JP2007315964A - 水中欠陥検査装置及び水中欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】照明用のレーザ光102aは、検査対象領域Bに照射されて反射光102bとなる。水流発生装置107の駆動により水流107aが発生する。加熱用のレーザ光101aは、検査対象領域Bを加熱する。水流107aを通過した反射光102bにより第1微分画像が生成される。画像撮影素子115は第1微分画像を撮影する。その後、レーザ光101aの照射が停止されて検査対象領域Bが設定温度まで低下したとき、第2微分画像が画像撮影素子115にて撮影される。第1及び第2微分画像情報が解析装置207に入力される。水流107aによって反射光102bの経路での水の屈折率がより一様化されるため、レーザ光を用いた水中の非破壊検査でき裂の有無を精度良く検出できる。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- 水中に存在する検査対象物を加熱する加熱手段と、前記検査対象物にレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、前記レーザ光の照射で前記検査対象物から反射される反射光によって生成されるスペックルパターン画像を撮影する画像撮影手段と、前記反射光の通過領域に水を流す水流発生装置と、前記レーザ光の照射によって生成される第1の前記スペックルパターン画像の撮影、及び前記第1のスペックルパターン画像を得る温度と異なる前記検査対象物の温度において前記レーザ光の照射によって生成される第2の前記スペックルパターン画像の撮影を指示する制御指令を、画像撮影手段に出力する制御装置と、前記第1スペックルパターン画像情報及び前記第2スペックルパターン画像情報を用いて前記検査対象物のスペックル干渉縞の画像情報を生成する画像情報作成装置とを備えたことを特徴とする水中欠陥検査装置。
- 前記水流発生装置は、少なくとも、前記検査対象物の表面に沿ったある一方向に水流を発生させる第1水流発生手段、及び前記一方向と交差する他の方向に水流を発生させる第2水流発生手段を含んでいる請求項1記載の水中欠陥検査装置。
- 前記第1水流発生手段及び前記第2水流発生手段のうち選択されたいずれか一方を駆動させる他の制御装置を含んでいる請求項2記載の水中欠陥検査装置。
- 前記反射光を前記検査対象物の表面に沿ってずらして二重露光させて前記第1スペックルパターン画像情報及び前記第2スペックルパターン画像情報である微分画像情報を生成する微分画像情報生成装置を備えた請求項1または請求項2記載の水中欠陥検査装置。
- 前記微分画像情報生成装置は、前記反射光を前記水の流れ方向にずらすことによって前記二重露光を行う手段を有する請求項4記載の水中欠陥検査装置。
- 前記他の制御装置は、前記水の流速を前記検査対象物の加熱量に基づいて制御する請求項3記載の水中欠陥検査装置。
- 水中の検査対象物を加熱する工程と、前記検査対象物の表面前方で水を流す工程と、前記水が流れている状態で加熱された前記検査対象物にレーザ光を照射する工程と、前記レーザ光の照射で前記検査対象物から反射される反射光によって生成される第1スペックルパターン画像を撮影する工程と、前記第1スペックルパターン画像を得る温度と異なる前記検査対象物の温度状態において前記検査対象物から反射される前記反射光によって生成される第2スペックルパターン画像を撮影する工程と、前記第1スペックルパターン画像の情報及び前記第2スペックルパターン画像の情報を用いて前記検査対象物のスペックル干渉縞の画像情報を生成する工程とを備えたことを特徴とする水中欠陥検査方法。
- 前記第1及び第2スペックルパターン画像情報は、それぞれ、前記レーザ光の照射によって生じる反射光を、前記検査対象物の表面に沿ってずらして二重露光することによって得る微分画像情報である請求項7記載の水中欠陥検査方法。
- 前記二重露光は、前記レーザ光の照射によって生じる反射画像を前記水の流れ方向にずらすことによって行う請求項8記載の水中欠陥検査方法。
- 前記水の流れは、少なくとも、前記検査対象物の表面に沿ったある一方向とこの一方向と交差する他の方向に発生させ、それぞれの状態で前記第1及び第2スペックルパターン画像の撮影を行う請求項7記載の水中欠陥検査方法。
- 前記水の流速を前記検査対象物の加熱量に基づいて制御する請求項7または請求項8記載の水中欠陥検査方法。
- 前記水は前記反射光が通過する領域内を流れる請求項8記載の水中欠陥検査方法。
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