JP2007324347A - Aligner - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、露光装置に関し、より詳細には、半導体や、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイを製造する場合に用いられる露光装置に関する。 The present invention relates to an exposure apparatus, and more particularly to an exposure apparatus used when manufacturing a large flat panel display such as a semiconductor, a liquid crystal display panel, or a plasma display.
従来の露光装置としては、マスク(レチクル)と基板(ウェハ)を接近させた状態でマスクを介してパターン露光用の光(電子線)を照射し、これにより、基板にマスクパターンを露光転写する装置が知られている(例えば、特許文献1及び2参照。)。 As a conventional exposure apparatus, light (electron beam) for pattern exposure is irradiated through a mask in a state where a mask (reticle) and a substrate (wafer) are brought close to each other, thereby exposing and transferring the mask pattern onto the substrate. An apparatus is known (for example, refer to Patent Documents 1 and 2).
特許文献1に記載の露光装置は、マスクが配置される2つの枠体と、2つの枠体のそれぞれに対応して基板が載置される2つの基板ステージと、2つの基板ステージにそれぞれ対応して配置された2つのアライメント機構と、を備え、それぞれの枠体と基板ステージとを組み合わせた状態で、交互に露光位置に移動させて露光転写するステージ移動機構が知られている。これにより、ステージ移動機構は、2つの基板ステージでアライメントと露光とを同時に行って、タクトタイムの短縮を図っている。 The exposure apparatus described in Patent Document 1 corresponds to each of two frames on which a mask is arranged, two substrate stages on which a substrate is placed corresponding to each of the two frames, and two substrate stages. There is known a stage moving mechanism that includes two alignment mechanisms arranged in this manner, and in which the frame bodies and the substrate stage are combined and moved to an exposure position and exposed and transferred alternately. As a result, the stage moving mechanism simultaneously performs alignment and exposure on the two substrate stages to shorten the tact time.
また、特許文献2に記載の露光装置は、2軸ステージのスライダに制振用アクチュエータ及び制振マスを配設してステージの振動を低減させ、これによりステージの整定時間を短縮して位置決め精度の向上を図っている。
ところで、特許文献1に記載の露光装置では、2つの基板ステージを利用することで基板の露光転写と基板ステージへの基板の搬入及び搬出を同時に行ってタクトタイムの短縮を図っているが、基板の搬入出時に発生する振動について考慮されておらず、この振動が露光精度に影響を及ぼす可能性があり、更なる改善の余地があった。 By the way, in the exposure apparatus described in Patent Document 1, the tact time is reduced by simultaneously performing exposure transfer of the substrate and loading and unloading of the substrate to and from the substrate stage by using two substrate stages. The vibration generated during loading / unloading is not taken into consideration, and this vibration may affect the exposure accuracy, and there is room for further improvement.
また、特許文献2に記載の露光装置は、1台の基板ステージにおける残留振動を低減し、ステージの整定時間の短縮を図っているが、基板の搬入出時に発生する振動について考慮されておらず、2つの基板ステージの利用についても記載がない。
In addition, the exposure apparatus described in
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板の露光転写と基板ステージへの基板のローディングとを同時に行い、タクトタイムの短縮を図ると共に、基板のローディング時に発生する振動が露光精度に及ぼす影響を排除して、高精度で露光転写することができる露光装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and its object is to simultaneously perform exposure transfer of a substrate and loading of a substrate onto a substrate stage, thereby reducing tact time and occurring when the substrate is loaded. It is an object of the present invention to provide an exposure apparatus that can perform exposure transfer with high accuracy by eliminating the influence of vibrations on exposure accuracy.
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
(1) マスクを保持するマスクステージと、
マスクステージの下方に位置する露光位置と第1待機位置間で移動可能な第1基板ステージと、
露光位置と第2待機位置間で移動可能な第2基板ステージと、
露光位置に移動した第1及び第2基板ステージに保持された基板に、パターン露光用の光をマスクを介して照射する照射装置と、
を備える露光装置であって、
第1及び第2基板ステージは、基板が載置される基板保持部と、基板保持部の上面から進退自在に配置され基板を支持する複数のピンと、を有し、
基板保持部と、第1及び第2基板ステージを移動する基板ステージ移動機構との間には、基板ステージ移動機構に対して基板保持部を弾性支持可能な防振機構と、基板ステージ移動機構に対して基板保持部を固定支持可能なロック機構とが配置されることを特徴とする露光装置。
The above object of the present invention can be achieved by the following constitution.
