JP2007285939A - 半導体集積回路装置の検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置に厚さばらつきがあっても安定して電気的特性を検査できるようにする。
【解決手段】半導体集積回路装置1と検査回路基板3とを電気的に接続するために用いる検査装置6に、電気絶縁部12内に導電性の接触子11を有し、接触子11の一端部が検査回路基板3のランド電極4に対向するように配置される異方性導電シート13と、接触子11の他端部に外部電極2が対向するように配置された半導体集積回路装置1を押圧して接触子11を検査回路基板3のランド電極4との間に挟み込むための押圧部材20,駆動部材21を有した荷重部10と、接触子11の両端に接続して電流または電圧を印加し接触子11の抵抗を検出する抵抗測定部15と、接触子11の抵抗値に基づいて荷重部10による半導体集積回路装置1の移動量を制御する制御部16とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】半導体集積回路装置1と検査回路基板3とを電気的に接続するために用いる検査装置6に、電気絶縁部12内に導電性の接触子11を有し、接触子11の一端部が検査回路基板3のランド電極4に対向するように配置される異方性導電シート13と、接触子11の他端部に外部電極2が対向するように配置された半導体集積回路装置1を押圧して接触子11を検査回路基板3のランド電極4との間に挟み込むための押圧部材20,駆動部材21を有した荷重部10と、接触子11の両端に接続して電流または電圧を印加し接触子11の抵抗を検出する抵抗測定部15と、接触子11の抵抗値に基づいて荷重部10による半導体集積回路装置1の移動量を制御する制御部16とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体集積回路装置の検査装置および検査方法に関する。
半導体集積回路装置(以下、単に半導体装置ともいう)は、実装に先立って電気的特性を検査しており、その際には一般に、半導体装置の外部電極を検査装置(治具)を介して測定検査装置に電気的に接続している。
図3はポゴピン方式の導電性接触子を用いた検査装置を示す。図3(a)(b)において、1は検査対象の表面実装用の半導体装置(BGA型パッケージ)であり、一方の面に複数の外部電極2が形成されている。3は検査回路基板であり、半導体装置1の外部電極2に対応する複数のランド電極4が上面に形成されている。検査回路基板3は測定検査装置(図示せず)に接続されている。
検査装置は、複数の導電性接触子31を電気絶縁部32内に配列し、電気絶縁部32の端部において枠33に圧縮ばね34を介して移動自在に支持したもので、導電性接触子31が、半導体装置1の外部電極3と検査回路基板3のランド電極4との間を最短距離で電気的に接続する。半導体装置1を検査回路基板3に向けて押圧するための荷重部35も検査装置の一部を構成する。
各導電性接触子31は、図3(b)に拡大図示したように、筒体36の内部に、コイル状の圧縮ばね37を挟んでプランジャ38,39を配置したものであり、圧縮ばね37が両プランジャ38,39を筒体36外に突出する方向へ付勢している。
検査の際には、図3(a)に示したように、枠33に支持された複数の導電性接触子31を検査回路基板3上に配置し、導電性接触子31に外部電極2が対向するように半導体装置1を配置し、荷重部35によって半導体装置1を押圧して導電性接触子31を検査回路基板3との間に挟み込むことで、半導体装置1と検査回路基板3とを導電性接触子31を介して電気的に接続させる。このときにはプランジャ38、筒体37、プランジャ39が導通路となる。
その状態で、測定検査装置からの検査信号を検査回路基板3と導電性接触子31を通じて半導体装置1の外部電極2に対して任意の時間供給し、前記検査信号に対する半導体装置1の応答信号を外部電極2から導電性接触子31と検査回路基板3を通じて測定検査装置で受けて測定、測定結果の判別を行うことにより、半導体装置1の電気的特性を検査する。
このポゴピン方式の導電性接触子のように圧縮ばねを利用するのでなく、それ自体の持つ弾性を利用する異方性導電シートを用いた検査装置もある。かかる異方性導電シートの接触子は線材、金属粒子等の導電性粒子などで形成される。
