JP2007516417A - 超短波長超狭帯域幅高出力レーザの光スペクトル出力の帯域幅の測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
記録パラメータ(「RP」)=A*(測定パラメータ(「MP」))+C
(ここで、RP及びMPは異なるタイプのパラメータ、A及びCの値はRPが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのMP応答の較正に基づいて決定される)
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算するようになった記録パラメータ計算ユニットと、を備えることができるレーザシステムを制御するための装置及び方法が開示される。光帯域幅測定ユニットは、エタロン又は格子分光計などの干渉又は分散光学計器を含むことができる。RPは、例えばFWXMにおけるものとすることができ、MPは、例えばFWX’Mにおけるものとすることができ、X≠X’である。RPは、例えばEX%におけるものであってもよく、MPは、例えばFWXMにおけるものであってもよい。
【選択図】図1
Description
記録パラメータ(「RP」)=A*(測定パラメータ(「MP」))+C
(ここで、RP及びMPは異なるタイプのパラメータ、A及びCの値はRPが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのMP応答の較正に基づいて決定される)
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算するようになった記録パラメータ計算ユニットと、を備えることができるレーザシステムをモニタリングするための装置及び方法が開示される。光帯域幅測定ユニットは、エタロン又は格子分光計などの干渉又は分散光学計器を含むことができる。RPは、例えばFWXMにおけるものとすることができ、MPは、例えばFWX'Mにおけるものとすることができ、X≠X’である。RPは、例えばEX%におけるものであってもよく、MPは、例えばFWXMにおけるものであってもよい。
BW1(例えばFWHMでの値)=A*(干渉縞測定値(例えばFWHMでの値))+C
に従って、例えばビーム20、22のレーザ放射光のスペクトルの未知のスペクトル帯域幅を計算することができる。勾配A及び切片Cは、例えば、製造時に所与の波長計に対して求めることができる予め定められた較正値とすることができる。これらA及びCの値は、例えば、FWHMが極めて正確な帯域幅測定器で計測される光源で較正することによって求めることができる。本出願の目的において、較正に使用される値、例えば較正光のスペクトルのFWHMは、記録パラメータと呼ぶことにする。帯域幅検出器/測定器によって計測される光のスペクトルに対する帯域幅検出器の応答の帯域幅を求めるのに利用される値は、測定パラメータと呼ぶことにする。従って測定パラメータは、最終的には、光が正確な帯域幅のものであるかどうかを判定し、レーザが動作仕様の範囲内にない場合にレーザに制御指令を出すのに用いられるPDA30からのReported電圧によって計算される値である。
RP(E95%)=A*(干渉縞測定(FWXM))+C
に基づいて記録パラメータを出力することになる。
RP(FWHM)=A*(干渉縞測定(FW75%M))+C
に従って記録パラメータを報告するのに使用される。
RP(E95)=A*(干渉縞測定(FW25%M))+C
とすることができる。
12 レーザ
14 光ビーム
16 ビームスプリッタ
20 ビーム
22 ビーム
24 エタロン
28 ビーム
30 光検出器のアレイ
32 バス
34 プロセッサ
Claims (72)
- レーザから放射される光のスペクトルの未知の帯域幅を測定するようになった分光計測定器を含むレーザモニタリングシステムであって、
前記測定器が、
測定されているスペクトルの未知の帯域幅のパラメータを表す測定パラメータを出力として供給するようになった光帯域幅測定ユニットと、
次式:
記録パラメータ(「RP」)=A*(測定パラメータ(「MP」))+C
(ここで、RP及びMPは異なるタイプのパラメータ、A及びCの値はRPが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのMP応答の較正に基づいて決定される)
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算するようになった記録パラメータ計算ユニットと、
を備えたレーザモニタリングシステム。 - 前記光帯域幅測定ユニットが干渉又は分散光学計器を含むことを特徴とする請求項1に記載のレーザモニタリングシステム。
- 前記光帯域幅測定ユニットがエタロンを含むことを特徴とする請求項1に記載のレーザモニタリングシステム。
- 前記光帯域幅測定ユニットがエタロンを含むことを特徴とする請求項2に記載のレーザモニタリングシステム。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項1に記載のレーザモニタリングシステム。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項2に記載のレーザモニタリングシステム。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項3に記載のレーザモニタリングシステム。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項4に記載のレーザモニタリングシステム。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項1に記載のレーザモニタリングシステム。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項2に記載のレーザモニタリングシステム。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項3に記載のレーザモニタリングシステム。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項4に記載のレーザモニタリングシステム。
- 光のスペクトルの未知の帯域幅を測定するための分光計であって、
測定されているスペクトルの未知の帯域幅のパラメータを表す測定パラメータを出力として供給するようになった光帯域幅測定ユニットと、
次式:
記録パラメータ(「RP」)=A*(測定パラメータ(「MP」))+C
(ここで、RP及びMPは異なるタイプのパラメータ、A及びCの値はRPが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのMP応答の較正に基づいて決定される)
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算するようになった記録パラメータ計算ユニットと、
を備える分光計。 - 前記光帯域幅測定ユニットが干渉又は分散光学計器を含むことを特徴とする請求項13に記載の分光計。
- 前記光帯域幅測定ユニットがエタロンを含むことを特徴とする請求項13に記載の分光計。
- 前記光帯域幅測定ユニットがエタロンを含むことを特徴とする請求項14に記載の分光計。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項13に記載の分光計。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項14に記載の分光計。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項15に記載の分光計。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項16に記載の分光計。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項13に記載の分光計。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項14に記載の分光計。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項15に記載の分光計。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項16に記載の分光計。
- レーザから放射される光のスペクトルの未知の帯域幅を測定する分光計手段を含むレーザ制御システムであって、
前記分光計手段が、
測定されているスペクトルの未知の帯域幅のパラメータを表す測定パラメータを出力として供給する光帯域幅測定手段と、
次式:
記録パラメータ(「RP」)=A*(測定パラメータ(「MP」))+C
(ここで、RP及びMPは異なるタイプのパラメータ、A及びCの値はRPが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのMP応答の較正に基づいて決定される)
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算する記録パラメータ計算手段と、
を備えたレーザ制御システム。 - 前記光帯域幅測定手段が干渉又は分散光学計器を含むことを特徴とする請求項25に記載のレーザ制御システム。
- 前記光帯域幅測定手段がエタロンを含むことを特徴とする請求項25に記載のレーザ制御システム。
- 前記光帯域幅測定手段がエタロンを含むことを特徴とする請求項26に記載のレーザ制御システム。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項25に記載のレーザ制御システム。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項26に記載のレーザ制御システム。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項27に記載のレーザ制御システム。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項28に記載のレーザ制御システム。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項25に記載のレーザ制御システム。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項26に記載のレーザ制御システム。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項27に記載のレーザ制御システム。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項28に記載のレーザ制御システム。
- 光のスペクトルの未知の帯域幅を測定するための分光計であって、
測定されているスペクトルの未知の帯域幅のパラメータを表す測定パラメータを出力として供給する光帯域幅測定手段と、
次式:
記録パラメータ(「RP」)=A*(測定パラメータ(「MP」))+C
(ここで、RP及びMPは異なるタイプのパラメータ、A及びCの値はRPが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのMP応答の較正に基づいて決定される)
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算する記録パラメータ計算手段と、
を備える分光計。 - 前記光帯域幅測定手段が干渉又は分散光学計器を含むことを特徴とする請求項37に記載の分光計。
- 前記光帯域幅測定手段がエタロンを含むことを特徴とする請求項37に記載の分光計。
- 前記光帯域幅測定手段がエタロンを含むことを特徴とする請求項38に記載の分光計。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項37に記載の分光計。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項38に記載の分光計。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項39に記載の分光計。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項40に記載の分光計。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項37に記載の分光計。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項38に記載の分光計。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項39に記載の分光計。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項40に記載の分光計。
- レーザを制御するための方法であって、
測定されているスペクトルの未知の帯域幅のパラメータを表す測定パラメータの測定値を供給する段階と、
次式:
記録パラメータ(「RP」)=A*(測定パラメータ(「MP」))+C
(ここで、RP及びMPは異なるタイプのパラメータ、A及びCの値はRPが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのMP応答の較正に基づいて決定される)
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算する段階と、
によってレーザから放射される光のスペクトルの未知の帯域幅を測定するために分光計手段を利用することを含む方法。 - 前記光帯域幅を測定するために干渉又は分散光学計器を用いる段階を更に含む請求項49に記載の方法。
- 前記光帯域幅を測定するためにエタロンを用いる段階を更に含む請求項49に記載の方法。
- 前記光帯域幅を測定するためにエタロンを用いる段階を更に含む請求項50に記載の方法。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項49に記載の方法。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項50に記載の方法。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項51に記載の方法。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項52に記載の方法。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項49に記載の方法。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項50に記載の方法。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項51に記載の方法。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項52に記載の方法。
- 光のスペクトルの未知の帯域幅を測定するための方法であって、
光帯域幅測定手段を用いて測定されているスペクトルの未知の帯域幅のパラメータを表す測定パラメータを出力として供給する段階と、
次式:
記録パラメータ(「RP」)=A*(測定パラメータ(「MP」))+C
(ここで、RP及びMPは異なるタイプのパラメータ、A及びCの値はRPが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのMP応答の較正に基づいて決定される)
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算する段階と、を含む方法。 - 前記光帯域幅測定を行うために干渉又は分散光学計器を用いる段階を更に含む請求項61に記載の方法。
- 前記光帯域幅測定を行うためにエタロンを用いる段階を更に含む請求項61に記載の方法。
- 前記光帯域幅測定を行うためにエタロンを用いる段階を更に含む請求項62に記載の方法。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項61に記載の方法。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項62に記載の方法。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項63に記載の方法。
- RPがFWXMにおけるものであり、MPがFWX’Mにおけるものであり、X≠X’であることを特徴とする請求項64に記載の方法。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項61に記載の方法。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項62に記載の方法。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項63に記載の方法。
- RPがEX%におけるものであり、MPがFWXMにおけるものであることを特徴とする請求項64に記載の方法。
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