(1) a mask stage for holding a mask;
A first substrate stage movable between an exposure position located below the mask stage and a first standby position;
A second substrate stage movable between an exposure position and a second standby position;
An irradiation device that irradiates the substrate held by the first and second substrate stages moved to the exposure position with light for pattern exposure through a mask;
An exposure apparatus comprising:
The first and second substrate stages each include a substrate holding unit on which the substrate is placed, and a plurality of pins that are disposed so as to be able to advance and retract from the upper surface of the substrate holding unit and support the substrate.
Between the substrate holding unit and the substrate stage moving mechanism that moves the first and second substrate stages, an anti-vibration mechanism that can elastically support the substrate holding unit with respect to the substrate stage moving mechanism, and a substrate stage moving mechanism An exposure apparatus comprising a lock mechanism capable of fixing and supporting the substrate holding portion.
(2) 防振機構は、空気ばねによって構成され、ロック機構は、電磁力により基板ステージ移動機構に対して基板保持部を固定支持する電磁石であることを特徴とする(1)に記載の露光装置。 (2) The exposure according to (1), wherein the vibration isolation mechanism is configured by an air spring, and the lock mechanism is an electromagnet that fixes and supports the substrate holding unit with respect to the substrate stage moving mechanism by electromagnetic force. apparatus.
本発明の露光装置によれば、マスクステージの下方に位置する露光位置と第1待機位置間で移動可能な第1基板ステージと、露光位置と第2待機位置間で移動可能な第2基板ステージと、を備えることで、基板の露光転写と第1及び第2基板ステージへの基板の搬入及び搬出とを同時に行い、タクトタイムの短縮を図ることができる。 According to the exposure apparatus of the present invention, the first substrate stage movable between the exposure position located below the mask stage and the first standby position, and the second substrate stage movable between the exposure position and the second standby position. The simultaneous exposure and transfer of the substrate and the loading and unloading of the substrate to and from the first and second substrate stages can be performed simultaneously to reduce the tact time.
また、第1及び第2基板ステージの基板保持部と、第1及び第2基板ステージを移動する基板ステージ移動機構との間には、基板ステージ移動機構に対して基板保持部を弾性支持可能な防振機構と、基板ステージ移動機構に対して基板保持部を固定支持可能なロック機構とが配置されるので、基板を搬入出する側の基板ステージに生じる振動が防振機構によって露光中の基板ステージに伝達されるのを防止することができる。これにより、露光精度に及ぼす振動の影響を排除してマスクのマスクパターンを高精度で基板に露光転写することができる。 In addition, the substrate holding unit can be elastically supported by the substrate stage moving mechanism between the substrate holding unit of the first and second substrate stages and the substrate stage moving mechanism that moves the first and second substrate stages. Since the anti-vibration mechanism and the lock mechanism capable of fixing and supporting the substrate holding portion with respect to the substrate stage moving mechanism are arranged, vibration generated in the substrate stage on the side where the substrate is carried in / out is exposed by the anti-vibration mechanism. Transmission to the stage can be prevented. Thus, the influence of vibration on the exposure accuracy can be eliminated and the mask pattern of the mask can be exposed and transferred to the substrate with high accuracy.
さらに、基板ステージに保持された基板を露光する時には、ロック機構によって基板保持部が基板ステージ移動機構に対して固定支持されるので、基板保持部が位置ずれすることがなく、高精度で露光転写を行うことができる。 Furthermore, when exposing the substrate held on the substrate stage, the substrate holding unit is fixedly supported by the lock mechanism with respect to the substrate stage moving mechanism, so that the substrate holding unit is not displaced and the exposure transfer is performed with high accuracy. It can be performed.
