JP2007303523A

JP2007303523A - アクチュエータ

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Publication number: JP2007303523A
Application number: JP2006131306A
Authority: JP
Inventors: Yosuke Takagi; 洋介高木; Toshibumi Taguchi; 俊文田口
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2006-05-10
Filing date: 2006-05-10
Publication date: 2007-11-22

Abstract

【課題】キャリッジの厚みを抑えて剛性が確保可能な搭載部領域におけるシール部材の迂回構造を備えたアクチュエータを提供する。
【解決手段】キャリッジの搭載部１１を外方に突出させるハウジング３０の一面３１に備えられたスリットＳと、そのスリットの両端に固定されスリットの開口を全長に亘ってシールする帯状のシール部材４０からなるシール構造には、スリットを移動する搭載部領域４２の移動に伴い、搭載部領域を避け帯状のシール部材を変位させる迂回構造を備えたアクチュエータにおいて、迂回構造は搭載部領域においてスリットをシールするシール領域４１から、搭載部の移動方向と直交する方向にシール領域と並行して配された退避領域４３へと帯状のシール部材を変位させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、ハウジングのスリットの開口を帯状のシール部材がシールするアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造に関する。

アクチュエータには、図１０（ａ）に示すように、座面２０にワーク（図示しない）を取付けて所定の距離を直線往復移動するキャリッジ１０と、そのキャリッジ１０を直線往復移動させる直動装置として、キャリッジ１０の直線移動を案内する直線案内装置（例えばリニアガイド装置）５１およびキャリッジ１０を直線移動させる直線駆動装置（例えば図示しないボールねじ装置やリニアモーター装置）がハウジング３０の内部に備えられている。なお、ハウジング３０は、その直線往復移動するキャリッジ１０や前記直動装置を収容可能な長さに形成されている。また、直線駆動装置は駆動源５３（例えばモーター）によって駆動される。
さらに、アクチュエータのハウジング３０には、ハウジング３０を構成する上部カバー３１、側部カバー３２、及びキャリッジ１０の移動方向両端の端部カバーに囲まれるようにキャリッジ１０の移動経路に沿って開口したスリットＳを有し、座面２０を搭載するキャリッジ１０の搭載部１１が、そのスリットＳと隙間を有して貫通してハウジング３０の外面に突出している。
これにより、スリットＳに沿って搭載部１１が直線往復移動可能な構成となる。

従来から、そのようなアクチュエータでは、例えばスリットＳにアクチュエータ外の異物が入り込み搭載部１１に伴って移動することを防止するために、スリットＳの軸方向の両端３４，３４に帯状のシール部材としてのシールベルト４０の両端を固定し、そのシールベルト４０をスリットＳの全長に亘って架け渡すことでスリットＳをシールするシール構造が知られている。
しかし、スリットＳをシールベルト４０がシールするシール領域４１には、キャリッジ１０の搭載部１１がスリットＳを貫通して露出し、そのスリットＳを直線往復移動するので、搭載部１１領域においては、そのシール領域からシールベルト４０を変位させる必要があった。（図１０（ｂ）〜（ｄ）参照）
そこで、従来は、搭載部１１を備えて直線往復移動するキャリッジ１０の内部にシールベルト４０を上下方向に逃がして貫通させる迂回経路６０を備えていた。また、シールベルト４０がその位置を上下方向に移動して搭載部１１を逃げるために、迂回経路６０にはシールベルト４０を案内するカムフォロワ６１が配されている
（特許文献１及び特許文献２）。

しかし、このような先行技術によると、キャリッジ１０の内部には、帯状のシールベルト４０が貫通する空間に加えてカムフォロワ６１を配するための空間を要し、キャリッジ１０にはそれらのための大きな空間を内在させなければならず、その分、キャリッジ１０のサイズを大きくする必要があった。
このため、キャリッジ１０の厚みが厚くなってしまう問題があった。また、従来のキャリッジ１０の厚みに迂回経路６０を収容した場合には、搭載部１１の直下に迂回経路６０を収容するための空間が必要となる。その分、キャリッジ１０の剛性が下がってしまうため、直線案内装置５１の支持剛性を十分に活かせないという問題があった。

