JP2007287292A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外部メモリである不揮発性半導体メモリをテストする外部メモリBIST21には、不揮発性半導体メモリ4のテストにおいて、ブロックアドレスの監視、バッドブロックアドレスの格納、ならびにテスト制御などの機能を有するバッドブロックアドレス管理テーブルが設けられている。この管理テーブル35は、バッドブロック総数許容値設定レジスタに任意に設定されたバッドブロック総数の許容値とバッドブロック総数カウンタによりカウントされるテストのバッドブロックの総数とを比較し、カウンタ値が許容値に達した際にバッドブロック数上限フラグを立てテストフェイルとする。
【選択図】 図1
Description
(2)初期不良を取り除くためのストレススクリーニング
(3)半導体ウエハの裏面研磨の機械的ダメージによって生じた機能不良を検出するAC機能テスト
(4)パッケージの内部応力によって生じた特性劣化を検出するデータリテンションテスト
(5)半導体集積回路装置1のAC特性を保証するat−speedの接続テスト。
2 システムオンチップ
3 揮発性半導体メモリ
4 不揮発性半導体メモリ
5 マイコンコア
6,7 ユーザモジュール
8 I/Oバッファ
9 内蔵メモリ(内蔵半導体メモリ)
10 BIST部(メモリテスト部)
11 CPU
12 DMAC
13 オプショナルバスマスタインタフェース
14 周辺回路インタフェース
15 外部メモリコントローラ
16 内蔵メモリコントローラ
17 モード制御部
18 クロック発生器
19 クロックセレクタ
20 BIST制御回路
21 外部メモリBIST(外部メモリ用テスト回路部)
22 BIST切り替え用マルチプレクサ
23 内蔵メモリBIST(内蔵メモリ用テスト回路部)
24 マルチプレクサ
25 メモリテスト用テストパタン発生器
25a アルゴリズムパタン発生器
25b プログラマブルスクランブラ
26 レジスタアクセス用パタン発生器
27 パタン発生器用マルチプレクサ
28 テスト終了検出回路
29 揮発性半導体メモリ用インタフェース
30 不揮発性半導体メモリ用インタフェース
31 インタフェース用マルチプレクサ
32 デバッグ用タイマ
33 信号圧縮・比較・判定回路
34 データ比較・判定回路
35 バッドブロックアドレス管理テーブル
36 メインコントローラ
37 アドレス/データ発生器
38 マルチコマンドシーケンス発生器
39 ループカウンタ
40 Xアドレススクランブラ
41 Yアドレススクランブラ
42 Zアドレススクランブラ
43 データスクランブラ
44 アドレス整列回路
45 データ整列回路
46 コマンドデコーダ
47 コマンドデコーダ
48 アドレス/データ/コマンド用マルチプレクサ
49 データ比較回路
50 エラービットカウント判定回路
50a エラービットカウンタ
50b エラービット許容値設定レジスタ
51 フェイル情報制御回路
52 テストフェイル判定回路
53 バッドブロックアドレス格納レジスタ(バッドブロック総数可変判定部、バッドブロック増加数可変判定部)
53a ブロックアドレス
53b 有効ビット用レジスタ
53c バッドブロック総数カウンタ
53d バッドブロック増加数カウンタ
54 バッドブロックアドレス比較回路
55 バッドブロックカウント判定回路(バッドブロック総数可変判定部、バッドブロック増加数可変判定部、判定部)
55a バッドブロック総数許容値設定レジスタ
55b バッドブロック増加数許容値設定レジスタ
56 信号圧縮回路
57 圧縮信号比較・判定回路
B 内部バス
AB アドレスバス
CB 制御バス
DB データバス
Claims (12)
- チップ内に内蔵された内蔵半導体メモリとメモリテストを行うメモリ用テスト部とを含んだ半導体チップと、前記半導体チップとは別の半導体チップに設けられた揮発性半導体メモリ、および不揮発性半導体メモリからなる外部半導体メモリとを有した半導体集積回路装置であって、
前記メモリ用テスト部は、
前記内蔵メモリをテストする内蔵メモリ用テスト回路部と、
前記外部メモリをテストする外部メモリ用テスト回路部とを備え、
前記外部メモリ用テスト回路部は、
前記不揮発性半導体メモリのテストにおいて、ブロックアドレスの監視、バッドブロックアドレスの格納、ならびにテスト制御を行うバッドブロックアドレス管理テーブルを備え、
前記バッドブロックアドレス管理テーブルは、
前記不揮発性半導体メモリのテストにおいて、前記不揮発性半導体メモリをフェイルとするバッドブロック総数の割合を可変にするバッドブロック総数可変判定部を備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、
前記バッドブロック総数可変判定部は、
バッドブロック総数の任意の許容値が設定されるバッドブロック総数許容値設定レジスタと、
前記不揮発性半導体メモリのテストにおいてバッドブロックとなったブロック数をカウントするバッドブロック総数カウンタと、