以下、本発明に係る露光装置の一実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, an embodiment of an exposure apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は本発明の一実施形態である露光装置の全体構成を概略示す平面図、図2は図1の露光装置の要部正面図、図3は第1及び第2基板ローダの側面図である。 FIG. 1 is a plan view schematically showing the overall configuration of an exposure apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the main part of the exposure apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of first and second substrate loaders. is there.
図1及び図2に示すように、第1実施形態の露光装置PEは、マスクステージ10、第1ステージ11、第2基板ステージ12、照射装置13、第1基板ローダ14、第2基板ローダ15、及びマスクローダ16を備え、それぞれ基台17上に載置されている。また、基台17上には、マスクステージ10の下方に配置されるメインベッド19と、このメインベッド19の側方で、メインベッド19に対して互いに対向配置される第1及び第2サブベッド21,22とが設けられており、第1基板ステージ11は、メインベッド19及び第1サブベッド21間を、第2基板ステージ12は、メインベッド19及び第2サブベッド22間を、それぞれ移動する。
As shown in FIGS. 1 and 2, the exposure apparatus PE of the first embodiment includes a
マスクステージ10は、メインベッド19に設けられた複数の支柱23によってメインベッド上に支持されている。複数の支柱23は、第1及び第2基板ステージ11,12がY方向(図1中左右方向)に移動してマスクステージ10の下方に進出可能なようにメインベッド19の上方にスペースを形成している。
The
マスクステージ10は、中央に矩形の開口25aを有して、マスクステージ10に対してX,Y,θ方向に位置調整可能に支持されたマスク保持部25を備え、露光すべきパターンを有するマスクMがこの開口25aに臨むようにしてマスク保持部25に保持されている。また、マスクステージ10には、マスク保持部25に対するマスクMの位置を検出するマスク用アライメントカメラ(図示せず)と、マスクMと基板Wとの間のギャップを検出するギャップセンサ(図示せず)とが設けられている。
The
図2に示すように、第1及び第2基板ステージ11,12は、被露光材としての基板Wが上面に載置される基板保持部31と、この基板保持部31の上面から進退自在に配置され基板Wを支持する複数のピン32とをそれぞれ有する。また、第1及び第2基板ステージ11,12の下方には、Y軸テーブル33、Y軸送り機構34、X軸テーブル35、X軸送り機構36、及びZ−チルト調整機構37、Z軸テーブル38を備える基板ステージ移動機構39,39がそれぞれ設けられる。
As shown in FIG. 2, the first and
Y軸送り機構34は、リニアガイド40と送り駆動機構41とを備えて構成され、Y軸テーブル33の裏面に取り付けられたスライダ42が、転動体(図示せず)を介してメインベッド19と第1及び第2サイドベッド21,22に亘って延びる2本の案内レール43に跨架されると共に、固定子44と可動子45とを有するリニアモータによってY軸テーブル33を案内レール43に沿って駆動する。
The Y-
なお、X軸送り機構36もY軸送り機構34と同様の構成を有し、Z−チルト調整機構37は、くさび状の移動体と送り駆動機構とを組み合わせてなる可動くさび機構によって構成される。なお、送り駆動機構は、固定子と可動子とを有するリニアモータであってもよく、モータとボールねじ装置とを組み合わせた構成であってもよい。
The
これにより、各基板ステージ移動機構32,32は、第1及び第2基板ステージ11,12をX方向及びY方向に送り駆動するとともに、マスクMと基板Wとの間の隙間を微調整するように、第1及び第2基板ステージ11,12をZ軸方向に微動且つチルトする。
Thereby, the substrate
