JP2002093095A - 微小位置決めアクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリの特性検査方法 - Google Patents

微小位置決めアクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリの特性検査方法

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JP2002093095A
JP2002093095A JP2000277923A JP2000277923A JP2002093095A JP 2002093095 A JP2002093095 A JP 2002093095A JP 2000277923 A JP2000277923 A JP 2000277923A JP 2000277923 A JP2000277923 A JP 2000277923A JP 2002093095 A JP2002093095 A JP 2002093095A
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track
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thin
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多聞 笠島
Katsuhiko Tomita
克彦 富田
Kazumasa Shiraishi
一雅 白石
Takashi Honda
隆 本田
Takeshi Wada
健 和田
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アクチュエータの変位特性を製造コストの増
大化を招くことなく、短時間にかつ簡単に求めることが
できる微小位置決めアクチュエータを備えたＨＧＡの特
性検査方法を提供する。 【解決手段】 少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を
有する磁気ヘッドスライダと、支持機構と、この支持機
構に対して磁気ヘッドスライダを変位させて薄膜磁気ヘ
ッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータと
を備えたＨＧＡの特性を検査する方法であって、アクチ
ュエータの変位駆動及び磁気媒体のトラック・プロファ
イル測定を行ってアクチュエータの変位特性を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に用いられる薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決めアクチ
ュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）
の特性、特にアクチュエータの変位特性を検査する方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、ＨＧＡのサスペ
ンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダ
を、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状
態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘ
ッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気デ
ィスクからの再生が行われる。
【０００３】近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、ディスク半径方向の密度（トラック
密度）の高密度化が進んできており、従来のごときボイ
スコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる制御
では、磁気ヘッド素子の位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
【０００４】磁気ヘッド素子の精密位置決めを実現する
手段の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよ
りさらに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエ
ータ機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密
位置決めを、そのアクチュエータによって行なう技術で
ある（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平
６−３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公
報参照）。
【０００５】例えば、この種のアクチュエータとして、
圧電材料を用いたピギーバック構造のアクチュエータが
存在する。このピギーバック構造のアクチュエータは、
サスペンションに固定される一方の端部と、磁気ヘッド
スライダに固定される他方の端部と、これら端部を連結
するピラー状の変位発生部とをＰＺＴによる圧電部材で
Ｉ字形状に一体形成してなるものである。圧電部材間に
電極を配置して電圧を印加することによって、アクチュ
エータが変位し、これによって磁気ヘッド素子の微細な
精密位置決めが行われる。
【０００６】このような微小位置決めアクチュエータの
変位特性を検査するためには、従来より、レーザードッ
プラ振動計を用いた変位量測定が行われていた。即ち、
アクチュエータを駆動した際にその変位部にレーザーを
照射して変位量を測定することが行われていた。このよ
うな変位特性検査方法によれば、駆動信号に対するアク
チュエータの応答変位量や応答速度を正確に求めること
が可能である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、薄膜磁
気ヘッドの製造及び検査工程において、レーザードップ
ラ振動計を用いて変位量測定を行うことは、次のような
問題を発生させる。 （１）レーザードップラ振動計自体が高価であるため、
その分、製造コストの増大化を招く、（２）レーザード
ップラ振動計を用いた測定は、ある程度の時間を要する
ため、検査のタクトタイムが長大化し、この点からも製
造コストの増大化を招く、（３）従来の検査機器とは異