前記バッドブロック総数許容値設定レジスタに設定されている許容値と前記バッドブロック総数カウンタのカウント値とを比較し、カウント値が許容値よりも大きくなるとテストフェイルの信号を出力する判定部とを備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 - チップ内に内蔵された内蔵半導体メモリとメモリテストを行うメモリ用テスト部とを含んだ半導体チップと、前記半導体チップとは別の半導体チップに設けられた揮発性半導体メモリ、および不揮発性半導体メモリからなる外部半導体メモリとを有した半導体集積回路装置であって、
前記メモリ用テスト部は、
前記内蔵メモリをテストする内蔵メモリ用テスト回路部と、
前記外部メモリをテストする外部メモリ用テスト回路部とを備え、
前記外部メモリ用テスト回路部は、
前記不揮発性半導体メモリのテストにおいて、ブロックアドレスの監視、バッドブロックアドレスの格納、ならびにテスト制御を行うバッドブロックアドレス管理テーブルを備え、
前記バッドブロックアドレス管理テーブルは、
前記不揮発性半導体メモリのテストにおいて、前記不揮発性半導体メモリをフェイルとするバッドブロックの増加割合を可変にするバッドブロック増加数可変判定部を備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置において、
前記バッドブロック増加数可変判定部は、
バッドブロック増加数の任意の許容値が設定されるバッドブロック増加数許容値設定レジスタと、
前記不揮発性半導体メモリのテストにおいてバッドブロックとなったブロック増加数をカウントするバッドブロック増加数カウンタと、
前記バッドブロック増加数許容値設定レジスタに設定されている許容値と前記バッドブロック増加数カウンタのカウント値とを比較し、カウント値が許容値よりも大きくなるとテストフェイルの信号を出力する判定部とを備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体集積回路装置において、
前記外部メモリ用テスト回路部は、
格納されているバッドブロックアドレスとアクセスするブロックアドレスとを比較し、メモリテストにおいて前記バッドブロックをスキップするバッドブロックスキップ部を備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項5記載の半導体集積回路装置において、
前記バッドブロックスキップ部は、
前記揮発性半導体メモリをテストの際に、前記バッドブロックをスキップするスキップ出力を無効にすること特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体集積回路装置において、
前記バッドブロックのマーキング中は前記バッドブロック以外をスキップするブロックスキップ部を備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項7記載の半導体集積回路装置において、
前記ブロックスキップ部は、
前記揮発性半導体メモリのテストの際に、バッドブロック以外をスキップするスキップ出力を無効とすることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体集積回路装置において、
前記外部メモリ用テスト回路部は、
前記外部メモリ用テスト回路部の出力信号を取り込んで圧縮して保持し、メモリテストの終了後にその圧縮信号と期待値とを比較し、前記外部メモリ用テスト回路部の誤動作を検出する信号圧縮・比較・判定部を備え、
前記信号圧縮・比較・判定部は、
信号圧縮回路マスク信号が入力された際に、圧縮する信号の対象から外したいシーケンスに対して圧縮信号をホールドすることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置において、
前記信号圧縮・比較・判定部は、
前記バッドブロックアドレス管理テーブルからバス要求の代用信号であるスキップ信号が出力されても、圧縮信号を変化させないことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体集積回路装置において、
前記外部メモリ用テスト回路部は、
前記不揮発性半導体メモリのバッドブロックを検出するデータ比較・判定部を備え、
前記データ比較・判定部は、
ビット比較結果に基づいて、エラービットの累積数をカウントするエラービットカウンタと、
エラービットの任意の許容値を格納するエラービット許容値設定レジスタと、
前記エラービットカウンタのカウント値が許容値よりも大きくなるとエラービットオーバを出力してテストフェイルとするエラービットカウント判定部とを備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項11記載の半導体集積回路装置において、
前記エラービットカウンタは、
任意のタイミングで活性、またはリセット可能であることを特徴とする半導体集積回路装置。
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JP2006116727A JP2007287292A (ja) | 2006-04-20 | 2006-04-20 | 半導体集積回路装置 |
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- 2006-04-20 JP JP2006116727A patent/JP2007287292A/ja active Pending
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