図4に異方性導電シートを用いた検査装置を示す。図4(a)(b)において、異方性導電シートは、シリコーンゴムを基材として金属粒子を配合してなる導電性接触子41を、シリコーンゴム等の電気絶縁材料からなる電気絶縁部42に複数個、半導体装置1の外部電極2及び検査回路基板3のランド電極4に対向する形に配列したもので、電気絶縁部42の端部において枠43に固着されている(たとえば特許文献1)。
特開平11−214594
異方性導電シートを用いた検査装置では、導電性接触子41は荷重されることで押し込まれて(圧縮されて)、金属粒子どうしが電気的に接続され導通可能となるのであるが、荷重不足では金属粒子どうしの接続が不十分で抵抗値が大きくなり、荷重過多ではシリコーンの弾性が無くなり、抵抗値が大きくなるだけでなく、導電性接触子41の破壊に至る。そのため異方性導電シートには押込量が指定されており、指定された押込量(圧縮量)を基に、荷重部35によって半導体装置1に対して一定の荷重をかけている。
しかしながら、荷重部35によって常に一定の荷重、一定の押込量とするのでは、半導体装置1の製造過程で発生する厚さばらつきに対応することができない。厚い半導体装置の個数が多いときには、異方性導電シートに大きな圧力がかかる回数が多くなり、耐久性を損なう原因となる。薄い半導体装置の個数が多いときや、種々の厚さの半導体装置が混在するときなどには、異方性導電シートにかかる圧力がばらつき、安定した製造を行えない。
本発明は上記問題を解決するもので、半導体装置に厚さばらつきがあっても安定して電気的特性を検査できるようにすることを目的とする。
上記課題を解決するために種々の検討を行った。図5を用いて異方性導電シートの抵抗値と押込量と耐久性との関係について説明する。
図5(a)において、ラインAは、導電性接触子の押込量と抵抗値との相関を示す。押込量が増大するにしたがって、抵抗値が下がり、安定する。このため異方性導電シートは、たとえば抵抗R1、R2に対応する押込量A1、A2の範囲内で使用される。このような情報は異方性導電シートのメーカーから提供される。現状では、押込量A1、A2の範囲内の1点の押込量が検査装置に設定されている。
図5(a)において、ラインAは、導電性接触子の押込量と抵抗値との相関を示す。押込量が増大するにしたがって、抵抗値が下がり、安定する。このため異方性導電シートは、たとえば抵抗R1、R2に対応する押込量A1、A2の範囲内で使用される。このような情報は異方性導電シートのメーカーから提供される。現状では、押込量A1、A2の範囲内の1点の押込量が検査装置に設定されている。
ラインBは、導電性接触子の押込量と耐久性の指標としての挿抜回数との相関を示す。異方性導電シートを支持した枠に対して一定の半導体装置を挿抜して、半導体装置の外部電極を異方性導電シートの導電性接触子に接触離間させることを繰り返すという方法で、種々の押込量について、導電性接触子の接触抵抗がある規格以下、すなわち任意の抵抗値限界F以下に保たれる間の挿抜回数を調べている。
ラインBによれば、指定された抵抗R1,R2に対応する押込量A1,A2の中間付近の押込量での挿抜回数が大きく、それよりも大きいか或いは小さい押込量では挿抜回数は低下し、押込量A1,A2間に対応する押込量範囲内で挿抜回数は最小値の2倍程度まで広がる結果となった。
このように挿抜回数、すなわち異方性導電性シート(具体的には導電性接触子)の耐久性がばらつくので、検査装置の寿命もばらつくことになり、半導体装置の電気的特性を安定して検査すること、ひいては半導体装置の安定した製造を阻害する要因となっている。
ここで、導電性接触子の押込量は、当該導電性接触子に接続させる半導体装置の厚さと同半導体装置の押圧時の移動量とで決まる。そして半導体装置の移動量は上述したように検査装置に一定値が設定されるので、導電性接触子の押込量は半導体装置の厚さに依存する。
つまり、図5(b)に示すように、半導体装置の厚さがt1〜t2(中心値t0)というようにばらつくと、導電性接触子の押込量もa1〜a2(a0はt0に対応する値)というようにばらつく。そして半導体装置の厚さが厚い場合に導電性接触子の押込量が過剰(押込み過ぎ)となったり、薄い場合に押込量が不足(押込み不足)となることがある。
このことを、先に図5(a)を用いて説明した状況と考え合わせると、図5(c)のように表すことができる。半導体装置の厚さの中心値t0に対応する導電性接触子の押込量a0を挿抜回数が最も大きい押込量A0に一致させると、厚さt1,t2に対応する押込量a1,a2は、抵抗R1,R2に対応する押込量A1,A2の付近となる。
