JP2007311580A - 露光方法、露光装置、計測方法及び計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステップ205では、測定検査器120において、ウエハW上のマーク測定を行い、ステップ207では、露光装置で行われるウエハアライメントのアライメント処理方法を最適化する。そして、ステップ209におけるウエハアライメントでは、最適化されたアライメント方法を用いてウエハアライメントを行う。露光後のステップ213では、重ね合わせ誤差を測定し、ステップ215ではその測定結果に基づいて、パターン領域の形状情報の取得方法の最適化の基準を調整する。
【選択図】図4
Description
露光装置100は、デバイスパターンを、フォトレジストが塗布されたウエハに転写する装置である。露光装置100は、コヒーレントな露光光ILを射出する照明系10、露光光ILにより照明されるデバイスパターン等が形成されたレチクルRを保持するレチクルステージ(不図示)、露光光ILにより照明されたデバイスパターン等を投影する両側テレセントリックな投影光学系PL、露光対象となるウエハWを保持するウエハステージWST、オフアクシスのアライメント系AS及びこれらを統括制御する主制御装置20等を備えている。
ΔX=Cx_10・Wx+Cx_01・Wy+Cx_00+ΔSX…(W1−1)
ΔY=Cy_10・Wx+Cy_01・Wy+Cy_00+ΔSY…(W1−2)
ここで、Cx_10、Cx_01、Cx_00、Cy_10、Cy_01、Cy_00は、ショット配列のスケーリング成分、回転成分、オフセット成分などの1次成分、0次成分の係数である。なお、(ΔSX,ΔSY)については、後述する。
ΔX=Cx_20・Wx2+Cx_11・Wx・Wy+Cx_02・Wy2+Cx_10・Wx+Cx_01・Wy+Cx_00+ΔSX…(W2−1)
ΔY=Cy_20・Wx2+Cy_11・Wx・Wy+Cy_02・Wy2+Cy_10・Wx+Cy_01・Wy+Cy_00+ΔSY…(W2−2)
ここで、Cx_20、Cx_11、Cx_02、Cy_20、Cy_11、Cy_02は、2次成分の係数である。
ΔX=Cx_30・Wx3+Cx_21・Wx2・Wy+Cx_12・Wx・Wy2+Cx_03・Wy3+Cx_20・Wx2+Cx_11・Wx・Wy+Cx_02・Wy2+Cx_10・Wx+Cx_01・Wy+Cx_00+ΔSX…(W3−1)
ΔY=Cy_30・Wx3+Cy_21・Wx2・Wy+Cy_12・Wx・Wy2+Cy_03・Wy3+Cy_20・Wx2+Cy_11・Wx・Wy+Cy_02・Wy2+Cy_10・Wx+Cy_01・Wy+Cy_00+ΔSY…(W3−2)
ここで、Cx_30、Cx_21、Cx_12、Cx_03、Cy_30、Cy_21、Cy_12、Cy_03は、3次の係数である。
ΔSX=Csx_10・Sx+Csx_01・Sy+Csx_00…(S1−1)
ΔSY=Csy_10・Sx+Csy_01・Sy+Csy_00…(S1ー2)
ここで、Csx_10、Csx_01、Csx_00、Csy_10、Csy_01、Csy_00は、ショット領域SAのスケーリング成分、回転成分、オフセット成分などの1次成分、0次成分の係数である。
ΔSX=Csx_20・Sx2+Csx_11・Sx・Sy+Csx_02・Sy2+Csx_10・Sx+Csx_01・Sy+Csx_00…(S2−1)
ΔSY=Csy_20・Sx2+Csy_11・Sx・Sy+Csy_02・Sy2+Csy_10・Sx+Csy_01・Sy+Csy_00…(S2−2)
ここで、Csx_20、Csx_11、Csx_02、Csy_20、Csy_11、Csy_02は、2次成分の係数である。
ΔSX=Csx_30・Sx3+Csx_21・Sx2・Sy+Csx_12・Sx・Sy2+Csx_03・Sy3+Csx_20・Sx2+Csx_11・Sx・Sy+Csx_02・Sy2+Csx_10・Sx+Csx_01・Sy+Csx_00…(S3−1)
ΔSY=Csy_30・Sx3+Csy_21・Sx2・Sy+Csy_12・Sx・Sy2+Csy_03・Sy3+Csy_20・Sx2+Csy_11・Sx・Sy+Csy_02・Sy2+Csy_10・Sx+Csy_01・Sy+Csy_00…(S3−2)
ここで、Csx_30、Csx_21、Csx_12、Csx_03、Csy_30、Csy_21、Csy_12、Csy_03は、3次の係数である。
図1に戻り、トラック200は、露光装置100を囲むチャンバ(不図示)に接するように配置されている。トラック200は、内部に備える搬送ラインにより、主として露光装置100に対するウエハWの搬入・搬出を行っている。
トラック200内には、レジスト塗布処理を行うコータ、現像処理を行うデベロッパ、PEB処理を行うPEB装置などを備えるコータ・デベロッパ(C/D)110が設けられている。C/D110は、露光装置100や、測定検査器120などの外部の装置とは、独立して動作可能である。C/D110は、トラック200内の搬送ラインに沿って配置されており、この搬送ラインによって、露光装置100とC/D110とトラック200外部との間でウエハWの搬送が可能となる。また、C/D110は、デバイス製造処理システム1000内の通信ネットワークと接続されており、外部とのデータ送受信が可能となっている。
測定検査器120は、ウエハWを対象とする種々の測定検査を行うことが可能な複合的な測定検査器である。測定検査器120は、露光装置100におけるウエハステージWSTと同様に、露光装置100のウエハホルダWHとマッチングのとれた(それぞれのウエハホルダWHで保持したときにウエハWの状態の差が既知の)ウエハホルダを介して、ウエハWを保持するステージを備えている。このステージのXY位置は、ウエハステージWSTと同様に、不図示の干渉計により常時計測されている。測定検査器120のコントローラは、この干渉計の計測位置により、ステージのXY位置を制御する。この測定検査器120は、露光装置100のアライメント系ASと同様のアライメント系を備えている。測定検査器120では、ウエハWのウエハマークMの位置測定を、露光装置100と同じように実施することができる。
デバイス製造処理装置群900としては、CVD装置910と、エッチング装置920と、CMP装置930と、酸化・イオン注入装置940とが設けられている。CVD装置910は、CVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相成長法)等を用いて、ウエハW上に、反射防止膜、トップコート膜などの薄膜を生成する装置である。エッチング装置920は、現像されたウエハWに対しエッチングを行う装置である。CMP装置930は、化学機械研磨(Chemical Mechanical Polishing)によってウエハWの表面を平坦化する研磨装置である。酸化・イオン注入装置940は、ウエハWの表面に酸化膜を形成し、又はウエハW上の所定位置に不純物を注入するための装置である。
管理コントローラ160は、露光装置100により実施される露光工程を集中的に管理するとともに、トラック200内のC/D110、測定検査器120の管理及びそれらの連携動作の制御を行う。このようなコントローラとしては、例えば、パーソナルコンピュータを採用することができる。管理コントローラ160は、デバイス製造処理システム1000内の通信ネットワークを通じて、処理、動作の進捗状況を示す情報や、処理結果、測定検査結果を示す情報を各装置から受信し、デバイス製造処理システム1000の製造ライン全体の状況を把握し、露光工程等が適切に行われるように、各装置の管理及び制御を行う。
解析装置500は、デバイス製造処理システム1000内の通信ネットワークと接続されており、デバイス製造処理システム1000内の各種装置との間のデータ送受信が可能となっている。解析装置500は、ウエハW上のショット領域SAの配列及びショット形状の解析を行って、露光装置100で行われるウエハアライメントの処理方法の最適化等を行う。
Claims (18)
- 基板上の複数のパターン領域各々に所定パターンの像を重ね合わせて転写する露光方法であって、
前記所定パターンの像と前記各パターン領域との重ね合わせ転写に先立って、前記基板上の複数のパターン領域各々の形状情報の取得方法を最適化する最適化工程と;
前記最適化された取得方法を用いて、前記重ね合わせ転写の際の前記基板上の複数のパターン領域各々の形状情報を取得する取得工程と;を含む露光方法。 - 前記重ね合わせ転写後に、
前記各パターン領域に対する所定パターンの重ね合わせ誤差を測定する測定工程と;
前記測定工程における測定結果に基づいて、前記最適化工程における取得方法の最適化の基準を調整する調整工程と;をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の露光方法。 - 前記最適化工程は、
前記各パターン領域内に配置されたすべてのマークの位置情報を測定する第1副工程と;
複数の異なるサンプル数及び配置で、前記各マークの位置情報に基づいて、そのパターン領域の形状情報を算出する第2副工程と;
すべてのマークの位置情報に基づいて算出されるそのパターン領域の形状情報と、すべてのマーク数とは異なるサンプル数及び配置の下でそれぞれ算出された前記各パターン領域の形状情報との違いを比較し、その違いが所定範囲内となる最小のサンプル数及び配置を、最適な取得方法として決定する第3副工程と;をさらに含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光方法。 - 前記最適化工程は、
