JP2007305022A - 処理条件管理装置および処理条件管理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の処理装置が同一の処理条件で処理を行うことができる処理条件管理装置および処理条件管理方法を提供する。
【解決手段】記憶部１４は、複数の処理装置間の機差を示す機差情報を記憶する。通信部１３は、複数の処理装置のうちの一の処理装置における処理条件を示す処理条件情報を一の処理装置から受信し、制御部１５へ出力する。制御部１５は、一の処理装置と異なる他の処理装置と一の処理装置の間の機差に関する機差情報に基づいて処理条件情報を更新し、通信部１３へ出力する。通信部１３は、更新された処理条件情報を他の処理装置へ送信する。
【選択図】図２

Description

本発明は、液晶ディスプレイに代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や半導体ウェハ等の検査処理や製造処理を行う複数の処理装置の処理条件を管理する処理条件管理装置および処理条件管理方法に関する。

例えば液晶ディスプレイの基板の検査ラインには、量産化に対応するために通常、同種の検査装置が複数設置されている。基板に対する検査には、ミクロ検査、マクロ検査、線幅測定検査、欠陥レビュー検査、パターン検査等があり、各検査は、その検査を行う検査装置の処理条件を示す処理条件情報（レシピと呼ばれる）に従って行われる。同種の装置では、同じファイル形式のレシピが使用されている。

検査ラインや製造ラインに同種の複数の処理装置が設置されている場合に、装置毎に同様のレシピを作成することは非効率的であり、レシピの作成および設定に係る作業量が大きくなる。そこで、各処理装置で使用されるレシピを管理するレシピ管理装置が設けられている（例えば特許文献１参照）。図６はレシピ管理装置を設けた例を示しており、レシピ管理装置４および処理装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄがＬＡＮ６で接続されている。処理装置５ａでレシピが作成された場合、レシピ管理装置４はそのレシピを取得し、コピー等によりそのレシピを処理装置５ｂ，５ｃ，５ｄに提供する。

処理装置５ｂ，５ｃ，５ｄには、レシピ管理装置４から取得したレシピが存在するため、処理装置５ａが所持するレシピと同様のレシピを新たに作成する必要はない。これによって、レシピの作成および設定に係る作業量の削減を図ることが可能となっている。
特開２００３−９９１１３号公報

上記のレシピ管理装置が提供するレシピは、同種の処理装置において共通で使用できるものである。しかし、レシピを最初に作成した処理装置と、レシピ管理装置からそのレシピの提供を受ける処理装置との間で、処理装置が備える機器（ハードウェア）に起因する装置間の機差があった場合、各処理装置間で処理条件が同一とならないという問題がある。そのまま各処理装置で処理を行った場合、レシピを作成した作業者が期待した条件と異なる条件で処理を行うことになってしまう。

本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、複数の処理装置が同一の処理条件で処理を行うことができる処理条件管理装置および処理条件管理方法を提供することを目的とする。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、複数の処理装置間の機差を示す機差情報を記憶する記憶手段と、前記複数の処理装置のうちの一の処理装置における処理条件を示す処理条件情報を前記一の処理装置から受信する受信手段と、前記一の処理装置と異なる他の処理装置と前記一の処理装置の間の機差に関する前記機差情報に基づいて前記処理条件情報を更新する情報更新手段と、前記情報更新手段によって更新された前記処理条件情報を前記他の処理装置へ送信する送信手段とを備えたことを特徴とする処理条件管理装置である。

また、本発明は、複数の処理装置間の機差を示す機差情報を記憶する処理と、前記複数の処理装置のうちの一の処理装置における処理条件を示す処理条件情報を前記一の処理装置から受信する処理と、前記一の処理装置と異なる他の処理装置と前記一の処理装置の間の機差に関する前記機差情報に基づいて前記処理条件情報を更新する処理と、更新された前記処理条件情報を前記他の処理装置へ送信する処理とを行うことを特徴とする処理条件管理方法である。