特開２０００−２６６１５１号公報実公平８−４９９５号公報

本発明の目的は、キャリッジの厚みを抑えて剛性が確保可能な搭載部領域におけるシール部材の迂回構造を備えたアクチュエータを提供することである。

上記課題を達成するために、本発明によるアクチュエータは、座面を搭載する搭載部を有するキャリッジと、そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングと、そのハウジングの一面に備えられ、キャリッジの搭載部をハウジング外方に突出させるとともに該搭載部の移動経路に沿って開口するスリットと、そのスリットの軸方向の両端に固定され、スリットの開口をスリットの全長に亘ってシールする帯状のシール部材からなるシール構造を備え、シール構造には、スリットを移動する搭載部領域の移動に伴い、該搭載部領域を避けるように帯状のシール部材を変位させる迂回構造を備えたアクチュエータにおいて、迂回構造は、搭載部領域において、スリットをシールするシール領域から、搭載部の移動方向と直交する方向にシール領域と並行して配された退避領域へと帯状のシール部材を変位させることを特徴とする。

その場合、迂回構造はキャリッジからシール領域に突出して配され、シール領域と退避領域とに亘って備えられ、帯状のシール部材をシール領域から退避領域へと変位させる第１のガイド部材と、シール領域と退避領域とに亘って備えられ、第１のガイド部材により退避領域へと変位された帯状のシール部材を、退避領域からシール領域へと変位させる第２のガイド部材とを備えていても良い。

また、第１のガイド部材および第２のガイド部材は円柱状に形成される場合もあり、あるいは、両端部から中央部に向かって昇りテーパー状で中央部が最大径となる樽形状に形成される場合もあり、帯状のシール部材は、それら第１のガイド部材および第２のガイド部材の外周面に螺旋状に巻きつけられて配されていても良い。
その場合、第１のガイド部材および第２のガイド部材の外周面には凹溝が螺旋状に形成され、帯状のシール部材はその凹溝に案内されて配されていても良い。

さらに、第１のガイド部材および第２のガイド部材は帯状のシール部材と略同一の平面を備えた板状に形成され、第１のガイド部材には、シール領域に位置し、シール領域の帯状のシール部材を一面側から他面側へ導入する第１の導入孔と、退避領域に位置し、導入孔から導かれた帯状のシール部材を他面側から一面側へ導出して退避領域へと案内する第１の導出孔とを備え、第２のガイド部材には、退避領域に位置し、第１のガイド部材によって退避領域へと案内された帯状のシール部材を、一面側から他面側へ導入する第２の導入孔と、シール領域に位置し、導入孔から導かれた帯状のシール部材を他面側から一面側へ導出してシール領域へと案内する第２の導出孔とを備えている場合もある。

本発明によれば、キャリッジの厚みを抑えて剛性が確保可能な搭載部領域におけるシール部材の迂回構造を備えたアクチュエータを提供し得た。

以下本発明の実施の一形態を図に基づいて説明する。
本発明によるアクチュエータは、スリットＳの軸方向の両端３４に固定されてスリットＳの開口をスリットＳの全長に亘ってシールする帯状のシール部材としてのシールベルト４０からなるシール構造を備えたものであるが、特に、スリットを移動する搭載部１１の周辺領域（本明細書において搭載部領域という）４２において、シールベルト４０を変位させて迂回させる構造に特徴を有している。
すなわち、本発明の迂回構造は、スリットＳをシールするシール領域４１から、搭載部１１の移動方向（図中矢印参照）と直交する方向にシール領域４１と並行して配された退避領域４３へとシールベルト４０を変位させるものである。
その具体的な実施の形態を以下、図１〜図８にて詳細に説明する。
なお、迂回構造以外の構成は、前述した従来技術のアクチュエータの構造が採用可能であるため、ここでは、本発明特有の構成である迂回構造を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。
また、以下の実施形態では、２本のスリットＳを備えたアクチュエータの場合を説明するが、本発明による迂回構造は１本もしくは３本以上のスリットＳを備えたアクチュエータの場合にも適用可能である。
なお、以下に説明する各実施形態では、搭載部１１が図中矢印方向に進行している場合を説明する。

図１〜図３は本発明の第１の実施形態を示す。
本実施形態における迂回構造は、キャリッジ１０における搭載部１１の移動方向（図中矢印参照）前方側に配される第１のガイド部材７１および搭載部１１の移動方向後方側に配される第２のガイド部材７２とキャリッジ１０に備えられた退避領域４３とからなる。
また、それら第１および第２のガイド部材７１，７２は搭載部１１毎に備えられている。例えば、本実施形態によるアクチュエータのハウジング（図中破線参照）には２本のスリットＳが備えられ、そのスリットＳを移動する搭載部１１も２つ備えられているので、その２つの搭載部１１毎に第１および第２のガイド部材７１，７２が備えられている。

