JP2007514166A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007514166A5
JP2007514166A5 JP2006543907A JP2006543907A JP2007514166A5 JP 2007514166 A5 JP2007514166 A5 JP 2007514166A5 JP 2006543907 A JP2006543907 A JP 2006543907A JP 2006543907 A JP2006543907 A JP 2006543907A JP 2007514166 A5 JP2007514166 A5 JP 2007514166A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
sensor
radiation detector
vacuum chamber
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006543907A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4903578B2 (ja
JP2007514166A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US10/736,913 external-priority patent/US7105821B1/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2007514166A publication Critical patent/JP2007514166A/ja
Publication of JP2007514166A5 publication Critical patent/JP2007514166A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4903578B2 publication Critical patent/JP4903578B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (10)

  1. ースおよびウインドウを具備している真空室と、
    真空室内に配置されてる冷却されない熱センサと、
    真空室内において放射線センサとウインドウとの間に配置された冷却されないフィルタと、
    前記熱センサおよび前記フィルタに熱を伝達するように結合された熱抽出装置とを備え、前記フィルタおよびセンサは相互に近接して配置されており、気体分子流中における真空室の表面からセンサの入射表面への熱の移動は実質的に阻止されている放射線検出器。
  2. 熱抽出装置は、各熱センサおよびフィルタが熱的に結合されている共通ヒートシンクを具備している請求項1記載の放射線検出器。
  3. 熱抽出装置は、フィルタおよび熱センサを実質的に同じ温度に維持するように動作する請求項1記載の放射線検出器。
  4. 入射表面は、フィルタからゼロではない距離hだけ離されている請求項1記載の放射線検出器。
  5. 熱センサは、読出し集積回路(ROIC)に結合されているセンサのアレイであり、フィルタは少なくとも1つの取付けによりROICに結合され、熱抽出装置はROICを通してセンサおよびフィルタに結合されている請求項1記載の放射線検出器。
  6. フィルタはバンドパスフィルタを含んでいる請求項1記載の放射線検出器。
  7. ベースと、ウインドウと、熱放射線を検出するセンサと、および1以上の非極低温熱抽出装置とを備えており、ベースおよびウインドウにより少なくとも部分的に規定された真空室内にセンサが配置されている放射線検出器おいて、
    フィルタは、真空室内においてセンサとウインドウとの間にこのセンサからゼロではない距離hだけ離されて配置され、前記hは約0.1インチ以下である放射線検出器。
  8. 真空室内の圧力は、約0.02トル以下である請求項記載の放射線検出器。
  9. フィルタはバンドパスフィルタを含んでいる請求項記載の放射線検出器。
  10. 熱抽出装置は、センサとフィルタの両者に対してヒートシンクとして機能する請求項7記載の放射線検出器。
JP2006543907A 2003-12-15 2004-12-02 温度制御された放射線フィルタを使用する温度安定化された放射線検出器 Expired - Fee Related JP4903578B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/736,913 US7105821B1 (en) 2003-12-15 2003-12-15 Thermally stabilized radiation detector utilizing temperature controlled radiation filter
US10/736,913 2003-12-15
PCT/US2004/040686 WO2005062010A1 (en) 2003-12-15 2004-12-02 Thermally stabilized radiation detector utilizing temperature controlled radiation filter

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2007514166A JP2007514166A (ja) 2007-05-31
JP2007514166A5 true JP2007514166A5 (ja) 2008-01-24
JP4903578B2 JP4903578B2 (ja) 2012-03-28

Family

ID=34710471

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006543907A Expired - Fee Related JP4903578B2 (ja) 2003-12-15 2004-12-02 温度制御された放射線フィルタを使用する温度安定化された放射線検出器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7105821B1 (ja)
EP (1) EP1709406B1 (ja)
JP (1) JP4903578B2 (ja)
IL (1) IL170035A (ja)
WO (1) WO2005062010A1 (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4385255B2 (ja) * 2004-06-10 2009-12-16 日本電気株式会社 ボロメータ型赤外線検出器及び残像の低減方法
US7910890B2 (en) * 2006-08-24 2011-03-22 Pacific Advanced Technology Infrared camera system with diffractive optical array
US20080048121A1 (en) * 2006-08-24 2008-02-28 Pacific Advanced Technology Uncooled Infrared Camera System for Detecting Chemical Leaks and Method for Making the Same
US7732781B2 (en) * 2007-04-20 2010-06-08 Lawrence Livermore National Security, Llc Hand-held, mechanically cooled, radiation detection system for gamma-ray spectroscopy
US9157806B2 (en) * 2010-02-18 2015-10-13 Rafael Advanced Defense Systems Ltd. System and method for changing spectral range of a cryogenically cooled detector
US8610062B2 (en) * 2011-03-24 2013-12-17 Raytheon Company Apparatus and method for multi-spectral imaging
CN102564595B (zh) * 2011-12-14 2013-11-13 北京卫星环境工程研究所 用于真空低温环境的红外热波检测系统
CN103076552B (zh) * 2012-03-23 2015-05-13 南京理工大学 一种抑制偏置电压纹波和列输出放大器通道不均匀的方法
RU2610052C1 (ru) * 2015-12-18 2017-02-07 Открытое акционерное общество "Объединенная ракетно-космическая корпорация" (ОАО "ОРКК") Установка термостабилизации объекта испытаний
US10056101B1 (en) * 2016-09-08 2018-08-21 Seagate Technology Llc Contact detection and laser power monitoring sensor for heat-assisted magnetic recording head
US10753805B2 (en) * 2017-04-05 2020-08-25 Kaiser Optical Systems Inc. Radiation shield for near-infrared detectors
CN106959711B (zh) * 2017-05-11 2018-12-25 江苏北方湖光光电有限公司 抑制红外焦平面温度异常的控制系统及方法
US11079281B2 (en) * 2019-01-17 2021-08-03 Uvia Group Llc Cold stage actuation of optical elements including an optical light shield and a lenslet array connected to a cold finger
US11635344B2 (en) * 2019-02-01 2023-04-25 Optikos Corporation Portable optic metrology thermal chamber module and method therefor
CN110031111A (zh) * 2019-04-24 2019-07-19 中国科学院云南天文台 一种用于天文选址的中红外大气辐射探测系统

