JP2007501333A - 付着装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
いま、集積回路チップが、ビジネス、教育、化学、及び他の多くの分野で、異なる作動を制御するための、或いは、データ及び数学的計算をなすための、複雑な電子回路を提供するのにあらゆる種類の装置で使用されている。これまでの漸進的な進歩で、集積回路チップサイズは、次第に縮小した。さらに、チップのサイズが縮小したら、チップの回路は、次第に複雑になった。
1.付着工程中に、ターゲットの表面から誘電体物質を除去し、
ターゲット表面上のこの誘電体物質の付着より以前に生じたアークを除去するために、
2.非対称のレベルを調節することによって、均一な被膜を作るために、
(異なる電力レベルをターゲットの個々のものに印加して)
3.RF放電から生ずる、ターゲット付近の永久的なイオン化によりターゲットの円滑な点弧を行わせるために、
4.ターゲット点弧中、いかなる電圧スパイクをも除去することによって、付着被膜中の欠陥及び異物を除去するために、
5.プラズマ放電からの低エネルギー(「コールド」)電子が基板に達しないようにすることによって、基板の温度を減ずるために、
6.基板の表面上の異なる位置に、実質的に均一な付着速度を提供するために、
7.帯電粒子による基板のボンバートを減ずることによって、付着した薄膜の固有応力を減ずるために、
追加のダイオード回路を使用する。
図1は、基板22上に付着物を形成するための、全体的に20で指示した、先行技術の装置の実施形態の一部分を簡単化した概略基本原理で示す。装置10は、接地シールド26から間隔を隔てられた一対のターゲット32及び34を含む。ターゲット32及び34の各々は、中空のせん頭円錐形状のような、適当な形状を備えるのがよい。ターゲット32及び34は、共通軸線35に同軸であるのがよく、ターゲット32は、ターゲット34から軸線方向にずらされ、かつ、ターゲット34より大きな直径を有する。ターゲット32及び34は、基板22の表面36上に層に付着される材料から作られるのがよい。例えば、銅の層を基板38上に付着する場合、ターゲット32及び34は、銅から作られるのがよい。しかしながら、ターゲット32は、ターゲット34の材料と異なる材料から作られてもよい。
Claims (70)
- 基板と使用するための組合せであって、
第1ターゲットと、
第1ターゲットからずらされ、かつ、第1ターゲットと同軸関係に配置された第2ターゲットと、
基板上に、第1及び第2ターゲットからの材料の付着物を得るために、第1ターゲット及び第2ターゲットに作動的に接続された第1電気回路と、
基板上にターゲットから材料付着中、誘電体材料がターゲットの表面に付着されないようにするための、第1電気回路と作動的に関連した第2電気回路と、
の組合せ。 - 第1電気回路は、交流電圧を第1周波数でターゲットに与え、
第2電気回路は、第1及び第2ターゲットに印加される交流電圧について調節して、基板上に第1及び第2ターゲットから付着される材料の相対量を調節し、かつ、基板の表面に実質的に均一な付着物を形成する、
請求項1記載の組合せ。 - 第1電気回路は、第1及び第2ターゲットに印加するための対称交流電圧を提供し、
第2電気回路は、第1電気回路と作動的に関連して、第1及び第2ターゲットに印加される交流電圧に非対称を与え、この非対称は、基板の表面に実質的に均一な付着物を形成する方向にある、
請求項1記載の組合せ。 - 第1電気回路は、第1及び第2ターゲットに印加するための対称の交流電圧を提供し、
第2電気回路は、基板上の、第1及び第2ターゲットからの付着の速度の差を補償するために、ターゲットの一方に、ターゲットの他方におけるよりも交流電圧の大きい振幅を与える、請求項2記載の組合せ。 - 第1電気回路は、第1及び第2ターゲットに印加するための対称の交流電圧を提供し、
