JP2007299344A - 流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体制御弁10は、吸入通路23と排出通路24とを開通する流路面積を調整するための弁部材31を有するとともに、弁部材31に連結され二次側圧力とパイロット圧との圧力バランスにより作動するダイアフラム部材38を有する。コントローラ50は、電空レギュレータ45によるパイロット圧を調整することで弁部材31を変位させ流体流量を制御する。また、コントローラ50は、電空レギュレータ45によるパイロット圧調整値に基づいて二次側圧力を推定するとともに、一次側圧力と二次側圧力との圧力差に基づいて流体流量を算出する。
【選択図】 図1
Description
前記一次側流路内の流体圧力を検出する一次側圧力センサ(圧力センサ27)と、
前記パイロット圧調整装置によるパイロット圧調整値に基づいて前記二次側圧力を推定するとともに、一次側圧力及び二次側圧力の圧力差と流量係数とに基づいて流体流量を算出するコントローラ(コントローラ50)と、
を備えたことを特徴とする流量制御装置。
前記コントローラは、前記パイロット圧調整値に加え、前記弁開度検出センサにより検出した弁開度を推定パラメータとして用いて前記二次側圧力を推定する手段1に記載の流量制御装置。
前記二次側流路内の流体圧力を検出する二次側圧力センサ(圧力センサ77)と、
前記パイロット圧調整装置によるパイロット圧調整値に基づいて前記一次側圧力を推定するとともに、一次側圧力及び二次側圧力の圧力差と流量係数とに基づいて流体流量を算出するコントローラ(コントローラ100)と、
を備えたことを特徴とする流量制御装置。
前記コントローラは、前記パイロット圧調整値に加え、前記弁開度検出センサにより検出した弁開度を推定パラメータとして用いて前記一次側圧力を推定する手段3に記載の流量制御装置。
以下、本発明を具体化した第1の実施形態を図面に従って説明する。本実施形態は、半導体製造装置等にて使用される流量制御装置を具体化するものであり、当該流量制御装置ではエアパイロット作動式の流体制御弁を用いる。流体制御弁10の構成と、その流体制御弁10を用いたシステム構成とを図1に基づいて説明する。なお、流体制御弁10は、常閉タイプのエアパイロットレギュレータであるが、説明の便宜上、図1では開弁状態で示している。
なお、Cvは流量係数であり、Gは比重である(流体が水であればG=1)。流量係数Cvは、弁部材31の弁開度に基づいて算出され、具体的には図2の関係に基づいて算出される。
なお、動的抵抗Fは、弁部材31の弁開度に基づいて算出され、具体的には図3の関係に基づいて算出される。
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。本実施形態では、流体制御弁として、常開タイプのエアパイロットリリーフ弁を用いる構成としており、図4にシステム構成を示す。
なお、Cvは流量係数であり、Gは比重である(流体が水であればG=1)。流量係数Cvは、弁部材81の弁開度に基づいて算出される(図2参照)。
なお、動的抵抗Fは、弁部材81の弁開度に基づいて算出される(図3参照)。
Claims (4)
- 一次側流路と二次側流路とを開通する流路面積を調整するための弁部材を有するとともに、前記弁部材に連結され前記二次側流路内の二次側圧力とパイロット圧との圧力バランスにより作動するパイロット圧作動部材を有するパイロット作動式の流体制御弁を備え、パイロット圧調整装置により前記パイロット圧を調整することで前記弁部材を変位させ流体流量を制御する流量制御装置において、
前記一次側流路内の流体圧力を検出する一次側圧力センサと、
前記パイロット圧調整装置によるパイロット圧調整値に基づいて前記二次側圧力を推定するとともに、一次側圧力及び二次側圧力の圧力差と流量係数とに基づいて流体流量を算出するコントローラと、
を備えたことを特徴とする流量制御装置。 - 前記流体制御弁に、前記弁部材に対して前記パイロット圧に抗する力を付与する付勢手段と、前記弁部材の開度を検出する弁開度検出センサとを設け、
前記コントローラは、前記パイロット圧調整値に加え、前記弁開度検出センサにより検出した弁開度を推定パラメータとして用いて前記二次側圧力を推定する請求項1に記載の流量制御装置。 - 一次側流路と二次側流路とを開通する流路面積を調整するための弁部材を有するとともに、前記弁部材に連結され前記一次側流路内の一次側圧力とパイロット圧との圧力バランスにより作動するパイロット圧作動部材を有するパイロット作動式の流体制御弁を備え、パイロット圧調整装置により前記パイロット圧を調整することで前記弁部材を変位させ流体流量を制御する流量制御装置において、
前記二次側流路内の流体圧力を検出する二次側圧力センサと、
前記パイロット圧調整装置によるパイロット圧調整値に基づいて前記一次側圧力を推定するとともに、一次側圧力及び二次側圧力の圧力差と流量係数とに基づいて流体流量を算出するコントローラと、
を備えたことを特徴とする流量制御装置。 - 前記流体制御弁に、前記弁部材に対して前記パイロット圧に抗する力を付与する付勢手段と、前記弁部材の開度を検出する弁開度検出センサとを設け、
前記コントローラは、前記パイロット圧調整値に加え、前記弁開度検出センサにより検出した弁開度を推定パラメータとして用いて前記一次側圧力を推定する請求項3に記載の流量制御装置。
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