このことは、既述したように押込量A1,A2間に対応する押込量範囲内で挿抜回数は最小値の2倍程度まで広がっていることを勘案すると、半導体装置の厚さばらつきによって、挿抜回数、すなわち異方性導電性シート(具体的には導電性接触子)の耐久性が最小値の2倍程度まで広がることを意味する。
したがって、半導体装置の安定した製造のためには、半導体装置の挿抜回数がK以上であること、それに対応する導電性接触子の押込量K1、K2間の押込量範囲での使用が望ましい。Kの値は、検査対象の半導体装置の種類や用途に応じて許容される抵抗値を考慮して任意に決定することになる。半導体装置の厚さの中心値t0に対応する押込量a0での使用がより望ましい。
そこで、少なくとも押込量K1、K2間の押込量範囲とするために、異方性導電シートの電気的特性を利用して押込量を制御する。すなわち異方性導電シートの導電性接触子に電流または電圧を印加して抵抗値をモニターし、押込量K1、K2間に対応する抵抗値RK1、RK2間に達したときに、好ましくは抵抗値RK1(>RK2)に到達した時点で、荷重を止める。そしてその状態で半導体装置の電気特性の検査を行う。
このようにすることにより、導電性接触子に最適な荷重がかかる範囲内の抵抗にて安定して電気的検査を行うことができ、導電性接触子の耐久性も従来より向上できる。
すなわち本発明の検査装置は、半導体集積回路装置の電気的特性を検査する際に、前記半導体集積回路装置と検査回路基板とを電気的に接続するために用いられる検査装置であって、電気絶縁性材料内に導電性の接触子を有し、前記接触子の一端部が前記検査回路基板の端子電極に対向するように配置される異方性導電シートと、前記接触子の他端部に端子電極が対向するように配置された半導体集積回路装置を押圧して前記接触子を前記検査回路基板の端子電極との間に挟み込む押圧部材および前記押圧部材を固持した昇降部材を有した荷重部と、前記接触子の両端に接続して電流または電圧を印加し前記接触子の抵抗値を求める測定部とを備えていることを特徴とする。
すなわち本発明の検査装置は、半導体集積回路装置の電気的特性を検査する際に、前記半導体集積回路装置と検査回路基板とを電気的に接続するために用いられる検査装置であって、電気絶縁性材料内に導電性の接触子を有し、前記接触子の一端部が前記検査回路基板の端子電極に対向するように配置される異方性導電シートと、前記接触子の他端部に端子電極が対向するように配置された半導体集積回路装置を押圧して前記接触子を前記検査回路基板の端子電極との間に挟み込む押圧部材および前記押圧部材を固持した昇降部材を有した荷重部と、前記接触子の両端に接続して電流または電圧を印加し前記接触子の抵抗値を求める測定部とを備えていることを特徴とする。
また本発明の検査装置は、半導体集積回路装置の電気的特性を検査する際に、前記半導体集積回路装置の端子電極と検査回路基板の端子電極とを電気的に接続するために用いられる検査装置であって、前記検査回路基板の端子電極上に一端部が対向するように配置される第1の導電性の接触子と、前記第1の接触子の他端部に端子電極が対向するように配置された半導体集積回路装置を押圧して前記第1の接触子を前記検査回路基板の端子電極との間に挟み込む押圧部材および前記押圧部材を互いの間隔を変更可能に保持した昇降部材を有した荷重部と、電気絶縁性材料内に第2の導電性の接触子を有し、前記第2の接触子の両端部が前記押圧部材と昇降部材とに対向するように両部材間に配置された異方性導電シートと、前記第2の接触子の両端に接続して電流または電圧を印加し前記第2の接触子の抵抗値を求める測定部とを備えていることを特徴とする。
測定部で求められた接触子の抵抗値に基づいて荷重部による半導体集積回路装置の移動量を制御する制御部をさらに備えるのが好ましい。この制御部は、予め求められた異方性導電シートの接触子の抵抗値と圧縮量との関係を用いて、測定部で求められた接触子の抵抗値が所定値に達した時に圧縮量が適量であると判断し、荷重部による半導体集積回路装置の移動を停止するように構成するのが好都合である。
上記した検査装置を使用する際には、予め求められた異方性導電シートの接触子の抵抗値と圧縮量との関係を用いて、測定部で求められた接触子の抵抗値が所定値に達した時に圧縮量が適量であると判断し、荷重部による半導体集積回路装置の移動を停止し、その状態で前記半導体集積回路装置の電気的特性を検査することができる。