質のレーザードップラ振動計を導入することは、検査工
程の複雑化及び工程数の増加を招く、（４）レーザード
ップラ振動計を導入することは、検査機器の設置面積の
増大化を招く。
【０００８】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解消するものであり、その目的は、アクチュエータ
の変位特性を製造コストの増大化を招くことなく、短時
間にかつ簡単に求めることができる微小位置決めアクチ
ュエータを備えたＨＧＡの特性検査方法を提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも１つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスラ
イダと、支持機構と、この支持機構に対して磁気ヘッド
スライダを変位させて薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決
めを行うためのアクチュエータとを備えたＨＧＡの特性
を検査する方法であって、アクチュエータの変位駆動及
び磁気媒体のトラック・プロファイル測定を行ってアク
チュエータの変位特性を求める、微小位置決めアクチュ
エータを備えたＨＧＡの特性検査方法が提供される。
【００１０】アクチュエータの変位駆動と、薄膜磁気ヘ
ッド素子による電磁変換特性の測定であるトラック・プ
ロファイル測定とを利用してアクチュエータの変位特性
を求めているため、新規な検査用設備を導入する必要が
ない。従って、その分製造コストを低減化できる。ま
た、通常行う電磁変換特性の検査と同時に変位特性を検
査できるため、検査項目は増えるが工程は増加せず、簡
単にかつ短時間に検査を行うことができ、さらに、検査
機器の設置面積増大を招くことがなく、その意味からも
製造コストを低減化できる。
【００１１】なお、本明細書において、「アクチュエー
タを変位駆動する」とは、アクチュエータが初期位置か
ら変位するようにその駆動信号を制御することを意味し
ており、単にアクチュエータに駆動信号を印加すること
とは等価ではない。即ち、バイアスの設定によっては、
駆動信号を印加しない時にアクチュエータが変位する場
合があり、また、中間の値の駆動信号を印加した際にア
クチュエータが初期の変位していない状態となる場合が
ある。
【００１２】アクチュエータの変位駆動が、このアクチ
ュエータに直流の駆動信号を印加することによって行わ
れることが好ましい。
【００１３】また、アクチュエータの変位駆動が、薄膜
磁気ヘッド素子の読出し動作時のみ行われることも好ま
しい。
【００１４】磁気媒体上に書込まれた少なくとも１つの
トラックについて、アクチュエータを変位駆動しない状
態で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子によりトラッ
ク・プロファイル測定を行ってオフトラック距離に対す
る基準出力特性を求め、アクチュエータを変位駆動した
状態で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子によりトラ
ック平均出力値を求め、求めたトラック平均出力値と基
準出力特性とからアクチュエータによる変位量を求める
ことが好ましい。
【００１５】直流の駆動信号が、任意の一定電圧の信号
であるか、又はアクチュエータの所定の変位量における
最大変位をさせる電圧の信号であることが好ましい。
【００１６】磁気媒体上に書込まれた少なくとも１つの
トラックについて、アクチュエータを変位駆動しない状
態で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子によりトラッ
ク・プロファイル測定を行ってオフトラック距離に対す
る基準出力特性を求め、アクチュエータを変位駆動した
状態で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子によりトラ
ック・プロファイル測定を行ってオフトラック距離に対
する出力特性を求め、求めた出力特性と基準出力特性と
からアクチュエータによる変位量を求めることも好まし
い。
【００１７】この場合、アクチュエータが一方の側に所
定の最大変位をするようにこのアクチュエータを変位駆
動した状態で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子によ
りトラック・プロファイル測定を行ってオフトラック距
離に対する第１の出力特性を求め、アクチュエータが他
方の側に最大変位するようにこのアクチュエータを変位
駆動した状態で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子に
よりトラック・プロファイル測定を行ってオフトラック
距離に対する第２の出力特性を求め、求めた第１及び第
２の出力特性と基準出力特性とからアクチュエータによ
る変位量を求めることも好ましい。
【００１８】磁気媒体上に書込まれた少なくとも１つの
トラックが、単一のトラックであるか、又は２つのトラ
ックであるかもしれない。
【００１９】後者の場合、２つのトラックが、アクチュ
エータの一方の側から他方の側までの最大変位量にほぼ
対応する距離だけ互いに離隔していることが好ましい。
【００２０】アクチュエータの変位駆動が、薄膜磁気ヘ
ッド素子の書込み動作時のみ行われることも好ましい。
【００２１】アクチュエータを変位駆動しない状態で薄
膜磁気ヘッド素子により磁気媒体上に書込みを行い、ア
クチュエータを変位駆動しない状態で読出し動作を行い
薄膜磁気ヘッド素子によりトラック・プロファイル測定
を行ってオフトラック距離に対する基準出力特性を求
め、磁気媒体上の書込みを消去し、アクチュエータを変
位駆動した状態で薄膜磁気ヘッド素子により磁気媒体上
に書込みを行い、アクチュエータを変位駆動しない状態
で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子によりトラック
・プロファイル測定を行ってオフトラック距離に対する
出力特性を求め、求めた出力特性と基準出力特性とから
アクチュエータによる変位量を求めることも好ましい。
【００２２】この場合、アクチュエータが一方の側に最
大変位するようにこのアクチュエータを変位駆動した状
態で薄膜磁気ヘッド素子により磁気媒体上に書込みを行
い、アクチュエータを変位駆動しない状態で読出し動作
を行い薄膜磁気ヘッド素子によりトラック・プロファイ
ル測定を行ってオフトラック距離に対する第１の出力特
性を求め、磁気媒体上の書込みを消去し、アクチュエー