第１のガイド部材７１は、円柱状に形成され、キャリッジ１０に備えた支持部１２の進行方向（図中矢印参照）前側の隅部１２ａに、その基端側７１１を固定するとともに、前記隅部１２ａから搭載部１１の移動方向前方に所定の角度（例えば４５度の角度）をもって配され、シール領域４１と退避領域４３とに亘って備えられている。
そして、その先端側７１２はシール領域４１の外方まで突出し、第１のガイド部材７１の外周面７１３がシール領域４１をシールするシールベルト４０の下面に摺接している。

前記支持部１２は、本実施例では、次のように構成されている。
支持部１２は、キャリッジ１０における平面視矩形状の所定の厚みを備えた板状体の基部１３上で、その移動方向（図中矢印参照）と平行な両端部からハウジング３０の外方に向けて所定の間隔をあけて互いに平行に立ち上げられている一対の搭載部１１間に配されている。具体的には、両搭載部１１との間にそれぞれ所定の空間を残して所定の厚みに突状に立ち上げられた平面視略矩形状の板状に形成されている。また、支持部１２のキャリッジ１０の移動方向（図中矢印参照）には、基部１３の上面に所定の領域が残されている。
なお、基部１３の上面はハウジング３０を構成する上部カバー３１及び側部カバー３２（図中破線参照）との間に所定の間隔を有するとともに、その下面には直線案内装置５１が配されている。搭載部１１はハウジング３０のスリットＳを貫通してハウジング外方に突出するとともに、キャリッジ１０の移動方向長さと同長に形成されている。なお、搭載部１１の突出した上面は水平な平坦面を有している。

第２のガイド部材７２は、円柱状に形成され、キャリッジ１０に備えた支持部１２の進行方向後方の隅部１２ｂに、その基端側７２１を固定するとともに、前記隅部１２ｂから搭載部１１の移動方向後方に所定の角度（例えば４５度の角度）をもって配されるとともに、シール領域４１と退避領域４３とに亘って備えられている。
そして、その先端側７２２はシール領域４１の外方まで突出し、第２のガイド部材７２の外周面７２３がシール領域４１をシールするシールベルト４０の下面に摺接している。

なお、搭載部１１には、図１（ｃ）に示すように、第１および第２のガイド部材７１，７２の先端側７１２，７２２との干渉を避けるための切り欠きが備えられている。
第１および第２のガイド部材７１，７２の先端側７１２，７２２は、その切り欠きを貫通してシール領域４１の外方へと突出することができる。これにより、第１および第２のガイド部材７１，７２の外周面７１３，７２３とシールベルト４０が摺接する位置を搭載部１１の直近に配することができ、シールベルト４０が第１および第２のガイド部材７１，７２と摺接する位置から外周面７１３，７２３に巻きつくことで、スリットＳのシール領域４１は搭載部１１の直近までシールされる。

退避領域４３は、基部１３の上面の搭載部１１と支持部１２との間の前記所定の空間に配され、第１のガイド部材７１と第２のガイド部材７２とに挟まれて形成される。従って、退避領域４３は、搭載部１１の移動方向と直交する方向にシール領域４１と並行して配されることになる。
なお、本実施形態では前記退避領域４３において、キャリッジ１０の基部１３は、ハウジング３０の上部カバー３１及び側部カバー３２（図中破線参照）との間にシールベルト４０が通過することができるのに十分かつできるだけ小さな間隔を残した厚みに形成されている。また、退避領域４３の前記第１および第２のガイド部材７１，７２の外周面７１３，７２３に沿った部分には、外周面７１３，７２３にシールベルト４０が巻きついて通過することが可能な隙間が形成されている。

このような構成により、シールベルト４０は以下のように配される。
シールベルト４０は、図１に示すように、搭載部１１の移動方向前方のシール領域４１から、シール領域４１に突出した第１のガイド部材７１の先端側７１２に摺接するとともに、その外周面７１３に螺旋状に巻きつけられる。
さらに、シールベルト４０は、第１のガイド部材の先端側７１２が基端側７１１よりも搭載部１１の移動方向前方に向けられた角度により、搭載部領域４２の移動に伴って第１のガイド部材７１の外周面７１３を旋状に摺動しながら徐々に退避領域４３へと変位する。

