JP2013217826A - レーザー光により表面の変化を検出する装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記レーザー光は回転式偏光板と偏光プリズムを通った後、収束手段、走査手段を通ってハーフミラーで、試料表面と参照画像発生手段への2光束に分割され、前記ハーフミラーと試料表面の光路上に挿脱自在な第1ストッパーを設け、前記ハーフミラーと参照画像発生手段の光路上に挿脱自在な第2ストッパーを設け、前記撮像素子を校正する際には、前記第1ストッパーを光路上に挿入するとともに前記第2ストッパーを光路上から脱することにより、参照画像発生手段の散乱光を撮像装置で撮影することにより、撮像装置の光信号強度を、前記回転式偏光板と偏光プリズムの相対回転量変化によるレーザー光の強度変化に対して校正する。
【選択図】図1
Description
特許文献2では、プラズマ容器の内壁面に線状のレーザービームを照射して得られるスペックル画像の変化から表面への物質の付着などを検出する方法がレーザー反射光の変化を観察する方法と共に紹介されている。走査可能なガルバノミラーによりレーザービームを壁面上の特定の位置へ照射できる装置を紹介しているが、スペックル画像を用いる方法では測定時のレーザービーム走査も照射位置を定めての比較もされていない。
特許文献3では、試料表面への試料全体へのレーザー照射で得られるスペックル画像の試料への熱付与の前後での変化から欠陥の有無を検出する方法をレーザーシェアログラフィ法と共に紹介している。レーザーシェアログラフィ法では試料表面上の欠陥の場所の特定はできるが、スペックル法では照射領域全体からの光の干渉が観察されるため場所の特定はできない。
非特許文献1では、試料表面にレーザーを線状に近い領域に照射して観測されるスペックル画像の変化と物質の付着の関係を調べる方法が紹介されている。照射領域が固定されているため、試料上の一つの箇所しか測定できない。また、スペックル撮影の装置には光強度信号の校正手段が備わっていない。
レーザースペックル画像は表面の形状等の変化を敏感に反映することが知られている。そのため、これを表面の観察に用いれば非破壊的に物体表面の変化を検出することができる。しかし、一般的に、照射の場所によって全く異なる画像が得られ、且つ照射領域の移動によっても変化するため、従来のレーザースペックル画像を用いた検査方法では、その殆どが面状のビームで試料の広い領域を照射するので、試料の場所ごとの変化の違いを知ることは出来なかった(特許文献1、3参照)。また、照射領域を線状にして試料表面上の位置を変えることができる装置を用いる方法もあったが、同一の場所での比較を目的としないものであったり(特許文献2参照)、場所を特定して比較する場合でも照射領域を複数選ぶことができないもの(非特許文献1参照)であった。
線状の照射領域を用いて複数の照射箇所を設け、試料表面の変化の前後で同じ場所を照射して画像を得てそれを比較することができれば同じ試料の複数の場所での違いが検出でき異なる照射領域間の変化を比較することも可能になると考えられる。しかし試料表面の複数の場所の表面変化の前と後のスペックル画像を直接比較することは困難であった。そのためには、変化の前後で複数の照射領域を同じ場所に精度よく再現させる必要があるが、スペックル画像は照射位置の移動に敏感に反応するため、従来の方法ではできなかった。
また、スペックル画像を直接比較するには撮像素子の出力信号を光強度に比例するように補正することが必要だが、スペックル撮影の光学系を保存したままスペックル画像の形成に影響を与えないように撮像素子の校正を行うことは、スペックルが照射位置の移動に敏感であるため、困難であった。
そこで、本発明の解決しようとする課題は、スペックル画像を用いて、予め定めた複数の照射箇所の中から、試料表面の変化の場所を特定できるとともに、撮像素子の校正を行えるようにした、レーザー光により表面の変化を検出する装置を提供することにある。
また、本発明は、上記試料の表面の変化を検出する装置において、前記参照画像発生手段は、高速回転機構により回転駆動される参照画像発生用回転板で構成し、レーザー光が照射する参照画像発生用回転板の位置の違いによるムラを回転により平均化して低減する(ここで、回転駆動される参照画像発生用回転板による参照画像はスペックルを平均したものを撮影したものとなり、得られる画像はスペックルというよりは一様に近い(完全ではないにしても)ものとなります)と共に、前記第1ストッパー、第2ストッパーは、いずれも一枚以上の鏡面を用いて、前記光路に挿入されたときにレーザー光を装置外に導くように構成したことを特徴とする。
また、本発明は、上記試料の表面の変化を検出する装置において、2種類以上の光路を選択可能なビームシフターで構成し、レーザー光の入射と出射の位置を段階的に設定できるようにしたことを特徴とする。
また、本発明は、上記試料の表面の変化を検出する装置において、前記ビームシフターは、数枚のスライドグラスを貼り合わせたものであることを特徴とする。