タが他方の側に最大変位するようにアクチュエータを変
位駆動した状態で薄膜磁気ヘッド素子により磁気媒体上
に書込みを行い、アクチュエータを変位駆動しない状態
で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子によりトラック
・プロファイル測定を行ってオフトラック距離に対する
第２の出力特性を求め、求めた第１及び第２の出力特性
と基準出力特性とからアクチュエータによる変位量を求
めることがより好ましい。
【００２３】アクチュエータを変位駆動しない状態で薄
膜磁気ヘッド素子により磁気媒体上に書込みを行い、ア
クチュエータを変位駆動しない状態で読出し動作を行い
薄膜磁気ヘッド素子によりトラック平均出力値のピーク
位置を求め、磁気媒体上の書込みを消去し、アクチュエ
ータが一方の側及び他方の側に最大変位するようにアク
チュエータを変位駆動した状態で薄膜磁気ヘッド素子に
より磁気媒体上に書込みをそれぞれ行い、アクチュエー
タを変位駆動しない状態で読出し動作を行い薄膜磁気ヘ
ッド素子によりトラック・プロファイル測定を行ってオ
フトラック距離に対する出力特性を求め、求めた出力特
性とピーク位置とからアクチュエータによる変位量を求
めることも好ましい。
【００２４】アクチュエータの変位駆動が、このアクチ
ュエータに交流の駆動信号を印加することによって行わ
れることも好ましい。
【００２５】アクチュエータの変位駆動が、薄膜磁気ヘ
ッド素子の書込み動作時のみ行われることも好ましい。
【００２６】アクチュエータを交流の駆動信号によって
変位駆動した状態で薄膜磁気ヘッド素子から磁気媒体へ
書込みを行わせ、アクチュエータを変位駆動しない状態
で読出し動作を行い薄膜磁気ヘッド素子により磁気媒体
のトラック・プロファイル測定を行ってオフトラック距
離に対する出力特性を求め、求めた出力特性からアクチ
ュエータによる変位量を求めることも好ましい。
【００２７】この場合、交流の駆動信号の周波数を変え
てアクチュエータによる変位特性を求めることも好まし
い。
【００２８】
【発明の実施の形態】図１は本発明の検査方法の対象と
なるヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）の一例の全体
構成をスライダ側から見た平面図であり、図２は図１に
おけるアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダのフレク
シャへの取り付け構造を示す分解斜視図である。
【００２９】これらの図に示すように、この構成例にお
けるＨＧＡは、サスペンション１０の先端部に磁気ヘッ
ド素子の精密位置決めを行うためのアクチュエータ１１
を取り付け、そのアクチュエータ１１に磁気ヘッド素子
を有するスライダ１２を固着して構成される。
【００３０】サスペンション１０は、アクチュエータ１
１を介してスライダ１２を一方の端部に設けられた舌部
１３ａで担持する弾性を有するフレクシャ１３と、フレ
クシャ１３を支持固着しておりこれも弾性を有するロー
ドビーム１４と、ロードビーム１４の基部に設けられた
ベースプレート１５とから主として構成されている。フ
レクシャ１３上には、積層薄膜パターンによる複数のリ
ード導体を含む可撓性の配線部材１６が形成されてい
る。
【００３１】周知のように、磁気ディスク装置には、こ
のようなＨＧＡを取り付けた駆動アームを変位させてア
センブリ全体を動かす主アクチュエータ（ＶＣＭ）が設
けられている。アクチュエータ１１は、そのような主ア
クチュエータでは駆動できない微細な変位を可能にする
ために設けられている。
【００３２】この構成例では、アクチュエータ１１は、
ピギーバック構造のアクチュエータであり、図２に示す
ように、アクチュエータ１１は、固定部１１ａと、可動
部１１ｂと、これらを接続する２本の棒状の変位発生部
１１ｃ及び１１ｄとをＩ字形状に一体形成して構成され
ている。変位発生部１１ｃ及び１１ｄには、両側に電極
層が存在する圧電・電歪材料層が少なくとも１層設けら
れており、電極層に電圧を印加することにより伸縮を発
生する構成となっている。圧電・電歪材料層は、逆圧電
効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料からな
る。固定部１１ａには、上述の電極層に接続されている
共通電極１１ｅ、Ａチャネル信号電極１１ｆ及びＢチャ
ネル信号電極１１ｇが設けられている。
【００３３】このアクチュエータ１１の変位発生部１１
ｃ及び１１ｄの一端は固定部１１ａを介してフレクシャ
１３に連結され、変位発生部１１ｃ及び１１ｄの他端は
可動部１１ｂを介してスライダ１２に連結されている。
従って、変位発生部１１ｃ及び１１ｄの伸縮によりアク
チュエータ１１の可動部１１ｂが矢印１７のごとく変位
するとスライダ１２が変位して、磁気ヘッド素子１２ａ
が磁気ディスクの記録トラックと交差するように弧状に
変位する。
【００３４】このようなアクチュエータを備えたＨＧＡ
における変位特性を検査するためには、従来はレーザー
ドップラ振動計を用いていたが、本発明によれば、ＨＧ
Ａの電磁変換特性を検査する場合に用いられるダイナミ
ックパフォーマンス（ＤＰ）テスタ、即ちリード／ライ
ト（Ｒ／Ｗ）テスタのトラック・プロファイル測定機能
を利用することによって簡単に求めることができる。以
下、本発明による検査方法の種々の実施形態について説
明する。
【００３５】なお、検査の対象となるＨＧＡは、上述し
たピギーバック構造のアクチュエータを備えたものに限
らず、その他のあらゆる種類の微小位置決めアクチュエ
ータを備えたＨＧＡであることは言うまでも無い。
【００３６】図３は本発明の検査方法の一実施形態にお
けるＨＧＡ特性検査工程を説明するためのフローチャー
トである。
【００３７】検査すべきＨＧＡをＲ／Ｗテスタに装着し
ておき、まず、アクチュエータを変位駆動しない状態で
磁気ディスク上に１本のトラックの書込みを行う（ステ
ップＳ１）。具体的には、ＤＣ７．５Ｖ（バイアス）の
駆動信号をアクチュエータのＡ及びＢチャネル信号電極
に印加し、アクチュエータを初期位置である中央に位置
させた状態で１トラックの書込みを行わせる。図４はこ
のようにして書込まれた磁気ディスク上のトラックを示
している。
【００３８】次いで、同様にアクチュエータを変位駆動
しない状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロ
ファイル測定を行わせる（ステップＳ２）。
【００３９】一般に、Ｒ／Ｗテスタには、装着されたＨ
ＧＡをディスク半径方向に沿って徐々に移動させ、異な
