に保持されている。サスペンションは、ディスクに対して垂直の方向における移動を許容するロードビームと屈曲部を具備している。サスペンションは、ボイスコイルモーターにより、旋回軸を中心として回転し、粗い位置の調節が行われる。マイクロアクチュエータによりスライダがサスペンションの端部に結合されており、微細な位置調節が行われる。

ディスクの表面に対してトランスデューザを適切に配置するべく、ディスクのデータトラックの上方にスライダ１１０（並びに、トランスデューサ）を「浮上」させるのに十分な揚力を提供する流動気流が、スライダ本体１１０上に形成されたエアベアリングサーフェース（ＡＢＳ）に対して作用する。磁気ディスク１０４の高速回転により、ディスクの接線方向の速度に対して実質的に平行な方向において、その表面に沿って気流の流れ又は風が生成される。この気流がスライダ本体１１０のＡＢＳと協働することにより、スライダは、回転するするディスクの上方に浮上可能である。実際に、吊り下げられているスライダ１１０は、この自己駆動型のエアベアリングにより、ディスクの表面１０４から物理的に離隔されている。スライダ１１０のＡＢＳは、一般に、回転するディスク１０４に対向するスライダの表面上に構成されており、様々な条件においてディスク上を浮上するその能力に大きな影響を及ぼす。スライダの面内動作を制御するべく、特に、ディスクの表面上の様々なデータトラックにアクセスするべく、ヘッドサスペンションアッセンブリ（ＨＳＡ）は、通常、第１アクチュエータを内蔵している。第１アクチュエータは、読み出し／書き込みヘッドとは反対側の端部に配置されたボイスコイルであってよい。ＨＳＡの大きな慣性に起因し、第１アクチュエータが具備するバンド幅は限られている。サスペンションの振動のため、遠方から読み出し／書き込みヘッドの位置を制御することは困難である。第１アクチュエータのみによって、必要な速度及び位置の精度を実現するのは困難である。

最新式のディスクドライブの設計は、読み出し／書き込みヘッドとＨＳＡの回転軸の間に、第２アクチュエータ、又は、マイクロアクチュエータ、を内蔵している。これらのマイクロアクチュエータの印加電圧に関係するストローク、又は、変位距離は、通常、１μｍのレベルである。図２ａは、Ｕ字形のセラミックフレーム構成２０１を有するマイクロアクチュエータを示している。フレーム２０１は、例えば、ジルコニアから製造されている。フレーム２０１は、ベース２０３の反対側に２つのアーム２０２を具備している。スライダ２０４は、ベース２０３の反対側の端部において、２つのアーム２０２によって保持されている。圧電材料のストリップ２０５が、それぞれのアーム２０２に装着されている。接合パッド２０６により、スライダ２０４をコントローラに電子的に接続可能である。図２ｂは、アクチュエータのサスペンション屈曲部２０７とロードビーム２０８に装着されたマイクロアクチュエータを示している。マイクロアクチュエータは、サスペンションの舌部２０９に結合可能である。サスペンションの屈曲部２０７に沿って結合されたトレース２１０が、圧電材料のストリップ２０５を接続パッド２１１の組に接続している。接続パッド２１１に印加される電圧により、ストリップ２０５が接触及び伸張し、スライダ２０４の配置を移動させる。サスペンション屈曲部２０７は、サスペンションヒンジ２１４により、旋回軸に取り付けるための孔２１３を有するベースプレート２１２に装着可能である。基準孔２１５により、製造の際のサスペンションの取り扱いが円滑になり、サスペンション孔２１６により、サスペンションの重量が軽減されている。

読み出し／書き込みヘッドは、通常、出荷の前に試験される。通常、ダイナミック・パラメトリック（ＤＰ）テスタに接続された回転するディスク上において、読み出し／書き込みヘッドを浮上させ、一連の読み出し／書き込み動作を実行する。ＤＰ試験は、読み出し／書き込みヘッドをヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）、ＨＳＡ、又はヘッドディスクアセンブリのいずれかに組み立てた際に実施可能である。

ＤＰ試験は、様々な入力電圧においてマイクロアクチュエータのストロークを試験する段階を包含可能である。ストロークを試験する１つの方法が、図３に示されている。準静的なストロークは、明確な一定の入力電圧において第１同心トラック３１０及び第２同心トラック３２０に書き込んだ後に、連続的に増大する又は減少する半径において読み出して前述のトラック上における「トラックプロファイル」を取得することにより、計測可能である。トラックプロファイルは、読み出しヘッド３３０の半径方向の位置を読み出し（ｒｅａｄ ｂａｃｋ）信号３４０と比較可能である。入力電圧は、無入力、最大入力、又は負の最大入力であってよい。トラックプロファイルのそれぞれのピークは、トラックの中心を示している。隣接するピーク間の距離３５０を使用し、ストロークを算出可能である。

