JP2007510311A - 電子ビーム処理装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図5
Description
図1は、本発明の一実施形態にしたがって製造された電子ビーム処理装置100を示す。図1に示すように、電子ビーム処理装置100は、真空チャンバ120と、大面積カソード122(例えば、約25.8平方cm(4平方インチ)から約4516.1平方cm(700平方インチ)までの範囲内の面積を有するカソードに限定されない)と、アノード126と、ウエハまたは基板ホルダ130を含む。さらに、図1に示したように、アノード126は、(イオン化領域138に設置する)基板ホルダ130とカソード122との間に配置される。アノード126は、(「稼動」と題されたセクションにおいて、以後、さらに詳細に説明するように)本発明の1つ以上の実施形態によって決定されるカソード122からの作業距離に配置される。
稼動:
図5は、図1の電子ビーム処理装置100における動作の一部詳細の記述を助けるための断片的な図面を示す。電子ビーム処理装置100内の電子放出を初期化するために、アノード126とウエハホルダ130との間のイオン化領域138のガスをイオン化しなければならない。本発明の1つ以上の実施形態によると、ガスは、例えば、ヘリウム、アルゴン、窒素、水素、酸素、アンモニア、ネオン、クリプトン及びキセノンなどに限定されない1つ以上を含むこともできる。ガスをイオン化するステップは、ガンマ線を自然的に生じさせることによって初期化されることもでき、または、当業者に周知である多様な方法のうちいずれか1つによって真空チャンバ120内部に配置された高電圧スパークギャップで初期化されることもできる。
Claims (10)
- 電子ビーム処理装置であって、
(a)(i)電子を生産できる露出された表面積を備えるカソードと、
(ii)前記カソードによって生産された電子の電子平均自由行路より大きな作動距離ほど前記カソードから離隔され、ホールを有するアノードと、
(iii)前記アノードと対向するウエハホルダと、
(iv)ガス導入速度で前記チャンバにガスが入るようにするガス入口と、
(v)ガス導入速度とともにチャンバ内にガス圧力を提供するガス排出速度で前記チャンバからガスを排出するポンプと、
を有するチャンバと、
(b)その出力が前記カソードに印加され、カソード電圧を提供する負電圧源と、
(c)その出力が前記アノードに印加される電圧源と、
を備え、
前記カソード電圧、チャンバ内のガス圧力、及び作動距離の値が、電子平均自由行路より大きい作動距離において、カソードとアノード間にアークがないようになっている、電子ビーム処理装置。 - Ne、He、Ar、H2、O2、Kr、Xe及びN2のうち1つ以上を備えるガス源を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記カソード表面の材料がAl、Ti、Ni、Si、Mo、黒鉛、W、Co、及びこれらの合金からなる群から選ばれる、請求項1に記載の装置。
- 少なくとも前記アノード表面の材料が、Al、Ti、Ni、Si、Mo、黒鉛、W、Co、及びこれらの合金からなる群から選ばれる、請求項1に記載の装置。
- 前記負電圧源が、約−5KV〜約−10KVの範囲内の出力電圧を提供することができる、請求項1に記載の装置。
- 前記ポンプが、約40ミリトールより大きいガス圧力を設定する、請求項1に記載の装置。
- 電子を生産できる露出された表面積を有するカソード及び前記カソードから作動距離ほど離隔され、その中にホールを有するアノードを有するチャンバと、前記アノードと対向する前記チャンバの内側に配置されたウエハホルダと、その出力が前記カソードに印加され、カソード電圧を提供する負電圧源と、その出力が前記アノードに印加される電圧源と、ガス源からガス導入速度で前記チャンバにガスが入るようにするガス入口と、ガス導入速度とともにチャンバ内にガス圧力を提供するガス排出速度で前記チャンバからガスを排出するように適合されたポンプとを含む電子ビーム処理装置の稼動方法であって、
前記ウエハホルダ上にウエハを置くステップと、
前記アノードとカソード間の作動距離が、前記カソードによって生産された電子の電子平均自由行路より大きくなるように設定するステップと、
カソード電圧、ガス圧力、及び電子平均自由行路より大きな作動距離において、前記カソードとアノード間にアークがないようにする作動距離の値を提供するように、前記負電圧源、ガス導入速度、ガス排出速度、及び作動距離を設定するステップと、
を備える方法。 - 前記カソード電圧が約−5KV〜約−10KVの範囲内にある、請求項7記載の方法。
- 前記ガスがNe、He、Ar、H2、O2、Kr、Xe及びN2のうち1つ以上を備える、請求項8記載の方法。
- 前記ガス圧力が、約40ミリトールより大きい、請求項7記載の方法。
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DE10320597A1 (de) * | 2003-04-30 | 2004-12-02 | Aixtron Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden von Halbleiterschichten mit zwei Prozessgasen, von denen das eine vorkonditioniert ist |
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KR100895630B1 (ko) * | 2007-10-01 | 2009-05-06 | 박흥균 | 전자빔 방출장치 |
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US10658161B2 (en) * | 2010-10-15 | 2020-05-19 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for reducing particle defects in plasma etch chambers |
KR20150120476A (ko) | 2013-02-20 | 2015-10-27 | 비-나노 리미티드 | 주사 전자 현미경 |
