JP2007513486A - マイクロチャネルプレート(mcp)製作のための穴の開いたメガボウルウエハ - Google Patents
マイクロチャネルプレート(mcp)製作のための穴の開いたメガボウルウエハ Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- マイクロチャネルプレート(MCP)の製作における使用のためのメガボウルであって、
該メガボウルは、島状地帯セクション、内境界セクション、および外境界セクションを含む断面を備え、
各セクションが該断面の別個の部分を占め、
該島状地帯セクションが第1の複数の光ファイバから形成され、該断面の横断方向に方向付けられ、各光ファイバが、エッチング不可能な材料から形成されるクラディング、およびエッチング可能な材料から形成されるコアを含み、
該内境界セクションがエッチング不可能な材料から形成され、該島状地帯セクションを取り囲むように配置され、
該外境界セクションが第2の複数の光ファイバから形成され、該断面の横断方向に方向付けられ、各光ファイバが、エッチング不可能な材料から形成されるクラディング、およびエッチング可能な材料から形成されるコアを含み、該外境界セクションが、該島状地帯セクションおよび該内境界セクションを取り囲むように配置される、
メガボウル。 - 前記断面の別個の部分を占める少なくとも他のセクションをさらに備え、
該他のセクションは、エッチング不可能な材料から形成され、前記外境界セクションによって前記内境界セクションから分離される、
請求項1に記載のメガボウル。 - 前記第1および第2の複数の光ファイバ、ならびに、前記内境界セクションおよび前記他のセクションの前記エッチング不可能な材料が、加熱およびプレスされるときにおいて、融合されたモノリシックスタックを形成する、請求項2に記載のメガボウル。
- 前記エッチング可能な材料、および前記エッチング不可能な材料がガラスであり、該エッチング不可能な材料が、該エッチング可能な材料よりも多くの鉛容量を含む、請求項1に記載のメガボウル。
- 前記内境界セクションの前記エッチング不可能な材料が、前記断面の横断方向に方向付けられた複数のサポートロッドを含む、請求項1に記載のメガボウル。
- 前記内境界セクションの前記エッチング不可能な材料が、前記断面の横断方向に方向付けられた複数のサポートロッドを含み、
前記島状地帯セクションの前記第1の複数の光ファイバ、および該内境界セクションの該複数のサポートロッドが、MCPとして使用されるように構成される、
請求項1に記載のメガボウル。 - 前記島状地帯セクションの前記第1の複数の光ファイバの一光ファイバ、および前記外境界の前記第2の複数の光ファイバの一光ファイバが、実質的に、断面において類似する、請求項1に記載のメガボウル。
- 前記島状地帯セクションがエッチングされるときにおいて、該島状地帯セクションの前記第1の複数の光ファイバが、MCPのためのトランバースマイクロチャネルを形成し、
前記外境界セクションがエッチングされるときにおいて、該外境界セクションの前記第2の複数の光ファイバが、穴の開いた劈開面を形成する、
請求項1に記載のメガボウル。 - 前記島状地帯セクション、前記内境界セクション、および前記外境界セクションが、長方形の形状または円形の形状を有する、請求項1に記載のメガボウル。
- 前記外境界セクションおよび前記島状地帯セクションがMCPを形成し、
該外境界セクションが、前記メガボウルから該MCPを剥がすために穴の開いた劈開面を形成するための、および、該MCPの製作時における偶発的な剥がれをMCPダイから防ぐための、十分な断面幅を含む、
請求項1に記載のメガボウル。 - マイクロチャネルプレート(MCP)を製作するための方法であって、該方法は、
(a)光ファイバのバンドルを提供するステップであって、各光ファイバが、エッチング不可能な材料から形成されるクラディング、およびエッチング可能な材料から形成されるコアを含む、ステップと、
(b)少なくとも1つの島状地帯セクションを形成するために複数の該バンドルを積み重ねるステップであって、ミニボウルを規定する、ステップと、