ＤＰ試験は、周波数応答を試験する段階をも包含可能である。周波数応答においては、ストロークを入力周波数と比較する。図４に示されているように、周波数応答は、それぞれの入力周波数において、まず、ディスク表面のある帯域を消去し、次いで、ディスクの略１回転にわたって、この消去された帯域上に書き込みつつ、望ましい周波数において既定の交流の入力電圧を印加することにより、計測可能である。入力電圧を除去した後に、半径及び角度位置の両方の関数として読み出し信号の振幅を記録しつつ、連続的に増大する、又は減少する半径において読み取ることにより、書き込まれた信号をマッピングする。それぞれのトラックごとの読み出し信号のピーク振幅を有する場所を表すトラックの読み出し値に対して、数学的に正弦波曲線４１０をフィッティングする。この正弦波曲線の振幅４２０が、所定の周波数におけるストロークである。

これらの方法は低速である。それぞれの望ましい周波数ごとに、ディスク表面を消去して、再度書き込まなければならない。図４のマップは、１次元ではなく、２次元であるため、それぞれの周波数において、書き込まれた信号をマッピングするのに必要なデータの量も大きい。マイクロアクチュエータの周波数応答を計測するその他の方法には、光学的及び電気的な試験が含まれる。光学的な試験においては、レーザービームが読み出し／又は書き込みヘッド又はその近傍に導かれる。反射した光を収集し、反射表面の速度又は変位について分析する。この方法は、高価な装置と微妙なアライメントを必要としている。電気的な試験は、複数の能動要素を有するマイクロアクチュエータの場合に可能である。要素の中のすべてではないいくつかのものに入力電圧が印加される。入力電圧を印加されていない要素をその他の要素によって機械的に駆動し、これにより、ストロークを導出可能な小さな出力電圧を生成する。しかしながら、この励起モードは、すべての要素に入力電圧が印加されるアプリケーションのモードとは異なっている。即ち、この周波数応答は、実際に関心のあるモードではなく、振動モードに関係している。又、ＨＳＡが複数の読み出し／書き込みヘッドを具備している場合には、その他のヘッドと干渉することなしに、対象のヘッドにのみアクセスすることは、困難であろう。

マイクロアクチュエータのストロークと周波数応答を試験するシステム及び方法を開示する。一実施例においては、動的パラメータテスタにより、磁気記憶媒体の無雑音部分上に２つの同心トラックを書き込み可能である。２つの同心トラックの間に磁気読み出し／書き込みヘッド及びマイクロアクチュエータを配置可能である。２つの同心トラックから信号を読み出しつつ、初期発振電圧を第１周波数においてマイクロアクチュエータに印加可能である。読み出し信号に部分的に基づいて、マイクロアクチュエータのストローク特性を算出可能である。初期発振電圧は、以前の試験から判定可能である。マイクロアクチュエータの第１ストローク特性は、第１信号の時間平均振幅に基づいたものであってよい。２つの同心トラックは、既定のピッチで書き込み可能である。

図５は、本発明において実施された試験システムの一実施例を示している。ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）のサスペンション５０１及びマイクロアクチュエータ５０２は、データを保存するディスク５０４の上方において、スライダ５０３を吊り下げることができる。このＨＧＡをダイナミックパラメータ（ＤＰ）テスタ５０５内に装着可能である。ＤＰテスタ５０５は、マイクロアクチュエータ５０２を制御する第１電気接続５０６、スライダ５０３の磁気読み出し／書き込みヘッドを制御する第２電気接続５０７、及びサスペンション５０１の移動を制御するメカニズム（図示されてはいない）を具備可能である。このメカニズムは、大部分のＤＰテスタにおいて標準的なものである。サスペンションを移動させる代表的なメカニズムは、重厚なステンレススチールプラットフォームを包含可能であり、この上にサスペンションが取り付けられる。このプラットフォームは、正確な移動のための圧電ステージと長距離動作用のモータ駆動ステージ上に取り付け可能である。ＤＰテスタを使用することにより、ＨＧＡのストロークと周波数応答を試験可能である。

