JP2007278700A - 導通確認装置、及び、導通確認方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査装置と検査対象の半導体集積回路との間の導通状態を、回路を大型化することなく簡単な構成で行うことが可能な導通確認装置、及び、導通確認方法を提供する。
【解決手段】複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ30A及び第2バッファ30Bを設け、第1バッファは、駆動IC11の複数の被検査端子にそれぞれ出力端子を対応付け、各被検査端子に対して各出力端子から同時に検査信号を出力するように設けられ、第2バッファは、第1バッファの各出力端子と駆動ICの各被検査端子との間から各々分岐した分岐線35にそれぞれ入力端子を導通した状態で設けられ、駆動ICの電源端子を接地した状態で第1バッファから検査信号を各被検査端子に対して供給したときの第2バッファの出力レベルに応じて導通状態を判定する。
【選択図】図4
【解決手段】複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ30A及び第2バッファ30Bを設け、第1バッファは、駆動IC11の複数の被検査端子にそれぞれ出力端子を対応付け、各被検査端子に対して各出力端子から同時に検査信号を出力するように設けられ、第2バッファは、第1バッファの各出力端子と駆動ICの各被検査端子との間から各々分岐した分岐線35にそれぞれ入力端子を導通した状態で設けられ、駆動ICの電源端子を接地した状態で第1バッファから検査信号を各被検査端子に対して供給したときの第2バッファの出力レベルに応じて導通状態を判定する。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体集積回路の電気的特性を検査する検査装置と検査対象の半導体集積回路との間の導通状態を確認する導通確認装置、及び、導通確認方法に関する。
半導体集積回路(以下、単にICと略記する)は、正常な動作を確保するために、半導体ウェハから個々に分割される前の状態、或いは、パッケージに封入されて所定の回路基板上に実装された状態で、検査装置を用いて電気的特性を検査し、良品又は不良品のスクリーニングが行われる。この電気的特性検査では、検査対象のICの端子に検査装置のプローブ針を電気的に接続(即ち、導通)させてテストを行う。また、検査装置と検査対象ICが実装された基板とをFFC(フレキシブルフラットケーブル)などで接続して検査を行う場合もある。
上記の電気的特性検査では、検査装置との導通状態が悪いと、本来正常に動作するはずのICが動作せずに不良品として扱われてしまう虞がある。そのため、このような検査を実施する前に、検査対象のICの端子と検査装置のプローブ等との導通を確認することが行われている(例えば、特許文献1参照)。この接触確認では、ICの電源端子をグラウンドに接続した状態で、検査対象の端子(以下、被検査端子という)を通じてIC内部の保護ダイオードに一定の電流を順方向に印加し、このときの保護ダイオードの電圧値に基づいて導通状態の可否を確認する。
ところで、ICの複数の被検査端子について導通確認を行う場合、端子一本ずつ確認をすることは相当の時間を要し効率的ではない。この導通確認の作業時間を短縮するためには、ICの被検査端子の数に応じた複数の定電流回路を用いて各被検査端子に対して一度に導通確認を行うことが考えられる。しかしながら、複数の定電流回路を設けることによって、回路基板の大型化やコストアップを招くという問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、検査装置と検査対象の半導体集積回路との間の導通状態を、回路を大型化することなく簡単な構成で行うことが可能な導通確認装置、及び、導通確認方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の適正駆動電圧決定装置は、半導体集積回路の電気的特性を検査する検査装置と検査対象の半導体集積回路との間の導通状態を確認する導通確認装置であって、
複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ及び第2バッファを備え、