(c)該ミニボウルを取り囲むために、および、該ミニボウルを取り囲む内セクションを形成するために、エッチング不可能な材料を積み上げるステップと、
(d)該内セクションを取り囲むために、および、該内セクションを取り囲む外セクションを形成するために、エッチング可能な材料を積み上げるステップと、
(e)該外セクションを取り囲むために、および、外側セクションを形成するために、さらなるエッチング不可能な材料を積み上げるステップと、
(f)該MCPを製作するにおいて使用するためのメガボウルを形成するために、該ミニボウル、該内セクション、および外側セクションを融合するステップと
を包含する、方法。 - (g)複数のメガボウルウエハを形成するために前記メガボウルをさいの目に切断するステップであって、各メガボウルウエハがバッチダイを規定する、ステップと、
(h)前記MCPを形成するために、メガボウルウエハをアクティベートし、金属化するステップと
をさらに包含する、請求項11に記載の方法。 - 前記ステップ(h)が、穴の開いた劈開面を形成するために、前記メガボウルウエハの外セクションをエッチングするステップと、該メガボウルウエハからMCPを取り出すために、該穴の開いた劈開面を剥がすステップを包含する、請求項12に記載の方法。
- 前記ステップ(h)が、
前記光ファイバの前記コアにおいてマイクロチャネルを形成するために、前記メガボウルウエハをエッチングするステップと、
穴の開いた劈開面を形成するために、該メガボウルウエハの前記外セクションをエッチングするステップと、
該メガボウルウエハから前記MCPを取り出すために、該穴の開いた劈開面を剥がすステップと
を包含する、請求項12に記載の方法。 - 前記マイクロチャネルを形成するために前記メガボウルウエハをエッチングすることが、前記穴の開いた劈開面を形成するために、該メガボウルウエハの前記外セクションをエッチングする前に、行われる、請求項14に記載の方法。
- マイクロチャネルプレート(MCP)を製作するための方法であって、該方法は、
(a)複数のミニボウルを生成するために、エッチング可能な光学材料、およびエッチング不可能な光学材料を積み重ねるステップであって、該ミニボウルがお互いから分離され、断面に沿って個別の島状地帯を形成する、ステップと、
(b)該複数のミニボウルを取り囲むために、および、該断面に沿って複数の内境界セクションを形成するために、エッチング不可能な光学材料を積み重ねるステップであって、該内境界セクションの各々が対応するミニボウルを取り囲む、ステップと、
(c)該複数の内境界セクションを取り囲むために、および、該断面に沿って複数の外境界セクションを形成するために、エッチング可能な光学材料およびエッチング不可能な光学材料を積み重ねるステップであって、該外境界セクションの各々が対応する内境界セクションを取り囲む、ステップと、
(d)該MCPの製作における使用のためのメガボウルを形成するために、該ステップ(a)〜(c)の該積み重ねられたエッチング可能な光学材料、およびエッチング不可能な光学材料を融合するステップと
を包含する方法。 - 前記ステップ(c)が、前記複数の外境界セクションを取り囲むために、および、前記断面に沿って外側セクションを形成するために、さらなるエッチング不可能な材料を積み重ねるステップを包含する、請求項16に記載の方法。
- 前記ステップ(a)が光ファイバを積み重ねることを包含し、各光ファイバが、エッチング不可能な材料から形成されるクラディング、およびエッチング可能な材料から形成されるコアを有する、請求項16に記載の方法。
- 前記ステップ(c)が光ファイバを積み重ねることを包含し、各光ファイバが、エッチング不可能な材料から形成されるクラディング、およびエッチング可能な材料から形成されるコアを有する、請求項16に記載の方法。
- (e)1つの外境界セクションの中にある島状地帯および内境界セクションを剥がすために、該1つの外境界セクションにおいて穴の開いた劈開面を形成するために、前記複数の外境界セクションの内の少なくとも該1つの外境界セクションをエッチングするステップを包含する、請求項19に記載の方法。
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