第2電気回路は、第1電気回路と作動的に関連して、第1及び第2ターゲットに印加される交流電圧に非対称を与え、この非対称は、基板の表面に実質的に均一な付着物を形成する方向にある、
請求項4記載の組合せ。 - 基板に材料を付着させるための装置であって、
第1ターゲットと、
第1ターゲットと同軸関係に配置された第2ターゲットと、
第1及び第2ターゲットに第1交流電圧を印加するための第1回路と、
第1及び第2ターゲットの個々のものについて、作動の最初のサイクルでのみ、第1及び第2ターゲットのトリガリング(triggering)を行わせるように、第1交流電圧を無線周波数の第2交流電圧で変調するための第2回路と、を有し、
第2回路は、実質的に一定速度で、基板上の異なる位置に、ターゲットから材料の累積的な付着物を形成するために、基板上に第1及び第2ターゲットの各々から材料を付着させる速度を制御するための、個々の値を有する無効分を有する、
装置。 - 無効分は、キャパシタを構成する、
請求項6記載の装置。 - 無効分は、一対のキャパシタを構成し、その一方は、交互の半サイクルで無線周波数の交流電圧を第1ターゲットに通すため、第1ターゲットに接続され、他方は、無線周波数の交流電圧を第2ターゲットに通すため、第2ターゲットに接続され、一対のキャパシタの各々は、他方のキャパシタと異なる値を有する、
請求項7記載の装置。 - 一対のキャパシタは、一対のキャパシタが同じ値を有していたならばターゲットからの材料を基板に付着させる速度差を補償するために、個々の値を有する、
請求項8記載の装置。 - 第1回路は、一対のターゲットに印加される直流電圧源を有する、
請求項6記載の装置。 - 第1回路は、一対のターゲットに印加される直流電圧源を有する、
請求項9記載の装置。 - 無効分は、一対のキャパシタを構成し、その一方は、交互の半サイクルで無線周波数の交流電圧を第1ターゲットに通すために、第1ターゲットに接続され、他方は、無線周波数の交流電圧を第2ターゲットに通すために、第2ターゲットに接続され、キャパシタの各々は、他方のキャパシタと異なる値を有し、
一対のキャパシタは、一対のキャパシタが同じ値を有するとした場合に第1及び第2ターゲットから材料が付着される速度差を補償するために、個々の値を有し、
第1回路は、第1及び第2ターゲットに印加される直流電圧源を有する、
請求項7記載の装置。 - 基板上に材料を付着させるための組合せであって、
第1ターゲットと、
第1ターゲットと間隔を隔てたせん頭円錐形の関係に配置された第2ターゲットと、
第1ターゲットと第2ターゲットとの間に、中間の周波数範囲内の特定周波数の交流電圧を印加するための第1回路と、
無線周波数の交流電圧信号で、特定周波数の信号を変調するための第2回路と、
基板の表面上にターゲットから材料の付着物を基板の表面の全体にわたって実質的に均一な厚さに形成するために、第1及び第2ターゲットへの特定周波数の信号の印加を調節するための電気回路と、
の組合せ。 - 第1及び第2ターゲットは、第1ターゲットからの基板上の材料の、第2ターゲットからよりも、大きい付着速度をもたらすように、基板に対して配置され、
特定周波数の交流電圧が、第1及び第2ターゲットからの基板上の材料の付着速度の差を補償するために、第1ターゲットに印加されるよりも大きい強さで第2ターゲットに印加される、
請求項13記載の組合せ。 - 特定周波数は、約20kHz乃至約80kHzの範囲内にある、
請求項13記載の組合せ。 - 第1回路は、交流電圧の正の半サイクルで、特定周波数の交流電圧を第2ターゲットに通し、かつ、交流電圧の負の半サイクルで、第1ターゲットへの特定周波数の交流電圧の通過を阻止するように接続されたダイオードを含み、
第1回路は、交流電圧の負の半サイクルで、特定周波数の交流電圧を第2ターゲットに通すために、ダイオードの両端に接続されたキャパシタを更に含む、
請求項13記載の組合せ。 - 直流電圧が、特定周波数の交流電圧の正の半サイクルで、基板上の、第1ターゲットからの材料の付着速度を高め、かつ、特定周波数の交流電圧の負の半サイクルで、基板上の、第2ターゲットからの材料の付着速度を減ずる方向で、第1回路の両端に接続される、
請求項14記載の組合せ。 - 第1回路は、特定周波数の交流電圧の負の半サイクルで、エネルギーを蓄積し、かつ、特定周波数の交流電圧の正の半サイクルで、この蓄積したエネルギーを第1ターゲットに放出するように、回路中に接続された変圧器を含む、
請求項13記載の組合せ。 - 基板と使用するための組合せであって、
各々互いに同軸関係に配置され、かつ、基板上に材料を付着させるために基板に対して配置された第1及び第2ターゲットと、
反対極の交流電圧を第1及び第2ターゲットにそれぞれ加えるための、第1及び第2ターゲットに接続された交流電圧源と、
ターゲットの一方からの基板上の材料の高い付着速度を、他方のターゲットからの基板上の材料の付着速度に対して、補償するために、交流電圧の交互の半サイクルで、ターゲットの一方に、他の半サイクルで、ターゲットの他方に加えられた交流電圧の振幅に対して、限定された振幅の電圧を加えるための、交流電圧源、及び第1及び第2ターゲットに接続された電気回路と、
の組合せ。 - 交流電圧の交互の半サイクルで、一方のターゲットに加えられる電圧の振幅を、電気回路は、他方の半サイクルで、他方のターゲットに加えられる交流電圧の振幅に対して、制限するために、ダイオードと、ダイオードの両端に接続されたキャパシタと、を有し、
変圧器が、一次巻線と、二次巻線と、を備え、一次巻線は、交流電圧源に接続され、二次巻線は、電気回路に含まれ、交流電圧の交互の半サイクルでターゲットの一方に加えられる交流電圧の振幅を、他方の半サイクルでターゲットの他方に加えられる交流電圧の振幅に対して、制限する際に、ダイオード及びキャパシタと協同する、
請求項19記載の組合せ。 - 電気回路は、交流電圧源の両端に接続され、かつ、交流電圧の交互の半サイクルで、ターゲットの一方に加えられる電圧の振幅を、他方の半サイクルで、ターゲットの他方に加えられる交流電圧の振幅に対して、制限するために、第1及び第2ターゲットに接続された直流電源を含む、
請求項19記載の組合せ。 - 電気回路は、
(a)交流電圧の交互の半サイクルで一方のターゲットに加えられる交流電圧を、交流電圧の他方の半サイクルで、ターゲットの他方に加えられる交流電圧の振幅に対して、制限する、ダイオード及び、ダイオードの両端に接続されたキャパシタ、
(b)一次巻線及び二次巻線を備え、一次巻線は、交流電圧源に接続され、二次巻線は、電気回路に含まれ、交流電圧の交互の半サイクルで、ターゲットの一方に加えられる電圧の振幅を、他方の半サイクルで、ターゲットの他方に加えられる交流電圧の振幅に対して、制限する際に、ダイオード及びキャパシタと協同する変圧器、及び
(c)交流電圧源に接続され、かつ、第1及び第2ターゲットに接続され、交流電圧の交互の半サイクルで、ターゲットの一方に加えられる電圧の振幅を、交流電圧の他方の半サイクルで、ターゲットの他方に加えられる交流電圧の振幅に対して、制限する直流電圧源、
の一つを含む、請求項19記載の組合せ。 - 基板と使用するための組合せであって、
特定の材料で作られた第1ターゲットと、
特定の材料で作られ、かつ、第1ターゲットと同軸関係に配置された第2ターゲットと、
基板上に第1及び第2ターゲットから材料の付着物を得るために、第1及び第2ターゲットに反対極の各瞬間電圧を与えるために、第1及び第2ターゲットに接続された交流電圧源と、
基板表面にターゲットからの材料の実質的に均一な厚さの付着物を形成するために、交流電源からの両極の電圧の相対特性を調節するための、第1及び第2ターゲット及び交流電圧源に関連した電気回路と、
の組合せ。 - 第1及び第2ターゲットは、通常は、基板上に異なる厚さの付着物を形成し、第1ターゲットに印加される電圧特性が、第2ターゲットに印加される電圧特性に対して、基板上に第1及び第2ターゲットからの材料の付着物によって基板上に生じさせる厚さのいかなる差をも除去するように調節される、