図1は、本発明のレーザー光により表面の変化を検出する装置の概略図である。レーザー光源1(He−Neレーザー)から出たレーザー光は手動の回転式偏光板2、次いで偏光プリズム3を通りビームエキスパンダー4で適当な大きさに面状に広げられ、円筒凸レンズ5で線状に集光される。ここで回転式偏光板2の回転角度の設定により偏光プリズム3から出射するレーザー光の強度を調節することができる。円筒凸レンズ5を通過したレーザー光は移動機構7付きのビームシフター6の適当な場所を通りハーフミラー8で方向を変え試料9の表面に照射される。
なお、ビームシフター6については後段の「(ビーム移動部)」で詳細に説明する。
こうして試料9の表面に線状の照射領域が出現するが、これがビームシフター6によって特定の位置に設定される。試料画像の撮影時には第1ストッパー12を光路から除き、第2ストッパー13を光路に挿入する。ここで散乱されたレーザー光はハーフミラー8を通り撮像装置10の中に像を結ぶ(図2a参照)。撮像装置10で得られた検出信号はコントローラー11(PC等で構成する)で解析処理される。なお、図2aのx方向が線状照射領域の長い方向に対応する。この画像から光強度の補正を施した信号強度を得、それをy方向に積算して図2bのようなグラフを得る。
なお、補正の方法については後段の「(参照画像発生部)」及び「[撮像装置を校正する方法]」で詳細に説明する。
ビームシフター6はレーザー光に対して透明な材質からなり2種類以上の光路を設定できるものであってレーザー光が通る場所を移動機構によって段階的に選択できるものである。ここでは数枚のスライドグラスを位置をずらしながら貼り合わせたものを用いた。図3にその詳細を示す。レーザー光はそれが通るガラスの厚さと向きによってビームに垂直の方向に決まった距離だけ平行移動する。図4にこの場合のビームシフターの方向と移動距離との関係を示す。
ビームシフターの位置の設定はレーザー光の全体が同じ厚さのガラスを通るように設定すればよいので目視により容易に設定が可能である。図5にビームシフターをレーザー光路へ目視による出し入れを3回繰り返した場合のグラフの比較を示す。図5aはビームシフターを通らないもの、図5bはガラス板4枚を透過するものの場合であり、比較によりビームシフターの設定には十分な再現性があることが分かる。
なお、ビームシフターは測定時には角度が固定されているため決まった数と量の移動距離しか得られないが、複数のビームシフターを組み合わせれば更に細かく且つ多くの移動量を設定することができる(図6参照)。
校正用の参照画像は、円筒凸レンズ5を通ったレーザー光が(ビームシフター6は固定したまま)ハーフミラー8を通り参照画像発生用回転板14に照射されて発生した散乱光をハーフミラー8で撮像装置へ導いて得られる。参照画像発生用回転板14は表面に凹凸を設けた金属板であって電動モーターを用いた高速回転機構15によって回転させながら適当な位置に、回転式偏光板2の回転角度で強度を調節したレーザー光を照射させる。参照画像の撮影時には第2ストッパー13を光路から除き第1ストッパー12を光路に挿入して試料の散乱光が撮像装置に入らないようにする。撮像装置の時間感度よりも十分に速い速度で照射領域が移動すればほとんどムラのない画像が得られる(図7参照)。
この画像の中で一様性のよい中心領域(例えば図7の長方形の内部の領域)の信号強度を平均して代表の信号強度とし、これを調節された光の相対強度と比較すれば校正曲線が得られる(図8)。回転式偏光板2と偏光プリズム3の互いの偏光方向のなす角度をθとしたとき光強度がcosθの2乗に比例することを用いる。
また、第1ストッパー12及び第2ストッパー13は鏡面を用いて、光路に挿入したときにレーザー光を装置の外に逃がすように構成しておけば、ストッパー側に進んだレーザー光による余計なスペックル画像の発生を防ぐことができ、撮像素子で撮影される画像の純度が保たれる。
レーザー光源1(He−Neレーザー)から出射されたレーザー光は手動の回転式偏光板2)、次いで固定された偏光プリズム3を通る。この2つの偏光素子の偏光方向のなす角度をθとすると光強度はcosθの2乗に比例するので、回転式偏光板2の角度を設定することによりレーザー光の強度を調節することができる。
次にレーザー光はビームエキスパンダー4に入り、適当な大きさに広げられたのち円筒凸レンズ5に入る。そのレンズの位置は通常は試料9上の照射領域の縦横比が最も大きくなる(つまり、線状に近くなる)ように設定されている。
円筒凸レンズ5を通り徐々に変化する楕円状の断面をもつレーザー光はビームシフター6に入射する。ビームシフター6は光路を光軸に垂直な方向へ一定の距離だけ平行移動させるもので入射する場所によってその移動距離が異なる。ここではレーザー光をその断面の楕円の短軸の方向へ移動させるように設置されている。(尚、原理的にはビームシフターによるレーザー光の平行移動により試料面上に合わせていた焦点が移動して照射領域の面積が変化するが、この装置ではスペックル画像の比較に影響を与えるほどの顕著な違いは見られない。)
ビームシフター6によって適当な距離だけ平行移動したレーザー光はハーフミラー8により方向を変え試料9の表面に照射されて散乱される。それがハーフミラー8を通り抜けて撮像装置10によりスペックル画像として撮影されてコントローラー(PC)11へ送られ解析される。