退避領域４３へと変位したシールベルト４０は、退避領域４３において、第１のガイド部材７１の外周面７１３と第２のガイド部材７２の外周面７２３との間を架け渡されて搭載部領域４２を退避する。
退避領域４３のシールベルト４０は、第２のガイド部材７２の基端側７２１に摺接するとともに、その外周面７２３に螺旋状に巻きつけられる。
さらに、シールベルト４０は、第２のガイド部材の先端側７２２が基端側７２１よりも搭載部１１の移動方向後方に向けられた角度により、搭載部領域４２の移動に伴って第２のガイド部材７２の外周面７２３を旋状に摺動しながら徐々にシール領域４１へと変位して、シール領域４１に戻される。

このような迂回構造によれば、スリットＳを移動する搭載部領域４２の移動に伴い、シールベルト４０はスリットＳをシールするシール領域４１と退避領域４３とを搭載部領域４２を避けるように変位させられる。
さらに、本実施形態による退避領域４３は、搭載部１１の移動方向と直交する方向にシール領域４１と並行して配されていることから、従来の迂回経路６０を上下方向に備えたキャリッジ１０と較べてキャリッジ１０の厚さを抑えることができる。またさらに、本実施形態による退避領域４３は、キャリッジ１０の基部１３の上面に配されており、その基部１３はハウジング３０の一面３１との間にシールベルト４０が通過することができるだけの間隔を残した厚みに形成されるとともに支持部１２及び搭載部１１と一体に連結されているので、キャリッジ１０の剛性を確保することができる。

また、本実施形態において使用された第１および第２のガイド部材７１，７２の変形例として、例えば、図４〜図６に示すように、第１および第２のガイド部材７１，７２が、両端部から中央部７１３ｃ，７２３ｃに向かって昇りテーパー状で中央部７１３ｃ，７２３ｃが最大径となる樽形状に形成されていても良い。この場合であっても、図６に示すように、樽形状に形成された第１および第２のガイド部材７１，７２の外周面７１３ａ，７１３ｂ，７２３ａ，７２３ｂにシールベルト４０が螺旋状に巻きつけられて、スリットＳを移動する搭載部領域４２の移動に伴い、スリットＳをシールするシール領域４１と退避領域４３とを搭載部領域４２を避けるようにシールベルト４０を変位させる迂回構造を形成する。

この場合には、樽形状に形成された第１および第２のガイド部材７１，７２のその先端側７１２，７２２は、図４（ｃ）に示されるように、第１および第２のガイド部材７１，７２の中央部７１３ｃ，７２３ｃよりも先端寄りの外周面７１３ａ，７２３ａが水平に配されてシール領域４１のシールベルト４０の下面と摺接する。

なお、キャリッジ１０の支持部１２に固定される第１および第２のガイド部材７１，７２の中央部７１３ｃ，７２３ｃよりも基端寄りの外周面７１３ｂ，７２３ｂは支持部１２に向けて下降傾斜となる。従って、その外周面７１３ｂ，７２３ｂに巻きついて退避領域４３に変位させられたシールベルト４０も支持部１２に向けて下降傾斜となるので、退避領域４３を形成する基部１３の厚みは、傾斜したシールベルト４０が干渉せずに通過可能な空間を残した厚みに設定されていることが好ましい。
このように第１および第２のガイド部材７１，７２の中央部７１３ｃ，７２３ｃが最大径となる樽形状のガイド部材を用いることによって、シールベルト４０の張力の安定化や蛇行防止等をより効果的に図ることができる。

また、本実施形態およびその変形例において使用された第１および第２のガイド部材７１，７２の変形例として、その外周面７１３，７２３には、例えば、図７に示すように、第１および第２のガイド部材７１，７２の外周面７１３，７２３には凹溝Ｆが螺旋状に形成され、シールベルト４０はその凹溝Ｆに案内されて配されていても良い。
これにより、シールベルト４０が搭載部領域４２の移動に伴って凹溝Ｆに案内されて、確実にシール領域４１と退避領域４３とを変位させられ、シールベルト４０の張力の安定化や蛇行防止等をより効果的に図ることができる。