る位置における薄膜磁気ヘッド素子の読出し信号のトラ
ック平均出力値（ＴＡＡ、トラックアベレージアンプリ
チュード）を測定するトラック・プロファイル測定機能
が設けられている。従って、トラック・プロファイル測
定を行うことにより、図５に示すような、オフトラック
距離（トラック中心からの距離）に対するトラック平均
出力値（ＴＡＡ）特性を得ることができる。
【００４０】ステップＳ２のトラック・プロファイル測
定によって得られたオフトラック距離に対するＴＡＡ特
性を基準ＴＡＡ特性として保持しておく。
【００４１】次いで、アクチュエータを変位駆動した状
態で、Ｒ／Ｗテスタによりその位置におけるＴＡＡを求
める（ステップＳ３）。具体的には、ＤＣ０Ｖ（一方の
側への最大変位に対応）からＤＣ１５Ｖ（他方の側への
最大変位に対応）までのうちの任意の駆動信号（ただ
し、ＤＣ７．５Ｖを除く）をアクチュエータの信号電極
に印加し、アクチュエータを初期位置からその駆動電圧
に対応した位置まで変位させた状態でＴＡＡを測定す
る。例えば、駆動信号をＤＣ０ＶからＤＣ１５Ｖまで所
定電圧ずつステップ変化させ、各電圧におけるＴＡＡを
それぞれ測定する。ただし、アクチュエータのＡ及びＢ
チャネル信号電極には、ＤＣ７．５Ｖに対して差電圧の
絶対値が等しく符号が逆の電圧が印加される。
【００４２】このようにして得られたＴＡＡを基準ＴＡ
Ａ特性に当てはめて各駆動電圧に対するオフトラック距
離、即ちアクチュエータの変位量を算出する（ステップ
Ｓ４）。その結果、駆動電圧に対する変位量（ストロー
ク）特性、最大変位量等のアクチュエータの変位特性を
得ることができる。
【００４３】このように、Ｒ／Ｗテスタのトラック・プ
ロファイル測定機能を利用してアクチュエータの変位特
性を求めているため、新規な検査用設備を導入する必要
がないから、その分製造コストを低減化できる。また、
通常行うＲ／Ｗテスタによる電磁変換特性の検査と同時
に変位特性を検査できるため、検査項目は増えるが工程
は増加せず、容易にかつ短時間に検査を行うことがで
き、さらに、検査機器の設置面積増大を招くことがな
く、その意味からも製造コストを低減化できる。
【００４４】図６は本発明の検査方法の他の実施形態に
おけるＨＧＡ特性検査工程を説明するためのフローチャ
ートである。
【００４５】検査すべきＨＧＡをＲ／Ｗテスタに装着し
ておき、まず、アクチュエータを変位駆動しない状態で
磁気ディスク上に２本のトラックの書込みを行う（ステ
ップＳ１１）。具体的には、ＤＣ７．５Ｖ（バイアス）
の駆動信号をアクチュエータのＡ及びＢチャネル信号電
極に印加し、アクチュエータを初期位置である中央に位
置させた状態で２トラックの書込みを行わせる。２つの
トラック間の間隔は、アクチュエータの一方の側から他
方の側までの最大変位量にほぼ対応する距離に設定す
る。図７はこのようにして書込まれた磁気ディスク上の
２つのトラックを示している。
【００４６】次いで、同様にアクチュエータを変位駆動
しない状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロ
ファイル測定を行わせる（ステップＳ１２）。これによ
り、図８に示すような、オフトラック距離（トラック中
心からの距離）に対するトラック平均出力値（ＴＡＡ）
特性を得ることができる。
【００４７】このステップＳ１２のトラック・プロファ
イル測定によって得られたオフトラック距離に対するＴ
ＡＡ特性を基準ＴＡＡ特性として保持しておく。
【００４８】次いで、アクチュエータを変位駆動した状
態で、Ｒ／Ｗテスタによりその位置におけるＴＡＡを求
める（ステップＳ１３）。具体的には、ＤＣ０Ｖ（一方
の側への最大変位に対応）からＤＣ１５Ｖ（他方の側へ
の最大変位に対応）までのうちの任意の駆動信号（ただ
し、ＤＣ７．５Ｖを除く）をアクチュエータに印加し、
アクチュエータを初期位置からその駆動電圧に対応した
位置まで変位させた状態でＴＡＡを測定する。例えば、
駆動信号をＤＣ０ＶからＤＣ１５Ｖまで所定電圧ずつス
テップ変化させ、各電圧におけるＴＡＡをそれぞれ測定
する。ただし、アクチュエータのＡ及びＢチャネル信号
電極には、ＤＣ７．５Ｖに対して差電圧の絶対値が等し
く符号が逆の電圧が印加される。
【００４９】このようにして得られたＴＡＡを基準ＴＡ
Ａ特性に当てはめて各駆動電圧に対するオフトラック距
離、即ちアクチュエータの変位量を算出する（ステップ
Ｓ１４）。その結果、駆動電圧に対する変位量特性、最
大変位量等のアクチュエータの変位特性を得ることがで
きる。
【００５０】このように、Ｒ／Ｗテスタのトラック・プ
ロファイル測定機能を利用してアクチュエータの変位特
性を求めているため、新規な検査用設備を導入する必要
がないから、その分製造コストを低減化できる。また、
通常行うＲ／Ｗテスタによる電磁変換特性の検査と同時
に変位特性を検査できるため、検査項目は増えるが工程
は増加せず、容易にかつ短時間に検査を行うことがで
き、さらに、検査機器の設置面積増大を招くことがな
く、その意味からも製造コストを低減化できる。
【００５１】特に、本実施形態においては、アクチュエ
ータの一方の側から他方の側までの最大変位量にほぼ対
応する距離だけ互いに離隔した２つのトラックの信号を
読出してアクチュエータの変位量を測定しているため、
オフトラック距離（アクチュエータの変位量）が大きい
部分においても基準ＴＡＡ特性が小さい値とならず、変
位量の算出が容易となり、より精度の高い変位量算出が
可能となる。
【００５２】図９は本発明の検査方法のさらに他の実施
形態におけるＨＧＡ特性検査工程を説明するためのフロ
ーチャートである。
【００５３】検査すべきＨＧＡをＲ／Ｗテスタに装着し
ておき、まず、アクチュエータを変位駆動しない状態で
磁気ディスク上に１本のトラックの書込みを行う（ステ
ップＳ２１）。具体的には、ＤＣ７．５Ｖ（バイアス）
の駆動信号をアクチュエータのＡ及びＢチャネル信号電
極に印加し、アクチュエータを初期位置である中央に位
置させた状態で１トラックの書込みを行わせる。図１０
はこのようにして書込まれた磁気ディスク上の１つのト
ラックを示している。
【００５４】次いで、同様にアクチュエータを変位駆動
しない状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロ
ファイル測定を行わせる（ステップＳ２２）。これによ
り、図１１に示すような、オフトラック距離（トラック
中心からの距離）に対するトラック平均出力値（ＴＡ
Ａ）特性を得ることができる。
【００５５】このステップＳ２２のトラック・プロファ