また、基板保持部31と、第1及び第2基板ステージ11,12を移動する基板ステージ移動機構39のZ軸テーブル38との間には、基板ステージ移動機構39に対して基板保持部31を弾性支持可能な防振機構である空気ばね46と、基板ステージ移動機構39に対して基板保持部31を固定支持可能なロック機構である電磁石47(47a,47b)とが複数配置される。これら空気ばね46と電磁石47は、複数のピン32が配置される位置と干渉しないように配置されており、また、Z軸テーブル38に立設された図示しない柱部上に設けられてもよい。
Further, between the
空気ばね46は、ゴム膜の中に圧縮空気を封入して空気の弾性を利用したばねであり、ベローズ型、ダイヤフラム型、ローリングシール型等が知られている。空気ばね46は、構造が柔軟であり、軸方向だけでなく、横方向、回転方向の振動を絶縁可能である。
The
そして、電磁石47が作動しない状態において、基板保持部31は空気ばね46によって弾性的にZ軸テーブル38に支持され、基板保持部31上での振動がZ軸テーブル38に伝達されるのを防止する。一方、電磁石47が作動した状態においては、基板保持部31は電磁石47によってZ軸テーブル38に強固に固定支持される。
In a state where the
また、第1及び第2基板ステージ11,12には、各基板保持部31a,31bのX方向側部とY方向側部にそれぞれバーミラー61,62が取り付けられている。また、第1サブベッド21及び第2サブベッド22のY軸方向の両側端と、メインベッド19のX軸方向の一側には、3台のレーザー干渉計63,64,65が設けられている。これにより、レーザー干渉計63,64,65からレーザー光をバーミラー61,62に照射し、バーミラー62により反射されたレーザー光を受光して、レーザー光とバーミラー61,62により反射されたレーザー光との干渉を測定し、第1及び第2ステージ11,12の位置を検出する。
Further, on the first and
図2に示すように、照明装置13はマスク保持部25の開口25a上方に配置され、紫外線照射用の光源である例えば高圧水銀ランプ、凹面鏡、オプチカルインテグレータ、平面ミラー、球面ミラー、及び露光制御用のシャッター等を備えて構成される。照明装置13は、露光位置EP、即ち、メインベッド19上に移動した第1及び第2基板ステージ11,12の基板保持部31a,31bに保持された基板Wに、パターン露光用の光をマスクMを介して照射する。これにより、基板Wには、マスクMのマスクパターンPが露光転写される。
As shown in FIG. 2, the
また、第1基板ローダ14、及び第2基板ローダ15は、図示しない基板カセットと、第1サブベッド21上に位置する第1基板ステージ11、及び第2サブベッド22上に位置する第2基板ステージ12との間で、基板Wの搬入・搬出を行い、マスクローダ17は、図示しないマスクカセットとマスクステージ10との間で、マスクMの搬入・搬出を行う。
The
ここで、本実施形態の露光装置PEでは、第1及び第2基板ステージ11,12の基板ステージ移動機構32によって、第1基板ステージ11は、露光位置EPと第1待機位置WP1との間、第2基板ステージ12は、露光位置EPと第2待機位置WP2との間で互いに連動する。そして、第1基板ステージ11が露光位置EP(図2の鎖線位置)、第2基板ステージ12が第2待機位置WP2(図2の実線位置)に位置する際には、第1基板ステージ11に保持された基板WにマスクMのマスクパターンPが露光転写され、第2基板ステージ12では、第2基板ローダ15による基板Wの入れ替え作業、即ち、露光後の基板Wの基板カセットへの搬出と基板カセットから基板保持器31bへの基板Wの搬入が同時に行われる。
Here, in the exposure apparatus PE of this embodiment, the
第2基板ステージ12上での入れ替え作業は、まず、複数のピン32を上昇させて、基板保持部31上の露光後の基板Wを基板保持部31の上面から突出したピン32の先端で支持し、第2基板ローダ15の搬送部(図示せず)によって基板Wを受け取る。また、新しい基板Wを搬入する場合にも、複数のピン32を上昇させて、第2基板ローダ15の搬送部が基板Wをピン32の先端に搭載し、ピン32を下降させて基板Wを基板保持部31の上面に載置する。
In the replacement work on the
このような入れ替え作業中、基板保持部31は空気ばね46によって弾性的に支持されており、上記作業中に発生する第2基板ステージ12の振動が基板ステージ移動機構39のZ軸テーブル38に伝達されることがなく、露光中の第1基板ステージ11にも伝達されることがない。
During such replacement work, the
一方、露光中の第1基板ステージ11では、基板保持部31は電磁石47の作動によって強固に基板ステージ移動機構39に固定支持されているので、基板保持部31が位置ずれすることがなく、マスクMのマスクパターンPが高精度で基板Wに露光転写される。