なお、このときは、第1ストッパー12を光路から外して試料をレーザー光が照射するのを妨げないようにする。第2ストッパー13を光路に入れて参照画像発生用回転板14の表面をレーザー光が照射しないようにする。ここで、第1ストッパー12と第2ストッパー13はそれぞれ1枚の鏡面であり、レーザー光を装置の外へ導いてスペックル像等が発生することを防ぐものである。
解析に先だって信号強度は光強度に比例するように補正される。それを楕円(線状)領域の短軸に対応する方向に積算して、長軸に対応する方向のピクセル位置に対する積算信号強度のグラフを得る。これをスペックル画像の比較に用いる。
スペックル画像を比較するためには撮像装置からの信号強度を補正して光強度に比例する量を求めなければならない。そのため撮像装置を光強度に対して校正する必要がある。レーザースペックル撮影装置の使用の都度の校正を可能にするためにスペックル画像撮影の光学系に影響を与えないで校正ができる機構を備えている。その使用手順を以下に示す。
(1)円筒凸レンズ5からのレーザー光からビームシフターを完全に外す、または、一様に通るようにビームシフター6を固定する。
(2)第1ストッパー12を光路に入れて試料をレーザー光が照射しないようにする。第2ストッパー13を光路から外して参照画像発生用回転板14の表面をレーザー光が照射するようにする。
(3)高速回転機構15を動作させて撮像装置10が観察する画像にスペックルが認められないことを確認する。
(4)参照画像が適切な明るさとなるように、回転式偏光板2の角度を種々の位置に設定しながら参照画像発生用回転板14の回転軸の角度を調整する。
ここで、レーザー光強度が同じならば参照画像発生用回転板の回転軸とレーザー光の光軸のなす角度が大きくなるほど参照画像は暗くなる。参照画像が暗すぎると調光装置で光強度を最大にしても撮像装置の出力の最高値が出ない。反対に参照画像が明るすぎると調光装置で光強度を小さくしたときの調光の精度が悪くなる。
(5)回転式偏光板2と偏光プリズム3の偏光方向のなす角度θを読み取り、撮像装置10で参照画像を撮影する。これを種々の角θについて行う。
(6)コントローラー11で撮像装置10から各画像を読み込み各ピクセルごとの信号強度を数値に変換する。
(7)参照画像の中の信号強度の一様性のよい領域(全ての画像に共通)を決め、各画像についてその領域の中の信号強度の平均を求める。
(8)レーザー光の強度に比例する量(cosθの2乗)と信号強度の平均の関係のグラフを作り、滑らかな曲線でデータ点を結ぶ。これを、撮像装置10の信号強度に対するレーザー光強度(相対値)の関係の校正曲線とする。
この装置を用いて金属基板の表面に物質が付着するときの変化を検出する例を示す。一方向に紙やすりで表面を擦った金属板を基板に用いた。撮像装置は上記の方法により校正した。試料を付着させる前に、基板上の複数の場所にビームシフター6によって照射領域を設定しスペックル画像を撮影した。その後基板表面の一部にポリエチレングリコールのエタノール溶液を滴下して乾燥させて、試料が付着した部分とそうでない部分に再びビームシフター6によって照射領域を各々2箇所と1箇所再現させてスペックル画像を撮影した。光強度の信号をピクセルごとに補正を施してから、それらのスペックル画像の変化を比較したところ、試料が付着した部分では図9b,cのように変化が見られた。各々の場所のスペックルのグラフの差の標準偏差はそれぞれ11.4と10.8であった。しかし、付着のない場所では図9aのように殆ど変化が見られなかった。ここでの変化の標準偏差は1.5である。このことから試料付着部分のスペックル画像の変化は試料付着によるものと判断できる。
2 回転式偏光板
3 偏光プリズム
4 ビームエキスパンダー
5 円筒凸レンズ
6 ビームシフター
7 移動機構
8 ハーフミラー
9 試料
10 撮像装置
11 コントローラー(PC)
12 第1ストッパー
13 第2ストッパー
14 参照画像発生用回転板
15 高速回転機構
Claims (4)
- レーザー光源からのレーザー光を試料表面に照射し、試料表面での散乱光を撮像装置でスペックル画像として撮影し、そのスペックル画像をコントローラーで解析比較して試料の表面の変化を検出する装置であって、
前記レーザー光は回転式偏光板と偏光プリズムを通った後、収束手段、走査手段を通ってハーフミラーで、試料表面と参照画像発生手段への2光束に分割され、
前記ハーフミラーと試料表面の光路上に挿脱自在な第1ストッパーを設け、前記ハーフミラーと参照画像発生手段の光路上に挿脱自在な第2ストッパーを設け、
試料表面の変化を検出する際には、前記第1ストッパーを光路上から脱するとともに前記第2ストッパーを光路上に挿入することにより、試料表面の散乱光を前記撮像装置でスペックル画像として撮影し、
前記撮像素子を校正する際には、前記第1ストッパーを光路上に挿入するとともに前記第2ストッパーを光路上から脱することにより、参照画像発生手段の散乱光を撮像装置で撮影し、撮像装置の光信号強度を、前記回転式偏光板と偏光プリズムの相対回転量変化によるレーザー光の強度変化に対して校正することを特徴とする試料の表面の変化を検出する装置。 - 前記参照画像発生手段は、高速回転機構により回転駆動される参照画像発生用回転板で構成し、レーザー光が照射する参照画像発生用回転板の位置の違いによるムラを回転により平均化して低減すると共に、