以上のように本発明の検査装置および検査方法は、半導体集積回路装置の電気的検査を行う際に、異方性導電シートの抵抗値に基づいて半導体集積回路装置の移動量を決定し制御するようにしたので、半導体修正回路装置の厚さばらつきがあっても接触子への過荷重は無くなり、前記接触子に最適な荷重がかかる範囲内の抵抗にて安定して電気的検査を行うことができる。また接触子の耐久性を従来より向上することができ、寿命までの使用回数のばらつき、低寿命を防止することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における検査装置の断面図である。この検査装置は、半導体集積回路装置(以下半導体装置)の電気的特性を検査する際に、前記半導体装置の端子電極を測定検査装置に電気的に接続するために用いられる。図1において、先に図3,4を用いて説明したものと同様の構成を有する部材等には図3,4と同じ符号を付して説明する。
図1(a)(b)において、検査対象の半導体装置1には、一方の面に複数の外部電極2が形成されている。検査回路基板3は、半導体装置1の外部電極2に対応する複数のランド電極4が上面に形成されており、測定検査装置5に接続されている。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における検査装置の断面図である。この検査装置は、半導体集積回路装置(以下半導体装置)の電気的特性を検査する際に、前記半導体装置の端子電極を測定検査装置に電気的に接続するために用いられる。図1において、先に図3,4を用いて説明したものと同様の構成を有する部材等には図3,4と同じ符号を付して説明する。
図1(a)(b)において、検査対象の半導体装置1には、一方の面に複数の外部電極2が形成されている。検査回路基板3は、半導体装置1の外部電極2に対応する複数のランド電極4が上面に形成されており、測定検査装置5に接続されている。
検査装置6は、半導体装置1を検査回路基板3に向けて押圧するための荷重部10と、半導体装置1の外部電極2と検査回路基板3のランド電極4とを接続するための導電性の接触子11を電気絶縁部12内に有した異方性導電シート13と、各々の接触子11の両端(電極)に配線14により接続した抵抗測定部15と、接触子11の抵抗測定値に基づいて荷重部10に指令して半導体装置1の移動量を制御する制御部16とを備えている。
詳細には、異方性導電シート13は、シリコーンゴム等からなる板状の電気絶縁部12内に、シリコーンゴムを基材として金属粒子を配合してなる接触子11(以下導電部11という)を複数個、半導体装置1の外部電極2及び検査回路基板3のランド電極4に対向する形に配列したものであり、電気絶縁部12の端部において固定部材たる枠17にねじ(図示せず)等により脱離自在に取り付けられている。枠17の開口部18に臨んだ上端内周はテーパ面19となっている。
荷重部10は、検査回路基板3の上面に沿う方向の下面を有した押圧部材20と、この押圧部材20を、枠17の開口部18の上方の上限位置Aと開口部18内に入り込む下限位置Bとにわたって、検査回路基板3の上面に直交する方向に昇降させるシリンダー又はモータ等の駆動部材21とを有している。
この検査装置6を用いて検査する際には、まず、図1(a)に示すように、枠17に保持された異方性導電シート13をその導電部11の一端部がランド電極4に対向するように検査回路基板3の上にセットする。また半導体装置1を吸着した押圧部材20を、上限位置Aであって、半導体装置1の外部電極2が異方性導電シート13の導電部11の他端部に対向する位置に配置する。
次に、図1(b)に示すように、駆動部材21によって押圧部材20を下限位置Bまで下降させることにより、押圧部材20によって半導体装置1を押圧して枠17の開口部18内に収納しつつ、テーパ面19で案内して異方性導電シート13の上に位置決めし、半導体装置1の外部電極2と検査回路基板3のランド電極4との間に導電部11を挟み込む。
このことにより次第に、外部電極2と導電部11との間および導電部11とランド電極4との間の接触面積が増え、かつ導電部11が圧縮されて、導電経路が確立し、半導体装置1が導電部11を介して回路検査基板3と電気的に接続される。