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4479367A (en) 1981-12-28 1984-10-30 Santa Barbara Research Center Thermal filter
US4820923A (en) 1986-06-19 1989-04-11 Santa Barbara Research Center Uncooled reflective shield for cryogenically-cooled radiation detectors
JPS63151076A (ja) * 1986-12-16 1988-06-23 Sony Corp 固体撮像装置
US5399897A (en) 1993-11-29 1995-03-21 Raytheon Company Microstructure and method of making such structure
US5777329A (en) * 1995-07-21 1998-07-07 Texas Instruments Incorporated Bolometer array spectrometer
US6064066A (en) * 1995-07-21 2000-05-16 Texas Insruments Incorporated Bolometer autocalibration
US5708269A (en) 1995-08-15 1998-01-13 Raytheon Ti Systems, Inc. Thermal detector and method
US5729019A (en) * 1995-12-29 1998-03-17 Honeywell Inc. Split field-of-view uncooled infrared sensor
US5688699A (en) 1996-01-16 1997-11-18 Raytheon Company Microbolometer
JP3859274B2 (ja) * 1996-07-19 2006-12-20 テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド 放射線検出器
US5808350A (en) 1997-01-03 1998-09-15 Raytheon Company Integrated IR, visible and NIR sensor and methods of fabricating same
JPH10281864A (ja) * 1997-04-03 1998-10-23 Nikon Corp 熱型赤外線カメラ
JPH10288550A (ja) * 1997-04-15 1998-10-27 Nikon Corp 熱型赤外線センサ及び固体撮像装置
US6144031A (en) * 1997-04-21 2000-11-07 Inframetrics Inc. Infrared video camera system with uncooled focal plane array and radiation shield
US5921461A (en) * 1997-06-11 1999-07-13 Raytheon Company Vacuum package having vacuum-deposited local getter and its preparation
US6122919A (en) 1999-06-22 2000-09-26 Raytheon Company Sensor/cooling system with cold finger having recessed end
US6222454B1 (en) * 1999-07-01 2001-04-24 Goal Electronics Inc. Non-contacting temperature sensing device
US6326611B1 (en) 1999-09-28 2001-12-04 Raytheon Company Integrated multiple sensor package
US6946644B2 (en) * 2002-12-19 2005-09-20 Honeywell International Inc. Sensor for multi-band radiation detection within a field of view

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007514166A5 (ja)
JP5308814B2 (ja) サーモパイル赤外線センサアレイ
JP7045430B2 (ja) ウェハレベルパッケージ内の熱赤外線センサアレイ
US6163061A (en) Infrared solid-state image sensor and manufacturing method thereof
US7629582B2 (en) Dual band imager with visible or SWIR detectors combined with uncooled LWIR detectors
JP2010507806A5 (ja)
US6891161B2 (en) Pixel structure and an associated method of fabricating the same
CN1168960C (zh) 测热辐射计及其制造方法
JP2010507082A5 (ja)
WO2005094460A3 (en) Multi-spectral uncooled microbolometer detectors
IL170035A (en) Thermally stabilized radiation detector utilizing temperature controlled radiation filter
JP2004527731A5 (ja)
EP3408630A1 (en) An ir detector array device
JP5398142B2 (ja) 赤外線検出器
JP2004361386A5 (ja)
Svatoš et al. In situ observation of carbon nanotube layer growth on microbolometers with substrates at ambient temperature
JP2000146686A5 (ja)
JP3680019B2 (ja) 赤外線センサ
EP3688427A1 (en) Infrared device
Lang et al. A thin-film bolometer for radiation thermometry at ambient temperature
Socher et al. A novel spiral CMOS compatible micromachined thermoelectric IR microsensor
CN203100906U (zh) 测辐射热计
JP2007228347A (ja) 真空パッケージおよびその製造方法
US20230288263A1 (en) Microbolometer with enhanced operational characteristics and method of fabrication thereof
De Moor et al. Linear arrays of uncoolded poly SiGe microbolometers for IR detection