KR102118604B1 (ko) * | 2018-12-14 | 2020-06-03 | 박흥균 | 라인 형태의 이온빔 방출 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03503337A (ja) * | 1988-11-14 | 1991-07-25 | エレクトロン・ビジョン・コーポレーション | 大面積且つ均一な電子ソース |
JPH11176765A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | イオン注入損傷を抑制した浅接合形成方法 |
JP2003518767A (ja) * | 1999-12-29 | 2003-06-10 | エレクトロン ビジョン コーポレーション | 電子ビーム放射を利用してスピンオン誘電体被膜を硬化する方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4581118A (en) * | 1983-01-26 | 1986-04-08 | Materials Research Corporation | Shaped field magnetron electrode |
JPS6212059A (ja) * | 1985-07-10 | 1987-01-21 | Matsushita Electric Works Ltd | 光放射電子管 |
US4721885A (en) * | 1987-02-11 | 1988-01-26 | Sri International | Very high speed integrated microelectronic tubes |
US5094885A (en) * | 1990-10-12 | 1992-03-10 | Genus, Inc. | Differential pressure cvd chuck |
US5421888A (en) * | 1992-05-12 | 1995-06-06 | Sony Corporation | Low pressure CVD apparatus comprising gas distribution collimator |
US5302238A (en) * | 1992-05-15 | 1994-04-12 | Micron Technology, Inc. | Plasma dry etch to produce atomically sharp asperities useful as cold cathodes |
US5350480A (en) * | 1993-07-23 | 1994-09-27 | Aspect International, Inc. | Surface cleaning and conditioning using hot neutral gas beam array |
US6037717A (en) * | 1999-01-04 | 2000-03-14 | Advanced Ion Technology, Inc. | Cold-cathode ion source with a controlled position of ion beam |
US6214183B1 (en) * | 1999-01-30 | 2001-04-10 | Advanced Ion Technology, Inc. | Combined ion-source and target-sputtering magnetron and a method for sputtering conductive and nonconductive materials |
JP2001023959A (ja) * | 1999-07-05 | 2001-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマ処理装置 |
KR100301066B1 (ko) * | 1999-08-16 | 2001-11-01 | 윤종용 | 비금속 도전물질로 구성된 음극판을 갖는 전자빔 조사장비 |
US6407399B1 (en) * | 1999-09-30 | 2002-06-18 | Electron Vision Corporation | Uniformity correction for large area electron source |
JP2002190260A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-07-05 | Toshiba Corp | 陰極線管装置 |
WO2004017356A2 (en) * | 2002-08-16 | 2004-02-26 | The Regents Of The University Of California | Process and apparatus for pulsed dc magnetron reactive sputtering of thin film coatings on large substrates using smaller sputter cathodes |
US6831284B2 (en) * | 2002-11-21 | 2004-12-14 | Applied Materials, Inc. | Large area source for uniform electron beam generation |
WO2004094494A2 (en) * | 2003-04-21 | 2004-11-04 | Rynel, Inc. | Apparatus and methods for the attachment of materials to polyurethane foam, and articles made using them |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03503337A (ja) * | 1988-11-14 | 1991-07-25 | エレクトロン・ビジョン・コーポレーション | 大面積且つ均一な電子ソース |
JPH11176765A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | イオン注入損傷を抑制した浅接合形成方法 |
JP2003518767A (ja) * | 1999-12-29 | 2003-06-10 | エレクトロン ビジョン コーポレーション | 電子ビーム放射を利用してスピンオン誘電体被膜を硬化する方法 |
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