前記第1ストッパー、第2ストッパーは、いずれも一枚以上の鏡面を用いて、前記光路に挿入されたときにレーザー光を装置外に導くように構成したことを特徴とする請求項1に記載の試料の表面の変化を検出する装置。 - 前記走査手段は、2種類以上の光路を選択可能なビームシフターで構成し、レーザー光の入射と出射の位置を段階的に設定できるようにしたことを特徴とする請求項1又は2に記載の試料の表面の変化を検出する装置。
- 前記ビームシフターは、数枚のスライドグラスを貼り合わせたものであることを特徴とする請求項3に記載の試料の表面の変化を検出する装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2013217826A true JP2013217826A (ja) | 2013-10-24 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113902652A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-01-07 | 南昌虚拟现实研究院股份有限公司 | 散斑图像校正方法、深度计算方法、装置、介质及设备 |
CN115265399A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-01 | 西安交通大学 | 一种动态散斑干涉测量系统及方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0361802A (ja) * | 1989-07-31 | 1991-03-18 | Canon Inc | 観察方法及び観察装置 |
JPH06281573A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-07 | Ngk Insulators Ltd | 碍子汚損度測定方法及びその装置 |
US6023332A (en) * | 1996-05-09 | 2000-02-08 | Ifunga Test Equipment B.V. | Device and method for measuring birefringence in an optical data carrier |
JP2003243375A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-29 | Hitachi Ltd | 半導体の製造方法並びにプラズマ処理方法およびその装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0361802A (ja) * | 1989-07-31 | 1991-03-18 | Canon Inc | 観察方法及び観察装置 |
JPH06281573A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-07 | Ngk Insulators Ltd | 碍子汚損度測定方法及びその装置 |
US6023332A (en) * | 1996-05-09 | 2000-02-08 | Ifunga Test Equipment B.V. | Device and method for measuring birefringence in an optical data carrier |
JP2000510235A (ja) * | 1996-05-09 | 2000-08-08 | イフュンハ テスト エクイップメント ベスローテン フェンノートシャップ | 光学データ媒体における複屈折を測定するための装置と方法 |
JP2003243375A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-29 | Hitachi Ltd | 半導体の製造方法並びにプラズマ処理方法およびその装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113902652A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-01-07 | 南昌虚拟现实研究院股份有限公司 | 散斑图像校正方法、深度计算方法、装置、介质及设备 |
CN113902652B (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-08 | 南昌虚拟现实研究院股份有限公司 | 散斑图像校正方法、深度计算方法、装置、介质及设备 |
CN115265399A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-01 | 西安交通大学 | 一种动态散斑干涉测量系统及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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