図６は、試験方法の一実施例をフローチャートによって示している。このプロセスにおいては、開始すると（ブロック６０５）、まず、スライダ５０３を有するＨＧＡをＤＰテスタ内に装着する（ブロック６１０）。ディスク５０４のエリアの中のある帯域を消去する（ブロック６１５）。読み出し／書き込みヘッドにより、消去された帯域内に複数の同心トラックを既定のピッチ（２δ）で書き込む（ブロック６２０）。ピッチとは、２つの平行又は同心ライン間の距離である。この書き込み段階は、マイクロアクチュエータに入力電圧を印加していない状態で実行される。ピッチは、ＤＰテスタ５０５のメカニズムを移動させることによって実現される。トラックの中のいずれか１つについて、トラックプロファイルを取得する（ブロック６２５）。トラックプロファイルは、トラック半径（ｒ）の増分的な変化の関数としての読み出し信号のトラック平均振幅（Ｔｒａｃｋ−Ａｖｅｒａｇｅｄ Ａｍｐｌｉｔｕｄｅ：ＴＡＡ）であってよい。関数ＴＡＡ（ｒ）は、トラックの中心を基準としている。従って、この独立変数（ｒ）は、通常、正及び負の１０マイクロインチ（±０．２５μｍ）の間の範囲内において変化する。次いで、連続的に増大する又は減少する周波数（ｆ）を有する可変入力電圧（Ｖ）をマイクロアクチュエータに印加しつつ、トラックを読み出すことになる。周波数及び電圧と計測されたピーク対ベースなどの入力パラメータのペアによって定義されているように、それぞれの試験条件におけるストローク（ｓ）を読み出し信号の平均振幅から導出する。

入力電圧が印加された状態で、マイクロアクチュエータが正弦波的に移動すると仮定した場合には、マイクロアクチュエータの中立位置は、２つの同心トラックの中心と一致する。周波数応答の試験は複数の試験条件から構成されているため、それぞれの条件をインデックス番号ｉによって識別可能である。この結果、入力周波数及び電圧は、ｆ（ｉ）及びＶ（ｉ）と表記可能であり、対応するストローク及び時間平均読み出し信号振幅は、Ｓ（ｉ）及びＴＡＡ（ｉ）と表記され、これらの関係は、次の式（１）によって表現されている。

式（１）を使用することにより、ＴＡＡ（ｉ）対Ｓ（ｉ）の較正曲線を生成可能である（ブロック６３０）。図７は、較正曲線の一例を示している。この例における較正曲線は、ミリボルトを単位とするＴＡＡを、３０マイクロインチのピッチにおいて、マイクロインチを単位とするストロークと比較している。

必要なパラメータＴＡＡ（ｒ）とＴＴＡ（ｉ）は、いずれも、読み出し信号振幅のシーケンスであり、これらには、あらゆる標準的なＤＰテスタ５０５上において容易にアクセス可能であろう。ＴＡＡ（ｒ）は、マイクロアクチュエータ５０２を励起することなしに、標準的なトラックプロファイル計測において生成される。ＴＡＡ（ｒ）を使用し、較正曲線ＴＡＡ（ｉ）対Ｓ（ｉ）を生成する。ＴＡＡ（ｉ）は、その定義により、マイクロアクチュエータ５０２が励起されている際の平均読み出し信号振幅である。励起がディスク５０４の少なくとも１回転だけ継続している限り、ＴＡＡ（ｉ）は、読み出し信号振幅のトラック平均に等しく、この読み出し信号振幅のトラック平均は、あらゆる標準的なＤＰテスタ５０４において入手可能である。従って、ＤＰテスタの主要な変更点は、図５に示されている第２電気接続５０６の追加などのマイクロアクチュエータを励起する手段の提供である。

較正曲線は、質的に４つのゾーンに分割可能である。ゾーン７０１は、非常に小さなストロークと関連することになろう。読み出しヘッドは、通常、２つのトラックにまだ到達していないか、或いは、２つのトラックの内部エッジにやっと到達しているに過ぎない。又、読み出し信号は、背景雑音と比べて、弱過ぎるであろう。従って、ゾーン７０１は、通常、ストローク計測を実行するには適していない。ゾーン７０２は、中程度のストロークと関連することになろう。このゾーン内の読み出しヘッドは、両方のトラック内に十分に移動可能であるが、これを超えてはいない。読み出し信号は、背景雑音と比べると、強力であり、較正曲線のスロープも急勾配のものとなろう。このため、ゾーン７０２は、ストロークの計測に最も好適であろう。ゾーン７０３は、トラックピッチの略半分のストロークと関連することになろう。読み出しヘッドは、トラックの外部エッジの近傍に移動可能であり、強力な読み出し信号を生成する。しかしながら、較正曲線が平坦なものとなり、ストロークの分解能が、ゾーン７０２よりも乏しいものになろう。又、曲線が単調ではないため、ストロークの値が不明瞭なものとなろう。ゾーン７０４は、トラックピッチの半分を大幅に上回るストロークと関連することになろう。較正曲線のスロープは、ゾーン７０２よりも、なだらかなものになろう。一般に、ゾーン７０４は、第２の最も望ましい動作範囲であろう。