イル測定によって得られたオフトラック距離に対するＴ
ＡＡ特性を基準ＴＡＡ特性として保持しておく。
【００５６】次いで、アクチュエータを一方の側に最大
変位駆動した状態で、具体的には、ＤＣ０Ｖの駆動信号
をアクチュエータのＡチャネル信号電極に印加すると共
にＤＣ１５Ｖの駆動信号をアクチュエータのＢチャネル
信号電極に印加してアクチュエータを片側に最大変位さ
せた状態で、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロファイ
ル測定を行わせる（ステップＳ２３）。これにより、図
１２に示すような、オフトラック距離（トラック中心か
らの距離）に対するトラック平均出力値（ＴＡＡ）特性
を得ることができる。
【００５７】このステップＳ２３のトラック・プロファ
イル測定によって得られたオフトラック距離に対するＴ
ＡＡ特性を第１のＴＡＡ特性として保持しておく。
【００５８】次いで、アクチュエータを他方の側に最大
変位駆動した状態で、具体的には、ＤＣ１５Ｖの駆動信
号をアクチュエータのＢチャネル信号電極に印加すると
共にＤＣ０Ｖの駆動信号をアクチュエータのＡチャネル
信号電極に印加してアクチュエータを他方の側に最大変
位させた状態で、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロフ
ァイル測定を行わせる（ステップＳ２４）。これによ
り、図１３に示すような、オフトラック距離（トラック
中心からの距離）に対するトラック平均出力値（ＴＡ
Ａ）特性を得ることができる。
【００５９】このステップＳ２４のトラック・プロファ
イル測定によって得られたオフトラック距離に対するＴ
ＡＡ特性を第２のＴＡＡ特性として保持しておく。
【００６０】その後、このようにして得られた第１及び
第２のＴＡＡ特性を基準ＴＡＡ特性と比較し、ピークシ
フト量を求めてアクチュエータの各側の最大変位量を算
出する（ステップＳ２５）。その結果、駆動電圧に対す
る最大変位量等のアクチュエータの変位特性を得ること
ができる。
【００６１】このように、Ｒ／Ｗテスタのトラック・プ
ロファイル測定機能を利用してアクチュエータの変位特
性を求めているため、新規な検査用設備を導入する必要
がないから、その分製造コストを低減化できる。また、
通常行うＲ／Ｗテスタによる電磁変換特性の検査と同時
に変位特性を検査できるため、検査項目は増えるが工程
は増加せず、容易にかつ短時間に検査を行うことがで
き、その意味からも製造コストを低減化できる。さら
に、検査機器の設置面積増大を招くことがなく、その意
味からも製造コストを低減化できる。
【００６２】図１４は本発明の検査方法のまたさらに他
の実施形態におけるＨＧＡ特性検査工程を説明するため
のフローチャートである。
【００６３】検査すべきＨＧＡをＲ／Ｗテスタに装着し
ておき、まず、アクチュエータを変位駆動しない状態で
磁気ディスク上に１本のトラックの書込みを行う（ステ
ップＳ３１）。具体的には、ＤＣ７．５Ｖ（バイアス）
の駆動信号をアクチュエータのＡ及びＢチャネル信号電
極に印加し、アクチュエータを初期位置である中央に位
置させた状態で１トラックの書込みを行わせる。
【００６４】次いで、同様にアクチュエータを変位駆動
しない状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロ
ファイル測定を行わせる（ステップＳ３２）。これによ
り、図１５のＰｒｏｆ．１に示すような、オフトラック
距離（トラック中心からの距離）に対するトラック平均
出力値（ＴＡＡ）特性を得ることができる。
【００６５】このステップＳ３２のトラック・プロファ
イル測定によって得られたオフトラック距離に対するＴ
ＡＡ特性を基準ＴＡＡ特性として保持しておく。
【００６６】次いで、このトラックを消去する（ステッ
プＳ３３）。
【００６７】次いで、アクチュエータを一方の側に最大
変位駆動した状態で、具体的には、ＤＣ１５Ｖの駆動信
号をアクチュエータのＡチャネル信号電極に印加すると
共にＤＣ０Ｖの駆動信号をアクチュエータのＢチャネル
信号電極に印加してアクチュエータを片側に最大変位さ
せた状態で、１トラックの書込みを行わせる（ステップ
Ｓ３４）。
【００６８】その後、アクチュエータを変位駆動しない
状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロファイ
ル測定を行わせる（ステップＳ３５）。これにより、図
１５のＰｒｏｆ．２に示すような、オフトラック距離
（トラック中心からの距離）に対するトラック平均出力
値（ＴＡＡ）特性を得ることができる。
【００６９】このステップＳ３５のトラック・プロファ
イル測定によって得られたオフトラック距離に対するＴ
ＡＡ特性を第１のＴＡＡ特性として保持しておく。
【００７０】次いで、このトラックを消去する（ステッ
プＳ３６）。
【００７１】次いで、アクチュエータを他方の側に最大
変位駆動した状態で、具体的には、ＤＣ０Ｖの駆動信号
をアクチュエータのＡチャネル信号電極に印加すると共
にＤＣ１５Ｖの駆動信号をアクチュエータのＢチャネル
信号電極に印加してアクチュエータを片側に最大変位さ
せた状態で、１トラックの書込みを行わせる（ステップ
Ｓ３７）。
【００７２】その後、アクチュエータを変位駆動しない
状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロファイ
ル測定を行わせる（ステップＳ３８）。これにより、図
１５のＰｒｏｆ．３に示すような、オフトラック距離
（トラック中心からの距離）に対するトラック平均出力
値（ＴＡＡ）特性を得ることができる。
【００７３】このステップＳ３８のトラック・プロファ
イル測定によって得られたオフトラック距離に対するＴ
ＡＡ特性を第２のＴＡＡ特性として保持しておく。
【００７４】その後、このようにして得られた第１及び
第２のＴＡＡ特性を基準ＴＡＡ特性と比較し、アクチュ
エータのピークシフト量を求め、各側の最大変位量を算
出する（ステップＳ３９）。その結果、駆動電圧に対す
る最大変位量等のアクチュエータの変位特性を得ること
ができる。
【００７５】このように、Ｒ／Ｗテスタのトラック・プ
ロファイル測定機能を利用してアクチュエータの変位特
性を求めているため、新規な検査用設備を導入する必要
がないから、その分製造コストを低減化できる。また、
通常行うＲ／Ｗテスタによる電磁変換特性の検査と同時
に変位特性を検査できるため、検査項目は増えるが工程
は増加せず、容易にかつ短時間に検査を行うことがで
き、その意味からも製造コストを低減化できる。さら