なお、本実施形態およびその変形例において使用された第１および第２のガイド部材７１，７２は、その基端側７１１，７２１が支持部１２に固定されることで、片持ちに支持されているが、その先端側７１２，７２２を支持する支持部材を搭載部１１に備えて、第１および第２のガイド部材７１，７２の両端を支持しても良い。その場合には、第１および第２のガイド部材７１，７２が強固に固定されるので、シールベルト４０が強い張力で張り渡されていても、その張力に負けることなくシールベルト４０を正確に変位させることができる。また、第１および第２のガイド部材７１，７２は、その円筒もしくは樽状の軸を中心として回転可能に支持されていても良い。これにより、シールベルト４０が第１および第２のガイド部材７１，７２の外周面７１３，７２３に巻きついて摺動する際の摺動抵抗を減少させることができる。
また、第１および第２のガイド部材７１，７２のシールベルト４０との摺接面の形状も、樽形状や凹溝Ｆを設ける以外にもシールベルト４０の幅方向中央部が突出させる曲線状等、他の形状でもよい。

また、図８は、本発明の第２の実施形態を示す。本実施形態では、上述の第１の実施形態で円柱形状に形成されていた第１のガイド部材７１および第２のガイド部材７２が板状に形成されており、その第１のガイド部材７１および第２のガイド部材７２を支持する支持部１２の形状が異なる。なお、その他の形状は上述した第１の実施形態で説明した構成と同様であるので説明を省略し、ここでは、以下に、本実施形態による上記第１のガイド部材７１および第２のガイド部材７２と支持部１２を中心に説明する。

本実施形態による支持部１２は、基部１３の搭載部１１間に配され、搭載部１１と所定の空間を残して所定の厚みに突状に立ち上げられた平面視略矩形状の板状に形成されている。

第１のガイド部材７１は、所定の厚みで平面視矩形状の板状にシール領域４１と退避領域４３に亘って形成されており、その第１のガイド部材７１の進行方向（図中矢印参照）後側の隅部７１ａは、支持部１２の進行方向（図中矢印参照）前側の隅部１２ａに固定されている。また、その第１のガイド部材７１の上面７１ｂはシールベルト４０の下面と摺接して配され、そのシール領域４１が重なる領域には第１の導入孔７１４が配され、退避領域４３が重なる領域には第１の導出孔７１５が配される。

第２のガイド部材７２は、所定の厚みで平面視矩形状の板状にシール領域４１と退避領域４３に亘って形成されており、その第２のガイド部材７２の進行方向（図中矢印参照）前側の隅部７２ａは、支持部１２の進行方向後側の隅部１２ｂに固定されている。また、その第２のガイド部材７２の上面７２ｂはシールベルト４０の下面と摺接して配され、その退避領域４３が重なる領域には第２の導入孔７２４が配され、シール領域４１が重なる領域には第２の導出孔７２５が配される。
また、第１の導入孔７１４および第２の導入孔７２４は、少なくともシールベルト４０を上面７１ｂ，７２ｂから下面７１ｃ，７２ｃへと導入可能な大きさに形成され、第１の導出孔７１５および第２の導出孔７２５は、少なくともシールベルト４０を下面７１ｃ，７２ｃから上面７１ｂ，７２ｂへと導出可能な大きさに形成されている。

さらに、図８（ｂ）に示すように、前記第１の導入孔７１４の搭載部１１移動方向側（図中矢印の方向）の縁部Ｒ１には、孔に向けて板厚が徐々に薄くなるように形成した第１の導入領域７１４ａを有し、縁部Ｒ１の端面は第１の導出孔７１５に向けた斜辺に形成されるともに、上面７１ｂから下面７１ｃに亘って滑らかなアール形状に形成されている。
また、前記第１の導出孔７１５の搭載部１１移動方向反対側（図中矢印と反対の方向）の縁部Ｒ２には、孔に向けて板厚が徐々に薄くなるように形成した第１の導出領域７１５ａを有し、縁部Ｒ２の端面は第１の導入孔７１４に向けた斜辺に形成されるとともに、上面７１ｂから下面７１ｃに亘って滑らかなアール形状に形成されている。