較正曲線の品質が重要である。ゾーン７０２が広いほど、試験は、安定したりものとなろう。但し、試験の際に、通常、ストロークが相対的に大きなものとなり、この結果、マイクロアクチュエータの損耗が増大することになる。ゾーン２が狭く、較正曲線のピークが高い場合に、試験は最も正確なものとなろう。書き込まれた２つの同心トラックの間のピッチにより、較正曲線の形状を操作可能である。較正曲線のピークは、通常、ピークツーピークストロークがトラックピッチに略等しい場合に発生する。ピークは、通常、トラックが互いに略隣接している場合に最大となる。ユーザーは、代表的なトラックプロファイルを使用していくつかの数値シミュレーションを実行し、且つ、式（１）を使用してピッチを変化させることにより、いくつかの仮の試験条件を比較可能である。

ｆ（ｉ）が変化した際にＶ（ｉ）が一定に保持されておれば、Ｓ（ｉ）は、すべての４つのゾーンに跨ることになろう。ゾーン７０２内に留まるためには、図６に示されている方法に続いて、Ｖ（ｉ）を調節すればよい。較正曲線上のゾーン７０２を定義し、ゾーン７０２内の「理想的なストローク」Ｓ_idealを選択する。従来の経験の統計情報に基づいて、初期電圧Ｖ（１）と周波数ｆ（１）を設定する（ブロック６３５）。２つの同心トラックの間に磁気読み出し／書き込みヘッドを配置する（ブロック６４０）。ＤＰテスタ５０５がマイクロアクチュエータ（５０２）を励起している際に（ブロック６４５）、磁気読み出し／書き込みヘッドによって読取値を取得する。ＴＡＡ（１）を取得し（ブロック６５０）、初期ストロークＳ（１）を算出する（ブロック６５５）。最後の周波数が使用されている場合には（ブロック６６０）、本プロセスは終了する（ブロック６６５）。周波数が最後の周波数でない場合には（ブロック６６０）、Ｓ（１）を較正曲線と比較する。Ｓ（１）がゾーン７０２内にある場合には（ブロック６７０）、その計測値は許容可能であり、リトライは不要である。しかしながら、Ｓ（１）がゾーン７０２の外に位置している場合には、Ｓ（１）を「理想的なストローク」に近づけるべく、Ｖ（１）を調節することになる。次の式（２）に定義されている利得Ｇ（ｉ）が入力電圧から独立していると仮定すると、Ｖ（１）とＳ（１）は、次の式（３）に示されているように、互いに比例することになろう。

Ｇ（ｉ）＝Ｓ（ｉ）／Ｖ（ｉ） （２）
Ｖ（ｉ）_new＝Ｖ（ｉ）_oldｘＳ_ideal／Ｓ（ｉ）_old （３）

概念的には、Ｖ（１）は、複数回の調節が可能である。Ｓ（１）がゾーン７０２内に位置するまで、式（３）に従ってＶ（１）を調節する（ブロック６８５）。この反復は、Ｓ（１）がゾーン７０２内に位置した際に停止する。実際には、マイクロアクチュエータの優れた線形性に起因し、複数回の調節は不要であろう。

後続のｆ（ｉ）について、利得が周波数に伴って大幅に変化しないと仮定することにより、ｉの増分に伴って（ブロック６７５）、既定の入力電圧を算出可能である。次いで、式（４）に示されているように、Ｖ（ｉ）のリトライとして、同様にＶ（ｉ＋１）を算出する。

Ｖ（ｉ＋１）＝Ｖ（ｉ）ｘＳ_ideal／Ｓ（ｉ） （４）

利得は周波数によって変化するため、式（４）は、「位相の遅れ」を具備可能である。しかしながら、変化する利得と関連した誤差と比べて、ゾーン７０２は相対的に広い。従って、実際には、通常、式（４）で十分である。式（３）による所定の周波数における入力電圧の調節が必要となるのは、まれである。