On the other hand, in the
また、第2基板ステージ12が露光位置EP(図2の鎖線位置)、第1基板ステージ11が第1待機位置WP1(図2の実線位置)に位置する際には、第2基板ステージ12に保持された基板WにマスクMのマスクパターンPが露光転写され、第1基板ステージ11では、第1基板ローダ14による基板Wの入れ替え作業、即ち、露光後の基板Wの基板カセットへの搬出と基板カセットから基板保持器31aへの基板Wの搬入が同時に行われる。
Further, when the
この場合にも、入れ替え作業中の第1基板ステージ11では、基板保持部31は、電磁石47を非作動とすることで、空気ばね46によってZ軸テーブル38に弾性支持され、露光中の第2基板ステージ12では、基板保持部31は、電磁石47を作動することで、Z軸テーブル38に固定支持される。これにより、入れ替え作業中に発生する第1基板ステージ11の振動が、露光中の第2基板ステージ12にも伝達されることがなく、また、第2基板ステージ12では、マスクMのマスクパターンPが高精度で基板Wに露光転写される。
Also in this case, in the
なお、第1及び第2基板ステージ11,12の露光位置EPと第1及び第2待機位置WP1,WP2間の移動中は、電磁石47を作動させ、基板保持部31はZ軸テーブル38に固定支持されるので、基板保持部31が揺れて基板Wに位置ずれが生じることがない。
During the movement between the exposure position EP of the first and second substrate stages 11 and 12 and the first and second standby positions WP1 and WP2, the
上記したように、本実施形態の露光装置PEによれば、マスクステージの下方に位置する露光位置EPと第1待機位置EP1間で移動可能な第1基板ステージ11と、露光位置EPと第2待機位置WP2間で移動可能な第2基板ステージ12と、を備えることで、基板Wの露光転写と第1及び第2基板ステージ11,12への基板Wの搬入及び搬出とを同時に行い、タクトタイムの短縮を図ることができる。
As described above, according to the exposure apparatus PE of the present embodiment, the
また、第1及び第2基板ステージ11,12の基板保持部31と、第1及び第2基板ステージ11,12を移動する基板ステージ移動機構39,39との間には、基板ステージ移動機構39に対して基板保持部31を弾性支持可能な空気ばね46と、基板ステージ移動機構39に対して基板保持部31を固定支持可能な電磁石47とが配置されるので、基板Wを搬入出する側の基板ステージに生じる振動が空気ばね46によって露光中の基板ステージに伝達されるのを防止することができる。これにより、露光精度に及ぼす振動の影響を排除してマスクMのマスクパターンPを高精度で基板Wに露光転写することができる。
Further, a substrate
さらに、第1及び第2基板ステージ11,12に保持された基板Wを露光する時には、電磁石47によって基板保持部31が基板ステージ移動機構39に対して固定支持されるので、基板保持部31が位置ずれすることがなく、高精度で露光転写を行うことができる。
Further, when the substrate W held on the first and second substrate stages 11 and 12 is exposed, the
また、空気ばね46と電磁石47は、基板保持部31とZ軸テーブル38との間に配置されているので、空気ばね46と電磁石47が支持する質量を軽量化して応答性を向上することができ、また、空気ばね46と電磁石47の小型化を図ることができる。
Further, since the
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が可能である。
なお、本発明の防振機構は、基板ステージ移動機構に対して基板保持部を弾性支持可能であればよく、空気ばね以外の構成であってもよい。また、ロック機構も、防振機構による弾性支持を切換えて、基板ステージ移動機構に対して基板保持部を固定支持可能であればよく、電磁石以外の構成であってもよい。
In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A deformation | transformation, improvement, etc. are possible suitably.