に、検査機器の設置面積増大を招くことがなく、その意
味からも製造コストを低減化できる。
【００７６】図１６は本発明の検査方法のさらに他の実
施形態におけるＨＧＡ特性検査工程を説明するためのフ
ローチャートである。
【００７７】検査すべきＨＧＡをＲ／Ｗテスタに装着し
ておき、まず、アクチュエータを変位駆動しない状態で
磁気ディスク上に１本のトラックの書込みを行う（ステ
ップＳ４１）。具体的には、ＤＣ７．５Ｖ（バイアス）
の駆動信号をアクチュエータのＡ及びＢチャネル信号電
極に印加し、アクチュエータを初期位置である中央に位
置させた状態で１トラックの書込みを行わせる。
【００７８】次いで、同様にアクチュエータを変位駆動
しない状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック平均出
力値（ＴＡＡ）のピーク位置を求める（ステップＳ４
２）。これにより、図１７に示すように、オフトラック
距離（トラック中心からの距離）がゼロの位置を知るこ
とができる。
【００７９】次いで、このトラックを消去する（ステッ
プＳ４３）。
【００８０】次いで、アクチュエータを一方の側に最大
変位駆動した状態で、具体的には、ＤＣ１５Ｖの駆動信
号をアクチュエータのＡチャネル信号電極に印加すると
共にＤＣ０Ｖの駆動信号をアクチュエータのＢチャネル
信号電極に印加してアクチュエータを片側に最大変位さ
せた状態で、１トラックの書込みを行わせる（ステップ
Ｓ４４）。
【００８１】次いで、アクチュエータを他方の側に最大
変位駆動した状態で、具体的には、ＤＣ０Ｖの駆動信号
をアクチュエータのＡチャネル信号電極に印加すると共
にＤＣ１５Ｖの駆動信号をアクチュエータのＢチャネル
信号電極に印加してアクチュエータを片側に最大変位さ
せた状態で、１トラックの書込みを行わせる（ステップ
Ｓ４５）。
【００８２】その後、アクチュエータを変位駆動しない
状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロファイ
ル測定を行わせる（ステップＳ４６）。これにより、図
１７に示すような、オフトラック距離（トラック中心か
らの距離）に対するＴＡＡ特性を得ることができる。
【００８３】このステップＳ４６のトラック・プロファ
イル測定によって得られたオフトラック距離に対するＴ
ＡＡ特性を保持しておく。
【００８４】その後、このようにして得られたＴＡＡ特
性をＴＡＡのピーク位置と比較し、アクチュエータのピ
ークシフト量を求め、各側の最大変位量を算出する（ス
テップＳ４７）。その結果、駆動電圧に対する最大変位
量等のアクチュエータの変位特性を得ることができる。
【００８５】このように、Ｒ／Ｗテスタのトラック・プ
ロファイル測定機能を利用してアクチュエータの変位特
性を求めているため、新規な検査用設備を導入する必要
がないから、その分製造コストを低減化できる。また、
通常行うＲ／Ｗテスタによる電磁変換特性の検査と同時
に変位特性を検査できるため、検査項目は増えるが工程
は増加せず、容易にかつ短時間に検査を行うことがで
き、その意味からも製造コストを低減化できる。さら
に、検査機器の設置面積増大を招くことがなく、その意
味からも製造コストを低減化できる。
【００８６】図１８は本発明の検査方法のまたさらに他
の実施形態におけるＨＧＡ特性検査工程を説明するため
のフローチャートである。
【００８７】検査すべきＨＧＡをＲ／Ｗテスタに装着し
ておき、まず、交流の駆動信号によってアクチュエータ
を変位駆動した状態で薄膜磁気ヘッド素子から磁気ディ
スクへ書込みを行う（ステップＳ５１）。具体的には、
１〜１０ｋＨｚ程度の周波数を有し、７．５Ｖでバイア
スされた振幅が７．５ＶのＡＣの駆動信号をアクチュエ
ータの共通電極とＡ及びＢチャネル信号電極との間に互
いに逆相に印加することによりアクチュエータを最大変
位間で駆動させた状態で１トラックの書込みを行わせ
る。これにより、図１９に示すように、磁気ディスク上
に書込みが行われる。
【００８８】次いで、アクチュエータを変位駆動しない
状態に保ち、Ｒ／Ｗテスタによりトラック・プロファイ
ル測定を行わせる（ステップＳ５２）。具体的には、Ｄ
Ｃ７．５Ｖ（バイアス）の駆動信号をアクチュエータの
Ａ及びＢチャネル信号電極に印加し、アクチュエータを
初期位置である中央に位置させた状態でトラック・プロ
ファイル測定を行わせる。これにより、図１９に示すよ
うな、オフトラック距離（トラック中心からの距離）に
対するＴＡＡ特性を得ることができる。
【００８９】このトラック・プロファイル測定によって
得られたオフトラック距離に対するＴＡＡ特性から、ア
クチュエータの各側の最大変位量を算出する（ステップ
Ｓ５３）。その結果、駆動電圧に対する最大変位量等の
アクチュエータの変位特性を得ることができる。
【００９０】本実施形態によれば、図２０に示すよう
に、アクチュエータの変位量（ストローク）が大きい
（同図（Ａ））及び小さい（同図（Ｂ））等の変位特性
を得ることができるのみならず、図２１に示すように、
アクチュエータの変位量が左右非均一な変位特性をも容
易に求めることができる。
【００９１】このように、Ｒ／Ｗテスタのトラック・プ
ロファイル測定機能を利用してアクチュエータの変位特
性を求めているため、新規な検査用設備を導入する必要
がないから、その分製造コストを低減化できる。また、
通常行うＲ／Ｗテスタによる電磁変換特性の検査と同時
に変位特性を検査できるため、検査項目は増えるが工程
は増加せず、容易にかつ短時間に検査を行うことがで
き、その意味からも製造コストを低減化できる。さら
に、検査機器の設置面積増大を招くことがなく、その意
味からも製造コストを低減化できる。
【００９２】特に、本実施形態では、アクチュエータを
ＡＣ駆動してその変位特性を得ているため、アクチュエ
ータの実際の使用状況に近い状態で検査を行うことがで
きる。その結果、より精度の高い検査が可能となる。
【００９３】なお、アクチュエータ駆動信号の周波数を
変えて同様の検査を行うことにより、種々の周波数に対
するアクチュエータの変位特性も検査可能となる。
【００９４】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【００９５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、アクチュエータの変位駆動と、薄膜磁気ヘッド素子
による電磁変換特性の測定であるトラック・プロファイ
ル測定とを利用してアクチュエータの変位特性を求めて
いるため、新規な検査用設備を導入する必要がない。従