補正係数を式（４）内に組み入れることが可能であり、これは、代表的な周波数応答に基づいて、ｆ（ｉ）からｆ（ｉ＋１）への利得の変化を予測する。この補正係数は、大部分のアプリケーションにおいて不要であろう。式（４）の１つのバージョンが、式（５）に示されている。

Ｖ（ｉ＋１）＝Ｖ（ｉ）ｘ［Ｓ_ideal／Ｓ（ｉ）］ｘ［Ｇａｉｎ（ｉ）／Ｇａｉｎ（ｉ＋１）］ （５）

必要に応じて、式（４）又は式（５）を使用することにより、使用される次の周波数の利得を予測可能である（ブロック６８０）。目的は、励起周波数が既定の範囲にわたって段階的に掃引された際に、Ｖ（ｉ）を制御してストロークをゾーン７０２内に維持することにある。

ＤＰテスタにおいてＴＡＡ（ｉ）を計測する際には、低域通過フィルタのコーナー周波数は、マイクロアクチュエータの励起周波数の少なくとも数倍だけ大きくてよい。この結果、読み出し信号のエンベロープが人為的に平坦になることが防止され、且つ、「平均」振幅ＴＡＡ（ｉ）が誇張されることが防止される。図８ａには、未加工のデータが示されている。図８ｂは、正しい低域通過フィルタを有する読み出し信号のエンベロープを示しており、図８ｃは、誤った低域通過フィルタを有する読み出し信号のエンベロープを示している。

計測の際に式（３）が起動された場合には、換言すれば、マイクロアクチュエータが同一周波数ｆ（ｉ）において複数の入力電圧によって励起された場合には、入力電圧の最後の値と時間平均読み出し信号振幅の最後の値のみが、Ｖ（ｉ）及びＴＡＡ（ｉ）として保持される。ゾーン２の外の計測値は破棄可能である。それぞれのヘッドごとに、すべての周波数において、１つの較正曲線が有効である。それぞれの周波数ｆ（ｉ）において、１つのＶ（ｉ）と１つのＴａａ（ｉ）が未加工データとして使用される。較正曲線を使用することにより、ＴＡＡ（ｉ）によってストロークＳ（ｉ）が得られる。図９は、Ｈｚを単位とした周波数と比較した場合のμインチを単位としたストロークの１つのプロファイルを示している。式（２）により、Ｓ（ｉ）及びＶ（ｉ）によって利得Ｇ（ｉ）が得られる。図１０は、Ｈｚを単位とした周波数と比較した場合のμインチ／ボルトを単位とした利得のプロファイルを示している。

以上、本明細書においては、いくつかの実施例について具体的に図示及び説明したが、本発明の様々な変更及び変形も、以上の開示内容によってカバーされており、且つ、本発明の精神及び意図する範囲を逸脱することなしに、添付の請求項の範囲に属していることを理解されたい。

当技術分野において既知のハードディスクドライブの設計を示している。 当技術分野において既知のアクチュエータのサスペンション屈曲部とロードビームに装着されたマイクロアクチュエータを示している。 ストロークを試験する方法の結果の一実施例を示している。 周波数応答を試験する方法の結果の一実施例を示している。 本発明において実施された試験システムの一実施例を示している。 本発明による試験方法の一実施例をフローチャートによって示している。 本発明に従って生成された較正曲線の一例を示している。 本発明に従って生成されたフィードバック信号の例を示している。 周波数と比較したストロークの１つのプロファイルをグラフによって示している。 周波数と比較した利得のプロファイルをグラフによって示している。

Claims (22)

1. 磁気記憶媒体の無雑音部分上に２つの同心トラックを書き込む段階と、
   前記２つの同心トラック間に磁気読み出し／書き込みヘッドとマイクロアクチュエータを配置する段階と、
   前記２つの同心トラックから第１信号を読み出しつつ、第１周波数において第１発振電圧を前記マイクロアクチュエータに印加する段階と、
   前記第１信号に部分的に基づいて前記マイクロアクチュエータの第１ストローク特性を算出する段階と、
   を有する試験方法。
2. 前記データ記憶媒体の前記無雑音部分は、前記データ記憶媒体の一部を消去することによって生成される請求項１記載の試験方法。
3. 以前の試験から前記第１発振電圧を判定する段階を更に有する請求項１記載の試験方法。
4. 前記マイクロアクチュエータの前記第１ストローク特性は、前記第１信号の時間平均振幅に基づいている請求項１記載の試験方法。
5. 既定のピッチで前記２つの同心トラックを書き込む段階を更に有する請求項４記載の試験方法。
6. 次式によって表される前記ピッチ（２δ）、前記時間平均振幅（ＴＡＡ）、トラック半径（ｒ）、及び前記第１ストローク特性（Ｓ）間の関係に基づいて較正曲線を生成する段階を更に有する請求項５記載の試験方法。
   