請求項23記載の組合せ。 - 電気回路は、第1の方向に低インピーダンスで電流を通し、かつ、第1の方向と反対の第2の方向に特定の振幅の電流の通過を阻止する特性を有する第1要素を有し、かつ、第1及び第2の反対方向に実質的に等しい振幅の電流を流すとき、第1及び第2ターゲットから基板上にもたらされる付着間の差を補償するために、第2の方向に特定の大きさより小さい制御した振幅の電流を通過させる第2要素を含む、
請求項24記載の組合せ。 - 第1要素はダイオードであり、第2要素はキャパシタである、
請求項25記載の組合せ。 - 電気回路は、磁気的に結合した第1及び第2巻線を有する変圧器を含む、第1巻線は、交流電圧源に接続され、第2巻線は、第1及び第2要素に結合される、
請求項25記載の組合せ。 - 直流電圧源は、第1及び第2の反対方向における相対する電流を調節するため、交流電圧源の両端に接続される、
請求項28記載の組合せ。 - 基板上に材料を付着させるための組合せであって、
第1ターゲットと、
第1ターゲットからずらされ、かつ、第1ターゲットとせん頭円錐形関係配置された第2ターゲットと、
第1及び第2ターゲットからの材料の基板上での均一な付着速度をもたらすために、交流電圧を、非対称関係で第1及び第2ターゲットの間に印加するための、第1及び第2ターゲットと関連した電気回路と、
の組合せ。 - 電気回路は、交流電圧の連続した半サイクルで、交流電圧に非対称の特性を与える、
請求項29記載の組合せ。 - 第1及び第2ターゲットに加えられる交流電圧が対称であるとき、基板上の材料の異なる付着速度が第1及び第2ターゲットからもたらされ、交流電圧の非対称特性により、第1及び第2ターゲットからの材料の同等の付着速度を基板にもたらす、
請求項30記載の組合せ。 - 第2電気回路は、基板上での材料の付着の始めに一度だけターゲットを、トリガリング(triggering)させるために、第1電気回路14と協同して設けられ、第1電気回路と協同した第2電気回路は、いかなる追加のトリガリング(triggering)も無しで、連続する半サイクルで、基板上の材料の付着を維持する、
請求項29記載の組合せ。 - 異なる付着速度を、第1及び第2ターゲットからの基板上の材料の異なる付着速度によって生じさせ、交流電圧の非対称の特性により、材料の同等の付着速度を基板上に、第1及び第2ターゲットからもたらし、
第2電気回路は、第1及び第2ターゲットからの、基板上の、材料の付着の始めに一度だけ、ターゲットをトリガリング(triggering)させるために設けられ、第1電気回路と協同した第2電気回路は、いかなる追加のトリガリング(triggering)も無しで、連続する半サイクルで、基板上の材料の付着を維持する、
請求項29記載の組合せ。 - 基板上に付着物を形成する方法であって、
基板上に一対のターゲットの表面からの材料を付着するために、一対のターゲットを軸線方向に整合的な関係に配置するステップと、
一対のターゲットの間に電圧を印加して、交流の半サイクルで、ターゲットの一方のものに正の電圧を、ターゲットの他方のものに負の電圧を与え、他の半サイクルで、ターゲットの一方のものに負の電圧を、ターゲットの他方のものに正の電圧を与え、交流電圧の半サイクル毎に、負の方のターゲットに隣接して、プラズマを発生させるステップと、
交流電圧の半サイクル毎に発生したプラズマを使用して、交流電圧の半サイクルで負の電圧を受ける隣接した方のターゲットから誘電体材料を除去するステップと、
を含む方法。 - ターゲットは、せん頭円錐形の関係に配置され、かつ、実質的に同じ材料で作られ、
アノードが、ターゲットに対して配置されて、ターゲットと共にキャビティを構成し、
電界を、キャビティ内で、アノードとターゲットの間に、第1の方向に生じさせ、
磁界を、キャビティ内で、第1の方向と実質的に垂直な第2の方向に生じさせる、
請求項34記載の方法。 - 交流電圧は、中間周波数を備え、無線周波数電圧で変調される、
