JP2007324219A - 縦型ウエハボート - Google Patents
縦型ウエハボート Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007324219A JP2007324219A JP2006150280A JP2006150280A JP2007324219A JP 2007324219 A JP2007324219 A JP 2007324219A JP 2006150280 A JP2006150280 A JP 2006150280A JP 2006150280 A JP2006150280 A JP 2006150280A JP 2007324219 A JP2007324219 A JP 2007324219A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- top plate
- support
- support column
- wafer boat
- bottom plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 68
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 14
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 9
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明にかかる縦型ウエハボート1は、半導体ウエハWを搭載するウエハ支持部を有する複数本の支持柱2と、前記支持柱2の上下端部に取付けられる天板4及び底板3とを具備する縦型ウエハボート1において、前記支持柱2の下端部には、支持柱の横断面積より大きな底面積を有する足部2bが形成され、前記足部2bがボルト5,6で底板3に固定されると共に、前記天板4には径方向に延設された複数個の貫通部4bが形成され、前記支持柱2の上端部2fが前記貫通部4bの内周側側壁と隙間Sを形成して、天板4に係止されている。
【選択図】図1
Description
前記支持柱51は、シリコンまたは炭化珪素あるいはアルミナによって形成されており、支持柱51の上下端部間には所定の間隔をおいて内方に突出して設けられたウエハ支持部51aと、支持柱51の両端にそれぞれ設けられた鉤部51bとによって構成されている。
なお、ストッパー片54およびボス部54aも、前記支持柱51等と同様に、シリコンまたは炭化珪素によって一体に形成されている。
前記支持柱51の組み付けに際しては、先ず底板53に対して3本の支持柱51の下端部をそれぞれ対応する係止穴53aに嵌合して起立状態にし、起立状態の支持柱51の上端に天板52を載せ、それぞれ対応する係止穴52aに支持柱51の上端部を嵌合する。
その後、各ストッパー片54を回動して、それぞれの先端係合部54bを支持柱51に係合せしめる。この結果、支持柱51は内側方向への移動が規制されて、上記鉤部51bと段部と係合が安定した状態に維持され、支持柱51と天板52及び底板53に固定される。これにより、縦型ウエハボートの組み立てが完了する。
その結果、支持柱と天板の連結部近傍、また支持柱と底板との連結部近傍に応力が加わらず、亀裂は発生しない。
更に、支持柱の下端部には、支持柱の横断面積より大きな底面積を有する足部が形成され、前記足部がボルトで底板に固定されるため、支持柱の横揺れを抑制し、安定性が向上する。
このように、前記足部を底板に固定するボルトは、支持柱のウエハ支持部の延設方向に前後に配置される共に、支持柱のウエハ支持部の延設方向に伸びる足部の中心線の両側に配置されているため、支持柱の横揺れをより抑制でき、安定性がより向上する。
また、図2、3に示すように、この支持柱2の下端部には、支持柱の横断面積より大きな底面積を有する足部2bが形成され、ボルト5,6で底板3に固定される。そのため、前記足部2bには、図6、図7に示すように、前記ボルト5,6が挿通するボルト孔2c1,2c2が形成されている。
このように、ボルト孔2c1,2c2を足部2bの中心線lを挟むように配置することにより、図7に矢印Xで示すような支持柱2の横揺れを抑制し、安定性の向上を図ることができる。
更にまた、図6、図8に示すように、支持柱2の上端部2fには、支持柱2のウエハ支持部2a方向に延設された溝部2eが形成されている。したがって、支持柱2の上端部2fは、図8に示すように、正面視上、T字形状に形成されている。
したがって、前記支持柱2を底板3の上に載置し、前記ボルト5,6を前記ボルト孔2c1,2c2を挿通させ、底板3のボルト螺子孔と螺合させることにより、支持柱2を底板3に、強固に固定することができる。
この天板2のスリット部4aの奥行き長さ(中心方向に延設した長さ)L1は、図9に示すように、T字形状した支持柱2の上端部2fの奥行き長さL2よりも長く、また棚部4cの高さt1は溝部2eの高さt2よりも小さく形成されている。
即ち、支持柱2の上端部2fに形成された溝部2eの内部に前記棚部4cが収容されるように、天板2の周縁から支持柱2を差し込むことにより、前記支持柱2は天板2に係止される。
先ず、底板3のボルト螺子孔に、ボルト孔2c1,2c2が位置するように、3本の支持柱2を所定位置に載置する。続いて、支持柱2の上端部に形成された溝部2の内部に前記棚部4cが収容されるように、天板4の周縁から支持柱2を差し込むことにより、前記支持柱2を天板4に係止する。その後、ボルト5,6により支持柱2を底板3に固定することによって、組み立てが終了する。