さらに、前記第２の導入孔７２４の搭載部１１移動方向側（図中矢印の方向）の縁部Ｒ３は、孔に向けて板厚が徐々に薄くなるように形成した導入領域７２４ａを有し、縁部Ｒ３の端面は第２の導出孔７２５に向けた斜辺に形成されるともに、上面７２ｂから下面７２ｃに亘って滑らかなアール形状に形成されている。
また、前記第２の導出孔７２５の搭載部１１移動方向反対側（図中矢印と反対の方向）の縁部Ｒ４には、孔に向けて板厚が徐々に薄くなるように形成した導出領域７２５ａを有し、縁部Ｒ４の端面は第２の導入孔７２４に向けた斜辺に形成されるとともに、上面７２ｂから下面７２ｃに亘って滑らかなアール形状に形成されている。

本実施形態による退避領域４３は、基部１３の上面の搭載部１１と支持部１２との間の前記所定の空間に配され、第１のガイド部材７１と第２のガイド部材７２とに挟まれて形成される。従って、退避領域４３は、搭載部１１の移動方向と直交する方向にシール領域４１と並行して配されることになる。
なお、本実施形態では前記退避領域４３において、キャリッジ１０の基部１３は、ハウジング３０の上部カバー３１及び側部カバー３２（図中破線参照）との間にシールベルト４０が通過することができるだけの間隔を残した厚みに形成されている。

このような構成により、シールベルト４０は以下のように配される。
シールベルト４０は、図８（ｃ）に示すように、搭載部１１の移動方向前方のシール領域４１から、シール領域４１に突出した第１のガイド部材７１の上面７１ｂに摺接するとともに、その上面７１ｂに沿って第１の導入領域７１４ａに案内されて第１の導入孔７１４の縁部Ｒ１から下面７１ｃに導入される。
下面７１ｃに導入されたシールベルト４０は、第１のガイド部材の縁部Ｒ１の端面が形成する第１の導出孔７１５に向けた斜辺によって、下面７１ｃに沿って第１の導出孔７１５へと導かれる。さらに、シールベルト４０は、第１の導出孔７１５の縁部Ｒ２から上面７１ｂに導出され、第１の導出領域７１５ａに案内されて待避領域４３へと変位する。

退避領域４３へと変位したシールベルト４０は、退避領域４３において、第１のガイド部材７１の第１の導出孔７１５と第２のガイド部材７２の第２の導入孔７２４との間を架け渡されて搭載部領域４２を退避する。
搭載部領域４２のシールベルト４０は、第２のガイド部材７２の上面７２ｂに沿って第２の導入領域７２４ａに案内されて第２の導入孔７２４の縁部Ｒ３から下面７２ｃに導入される。
下面７２ｃに導入されたシールベルト４０は、第２のガイド部材の縁部Ｒ３の端面が形成する第２の導出孔７２５に向けた斜辺によって、下面７２ｃに沿って第２の導出孔７２５へと導かれる。さらに、シールベルト４０は、第２の導出孔７２５の縁部Ｒ４から上面７２ｂに導出され、第２の導出領域７２５ａに案内されてシール領域４１へと変位して、シール領域４１に戻される。
なお、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４の端面は上面７１ｂ，７２ｂから下面７１ｃ，７２ｃに亘って滑らかなアール形状に形成されているので、シールベルト４０はその端面を滑らかに摺動することができる。

このような迂回構造によれば、上述の第１の実施形態と同様に、スリットＳを移動する搭載部領域４２の移動に伴い、シールベルト４０はスリットＳをシールするシール領域４１と退避領域４３とを搭載部領域４２を避けるように変位させられる。
さらに、本実施形態による退避領域４３も、搭載部１１の移動方向と直交する方向にシール領域４１と並行して配されていることから、従来の迂回経路６０を上下方向に備えたキャリッジ１０と較べてキャリッジ１０の厚さを抑えることができる。またさらに
、本実施形態による退避領域４３は、キャリッジ１０の基部１３の上面に配されており、その基部１３はハウジング３０の一面３１との間にシールベルト４０が通過することができるだけの間隔を残した厚みに形成されるとともに支持部１２及び搭載部１１と一体に連結されているので、キャリッジ１０の剛性を確保することができる。