請求項34記載の方法。 - 交流電圧は、約20キロヘルツ(20kHz)乃至約80キロヘルツ(80kHz)の範囲内の中間周波数を備え、13.66メガヘルツの程度の無線周波素電圧で変調される、
請求項35記載の方法。 - 基板の表面領域全体にわたって実質的に均一な厚さで基板の表面上にターゲットから材料を付着させる回路が設けられる、
請求項34記載の方法。 - 基板上に付着物を形成する方法であって、
基板上に、一対のターゲットの表面からの材料を付着させるために、一対のターゲットを軸線方向に整合的な関係に配置するステップと、
非対称の特性を有する交流電圧を与えて、基板上の異なる位置でのターゲットからの材料の付着速度の差を補償するステップと、
基板上の、ターゲットからの材料の付着速度において、非対称交流電圧をターゲットに加えて、基板表面上の異なる位置での第1及び第2ターゲットからの材料の付着速度の差を補償するステップと、
の方法。 - 交流電圧の非対称により、交流電圧の交互の半サイクルでターゲットの一方に印加される交流電圧を、交流電圧の他の半サイクルでターゲットの他方に印加された交流電圧と異ならせて、基板上の異なる位置での、ターゲットの各々からの材料の付着速度の差を補償する、
請求項39記載の方法。 - 交流電圧は第1周波数を有し、第1周波数より高い第2周波数を有する交流電圧が、第1周波数の交流電圧を変調して、第1周波数の交流電圧の最初の一サイクルでのみ、一対のターゲットの各々のトリガリング(triggering)を行わせる、
請求項40記載の方法。 - 第1周波数を有する交流電圧は、約20キロヘルツ(20kHz)乃至約80キロヘルツ(80kHz)の範囲内の中間周波数を有し、第2周波数を有する交流電圧は、無線周波数範囲内の周波数を有している、
請求項39記載の方法。 - 非対称の交流電圧は、交互の半サイクルで、他の半サイクルにおけるよりも高い振幅を有し、
一対のターゲットは、せん頭円錐形の関係に配置され、
一方のターゲットから基板上に付着させる材料は、等しい振幅を有する交流電圧が連続した半サイクルでターゲットに印加されるとき、他方のターゲットから基板上に付着させる材料より、高い密度を有し、
低い振幅を有する非対称の交流電圧が、ターゲットに印加されて、高速度で基板上に材料を付着させる、
請求項39記載の方法。 - アノードを、ターゲットに対して配置して、一対のターゲットと共にキャビティを構成し、
電界を、キャビティ内で、第1の方向に、アノードとターゲットの間に生じさせ、
磁界を、キャビティ内で、第1方向と実質的に垂直な第2方向に生じさせる、
請求項39記載の方法。 - 交流電圧の非対称により、交流電圧の交互の半サイクルでターゲットの一方に印加される交流電圧を、交流電圧の他の半サイクルでターゲットの他方に印加される交流電圧と異ならせて、基板上の異なる位置でのターゲットの各々からの材料の付着速度の差を補償し、
交流電圧は第1周波数を有し、第1周波数より高い第2周波数を有する交流電圧が、第1周波数の交流電圧を変調して、第1周波数でターゲットの印加される交流電圧の最初の一サイクルでのみ、一対のターゲットの各々のトリガリング(triggering)を行わせる、
請求項39記載の方法。 - 基板上に付着物を形成する方法であって、
基板上に一対のターゲットの表面から材料を付着させるために、一対のターゲットを軸線方向に整合的な関係に配置するステップと、
ターゲットの間に、第1周波数を有する第1交流電圧を印加して、交流電圧の交互の半サイクルで基板上に一方のターゲットからの材料の付着物を得、交流電圧の他の半サイクルで基板上に他方のターゲットからの材料の付着物を得るステップと、
第1周波数でターゲットに印加される交流電圧の最初の一つのサイクルでのみ、一対のターゲットの各々のトリガリング(triggering)を行わせるように、第1周波数より高い第2周波数を有する第2交流電圧で、第1交流電圧を変調するステップと、
の方法。 - 第1周波数は、約20キロヘルツ乃至約80キロヘルツであり、