本発明によれば、処理装置間の機差に基づいて、ある処理装置で生成された処理条件情報が更新されて他の処理装置へ送信されるので、各処理装置が同一の処理条件で処理を行うことができるという効果が得られる。

以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態による処理システムの構成を示している。レシピ管理装置１（処理条件管理装置）および処理装置２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがＬＡＮ３で接続されており、相互に通信を行うことが可能となっている。レシピ管理装置１は、各処理装置の間の機差を示す機差情報を管理すると共に、各処理装置で生成および更新されるレシピ（処理条件情報）を管理する。レシピは、各処理装置における処理条件を示しており、例えば線幅測定検査のレシピには、測定座標（ｘ，ｙ）、照明の明るさ、測定するパターンのモデル画像等が登録されている。レシピ管理装置１は、処理装置２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを遠隔操作する機能も有している。

処理装置２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは基板等の検査装置や製造装置等であり、レシピの作成や、レシピに従った制御を行うＰＣ（Personal Computer）等を備えている。処理装置２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは検査処理や製造処理の制御を行うため、負荷が高い。そのため、通常はレシピ管理装置１が機差情報およびレシピの管理を行う。処理装置２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄには、優先順位が予め付与されており、レシピ管理装置１が搭載ソフトウェアの問題、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）の故障、ネットワークケーブルの故障等の理由で運用不可能となっても、優先順位が最も高い処理装置がレシピ管理装置１の代わりとなって管理を行うことが可能となっている。

図２はレシピ管理装置１の構成のうち、機差情報およびレシピの管理に係る構成を示している。表示部１１は、表示データに基づいた画像を表示する。操作部１２は、ユーザによって操作されるキーボードやマウス等を備えており、ユーザの操作結果に基づいた信号を生成する。通信部１３は、ＴＣＰ／ＩＰ（Transmission Control Protocol／Internet Protocol）等のプロトコルに従って処理装置２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと通信を行う。記憶部１４は機差情報やレシピ等を記憶する。制御部１５はレシピ管理装置１の各部の制御を行う。特に、制御部１５は機差情報およびレシピの管理や、表示データの生成、操作部１２から出力される信号に基づく操作内容の検出、処理装置２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを遠隔操作するための情報の生成等の各処理を行う。

次に、本実施形態によるレシピ管理装置１の、機差情報およびレシピの管理に係る動作を説明する。図３はレシピ管理装置１の動作の手順を示している。制御部１５は、通信部１３を介した各処理装置との通信によって、各処理装置の機器の情報（機器の状態を示す情報）を取得し、機差情報を生成して記憶部１４に格納する（ステップＳ１０１）。いずれかの処理装置においてレシピが作成された場合、通信部１３はその処理装置からレシピを受信し、制御部１５へ出力する（ステップＳ１０２）。

レシピを生成した処理装置と異なる他の処理装置にレシピを提供するため、制御部１５は、レシピを作成した処理装置と、レシピを提供する処理装置との間の機差に関する機差情報を記憶部１４から読み出し、その機差情報に基づいてレシピを更新し、どの処理装置用のレシピであるのかが分かるように識別情報を付加した状態でレシピを記憶部１４に格納する（ステップＳ１０３）。続いて、制御部１５は、更新したレシピを記憶部１４から読み出し、通信部１３へ出力する。通信部１３は他の処理装置へレシピを送信する（ステップＳ１０４）。レシピの送信には、例えばＦＴＰ（File Transfer Protocol）やファイルコピー等が使用される。上記のようにして、各処理装置の機差を考慮して更新されたレシピが各処理装置に提供されるので、各処理装置が同一の処理条件で処理を行うことができる。