前記第1バッファは、前記半導体集積回路の複数の被検査端子にそれぞれ出力端子を対応付け、各被検査端子に対して各出力端子から同時に検査信号を出力するように設けられ、
前記第2バッファは、前記第1バッファの各出力端子と半導体集積回路の各被検査端子との間から各々分岐した分岐線にそれぞれ入力端子を導通した状態で設けられ、
前記半導体集積回路の電源端子を接地した状態で前記第1バッファから検査信号を各被検査端子に対して供給したときの前記第2バッファの出力レベルに応じて導通状態を判定することを特徴とする。
複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ及び第2バッファを備え、
前記第1バッファは、前記半導体集積回路の複数の被検査端子にそれぞれ出力端子を対応付け、各被検査端子に対して各出力端子から同時に検査信号を出力するように設けられ、
前記第2バッファは、前記第1バッファの各出力端子と半導体集積回路の各被検査端子との間から各々分岐した分岐線にそれぞれ入力端子を導通した状態で設けられ、
前記半導体集積回路の電源端子を接地した状態で前記第1バッファから検査信号を各被検査端子に対して供給したときの前記第2バッファの出力レベルに応じて導通状態を判定することを特徴とする。
また、本発明の導通確認方法は、半導体集積回路の電気的特性を検査する検査装置と検査対象の半導体集積回路との間の導通状態を確認する導通確認方法であって、
複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ及び第2バッファを用い、
前記第1バッファを、前記半導体集積回路の複数の被検査端子にそれぞれ出力端子を対応付け、各被検査端子に対して各出力端子から同時に検査信号を出力するように設け、
前記第2バッファを、前記第1バッファの各出力端子と半導体集積回路の各被検査端子との間から各々分岐した分岐線にそれぞれ入力端子を導通した状態で設け、
前記半導体集積回路の電源端子を接地した状態で前記第1バッファから検査信号を各被検査端子に対して同時に供給したときの前記第2バッファの出力レベルに応じて導通状態を判定することを特徴とする。
複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ及び第2バッファを用い、
前記第1バッファを、前記半導体集積回路の複数の被検査端子にそれぞれ出力端子を対応付け、各被検査端子に対して各出力端子から同時に検査信号を出力するように設け、
前記第2バッファを、前記第1バッファの各出力端子と半導体集積回路の各被検査端子との間から各々分岐した分岐線にそれぞれ入力端子を導通した状態で設け、
前記半導体集積回路の電源端子を接地した状態で前記第1バッファから検査信号を各被検査端子に対して同時に供給したときの前記第2バッファの出力レベルに応じて導通状態を判定することを特徴とする。
上記構成によれば、複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ及び第2バッファを用いて、検査装置と半導体集積回路との間の導通状態を判定するので、従来の定電流回路を用いる構成と比較して部品点数を少なく抑えることができ、回路を大型化することなく簡単な構成で半導体集積回路の各被検査端子に対して同時に導通確認を行うことができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、インクジェット式プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録へッド(液体噴射ヘッドの一種、以下記録ヘッドという。)に搭載される駆動ICを、本発明における検査対象の半導体集積回路として例示する。
まず、図1に基づいて記録ヘッド1の構成について説明する。例示した記録ヘッド1は、複数の圧電振動子2、固定板3、及び、フレキシブルケーブル4等をユニット化した振動子ユニット5と、この振動子ユニット5を収納可能なケース6と、ケース6の下面に接合される流路ユニット7と、ケース6の上面に配設される配線基板8とを備えている。
ケース6は、収納空部9を形成した合成樹脂製のブロック状部材である。収納空部9は、振動子ユニット5を収納するための空部であり、固定板3を収納空部9の壁面に接着することで振動子ユニット5が収納空部9内に収納固定されている。この収納状態において、圧電振動子2の先端面は収納空部9の先端側開口に臨み、流路ユニット7の島部24に接合されている。