第2周波数は、メガヘルツの範囲内の無線周波数である、
請求項46記載の方法。 - アノードを、ターゲットに対して配置し、一対のターゲットと共にキャビティを構成し、
電界を、キャビティ内で、第1方向に、アノードとターゲットの間に生じさせ、
磁界を、キャビティ内で、第1方向と実質的に垂直な第2方向に生じさせ、
不活性ガス分子を、キャビティ内に導入する、
請求項46記載の方法。 - 交互の半サイクルでおける第1交流電圧の振幅は、他の半サイクルでおける第1交流電圧の振幅より大きく、基板上の、一方のターゲットからの材料の付着速度の、基板上の、他方のターゲットからの材料の付着速度に対する、差を補償する、
請求項46記載の方法。 - 交互の半サイクルでおける第2交流電圧の振幅と、他の半サイクルでおける第2交流電圧の振幅との差は、
交互の半サイクルで第2交流電圧を、第1の値のキャパシタに通すことによって、及び、他の半サイクルで第2交流電圧を、第1の値と異なる第2の値のキャパシタに通すことによって、もたらされる、
請求項49記載の方法。 - 交互の半サイクルでおける第1交流電圧の振幅は、他の半サイクルでおける第1交流電圧の振幅より大きく、基板上の、一方のターゲットからの材料の付着速度の、基板上の、他方のターゲットからの材料の付着速度に対する、差を補償し、
交互の半サイクルでおける第1交流電圧の振幅と、他の半サイクルでおける第1交流電圧の振幅との差は、交互の半サイクルで第2交流電圧を、第1の値のキャパシタに通すことによって、及び、他の半サイクルで第2交流電圧を、第1の値と異なる第2の値のキャパシタに通すことによって、もたらされる、
請求項48記載の方法。 - 第1周波数は、約20キロヘルツ(20kHz)乃至約80キロヘルツ(80kHz)であり、第2周波数は、メガヘルツの範囲内である、
請求項51記載の方法。 - 基板と使用するための組合せであって、
第1ターゲットと、
第1ターゲットからずらされ、かつ、第1ターゲットと同軸関係に配置された第2ターゲットと、
基板上に第1及び第2ターゲットからの材料の付着物を得るために、第1及び第2ターゲットに作動的に結合された交流電圧源を含む第1電気回路とを有し、
第1ターゲットは、交流電圧の第1の半サイクルで第二ターゲットに隣接してプラズマをもたらし、第2ターゲットは、交流電圧の他の半サイクルで第1ターゲットに隣接してプラズマをもたらし、プラズマは、負の電位を有し、
プラズマを受けるようにバイアスされた基板以外の構成要素と、
交流電圧の連続した半サイクルで、基板以外の構成要素にプラズマを差し向けるための、ターゲットと作動的に関連した第2電気回路と、
の組合せ。 - プラズマは、電子を含み、
第2電気回路は、プラズマ中の電子を構成要素に加えるために、第1電気回路及び構成要素に接続されたダイオードを含む、
請求項53記載の組合せ。 - プラズマは、帯電粒子を含む、
構成要素は、プラズマ中の帯電粒子を引き寄せ、かつ、これを受けるための基準電位である、
請求項53記載の組合せ。 - 構成要素は、プラズマ中の電子を引き寄せ、かつ、受けるための基準電位である、
請求項54記載の組合せ。 - 基板上の、ターゲットからの付着速度の差を補償するために、ターゲットの一方に対する交流電圧の振幅を、ターゲットの他方に対するよりも大きくするための第3回路を含む、
請求項53記載の組合せ。 - 基板上に第1及び第2ターゲットからの材料の付着中に、誘電体材料を、第1及び第2ターゲットの表面に付着させないようにするための、第1及び第2ターゲットに作動的に結合された第3回路を含む、
請求項53記載の組合せ。 - 交流電圧は、第1交流電圧を構成し、
第1及び第2ターゲットの各個々のものについての最初の作動サイクルでのみ、第1及び第2ターゲットのトリガリング(triggering)を行わせるために、第1交流電圧を、無線周波数の第2交流電圧で変調するための第3回路とを含む、
