JP2007500364A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. トレースガスを含有するサンプルを受け入れるよう構成されたテストラインと、
   前記トレースガスを受け入れる入口を有するとともに、前記トレースガスを検出するよう構成された質量分光計と、
   軽いガスに対して比較的高い逆流流量を与え、重いガスに対して比較的低い逆流流量を与えることを特徴とする第１真空ポンプであって、ポンプ入口とフォアラインとを有し、そして、前記ポンプ入口が前記質量分光計の前記入口に結合されている第１真空ポンプと、
   前記第１真空ポンプの前記フォアラインと前記テストラインとの間に結合されたフォアライン弁と、
   前記テストラインと前記質量分光計の前記入口との間に結合され、トレースガスの通過を許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするトレースガス透過性部材と、
   前記テストラインにおいて、比較的高い圧力のとき前記フォアライン弁を閉じることにより、前記透過性部材のトレースガス透過度を増大させ、比較的低い圧力のとき前記フォアライン弁を開くことにより、前記透過性部材のトレースガス透過度を減少させるように構成された制御部と、
   前記テストラインに結合された入口を有する第２真空ポンプと
   を含むことを特徴とする漏れ検出装置。
2. 前記透過性部材が石英部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記透過性部材が石英部材を含み、
   前記装置は更に、前記石英部材と熱接触する加熱部材と、前記加熱部材を制御するよう構成された制御部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
4. 前記第１真空ポンプがターボ分子ポンプを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
5. 前記第１真空ポンプが拡散ポンプを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
6. 前記第１真空ポンプが、軸方向ポンプステージと１つまたは複数の分子引きずりステージとを含むハイブリッド真空ポンプを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
7. テストラインを介してテスト容積からガスを排気することと、
   前記テストライン内が比較的高い圧力のとき、前記排気ガスの第１部分をトレースガス透過性部材を介して質量分光計へ通過させ、前記テストライン内が比較的高い圧力のときの高いトレースガス透過度と、前記テストライン内が比較的低い圧力のときの低いトレースガス透過度との間で、前記透過性部材を制御することと、
   前記テストライン内が比較的低い圧力のとき、前記排気ガスの第２部分を、真空ポンプを介して前記質量分光計へ逆方向に通過させることとを含み、
   前記トレースガス透過性部材は、トレースガスの通過を許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするものであり、
   前記真空ポンプは、軽いガスに対して比較的高い逆流流量を与え、重いガスに対して比較的低い逆流流量を与えることを特徴とする漏れ検出方法。
8. 前記排気ガスの前記第２部分を、前記真空ポンプを介して逆方向に通過させることは、前記真空ポンプのフォアラインと前記テストラインとの間に結合されたフォアライン弁を設けることと、前記テストライン内が比較的高い圧力のとき前記フォアライン弁を閉鎖することと、前記テストライン内が比較的低い圧力のとき前記フォアライン弁を開くこととを含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 前記透過性部材を制御することは、前記透過性部材を加熱することを含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
10. 前記テストライン内が比較的高い圧力のとき、前記トレースガス透過性部材を介して通過させられたガスを検出して大規模漏れであると判別することを更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
11. 前記排気ガスの前記第１部分を前記トレースガス透過性部材を介して通過させることは、前記透過性部材の透過度を増大させることと、前記真空ポンプのフォアラインと前記テストラインとの間に結合されたフォアライン弁を閉鎖することとを含み、
    前記排気ガスの前記第２部分を前記真空ポンプを介して逆方向に通過させることは、前記透過性部材の透過度を減少させることと、前記フォアライン弁を開くこととを含む、ことを特徴とする請求項７に記載の方法。
12. トレースガスを含有するサンプルを受け入れるよう構成されたテストラインと、
    前記トレースガスを受け入れる入口を有するとともに、前記トレースガスを検出するよう構成された質量分光計と、
    軽いガスに対して比較的高い逆流流量を与え、重いガスに対して比較的低い逆流流量を与えることを特徴とする第１真空ポンプであって、ポンプ入口とフォアラインとを有し、前記ポンプ入口が前記質量分光計の前記入口に接続されている第１真空ポンプと、
    前記第１真空ポンプをバックアップするよう構成された第２真空ポンプと、
    前記フォアラインと、前記テストラインとの間に結合され、トレースガスの通過を許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするトレースガス透過性部材と、
    前記テストラインにおいて、比較的高い圧力のときフォアライン弁を閉じることにより、前記透過性部材のトレースガス透過度を増大させ、比較的低い圧力のとき前記フォアライン弁を開くことにより、前記透過性部材のトレースガス透過度を減少させるように構成された制御部と
    を含むことを特徴とする漏れ検出装置。
13. 前記第１真空ポンプはターボ分子ポンプを含むことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
14. 前記トレースガス透過性部材と並列に結合されたバイパス弁を更に含むことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
15. 前記テストラインと結合された粗引きポンプを更に含むことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
16. トレースガスを含有するサンプルを受け入れるよう構成されたテストラインと、
    前記トレースガスを受け入れる入口を有するとともに、前記トレースガスを検出するよう構成された質量分光計と、
    ポンプ入口、中間ステージラインおよびフォアラインを有し、前記ポンプ入口が前記質量分光計の前記入口に結合されているターボ分子真空ポンプと、
    前記ターボ分子真空ポンプをバックアップするよう構成されたフォアポンプと、
    前記テストラインと前記ターボ分子真空ポンプの前記中間ステージラインとの間に結合され、トレースガスの通過を許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするトレースガス透過性部材と、
    前記テストラインにおいて、比較的高い圧力のときフォアライン弁を閉じることにより、前記透過性部材のトレースガス透過度を増大させ、比較的低い圧力のとき前記フォアライン弁を開くことにより、前記透過性部材のトレースガス透過度を減少させるように構成された制御部と
    を含むことを特徴とする漏れ検出装置。
17. 前記トレースガス透過性部材と並列に結合されたバイパス弁を更に含むことを特徴とする請求項１６に記載の装置。
18. 前記テストラインに結合された粗引きポンプを更に含むことを特徴とする請求項１６に記載の装置。