   
7. 前記２つの同心トラックから第２信号を読み出しつつ、第２周波数において第２発振電圧を前記マイクロアクチュエータに印加する段階と、
   前記第２信号に部分的に基づいて前記マイクロアクチュエータの第２ストローク特性を算出する段階と、
   を更に有する請求項１記載の試験方法。
8. 前記第１電圧に前記第１ストローク特性を乗算し、これを理想的なストローク特性によって除算することにより、前記第２電圧を算出する段階を更に有する請求項７記載の試験方法。
9. 代表的な周波数応答を使用して前記第１周波数と前記第２周波数間の利得の変化を予測する段階を更に有する請求項８記載の試験方法。
10. データを保存する磁気記憶媒体と、
    前記磁気記憶媒体の無雑音部分上に２つの同心トラックを書き込む磁気読み出し／書き込みヘッドと、
    前記２つの同心トラック間に前記磁気読み出し／書き込みヘッドとマイクロアクチュエータを配置するヘッドジンバルアセンブリと、
    前記２つの同心トラックから第１信号を読み出しつつ、第１周波数において第１発振電圧を前記マイクロアクチュエータに印加するテスタと、
    を有する試験システム。
11. 前記マイクロアクチュエータの第１ストローク特性は、前記第１信号の時間平均振幅に基づいている請求項１０記載の試験システム。
12. 前記テスタは、前記２つの同心トラックから第２信号を読み出しつつ、第２周波数において第２発振電圧を前記マイクロアクチュエータに印加する請求項１１記載の試験システム。
13. 前記第２発振電圧は、前記第１発振電圧に前記第１ストローク特性を乗算し、これを理想的なストローク特性によって除算することにより、算出される請求項１２記載の試験システム。
14. 代表的な周波数応答を使用して前記第１周波数と前記第２周波数間の利得の変化を予測する請求項１２記載の試験システム。
15. 記憶媒体内に存在する命令の組であって、前記命令の組は、データを処理する方法を実装するべくプロセッサによって実行される能力を有しており、
    前記方法は、
    磁気記憶媒体の無雑音部分上に２つの同心トラックを書き込む段階と、
    前記２つの同心トラック間に磁気読み出し／書き込みヘッドとマイクロアクチュエータを配置する段階と、
    前記２つの同心トラックから第１信号を読み出しつつ、第１周波数において第１発振電圧を前記マイクロアクチュエータに印加する段階と、
    前記第１信号に部分的に基づいて前記マイクロアクチュエータの第１ストローク特性を算出する段階と、
    を有する命令の組。
16. 以前の試験から前記第１発振電圧を判定する段階を更に有する請求項１５記載の命令の組。
17. 前記マイクロアクチュエータの前記第１ストローク特性は、前記第１信号の時間平均振幅に基づいている請求項１５記載の命令の組。
18. 既定のピッチで前記２つの同心トラックを書き込む段階を更に有する請求項１７記載の命令の組。
19. 次式によって表される前記ピッチ（２δ）、前記時間平均振幅（ＴＡＡ）、トラック半径（ｒ）、及び前記第１ストローク特性（Ｓ）間の関係に基づいて較正曲線を生成する段階を更に有する請求項１８記載の命令の組。
    

    
20. 前記２つの同心トラックから第２信号を読み出しつつ、第２周波数において第２発振電圧を前記マイクロアクチュエータに印加する段階と、
    前記第２信号に部分的に基づいて、前記マイクロアクチュエータの第２ストローク特性を算出する段階と、
    を更に有する請求項１５記載の命令の組。
21. 前記第１電圧に前記第１ストローク特性を乗算し、これを理想的なストローク特性によって除算することにより、前記第２電圧を算出する段階を更に有する請求項２０記載の命令の組。
22. 代表的な周波数応答を使用して前記第１周波数と前記第２周波数間の利得の変化を予測する段階を更に有する請求項２０記載の命令の組。

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