請求項53記載の組合せ。 - 実質的に一定の速度で、基板上の異なる位置にターゲットからの材料の累積的な付着物を形成するために、材料を基板上にターゲットの各々から付着させる速度を制御するための、個々の値を有する無効分を有する第3電気回路を含む、
請求項53記載の組合せ。 - 基板上の、第1及び第2ターゲットからの材料の付着中に、誘電体材料を第1及び第2ターゲットの表面に付着させないようにするために、第1及び第2ターゲットに作動的に結合された第3回路を含む、
請求項57記載の組合せ。 - 交流電圧は、第1交流電圧を構成し、
第1及び第2ターゲットの個々のものについての作動の最初のサイクルでのみ、第1及び第2ターゲットのトリガリング(triggering)を行わせるために、第1交流電圧を、無線周波数の第2交流電圧で変調するための第3回路を含む、
の請求項57記載の組合せ。 - 交流電圧は、第1交流電圧を構成し、
第1及び第2ターゲットの個々のものについての作動の最初のサイクルでのみ、第1及び第2ターゲットのトリガリング(triggering)を行わせるために、第1交流電圧を、無線周波数の第2交流電圧で変調するための第3回路を含む、
の請求項58記載の組合せ。 - 基板と使用するための組合せであって、
第1ターゲットと、
第1ターゲットと同軸関係に配置された第2ターゲットと、
交流電圧を第1及び第2ターゲットに印加して、交流電圧の第1の交互の半サイクルで、第1ターゲットに正の電圧を与え、かつ、他の交互の半サイクルで、第2ターゲットに正の電圧を与えるための第3回路と、
交流電圧の次々の半サイクルで、基板上に、第1及び第2ターゲットの個々のものから、材料の付着物を交互に形成するために、かつ、交流電圧の次々の半サイクルで、第1及び第2ターゲットの個々のものに隣接して、帯電粒子のプラズマを交互にもたらすために、第1回路と関連した第2回路と、
第1及び第2ターゲットの各々に隣接したプラズマ中の帯電粒子が基板に到しないようにするための第3回路と、
の組合せ。 - 第1及び第2ターゲットに隣接してプラズマに対して配置され、かつ、第1及び第2ターゲットに隣接して帯電粒子を受けるようにバイアスされた構成要素を含む、
請求項64記載の組合せ。 - 第1及び第2ターゲットの個々のものについて、最初の作動サイクルでのみ、第1及び第2ターゲットのトリガリング(triggering)を行わせるように、交流電圧を変調するための第3回路を含む、
請求項64記載の組合せ。 - 第3回路は、実質的に一定の速度で、基板上の異なる位置に、第1及び第2ターゲットからの材料の累積的な付着物を形成するために、材料を基板上に第1及び第2ターゲットの各々から付着させる速度を制御するための、個々の値を有する無効分を有する、
請求項64記載の組合せ。 - 第3回路は、第1及び第2ターゲットの個々のものについて、最初の作動サイクルでのみ、第1及び第2ターゲットのトリガリング(triggering)を行わせるように、交流電圧を変調し、
第3回路は、実質的に一定の速度で、基板上の異なる位置に、第1及び第2ターゲットからの材料の累積的な付着物を形成するために、材料を基板上に第1及び第2ターゲットの各々から付着させる速度を制御するために、個々の値を有する無効分を有する、
請求項65記載の組合せ。 - 基板上に実質的に均一な厚さで付着物を形成するために、材料を基板上に第1及び第2ターゲットから付着させる速度を調節するための、第1及び第2ターゲットと関連した非対称回路を含む、
請求項64記載の組合せ。 - 第3回路は、第1及び第2ターゲットの個々のものについて、最初の作動サイクルでのみ、第1及び第2ターゲットのトリガリング(triggering)を行わせるように、交流電圧を変調し、
基板上に実質的に均一な厚さで付着物を形成するために、材料を基板上に第1及び第2ターゲットから付着させる速度を調節するための、第1及び第2ターゲットと関連した非対称回路を含む、
請求項65記載の組合せ。
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