って、その分製造コストを低減化できる。また、通常行
う電磁変換特性の検査と同時に変位特性を検査できるた
め、検査項目は増えるが工程は増加せず、簡単にかつ短
時間に検査を行うことができ、さらに、検査機器の設置
面積増大を招くことがなく、その意味からも製造コスト
を低減化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査方法の対象となるＨＧＡの一例の
全体構成をスライダ側から見た平面図である。
【図２】図１におけるアクチュエータ及び磁気ヘッドス
ライダのフレクシャへの取り付け構造を示す分解斜視図
である。
【図３】本発明の検査方法の一実施形態におけるＨＧＡ
特性検査工程を説明するためのフローチャートである。
【図４】図３の実施形態において磁気ディスク上に書き
込まれたトラックを説明する図である。
【図５】図３の実施形態においてトラック・プロファイ
ル測定で得た基準ＴＡＡ特性を表す図である。
【図６】本発明の検査方法の他の実施形態におけるＨＧ
Ａ特性検査工程を説明するためのフローチャートであ
る。
【図７】図６の実施形態において磁気ディスク上に書き
込まれたトラックを説明する図である。
【図８】図６の実施形態においてトラック・プロファイ
ル測定で得た基準ＴＡＡ特性を表す図である。
【図９】本発明の検査方法のさらに他の実施形態におけ
るＨＧＡ特性検査工程を説明するためのフローチャート
である。
【図１０】図９の実施形態において磁気ディスク上に書
き込まれたトラックを説明する図である。
【図１１】図９の実施形態においてトラック・プロファ
イル測定で得た基準ＴＡＡ特性を表す図である。
【図１２】図９の実施形態においてトラック・プロファ
イル測定で得た第１のＴＡＡ特性を表す図である。
【図１３】図９の実施形態においてトラック・プロファ
イル測定で得た第２のＴＡＡ特性を表す図である。
【図１４】本発明の検査方法のまたさらに他の実施形態
におけるＨＧＡ特性検査工程を説明するためのフローチ
ャートである。
【図１５】図１４の実施形態においてトラック・プロフ
ァイル測定で得たＴＡＡ特性を表す図である。
【図１６】本発明の検査方法のさらに他の実施形態にお
けるＨＧＡ特性検査工程を説明するためのフローチャー
トである。
【図１７】図１６の実施形態においてトラック・プロフ
ァイル測定で得たＴＡＡ特性を表す図である。
【図１８】本発明の検査方法のまたさらに他の実施形態
におけるＨＧＡ特性検査工程を説明するためのフローチ
ャートである。
【図１９】図１８の実施形態において磁気ディスク上に
書き込まれたトラック及びトラック・プロファイル測定
で得たＴＡＡ特性を表す図である。
【図２０】図１８の実施形態において、変位量が大きい
及び小さいアクチュエータにより磁気ディスク上に書き
込まれたトラックを表す図である。
【図２１】図１８の実施形態において、変位量が左右非
均一のアクチュエータにより磁気ディスク上に書き込ま
れたトラックを表す図である。
【符号の説明】
１０ サスペンション １１ アクチュエータ １１ａ 固定部 １１ｂ 可動部 １１ｃ、１１ｄ 変位発生部 １１ｅ 共通電極 １１ｆ Ａチャネル信号電極 １１ｇ Ｂチャネル信号電極 １２ 磁気ヘッドスライダ １２ａ 磁気ヘッド素子 １３ フレクシャ １３ａ 舌部 １４ ロードビーム １５ ベースプレート １６ 配線部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白石 一雅 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 (72)発明者 本田 隆 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 (72)発明者 和田 健 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA03 5D059 AA01 BA01 DA35 EA20 5D091 AA08 FF01 5D096 NN03 NN07

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子を
    有する磁気ヘッドスライダと、支持機構と、該支持機構
    に対して前記磁気ヘッドスライダを変位させて前記薄膜
    磁気ヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエ
    ータとを備えたヘッドジンバルアセンブリの特性を検査
    する方法であって、前記アクチュエータの変位駆動及び
    磁気媒体のトラック・プロファイル測定を行って該アク
    チュエータの変位特性を求めることを特徴とする微小位
    置決めアクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブ
    リの特性検査方法。
  2. 【請求項２】 前記アクチュエータの変位駆動が、該ア
    クチュエータに直流の駆動信号を印加することによって
    行われることを特徴とする請求項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記アクチュエータの変位駆動が、前記
    薄膜磁気ヘッド素子の読出し動作時のみ行われることを
    特徴とする請求項２に記載の方法。
  4. 【請求項４】 前記磁気媒体上に書込まれた少なくとも
    １つのトラックについて、前記アクチュエータを変位駆
    動しない状態で読出し動作を行い前記薄膜磁気ヘッド素
    子によりトラック・プロファイル測定を行ってオフトラ
    ック距離に対する基準出力特性を求め、該アクチュエー
    タを変位駆動した状態で読出し動作を行い前記薄膜磁気
    ヘッド素子によりトラック平均出力値を求め、該求めた
    トラック平均出力値と前記基準出力特性とから前記アク
    チュエータによる変位量を求めることを特徴とする請求
    項２又は３に記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記直流の駆動信号が、任意の一定電圧
    の信号であることを特徴とする請求項４に記載の方法。
  6. 【請求項６】 前記直流の駆動信号が、前記アクチュエ
    ータの所定の変位量における最大変位をさせる電圧の信
    号であることを特徴とする請求項４に記載の方法。
  7. 【請求項７】 前記磁気媒体上に書込まれた少なくとも
    １つのトラックについて、前記アクチュエータを変位駆