圧電振動子2は、圧力発生手段の一種であり、数10μm〜100μm程度の極めて細い幅に切り分けられた櫛歯状に形成されている。そして、各圧電振動子2は、自由端部を固定板3の縁よりも外側に突出させた片持ち梁の状態で取り付けられている。この圧電振動子2は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成された積層型の圧電振動子であって、電界方向に直交する縦方向に伸縮可能な、言い換えれば、素子の長手方向に振動可能なタイプの圧電振動子である。従って、圧電振動子2は、充電により自由端部が振動子長手方向に収縮し、放電により自由端部が素子長手方向に伸長する。
配線基板8は、図示せぬプリンタ本体側からの駆動信号を受け、この駆動信号をフレキシブルケーブル4を通じて圧電振動子2へ供給するための配線パターンが形成された所謂プリント基板によって構成されている。この配線基板8には、フレキシブルケーブル4の端子部が配線される基板端子部や、プリンタ本体側との接続のためのコネクタ10が設けられている。このコネクタ10には、プリンタ本体側からのFFC(フレキシブルフラットケーブル)等の配線部材が接続されるようになっている。また、このコネクタ10には、後述する電気的特性検査において、検査装置27からの配線部材(FFC26)が接続されるようになっている。
上記フレキシブルケーブル4は、ポリイミド等の絶縁フィルムから成るベースフィルムの表面に、銅箔等の導体材料で導体パターン(配線パターン)が形成され、配線端子以外の部分がレジストで覆われて構成されている。また、図2に示すように、このフレキシブルケーブル4には、印刷データに基づいて配線基板8側からの駆動信号を圧電振動子2に対して選択的に供給する制御を行う駆動IC11が実装されている。この駆動IC11は、本発明における半導体集積回路の一種であり、プリンタ本体側から配線基板8を介してシリアルに入力された印刷データをパラレルデータに変換するシフトレジスタ、このパラレルデータを所定の電圧に昇圧するレベルシフタ、パラレルデ−タに基づいてプリンタ本体側からの駆動信号を圧電振動子2に選択的に出力するトランスミッションゲート等で内部回路32(図4参照)を構成している。
上記流路ユニット7は、ノズルプレート(ノズル形成基板)15を流路形成基板16の一方の表面に配置し、振動板17をノズルプレート15とは反対側となる他方の表面に配置して接着等によって一体化することで構成されている。ノズルプレート15は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口18を列状に開設したステンレス鋼製の薄いプレートである。本実施形態では、180dpiのピッチで180個のノズル開口18を開設し、これらのノズル開口18によってノズル列を構成している。流路形成基板16は、ノズルプレート15の各ノズル開口18に対応させて圧力室19となる空部を隔壁で区画した状態で複数形成された板状の部材である。また、本実施形態における流路形成基板16には、圧力室19となる空部の他、インク供給口20およびリザーバ10となる空部が形成されている。そして、リザーバ10から遠い側の圧力室19の長手方向一端には板厚方向を貫通させてノズル連通口21を設け、圧力室19とノズル開口18との間を連通する。
振動板17は、ステンレス等の支持板22上に樹脂フィルムからなる弾性体膜23をラミネート加工した二重構造であり、圧力室19の一方の開口面を封止するダイヤフラム部とリザーバ10一方の開口面を封止するコンプライアンス部とを備えている。そして、ダイヤフラム部は、圧力室19に対応した部分の支持板22を環状にエッチング加工することで作製され、環内に島部24を形成している。また、コンプライアンス部は、リザーバ10に対応する部分の支持板22をエッチング加工で除去して弾性体膜23だけにすることで作製されている。
上記構成の記録ヘッド1では、駆動IC11による駆動信号の選択供給制御によって圧電振動子2に駆動信号が供給されると、当該圧電振動子2が伸縮駆動する。圧電振動子2が振動子長手方向に伸長すると、島部24がノズルプレート15側に押圧される。この押圧によって、ダイヤフラム部を構成する弾性体膜23が変形し、圧力室19が収縮する。また、圧電振動子2を振動子長手方向に収縮させると、弾性体膜23の弾性により圧力室19が膨張する。そして、この圧力室19の膨張や収縮によって内部のインク圧力が変動するので、膨張や収縮を制御することにより、ノズル開口18からインク滴(液滴の一種)を吐出させることができる。