しかしながら、前記したように熱処理炉内に最初に進入する天板4と、最後に進入する底板3との間には温度差が生じたとしても、天板2の周縁から支持柱2を差し込むことにより、前記支持柱2は天板2に係止されているに過ぎないため、天板4は支持柱2に対して移動し、支持柱2と天板4の連結部近傍、また支持柱2と底板4との連結部近傍に熱膨張に伴う応力が加わらず、亀裂は発生しない。
なお、本発明にかかる縦型ウエハボート1にあっては、支持柱2の下端部は、底板3にボルト5,6によって固定されているが、縦型ウエハボート1の下端側は、熱処理炉内への出し入れの際に、上端側より大きな熱応力を受けることがないため、破損したりすることがなく、強固な固定が維持される。
尚、図10は、本発明の第二実施形態にかかる天板の要部平面図、図11は、本発明の第二の実施形態にかかる組み立て手順を説明するための一部断面図、図12は、本発明の第二の実施形態の組み立て状態を示す一部断面図である。
一方、支持柱2は第一の実施形態の場合と同じであるが、支持柱2の上端部2fの下面には、前記突起10cが係止される凹部2gが形成されている点が異なる。尚、その他の構成については、第一の実施形態の場合と同一である。
2 支持柱
2a ウエハ支持部
2b 足部
2c1 ボルト孔
2c2 ボルト孔
2e 溝部
2f 上端部
2g 凹部
3 底板
4 天板
4a ウエハ保持部
4b スリット部(貫通部)
4c 棚部
5 ボルト
6 ボルト
10 天板
10a 貫通穴(貫通部)
10b 棚部
10c 突起部
11 貫通穴(貫通部)
L1 スリットブノ奥行き長さ
L2 支持柱の上端部の奥行き長さ
t1 棚部の高さ
t2 溝部の高さ
S 隙間
W 半導体ウエハ
Claims (5)
- 半導体ウエハを搭載するウエハ支持部を有する複数本の支持柱と、前記支持柱の上下端部に取付けられる天板及び底板とを具備する縦型ウエハボートにおいて、
前記支持柱の下端部には、支持柱の横断面積より大きな底面積を有する足部が形成され、前記足部がボルトで底板に固定されると共に、
前記天板には径方向に延設された複数個の貫通部が形成され、前記支持柱の上端部が前記貫通部の内周側側壁と隙間を形成して、天板に係止されていることを特徴とする縦型ウエハボート。 - 前記天板の貫通部が、天板の周縁に開口し、中心方向に延設するスリット部であって、更に前記スリット部の両側に棚部が設けられ、
かつ、記支持柱の上端部の側壁には、支持柱のウエハ支持部方向に延設された溝部が形成され、
前記スリット部の奥行き長さは、支持柱の上端部の奥行き長さよりも長く、かつ棚部の高さは溝部の高さよりも小さく形成され、
前記支持柱の上端部に形成された溝部の内部に前記棚部が収容されるように、天板の周縁から支持柱を差し込むことにより、前記支持柱は天板に係止されることを特徴とする請求項1に記載された縦型ウエハボート。 - 前記天板の貫通部が天板の外周側内部に形成された貫通穴であって、前記貫通穴の外周側の両側壁に棚部が形成され、
かつ、前記支持柱の上端部の側壁には、支持柱のウエハ支持部方向に延設された溝部が形成され、
前記貫通穴の奥行き長さは、支持柱の上端部の奥行き長さよりも長く、かつ棚部の高さは溝部の高さよりも小さく形成され、
前記支持柱の上端部に形成された溝部の内部に前記棚部が収容されるように、天板の貫通穴から支持柱を差し込むことにより、前記支持柱は天板に係止されることを特徴とする請求項1に記載された縦型ウエハボート。 - 前記足部を底板に固定するボルトは、支持柱のウエハ支持部の延設方向に前後に配置される共に、支持柱のウエハ支持部の延設方向に伸びる足部の中心線の両側に配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載された縦型ウエハボート。
- 前記支持柱と、前記板及び底板と、前記ボルトは、アルミナセラミックスによって形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載された縦型ウエハボート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006150280A JP4428714B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 縦型ウエハボート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006150280A JP4428714B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 縦型ウエハボート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007324219A true JP2007324219A (ja) | 2007-12-13 |
JP4428714B2 JP4428714B2 (ja) | 2010-03-10 |
Family
ID=38856774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006150280A Active JP4428714B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 縦型ウエハボート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4428714B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101035552B1 (ko) | 2011-03-24 | 2011-05-23 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