The anti-vibration mechanism of the present invention only needs to be able to elastically support the substrate holding portion with respect to the substrate stage moving mechanism, and may have a configuration other than the air spring. In addition, the lock mechanism may be configured other than the electromagnet as long as it can switch the elastic support by the vibration isolation mechanism and can fix and support the substrate holding unit with respect to the substrate stage moving mechanism.
10 マスクステージ
11 第1基板ステージ
12 第2基板ステージ
13 照射装置
31 基板保持部
32 ピン
39 基板ステージ移動機構
46 空気ばね(防振機構)
47 電磁石(ロック機構)
M マスク
PE 露光装置
W 基板
EP 露光位置
WP1 第1待機位置
WP2 第2待機位置
DESCRIPTION OF
47 Electromagnet (Lock mechanism)
M Mask PE Exposure apparatus W Substrate EP Exposure position WP1 First standby position WP2 Second standby position
Claims (2)
該マスクステージの下方に位置する露光位置と第1待機位置間で移動可能な第1基板ステージと、
前記露光位置と第2待機位置間で移動可能な第2基板ステージと、
前記露光位置に移動した前記第1及び第2基板ステージに保持された基板に、パターン露光用の光を前記マスクを介して照射する照射装置と、
を備える露光装置であって、
前記第1及び第2基板ステージは、前記基板が載置される基板保持部と、該基板保持部の上面から進退自在に配置され前記基板を支持する複数のピンと、を有し、
前記基板保持部と、前記第1及び第2基板ステージを移動する基板ステージ移動機構との間には、前記基板ステージ移動機構に対して前記基板保持部を弾性支持可能な防振機構と、前記基板ステージ移動機構に対して前記基板保持部を固定支持可能なロック機構とが配置されることを特徴とする露光装置。 A mask stage for holding the mask;
A first substrate stage movable between an exposure position below the mask stage and a first standby position;
A second substrate stage movable between the exposure position and a second standby position;
An irradiation device that irradiates the substrate held by the first and second substrate stages moved to the exposure position with light for pattern exposure through the mask;
An exposure apparatus comprising:
The first and second substrate stages have a substrate holding portion on which the substrate is placed, and a plurality of pins that are arranged to be able to advance and retract from the upper surface of the substrate holding portion and support the substrate,
An anti-vibration mechanism capable of elastically supporting the substrate holding part with respect to the substrate stage moving mechanism, between the substrate holding part and a substrate stage moving mechanism that moves the first and second substrate stages, An exposure apparatus comprising: a lock mechanism capable of fixing and supporting the substrate holding unit with respect to a substrate stage moving mechanism.
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150021515A (en) * | 2013-06-18 | 2015-03-02 | 베아크 가부시끼가이샤 | Exposure apparatus |
WO2016123948A1 (en) * | 2015-02-02 | 2016-08-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | Encapsulating device and encapsulating method |
JPWO2014208634A1 (en) * | 2013-06-28 | 2017-02-23 | 株式会社ニコン | MOBILE DEVICE, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD |
TWI596449B (en) * | 2016-05-30 | 2017-08-21 | 志聖工業股份有限公司 | Method for light exposing workpiece, exposure apparatus, and placement mechanism of exposure apparatus |
-
2006
- 2006-05-31 JP JP2006152361A patent/JP2007324347A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150021515A (en) * | 2013-06-18 | 2015-03-02 | 베아크 가부시끼가이샤 | Exposure apparatus |
KR101669746B1 (en) | 2013-06-18 | 2016-10-27 | 베아크 가부시끼가이샤 | Exposure apparatus |
JPWO2014208634A1 (en) * | 2013-06-28 | 2017-02-23 | 株式会社ニコン | MOBILE DEVICE, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD |
WO2016123948A1 (en) * | 2015-02-02 | 2016-08-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | Encapsulating device and encapsulating method |
US9962916B2 (en) | 2015-02-02 | 2018-05-08 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Packaging device and packaging method |
TWI596449B (en) * | 2016-05-30 | 2017-08-21 | 志聖工業股份有限公司 | Method for light exposing workpiece, exposure apparatus, and placement mechanism of exposure apparatus |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071128 |