    動しない状態で読出し動作を行い前記薄膜磁気ヘッド素
    子によりトラック・プロファイル測定を行ってオフトラ
    ック距離に対する基準出力特性を求め、該アクチュエー
    タを変位駆動した状態で読出し動作を行い前記薄膜磁気
    ヘッド素子によりトラック・プロファイル測定を行って
    オフトラック距離に対する出力特性を求め、該求めた出
    力特性と前記基準出力特性とから前記アクチュエータに
    よる変位量を求めることを特徴とする請求項２、３又は
    ６に記載の方法。
  8. 【請求項８】 前記アクチュエータが一方の側に最大変
    位するように該アクチュエータを変位駆動した状態で読
    出し動作を行い前記薄膜磁気ヘッド素子によりトラック
    ・プロファイル測定を行ってオフトラック距離に対する
    第１の出力特性を求め、該アクチュエータが他方の側に
    最大変位するように該アクチュエータを変位駆動した状
    態で読出し動作を行い前記薄膜磁気ヘッド素子によりト
    ラック・プロファイル測定を行ってオフトラック距離に
    対する第２の出力特性を求め、該求めた第１及び第２の
    出力特性と前記基準出力特性とから前記アクチュエータ
    による変位量を求めることを特徴とする請求項７に記載
    の方法。
  9. 【請求項９】 前記磁気媒体上に書込まれた少なくとも
    １つのトラックが、単一のトラックであることを特徴と
    する請求項４から８のいずれか１項に記載の方法。
  10. 【請求項１０】 前記磁気媒体上に書込まれた少なくと
    も１つのトラックが、２つのトラックであることを特徴
    とする請求項４から８のいずれか１項に記載の方法。
  11. 【請求項１１】 前記磁気媒体上に書込まれた２つのト
    ラックが、前記アクチュエータの一方の側から他方の側
    までの最大変位量にほぼ対応する距離だけ互いに離隔し
    ていることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
  12. 【請求項１２】 前記アクチュエータの変位駆動が、前
    記薄膜磁気ヘッド素子の書込み動作時のみ行われること
    を特徴とする請求項２に記載の方法。
  13. 【請求項１３】 前記アクチュエータを変位駆動しない
    状態で前記薄膜磁気ヘッド素子により前記磁気媒体上に
    書込みを行い、該アクチュエータを変位駆動しない状態
    で読出し動作を行い前記薄膜磁気ヘッド素子によりトラ
    ック・プロファイル測定を行ってオフトラック距離に対
    する基準出力特性を求め、前記磁気媒体上の書込みを消
    去し、該アクチュエータを変位駆動した状態で前記薄膜
    磁気ヘッド素子により前記磁気媒体上に書込みを行い、
    該アクチュエータを変位駆動しない状態で読出し動作を
    行い前記薄膜磁気ヘッド素子によりトラック・プロファ
    イル測定を行ってオフトラック距離に対する出力特性を
    求め、該求めた出力特性と前記基準出力特性とから前記
    アクチュエータによる変位量を求めることを特徴とする
    請求項２又は１２に記載の方法。
  14. 【請求項１４】 前記アクチュエータが一方の側に最大
    変位するように該アクチュエータを変位駆動した状態で
    前記薄膜磁気ヘッド素子により前記磁気媒体上に書込み
    を行い、該アクチュエータを変位駆動しない状態で読出
    し動作を行い前記薄膜磁気ヘッド素子によりトラック・
    プロファイル測定を行ってオフトラック距離に対する第
    １の出力特性を求め、前記磁気媒体上の書込みを消去
    し、該アクチュエータが他方の側に最大変位するように
    該アクチュエータを変位駆動した状態で前記薄膜磁気ヘ
    ッド素子により前記磁気媒体上に書込みを行い、該アク
    チュエータを変位駆動しない状態で読出し動作を行い前
    記薄膜磁気ヘッド素子によりトラック・プロファイル測
    定を行ってオフトラック距離に対する第２の出力特性を
    求め、該求めた第１及び第２の出力特性と前記基準出力
    特性とから前記アクチュエータによる変位量を求めるこ
    とを特徴とする請求項１３に記載の方法。
  15. 【請求項１５】 前記アクチュエータを変位駆動しない
    状態で前記薄膜磁気ヘッド素子により前記磁気媒体上に
    書込みを行い、該アクチュエータを変位駆動しない状態
    で読出し動作を行い前記薄膜磁気ヘッド素子によりトラ
    ック平均出力値のピーク位置を求め、前記磁気媒体上の
    書込みを消去し、該アクチュエータが一方の側及び他方
    の側に最大変位するように該アクチュエータを変位駆動
    した状態で前記薄膜磁気ヘッド素子により前記磁気媒体
    上に書込みをそれぞれ行い、該アクチュエータを変位駆
    動しない状態で読出し動作を行い前記薄膜磁気ヘッド素
    子によりトラック・プロファイル測定を行ってオフトラ
    ック距離に対する出力特性を求め、該求めた出力特性と
    前記ピーク位置とから前記アクチュエータによる変位量
    を求めることを特徴とする請求項２又は１２に記載の方
    法。
  16. 【請求項１６】 前記アクチュエータの変位駆動が、該
    アクチュエータに交流の駆動信号を印加することによっ
    て行われることを特徴とする請求項１に記載の方法。
  17. 【請求項１７】 前記アクチュエータの変位駆動が、前
    記薄膜磁気ヘッド素子の書込み動作時のみ行われること
    を特徴とする請求項１６に記載の方法。
  18. 【請求項１８】 前記アクチュエータを交流の駆動信号
    によって変位駆動した状態で前記薄膜磁気ヘッド素子か
    ら磁気媒体へ書込みを行い、該アクチュエータを変位駆
    動しない状態で読出し動作を行い該薄膜磁気ヘッド素子
    により前記磁気媒体のトラック・プロファイル測定を行
    ってオフトラック距離に対する出力特性を求め、該求め
    た出力特性から前記アクチュエータによる変位量を求め
    ることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の方法。
  19. 【請求項１９】 前記交流の駆動信号の周波数を変えて
    前記アクチュエータによる変位特性を求めることを特徴
    とする請求項１８に記載の方法。
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