次に、機差情報の生成方法を説明する。以下はその一例である。図４は、機差情報の生成時に表示部１１に表示される画面（画像）の例である。図４（ａ）は、機差情報が生成される前に表示される画面である。画面４０１には、第１の処理装置（以下、装置ＮＯ１と記載）で取得された画像がリアルタイムに表示され、画面４０２には、第２の処理装置（以下、装置ＮＯ２と記載）で取得された画像がリアルタイムに表示される。

このとき、通信部１３は各装置から画像データを順次受信して制御部１５へ出力する。制御部１５は、各画像データに基づいて表示データを生成し、表示部１１へ出力する。その表示データに基づいて表示部１１が画像を表示することにより、図４（ａ）のような画面が表示される。両装置の照明の明るさ（照度）は３０であるが、両装置の照明の個体差により、図４（ａ）では装置ＮＯ２の画像の方が装置ＮＯ１の画像よりも暗くなっている。ただし、両装置の画像取得ユニットの個体差は無視する。両装置の照明の明るさを同等にしなければ、両装置間の処理条件に誤差が発生するため（例えば基板を照明し、基板の輝度情報をもとに検査を行う検査装置では、その検査結果に誤差が生じるなど）、レシピ管理装置１は、ユーザの指示に基づいて、両装置の照明の明るさが同等となるように調整を行う。この調整の結果からレシピ管理装置１は両装置の機差を検出し、機差情報を生成する。

ユーザが操作部１２を操作して画面内の照度変更つまみ４０３を動かすと、制御部１５は、その操作結果に基づいて、装置ＮＯ１の照明の明るさを変更するための情報を生成し、通信部１３を介して装置ＮＯ１へ出力する。装置ＮＯ１では、レシピ管理装置１から受信された情報に基づいて、照明ユニットが動作し、照明の明るさが変化する。同様に、ユーザが操作部１２を操作して画面内の照度変更つまみ４０４を動かすと、装置ＮＯ２の照明の明るさが変化する。画面４０１および４０２には各装置で取得された画像がリアルタイムに表示されるので、ユーザが明るさの変化を確認することができる。

ユーザによって照度変更つまみ４０３および４０４の少なくとも一方が操作され、画面４０１および４０２に表示される各画像の明るさが同等となるように、調整が行われる。図４（ｂ）は、両装置の照明の明るさが同等となったときに表示部１１に表示される画面の例である。装置ＮＯ１で照度３０の状態と同等の明るさの状態は、装置ＮＯ２では照度３５の状態である。同様に装置ＮＯ１で照度を複数回変更しながら、装置ＮＯ２の照度が同等の明るさになるように、調整が行われる。この調整結果に基づいて、装置ＮＯ１での照度と装置ＮＯ２での照度とを関連付けた機差情報（各処理装置の明るさに関するつまみ位置のルックアップテーブルや関係式等）が生成される。

この機差情報に基づいて、制御部１５はレシピの更新を行う。例えば、装置ＮＯ１で作成された、照度３０を条件とするレシピを装置ＮＯ２に提供する場合、装置ＮＯ２でも装置ＮＯ１と同一条件で処理が行われるように、照度３５を条件とするようにレシピが更新される。また、装置ＮＯ２で作成された、照度３５を条件とするレシピを装置ＮＯ１に提供する場合、装置ＮＯ１でも装置ＮＯ２と同一条件で処理が行われるように、照度３０を条件とするようにレシピが更新される。

上記では、ユーザによる操作を介して機差情報を生成しているが、ユーザによる操作を極力排除し、自動で機差情報を生成するようにしてもよい。例えば、レシピ管理装置１が遠隔操作により装置ＮＯ１と装置ＮＯ２の両装置の照明の明るさを順次変化させながら、両装置で取得された各画像の明るさを画像処理により検出し、各画像の明るさが同一となったときの両装置の照明の明るさから機差情報を生成するようにする。