また、本実施形態において、一面側から他面側に亘って滑らかなアール形状に形成されているＲ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４の端面には、シールベルト４０を案内するカムフォロワが備えられていても良い。この場合には、シールベルト４０が案内される際の摺動抵抗を減少させることができる。
さらに、本実施形態では、シールベルト４０は、シール領域４１と退避領域４３において、第１のおよび第２のガイド部材７１，７２の上面７１ｂ，７２ｂに配されているが、この限りでなく、例えば、シール領域４１と退避領域４３において、第１のおよび第２のガイド部材７１，７２の下面７１ｃ，７２ｃに配され、第１および第２の導入孔７１４，７２４に案内されて上面７１ｂ，７２ｂに導かれる場合も本発明の範囲内である。

なお、上述の各実施形態およびその変形例の説明において、搭載部１１が図中矢印方向に進行している場合を説明したが、往復直線運動をする搭載部１１が矢印方向と逆向きに進行した場合には、第１のガイド部材７１と第２のガイド部材７２は相互に入れ替わった作用効果を奏する。すなわち、第２のガイド部材７２はシールベルト４０をシール領域４１から退避領域４３へと変位させ、第１のガイド部材７１はシールベルト４０を退避領域４３からシール領域４１へと変位させる。
また、第１および第２のガイド部材７１，７２の材質として、上述の各実施形態およびその変形例では樹脂で形成された第１および第２のガイド部材７１，７２が採用されるが、シールベルト４０が摺動可能な限りにおいて、他の材質でも良い。例えば、表面を滑らかに形成した金属であっても良い。

さらに、シールベルト４０の材質は、スリットＳの開口をシール可能な材質であって、本発明による迂回構造により変位させることが可能な材質で形成されていることを要する。そのような材質として、例えば、ゴム等の樹脂や柔軟な金属によって形成されていても良いし、ポリウレタン等の樹脂を含浸してなる繊維によって形成されていても良い。また、本発明によるアクチュエータは、アクチュエータからの発塵を抑制する必要があるものの、厳密な高いクリーン度が要求されない環境にて使用される。

また、上述の各実施形態およびその変形例における、キャリッジ１０の変形例として、搭載部１１には搭載部１１とスリットＳとの隙間をシールするシール部材８０が備えられていても良い。
図９は、鍔状のシール部材８０によって搭載部１１とスリットＳとの隙間がシールされている状態を示す。なお、その他の構成及び作用効果は前述の各実施形態及びその変形例と同様であるので、ここでは搭載部１１とスリットＳとの隙間をシールするシール部材８０について説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。

シール部材８０は、基端部８１とその基端部８１からスリットＳの端面に向けて延設される先端部８２とからなり、断面視逆Ｌ字型に形成される。
基端部８１は、Ｌ字型の一方の板状部位であり、その平面領域が搭載部１１の側面１１１に沿って固定されるとともに、搭載部１１の側面１１１の移動方向長さに亘って連続して備えられる。
先端部８２は、その基端部８１から、ハウジング３０のスリットＳの端面に向けて、シールベルト４０と同一平面を成して延設され、搭載部１１とスリットＳとの隙間よりも長く形成されている（図９（ｂ）参照）。
なお、シール部材８０は、搭載部１１の両方の側面１１１に形成されている。

なお、基端部８１を側面１１１に固定する手段は、ネジによって基端部８１を側面１１１に固定する手段が採用されるが、固定手段は特に限定されない。例えば、強力な接着剤によって固定されるものであっても良い。または、基端部８１が側面１１１と一体に構成され、側面１１１から直接先端部８２が延設されていても良い。例えば、搭載部１１の成形時に鍔状のシール部材８０が一体成形されているものでも良い。また、シール部材８０の形状も上記のような断面視逆Ｌ字型に限られず、搭載部１１とスリットＳとの隙間をシールできるものであればよい。

このような構成によって、先端部８２は搭載部領域４２において退避領域４３に変位したシールベルト４０に代わって、搭載部１１とスリットＳとの隙間をシールすることができる。なお、本実施形態では、鍔状のシール部材６０は搭載部１１の幅方向の両方の側面１１１に備えられているが、鍔状のシール部材６０は搭載部１１のキャリッジ１０の幅方向外側或いは内側の片方の端部１１１のみに備えられていても良い。