この間に、導電部11の両端に抵抗測定部15より電流あるいは電圧を印加して抵抗値を求め、制御部16にて、先に図5を用いて説明したようにして予め決めた抵抗値に到達した時点で駆動部材21に指令して押圧部材20の下降を停止させる。
そして下降停止した状態で、導電部11を圧縮した状態を保持しながら、検査装置6,検査回路基板3を通じて半導体装置1と測定検査装置5との間で電気信号を送受して、半導体装置1の電気的特性を測定する。
このようにすることにより、異方性導電シート13(具体的には導電部11)に最適な荷重をかけて半導体装置1の電気的特性を検査できるだけでなく、過剰な荷重がかからない異方性導電シート13の耐久性、寿命も向上することになり、従来よりも長期にわたって安定した検査を行うことが可能となる。
(実施の形態2)
図2は、本発明の実施の形態2における検査装置の断面図である。
(実施の形態2)
図2は、本発明の実施の形態2における検査装置の断面図である。
この検査装置23が実施の形態1の6と相違するのは、半導体装置1の外部電極2と検査回路基板3のランド電極4とを接続するためにポゴピン方式の導電性の接触子24が配置されている点、半導体装置1を押圧するための荷重部10において、押圧部材20が駆動部材21に対して接近離間自在に保持されている点、この押圧部材20と駆動部材21との間に、異方性導電シート25が、その導電部11の両端部が押圧部材21と駆動部材21とに対向するように配置されている点である。抵抗測定部15はこの異方性導電シート25の導電部11の両端(電極)に接続されている。
詳細には、接触子24は、絶縁部26内に半導体装置1の外部電極2及び検査回路基板3のランド電極4に対向する形に複数個、配列されており、絶縁部26の端部において固定部材たる枠27に圧縮ばね28を介して移動自在に支持されている。27aは枠27の開口部、27bは枠27のテーパ面である。
押圧部材20は上部外周に溝部20aを有し、溝部20a内で摺動可能な爪部29aを持った筒状の吊り具29によって駆動部材21に吊り下げられていて、駆動部材21に対して接近離間自在である。異方性導電シート25は吊り具29の内側の空間に配置されている。吊り具29として複数のポールを用い、そのポールに異方性導電シート25の電気絶縁部12を取り付けてもよい。
この検査装置23を用いて検査する際には、まず、図2(a)に示すように、枠27に保持された接触子24をその一端部がランド電極4に対向するように検査回路基板3の上にセットし、押圧部材20を上限位置Aに配置した状態において、半導体装置1をその外部電極2が接触子24の他端部に対向するように配置する。
次に、図2(b)に示すように、駆動部材21によって押圧部材20を下限位置Bまで下降させることにより、押圧部材20によって半導体装置1を押圧して枠27の開口部27a内に収納しつつ、テーパ面27bで案内して接触子24に対して位置決めし、半導体装置1の外部電極2と検査回路基板3のランド電極4との間に接触子24を挟み込む。
このことにより次第に、外部電極2と接触子24との間および接触子24とランド電極4との間の接触面積が増えて、導電経路が確立し、半導体装置1が接触子24を介して回路検査基板3と電気的に接続される。
この間に、導電部11の両端に抵抗測定部15より電流あるいは電圧を印加して抵抗値を求め、制御部16にて、先に図5を用いて説明したようにして予め決めた抵抗値に到達した時点で駆動部材21に指令して押圧部材20の下降を停止させる。
そして下降停止した状態で、接触子24を圧縮した状態を保持しながら、検査装置23,検査回路基板3を通じて半導体装置1と測定検査装置5との間で電気信号を送受して、半導体装置1の電気的特性を測定する。
このようにすることにより、接触子24に最適な荷重をかけて半導体装置1の電気的特性を検査できるだけでなく、過剰な荷重がかからない接触子24の耐久性、寿命も向上することになり、従来よりも長期にわたって安定した検査を行うことが可能となる。
実施の形態1とは異なって、異方性導電シート6を荷重部10に設けて荷重制御を行うので、半導体装置1の外部電極2と検査回路基板3のランド電極4とを接続するための接触子24は、上記したポゴピン方式のものの他、板ばねなど、材質・形状を問わずに使用することが可能である。いずれも、接触子ごとの最適な荷重で電気的特性の検査を行うことが可能となる。