次に、一旦生成された機差情報の更新方法を説明する。図５はレシピ管理装置１の動作の手順を示している。通信部１３は一の処理装置からその処理装置の機器の情報を受信し、制御部１５へ出力する（ステップＳ２０１）。また、通信部１３は他の処理装置からその処理装置の機器の情報を受信し、制御部１５へ出力する（ステップＳ２０２）。

制御部１５は、記憶部１４に格納されている、各処理装置間の機差に関する機差情報を読み出し、ステップＳ２０１およびステップＳ２０２で取得した各処理装置の機器の情報に基づいて機差情報を更新し、記憶部１４に格納する（ステップＳ２０３）。この処理の前提として、制御部１５は、以前に機差情報を生成または更新したときに各処理装置の機器の情報を取得し、記憶部１４に格納しているものとする。各処理装置の機器の過去の情報と最新の情報とから、各処理装置の機器の状態の変化、すなわち各処理装置での処理条件の変化を検出することができ、その変化を示す情報に基づいて機差情報を更新することができる。

続いて、制御部１５は、記憶部１４から各処理装置用のレシピを読み出し、更新後の機差情報に基づいてレシピを更新し、記憶部１４に格納する（ステップＳ２０４）。制御部１５は更新後のレシピを通信部１３に出力する。通信部１３は更新後の各処理装置用のレシピを各処理装置へ送信する（ステップＳ２０５）。

より具体的には、例えば機差情報を生成するときと同様に、機差情報の生成時に装置ＮＯ１で取得された過去の画像と、装置ＮＯ１で取得された現在の画像が表示部１１に表示される。このとき、照度の情報も表示される。ユーザによって操作部１２が操作され、現在の画像と過去の画像の明るさが同等となるように、現在の画像の明るさが調整される。

制御部１５は、この調整によって、２つの画像の明るさが同等となったときの、両画像に対応した照度から、現在と過去の間の照度の変化を検出し、その変化に対応した情報（第１の変化情報）を生成する。同様にして、制御部１５は、装置ＮＯ２の照明の照度の変化に対応した情報（第２の変化情報）を生成し、第１の変化情報および第２の変化情報に基づいて機差情報を更新する。

上記の処理において、第１の変化情報と第２の変化情報の両方に基づいて機差情報を更新することが望ましいが、どちらか一方のみに基づいて機差情報を更新してもよい。したがって、ステップＳ２０１とステップＳ２０２のどちらか一方を省略してもよい。また、機差情報の更新後に一の処理装置用のレシピを更新してその処理装置へ送信すると共に、他の処理装置用のレシピを更新してその処理装置へ送信しているが、いずれか一方のレシピの更新処理または送信処理を省略してもよい。

各処理装置の機器の状態の変化を検出するために試料が必要な場合（例えば上記の例のように照明の明るさの変化を検出するためには、照明を照射する試料が必要である）には、信頼性および精度の高い試料を、実際の処理に影響のない場所に設置しておき、常時利用できるようにしておくことが望ましい。このような試料を常時利用可能としておくことは、時間の経過と共に変化してしまう機器の状態を定期的に検出するのに特に有効である。

本来、使用する試料の個体差を排除して正確なデータを取得するには、各処理装置で同一の試料を使用すべきであるが、装置間の距離等の問題から現実的ではない。したがって、上記の方法により対処することが望ましい。また、実際の生産基板や試作基板を試料として使用しないと機器の状態の変化を検出できない場合には、同種であるが異なる基板を使用する。

本実施形態では、機差情報の例として照明の明るさを挙げたが、機差情報はこれに限定されない。例えば、照明の個体差によって、照明光が照射されるステージ上で最も明るい位置が異なるが、その位置（ステージ座標）も機差情報の一例である。また、目視マクロ検査機能を有する基板検査装置の場合、マクロ検査時の揺動座標（基板の傾き）も機差情報の一例である。