KR101061153B1 (ko) | 2011-02-08 | 2011-08-31 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
KR101141939B1 (ko) | 2009-12-22 | 2012-05-04 | 하나실리콘(주) | 이중 너트 체결구조를 포함하는 실리콘 적재 조립체 |
KR101369305B1 (ko) * | 2011-11-09 | 2014-03-06 | 주식회사 에이앤디코퍼레이션 | 고압처리기 장입용 장치 |
-
2006
- 2006-05-30 JP JP2006150280A patent/JP4428714B2/ja active Active
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101141939B1 (ko) | 2009-12-22 | 2012-05-04 | 하나실리콘(주) | 이중 너트 체결구조를 포함하는 실리콘 적재 조립체 |
KR101061153B1 (ko) | 2011-02-08 | 2011-08-31 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
KR101035552B1 (ko) | 2011-03-24 | 2011-05-23 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
WO2012128459A2 (ko) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
WO2012128459A3 (ko) * | 2011-03-24 | 2012-11-15 | (주)상아프론테크 | 솔라웨이퍼 카세트 |
JP2014509788A (ja) * | 2011-03-24 | 2014-04-21 | サン―ア フロンテック カンパニー,リミテッド | ソラーウェーハカセット |
KR101369305B1 (ko) * | 2011-11-09 | 2014-03-06 | 주식회사 에이앤디코퍼레이션 | 고압처리기 장입용 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4428714B2 (ja) | 2010-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4428714B2 (ja) | 縦型ウエハボート | |
KR101353231B1 (ko) | 히터 지지 장치 | |
KR101557344B1 (ko) | 벽돌 지지장치 및 이를 이용한 외부벽돌벽 시공방법 | |
KR101507387B1 (ko) | 3개 부품의 체결구조 | |
KR101975873B1 (ko) | 벽돌의 탈락이 방지되는 외부벽돌벽 | |
JP2010127591A (ja) | 焼成用棚組 | |
JP5766354B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5109725B2 (ja) | 縦型熱処理装置用基板保持具の支持構造、縦型熱処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2010148560A (ja) | 組立棚 | |
JP4232153B2 (ja) | 複層ガラスの共鳴用部材保持構造及び共鳴用部材 | |
TWI796495B (zh) | 結構體 | |
JP2004107168A (ja) | 焼成用治具および焼成方法 | |
JP2003329017A (ja) | 熱膨張率の異なる素材を掛止め固定する方法 | |
JP2010233769A (ja) | 組立棚 | |
JP2005311291A (ja) | 縦型ボート | |
JP2006274547A (ja) | セグメントの継手構造 | |
JP2525937Y2 (ja) | 窯道具 | |
KR100923732B1 (ko) | 열팽창량이 상호 다른 부재의 조립체 | |
JP2006269503A (ja) | シリカガラスウェーハボートの製造方法 | |
JP7401991B2 (ja) | セラミックス棚組 | |
JP2018070984A (ja) | 多段式熱処理治具 | |
JP3687849B2 (ja) | 高温熱処理用ウェーハボート支え治具 | |
JP4569827B2 (ja) | 部材同士の接合構造及びそれを用いたキャットウォーク | |
JP2009102973A (ja) | 躯体接合構造 | |
JP2008002126A (ja) | パネル支持構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091211 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091214 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121225 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4428714 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121225 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131225 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |