JP2007278901A - 電気接続部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】膜厚方向に弾力性を有する基膜に電極ピッチaで複数の貫通電極を設けた異方性導電膜1;高分子フィルムもしくは多孔質樹脂膜から形成された多層構造を有し、一方の最外層Aには、電極ピッチaで複数の貫通電極が設けられ、他方の最外層Bには、電極ピッチaより大きい電極ピッチbで同数の貫通電極が設けられ、中間層もしくは各層の積層界面には、該最外層Aの各貫通電極とこれらに1対1で対応する該最外層Bの各貫通電極とをそれぞれ電気的に接続する貫通電極及び/または回路が形成されたピッチ変換用フレキシブル多層基板;並びに、膜厚方向に弾力性を有する基膜に電極ピッチbで複数の貫通電極を設けた異方性導電膜2が、この順で、導通可能な状態で配置されている電気接続部品。
【選択図】図1
Description
異方性導電膜1及び2を構成する「柔軟で膜厚方向に弾力性を有する電気絶縁性の基膜」としては、電気絶縁性のエラストマーや多孔質樹脂からなるシートまたはフィルムを挙げることができるが、異方導電性を示す貫通電極をめっき法により容易に形成できること、被検査電極に損傷を与えない低い荷重で電気的導通が得られる上、繰り返し検査を行っても、電極が損傷して抵抗が上昇することがないことなどの点で、多孔質樹脂膜が好ましい。多孔質樹脂膜としては、低誘電率や耐熱性などの観点から、多孔質フッ素樹脂膜が好ましく、延伸多孔質PTFE膜がより好ましい。
本発明で使用する異方性導電膜は、柔軟で膜厚方向に弾力性を有する電気絶縁性の基膜に、電極ピッチaで複数の貫通電極を設けた異方性導電膜1と、柔軟で膜厚方向に弾力性を有する電気絶縁性の基膜に、電極ピッチbで複数の貫通電極を設けた異方性導電膜2である。異方性導電膜2の電極ピッチbは、異方性導電膜1の電極ピッチaよりも大きい(すなわち、a<b)。
(1)延伸多孔質PTFE膜の両面に、マスク層として樹脂層を積層して、3層構成の積層体を形成する工程1;
(2)該積層体に、その厚み方向に貫通する複数の貫通孔を形成する工程2;
(3)貫通孔の壁面を含む積層体の表面に、金属イオンの還元反応を促進する触媒を付着させる工程3;
(4)延伸多孔質PTFE膜からマスク層を剥離する工程4;及び
(5)前記触媒を利用して、貫通孔の壁面の樹脂部に導電性金属を付着させる工程5;
を含む方法を挙げることができる。
本発明で使用するフレキシブル多層基板は、電気絶縁性の高分子フィルムもしくは多孔質樹脂膜から形成された多層構造を有する基板であり、従来の繊維補強型エポキシ樹脂基板のような硬質のリジッドな多層基板ではなく、柔軟性を有するフレキシブルな多層基板である。このフレキシブル多層基板は、2層以上の高分子フィルムまたは多孔質樹脂膜から形成された構造を持っている。
本発明の電気接続部品は、「異方性導電膜1/ピッチ変換用フレキシブル多層基板/異方性導電膜2」の順で、それぞれ対応する各貫通電極が厚み方向に導通可能な状態で配置された構造を有している。図1に、本発明の電機接続部品の一例の断面図を示す。図1に示すように、異方性導電膜1と異方性導電膜2との間に、ピッチ変換用フレキシブル多層基板3を配置する。これらの各層は、接着もしくは熱融着させて一体化してもよく、あるいはピン止めなどの機械的手段により、この積層順に電気的検査装置の検査電極基板上に固定してもよい。
気孔率(ASTM−D−792)60%、平均孔径0.1μm、バブルポイント(イソプロピルアルコールを使用し、ASTM−F−316−76に従って測定)が150kPa、厚み120μmの延伸多孔質PTFE樹脂シートの両面に、気孔率60%、平均孔径0.1μm、厚み30μmの延伸多孔質PTFE樹脂シートを重ね合わせて、厚さ3mmのステンレス板2枚の間に挟み、荷重を負荷するとともに、350℃で30分間加熱処理した。加熱後、ステンレス板の上から水にて急冷し、3層に融着された多孔質PTFE樹脂シートの積層体を得た。
ガラス繊維補強型エポキシ樹脂からなり、一方の最外層Aには、電極径10μm、電極ピッチ30μmで16個の貫通電極が設けられ、他方の最外層Bには、電極径200μm、電極ピッチ300μmで、銅/金から構成される16個の貫通電極を持つ、3層構成のリジッドなピッチ変換ボードを用意した。
2 異方性導電膜
3 ピッチ変換用フレキシブル多層基板
11 貫通電極
21 貫通電極
31,32,33 ポリイミドフィルム
34,36,38 貫通電極
35,37 積層界面の表面回路
201 延伸多孔質PTFE膜
202 貫通孔
203 貫通電極(筒状電極)
301 ピッチ変換ボード
302 異方性導電膜
303 検査電極を配置した基板
304 電気的検査装置
305 リード線
306 検査電極
307 プローブ電極
308 回路
309 電極
400 ビス
Claims (8)
- (1)柔軟で膜厚方向に弾力性を有する電気絶縁性の基膜に、電極ピッチaで複数の貫通電極を設けた異方性導電膜1;
(2)各層が電気絶縁性の高分子フィルムもしくは多孔質樹脂膜から形成された多層構造を有し、一方の最外層Aには、電極ピッチaで複数の貫通電極が設けられ、他方の最外層Bには、該電極ピッチaより大きい電極ピッチbで同数の貫通電極が設けられ、中間層もしくは各層の積層界面には、該最外層Aの各貫通電極とこれらに1対1で対応する該最外層Bの各貫通電極とをそれぞれ電気的に接続する貫通電極または回路もしくはこれらの両方が形成されたピッチ変換用フレキシブル多層基板;及び
(3)柔軟で膜厚方向に弾力性を有する電気絶縁性の基膜に、電極ピッチbで複数の貫通電極を設けた異方性導電膜2;
が、異方性導電膜1/ピッチ変換用フレキシブル多層基板/異方性導電膜2の順で、それぞれ対応する各貫通電極が厚み方向に導通可能な状態で配置されていることを特徴とする電気接続部品。 - 柔軟で膜厚方向に弾力性を有する電気絶縁性の基膜が、延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレン膜である請求項1記載の電気接続部品。
- 異方性導電膜1及び2の各貫通電極が、延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレン膜に形成した貫通孔の内壁を導電化処理した筒状電極である請求項2記載の電気接続部品。
- 異方性導電膜2の厚みが、異方性導電膜1の厚みより大きい請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電気接続部品。
- 異方性導電膜2の各貫通電極の直径が、異方性導電膜1の各貫通電極の直径より大きい請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電気接続部品。
- ピッチ変換用フレキシブル多層基板が、それぞれ所定の電極ピッチで複数の貫通電極を設けた複数枚のポリイミドフィルムを積層した多層構造を有しており、各層の対応する各貫通電極が直接もしくは回路を介してそれぞれ電気的に接続されている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電気接続部品。
- ピッチ変換用フレキシブル多層基板が、それぞれ所定のピッチで複数の貫通電極を設けた複数の延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレン膜を積層した多層構造を有しており、各貫通電極が、延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレン膜に形成した貫通孔の内壁を導電化処理した筒状電極であり、各層の対応する各筒状電極が直接もしくは回路を介してそれぞれ電気的に接続されている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電気接続部品。
- ピッチ変換用フレキシブル多層基板における最外層Aの各貫通電極の直径よりも、最外層Bの各貫通電極の直径の方が大きい請求項1乃至7のいずれか1項に記載の電気接続部品。
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---|---|---|---|---|
JP4765127B1 (ja) * | 2010-07-30 | 2011-09-07 | 合同会社Pleson | トレーユニットおよび半導体デバイスの検査装置 |
KR101391799B1 (ko) * | 2012-12-04 | 2014-05-08 | 에이케이이노텍주식회사 | 반도체 테스트용 도전성 콘택터 |
JPWO2013168196A1 (ja) * | 2012-05-10 | 2015-12-24 | ユニテクノ株式会社 | 半導体搬送テスト治具 |
US10141289B2 (en) | 2013-04-01 | 2018-11-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor packages having package-on-package structures |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0992365A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | ピッチ変換コネクターおよびその製造方法並びにコネクター装置 |
JPH10200242A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Jsr Corp | 異方導電性ゴムシート |
JPH10229270A (ja) * | 1997-02-14 | 1998-08-25 | Jsr Corp | 複合基板 |
JP2004265844A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-09-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 異方性導電膜及びその製造方法 |
JP2006053139A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-23 | Jsr Corp | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0992365A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | ピッチ変換コネクターおよびその製造方法並びにコネクター装置 |
JPH10200242A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Jsr Corp | 異方導電性ゴムシート |
JPH10229270A (ja) * | 1997-02-14 | 1998-08-25 | Jsr Corp | 複合基板 |
JP2004265844A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-09-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 異方性導電膜及びその製造方法 |
JP2006053139A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-23 | Jsr Corp | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4765127B1 (ja) * | 2010-07-30 | 2011-09-07 | 合同会社Pleson | トレーユニットおよび半導体デバイスの検査装置 |
JPWO2013168196A1 (ja) * | 2012-05-10 | 2015-12-24 | ユニテクノ株式会社 | 半導体搬送テスト治具 |
KR101391799B1 (ko) * | 2012-12-04 | 2014-05-08 | 에이케이이노텍주식회사 | 반도체 테스트용 도전성 콘택터 |
US10141289B2 (en) | 2013-04-01 | 2018-11-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor packages having package-on-package structures |
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