上述したように、本実施形態によれば、処理装置間の機差に基づいて、ある処理装置で生成されたレシピが更新されて他の処理装置へ送信されるので、各処理装置が同一の処理条件で処理を行うことができる。各処理装置が同一の処理条件で処理を行うことによって、各処理装置間の処理精度を均一にすることができる。さらに、機差情報に基づいて迅速にレシピを更新することができる。

また、各処理装置の処理条件の変化を示す情報に基づいて定期的または不定期的に機差情報を更新することによって、時間の経過と共に各処理装置間の機差が変化しても、各処理装置の処理条件を一致させることができる。さらに、機差情報を更新した際に、既に各処理装置に提供されているレシピもその機差情報に基づいて更新することにより、機差情報の変化を既存のレシピに反映させることができる。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

本発明の一実施形態による処理システムの構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態による処理条件管理装置の構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態による処理条件管理装置の動作の手順を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態における機差情報の生成方法を説明するための参考図である。 本発明の一実施形態による処理条件管理装置の動作の手順を示すフローチャートである。 従来の処理システムの構成を示すブロック図である。

符号の説明

１，４・・・レシピ管理装置（処理条件管理装置）、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ・・・処理装置、３，６・・・ＬＡＮ、１１・・・表示部、１２・・・操作部、１３・・・通信部（送信手段、受信手段）、１４・・・記憶部（記憶手段）、１５・・・制御部（情報更新手段、情報生成手段）

Claims (6)

1. 複数の処理装置間の機差を示す機差情報を記憶する記憶手段と、
   前記複数の処理装置のうちの一の処理装置における処理条件を示す処理条件情報を前記一の処理装置から受信する受信手段と、
   前記一の処理装置と異なる他の処理装置と前記一の処理装置の間の機差に関する前記機差情報に基づいて前記処理条件情報を更新する情報更新手段と、
   前記情報更新手段によって更新された前記処理条件情報を前記他の処理装置へ送信する送信手段と、
   を備えたことを特徴とする処理条件管理装置。
2. 前記一の処理装置における処理条件の変化を示す第１の変化情報と、前記他の処理装置における処理条件の変化を示す第２の変化情報とのうち少なくとも一方を生成する情報生成手段をさらに備え、
   前記情報更新手段はさらに、前記第１の変化情報および前記第２の変化情報のうち少なくとも一方に基づいて前記機差情報を更新する
   ことを特徴とする請求項１に記載の処理条件管理装置。
3. 前記情報更新手段はさらに、前記機差情報を更新した場合に、更新した前記機差情報に基づいて前記処理条件情報を更新し、
   前記送信手段はさらに、前記情報更新手段によって更新された前記処理条件情報を前記一の処理装置および前記他の処理装置のうち少なくとも一方へ送信する
   ことを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理装置。
4. 複数の処理装置間の機差を示す機差情報を記憶する処理と、
   前記複数の処理装置のうちの一の処理装置における処理条件を示す処理条件情報を前記一の処理装置から受信する処理と、
   前記一の処理装置と異なる他の処理装置と前記一の処理装置の間の機差に関する前記機差情報に基づいて前記処理条件情報を更新する処理と、
   更新された前記処理条件情報を前記他の処理装置へ送信する処理と、
   を行うことを特徴とする処理条件管理方法。
5. 前記一の処理装置における処理条件の変化を示す第１の変化情報と、前記他の処理装置における処理条件の変化を示す第２の変化情報とのうち少なくとも一方を生成する処理と、
   前記第１の変化情報および前記第２の変化情報のうち少なくとも一方に基づいて前記機差情報を更新する処理と、
   をさらに行うことを特徴とする請求項４に記載の処理条件管理方法。
6. 前記機差情報を更新した場合に、更新した前記機差情報に基づいて前記処理条件情報を更新する処理と、
   更新した前記処理条件情報を前記一の処理装置および前記他の処理装置のうち少なくとも一方へ送信する処理と、
   をさらに行うことを特徴とする請求項５に記載の処理条件管理方法。
   
   

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