（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータの迂回構造とキャリッジとシールベルトとの関係を示す平面図、（ｂ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図、（ｃ）は、同図（ａ）の側面図。本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータの迂回構造とキャリッジの関係を示す平面図。本発明の第１の実施形態に係る第１および第２のガイド部材とシールベルトの関係を示す斜視図。（ａ）は、本発明の第１の実施形態の変形例に係るアクチュエータの迂回構造とキャリッジとシールベルトとの関係を示す平面図、（ｂ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図、（ｃ）は、同図（ａ）の側面図。本発明の第１の実施形態の変形例に係るアクチュエータの迂回構造とキャリッジの関係を示す平面図。本発明の第１の実施形態の変形例に係る第１および第２のガイド部材とシールベルトの関係を示す斜視図。（ａ）は、本発明の第１の実施形態の他の変形例に係る第１および第２のガイド部材示す斜視図。（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の他の変形例に係る第１および第２のガイド部材とシールベルトの関係を示す斜視図。（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係るアクチュエータの迂回構造とキャリッジとシールベルトとの関係を示す平面図、（ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る第１および第２のガイド部材を示す斜視図、（ｃ）は、本発明の第２の実施形態に係る第１および第２のガイド部材とシールベルトの関係を示す斜視図。（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係るアクチュエータの迂回構造とキャリッジとシールベルトとの関係を示す平面図、（ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る第１および第２のガイド部材を示す斜視図、（ｃ）は、本発明の第２の実施形態に係る第１および第２のガイド部材とシールベルトの関係を示す斜視図。（ａ）は、従来のアクチュエータの構成の一例を示す斜視図。（ｂ）は、従来の搭載部とシールベルトの関係を示す拡大平面図、（ｃ）は、従来の搭載部とシールベルトの関係を示す拡大側面、（ｄ）は、従来のアクチュエータのＡ−Ａ線に沿った断面図。

符号の説明

１０キャリッジ
１１搭載部
３０ハウジング
３１ハウジング一面
３２開口の一対の端面
４０帯状のシール部材（シールベルト）
４１シール領域
４２搭載部領域
４３退避領域
Ｓスリット

Claims

座面を搭載する搭載部を有するキャリッジと、
そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、
該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングと、
そのハウジングの一面に備えられ、キャリッジの搭載部をハウジング外方に突出させるとともに該搭載部の移動経路に沿って開口するスリットと、
そのスリットの軸方向の両端に固定され、スリットの開口をスリットの全長に亘ってシールする帯状のシール部材からなるシール構造を備え、
シール構造には、スリットを移動する搭載部領域の移動に伴い、該搭載部領域を避けるように帯状のシール部材を変位させる迂回構造を備えたアクチュエータにおいて、
迂回構造は、搭載部領域において、スリットをシールするシール領域から、搭載部の移動方向と直交する方向にシール領域と並行して配された退避領域へと帯状のシール部材を変位させることを特徴とするアクチュエータ。
迂回構造はキャリッジからシール領域に突出して配され、
シール領域と退避領域とに亘って備えられ、帯状のシール部材をシール領域から退避領域へと変位させる第１のガイド部材と、
シール領域と退避領域とに亘って備えられ、第１のガイド部材により退避領域へと変位された帯状のシール部材を、退避領域からシール領域へと変位させる第２のガイド部材とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
第１のガイド部材および第２のガイド部材は円柱状に形成され、
帯状のシール部材は、第１のガイド部材および第２のガイド部材の外周面に螺旋状に巻きつけられて配されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
第１のガイド部材および第２のガイド部材は、両端部から中央部に向かって昇りテーパー状で中央部が最大径となる樽形状に形成され、
帯状のシール部材は、第１のガイド部材および第２のガイド部材の外周面に螺旋状に巻きつけられて配されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
第１のガイド部材および第２のガイド部材の外周面には凹溝が螺旋状に形成され、帯状のシール部材はその凹溝に案内されて配されることを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれかに記載のアクチュエータ。
第１のガイド部材および第２のガイド部材は帯状のシール部材と略同一の平面を備えた板状に形成され、
第１のガイド部材には、シール領域に位置し、シール領域の帯状のシール部材を一面側から他面側へ導入する第１の導入孔と、退避領域に位置し、導入孔から導かれた帯状のシール部材を他面側から一面側へ導出して退避領域へと案内する第１の導出孔とを備え、
第２のガイド部材には、退避領域に位置し、第１のガイド部材によって退避領域へと案内された帯状のシール部材を、一面側から他面側へ導入する第２の導入孔と、シール領域に位置し、導入孔から導かれた帯状のシール部材を他面側から一面側へ導出してシール領域へと案内する第２の導出孔とを備えていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。