前記第2副工程で算出された前記各パターン領域の形状情報に基づいて、前記複数のパターン領域をグループ化する第4副工程と;
前記同一のグループに含まれるパターン領域の形状情報の取得方法の少なくとも一部を共通化する第5副工程と;をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の露光方法。 - 前記最適化工程は、
前記第2副工程で算出された前記各パターン領域の形状情報に基づいて、前記複数のパターン領域をグループ化する第4副工程と;
前記複数のパターン領域のグループ化の結果に基づいて、重ね合わせ転写を行う前記各パターン領域の順番を決定する第5副工程と;をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の露光方法。 - 前記第2副工程では、
前記複数のマークの位置情報を用いた多項式フィッティングにより求められる多項式モデルを算出し、
前記第4副工程では、
前記多項式モデルの次数、係数及び前記多項式モデルに対する前記マークの位置情報の残差の少なくとも1つに基づいて、前記複数のパターン領域をグループ化することを特徴とする請求項4又は5に記載の露光方法。 - 前記第2副工程で算出された前記各ショット領域の形状情報のばらつきが、複数の基板にわたって所定範囲内である場合には、
前記各ショット領域の形状情報の取得方法の少なくとも一部を、基板間で共通化する取得方法共通化工程をさらに含むことを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の露光方法。 - 前記取得方法共通化工程では、
前記各ショット領域の形状情報に含まれる当該ショット領域の非線形成分の取得方法を、基板間で共通化することを特徴とする請求項7に記載の露光方法。 - 複数の基板のうち、予め指定された基板に対してのみ、前記最適化工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記第2副工程で算出された前記各ショット領域の形状情報のばらつきが、複数の基板にわたって所定範囲内である場合には、前記基板を指定するインターバルを増減させることを特徴とする請求項9に記載の露光方法。
- 基板上の複数のパターン領域各々の形状情報を計測する計測方法であって、
前記所定パターンの像と前記各パターン領域との重ね合わせ転写に先立って、前記基板上の複数のパターン領域各々の形状情報の取得方法を最適化する最適化工程と;
前記最適化された取得方法の下で、前記重ね合わせ転写の際の前記基板上の複数のパターン領域各々の形状情報を取得する取得工程と;を含む計測方法。 - 前記重ね合わせ転写後に、
前記各パターン領域に対する所定パターンの重ね合わせ誤差を測定する測定工程と;
前記測定工程における測定結果に基づいて、前記最適化工程における取得条件の最適化の基準を調整する調整工程と;をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の計測方法。 - 前記最適化工程は、
前記各パターン領域内に配置されたすべてのマークの位置情報を測定する第1副工程と;
複数の異なるサンプル数及び配置で、前記各マークの位置情報に基づいて、そのパターン領域の形状情報を算出する第2副工程と;
すべてのマークの位置情報に基づいて算出されるそのパターン領域の形状情報と、すべてのマーク数とは異なるサンプル数及び配置の下でそれぞれ算出された前記各パターン領域の形状情報との違いを比較し、その違いが所定範囲内となる最小のサンプル数及び配置を、最適な取得方法として決定する第3副工程と;をさらに含むことを特徴とする請求項11又は12に記載の計測方法。 - 前記最適化工程は、
前記第2副工程で算出された前記各パターン領域の形状情報に基づいて、前記複数のパターン領域をグループ化する第4副工程と;
前記同一のグループに含まれるパターン領域の形状情報の取得方法の少なくとも一部を共通化する第5副工程と;を含むことを特徴とする請求項13に記載の計測方法。 - 前記第1副工程では、
多重露光に用いられる露光レチクルごとに、前記各パターン領域内に配置された複数の異なるマークの位置情報を測定し、
前記第4副工程では、
前記露光レチクル個別に前記複数のパターン領域をグループ化し、
前記グループ化の結果に基づいて重ね合わせ転写を行うことを特徴とする請求項4に記載の露光方法。 - 請求項15に記載の露光方法を用いて多重露光を行う露光装置。
- 前記第1副工程では、
多重露光に用いられる露光レチクルごとに、前記各パターン領域内に配置された複数の異なるマークの位置情報を測定することを特徴とする請求項14に記載の計測方法。 - 請求項17に記載の計測方法を用いて多重露光を行う計測装置。
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