本発明の検査装置および検査方法は、半導体集積回路装置の電気的特性を安定して検査するために有用である。
1 半導体集積回路装置
2 外部電極
3 検査回路基板
4 ランド電極
5 測定検査装置
6 検査装置
10 荷重部
11 接触子
12 電気絶縁部
13 異方性導電シート
15 抵抗測定部
16 制御部
20 押圧部材
21 駆動部材
23 検査装置
24 接触子
25 異方性導電シート
2 外部電極
3 検査回路基板
4 ランド電極
5 測定検査装置
6 検査装置
10 荷重部
11 接触子
12 電気絶縁部
13 異方性導電シート
15 抵抗測定部
16 制御部
20 押圧部材
21 駆動部材
23 検査装置
24 接触子
25 異方性導電シート
Claims (5)
- 半導体集積回路装置の電気的特性を検査する際に、前記半導体集積回路装置と検査回路基板とを電気的に接続するために用いられる検査装置であって、
電気絶縁性材料内に導電性の接触子を有し、前記接触子の一端部が前記検査回路基板の端子電極に対向するように配置される異方性導電シートと、
前記接触子の他端部に端子電極が対向するように配置された半導体集積回路装置を押圧して前記接触子を前記検査回路基板の端子電極との間に挟み込む押圧部材および前記押圧部材を固持した昇降部材を有した荷重部と、
前記接触子の両端に接続して電流または電圧を印加し前記接触子の抵抗値を求める測定部とを備えた検査装置。 - 半導体集積回路装置の電気的特性を検査する際に、前記半導体集積回路装置の端子電極と検査回路基板の端子電極とを電気的に接続するために用いられる検査装置であって、
前記検査回路基板の端子電極上に一端部が対向するように配置される第1の導電性の接触子と、
前記第1の接触子の他端部に端子電極が対向するように配置された半導体集積回路装置を押圧して前記第1の接触子を前記検査回路基板の端子電極との間に挟み込む押圧部材および前記押圧部材を互いの間隔を変更可能に保持した昇降部材を有した荷重部と、
電気絶縁性材料内に第2の導電性の接触子を有し、前記第2の接触子の両端部が前記押圧部材と昇降部材とに対向するように両部材間に配置された異方性導電シートと、
前記第2の接触子の両端に接続して電流または電圧を印加し前記第2の接触子の抵抗値を求める測定部とを備えた検査装置。 - 測定部で求められた接触子の抵抗値に基づいて荷重部による半導体集積回路装置の移動量を制御する制御部をさらに備えた請求項1または請求項2のいずれかに記載の検査装置。
- 制御部は、予め求められた異方性導電シートの接触子の抵抗値と圧縮量との関係を用いて、測定部で求められた接触子の抵抗値が所定値に達した時に圧縮量が適量であると判断し、荷重部による半導体集積回路装置の移動を停止する請求項3記載の検査装置。
- 請求項1または請求項2のいずれかに記載の検査装置を使用する検査方法であって、
予め求められた異方性導電シートの接触子の抵抗値と圧縮量との関係を用いて、測定部で求められた接触子の抵抗値が所定値に達した時に圧縮量が適量であると判断し、荷重部による半導体集積回路装置の移動を停止し、その状態で前記半導体集積回路装置の電気的特性を検査する検査方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010020936A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Micronics Japan Co Ltd | 接触子及び電気的接続装置 |
JP2010170880A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Fujitsu Ltd | ソケット、半導体装置及びソケットの信頼性評価方法 |
-
2006
- 2006-04-19 JP JP2006115069A patent/JP2007285939A/ja active Pending
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JP2010020936A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Micronics Japan Co Ltd | 接触子及び電気的接続装置 |
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