ところで、上記構成の記録ヘッド1が製造された後の検査工程では、当該記録ヘッド1に実装されている駆動IC11が正常に作動するか否かを調べるために、当該駆動IC11の電気的特性のテストが行われる。
図3は、駆動IC11に対する電気的特性検査における装置構成を示す模式図である。同図に示すように、電気的特性検査は、記録ヘッド1のコネクタ10に検査装置27のFFC26を接続することで行われる。この検査装置27は、検査対象の駆動IC11に試験信号を供給するための電源(図示せず)や、各部を統括的に制御する制御部28等を備えて構成されている。この検査装置27は、FFC26を介して駆動IC11に試験信号を供給し、この試験信号に基づいた出力信号を駆動IC11からFFC26を介して取り込み、この出力信号に基づいて電気的特性を検査するように構成されている。
図3は、駆動IC11に対する電気的特性検査における装置構成を示す模式図である。同図に示すように、電気的特性検査は、記録ヘッド1のコネクタ10に検査装置27のFFC26を接続することで行われる。この検査装置27は、検査対象の駆動IC11に試験信号を供給するための電源(図示せず)や、各部を統括的に制御する制御部28等を備えて構成されている。この検査装置27は、FFC26を介して駆動IC11に試験信号を供給し、この試験信号に基づいた出力信号を駆動IC11からFFC26を介して取り込み、この出力信号に基づいて電気的特性を検査するように構成されている。
この電気的特性検査において、検査装置27と駆動IC11の接触状態が悪いと、本来正常に動作するはずの駆動IC11が動作せずに不良品として扱われる虞があるため、上記の検査を実施する前に、駆動IC11の各端子と検査装置27との導通を確認する必要がある。このため、検査装置27には、電気的特性検査を行う前段階で駆動IC11との導通状態を確認するための導通確認回路29が設けられている。
図4は、導通確認時における導通確認回路29と駆動IC11の構成を模式的に示した回路図である。本実施形態における導通確認は、電源端子VDDを接地した状態で、過大な入力信号から内部回路32を保護するために設けられている保護ダイオード31に対して検査信号を供給することで行われる。検査対象となる駆動IC11は、複数の被検査端子、具体的には、データ端子Si*(図4では、便宜上、複数のデータ端子のうち1つを代表して示してある。)、クロック入力端子CLK、及び、ラッチ入力端子LATを有しており、各被検査端子と、電源端子VDD及び接地端子GNDとの間にそれぞれ保護ダイオード31が接続されている。
上記導通確認回路29は、本発明における導通確認装置として機能する部分であり、検査装置27から駆動IC11への信号線に対して導通確認用の検査信号を送出するようになっている。この導通確認回路29は、第1バッファ30A及び第2バッファ30Bと、基準抵抗34とを備えて構成されている。これらのバッファ30は、汎用ロジックICであり、複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能なものが用いられる。本実施形態では、これらのバッファ30として、5Vの入力を3.3Vに変換して出力可能なトレラント機能を有する8ビットバッファ(例えば、74LCX541)を採用している。なお、本実施形態では、第1バッファ30Aと第2バッファ30Bを1組だけ設けた構成を例示したが、駆動IC11の被検査端子の数が、バッファ30の端子数よりも多い場合には、被検査端子の数に応じてバッファ30A,30Bの組を複数設ける。
第1バッファ30Aは、検査装置27の電源から5Vの信号が入力端子I1,I2〜Inに入力されるように構成されていると共に、検査装置27から駆動IC11の各被検査端子に至るまでの信号線33(即ち、FFC26、配線基板8、フレキシブルケーブル4からなる一連の信号経路)に出力端子O1,O2〜Onを電気的に接続し、これらの出力端子を、駆動IC11の各被検査端子に1対1に対応付けて導通させている。本実施形態において、第1バッファ30Aの各出力端子と駆動IC11の各被検査端子との間には、基準抵抗34を接続し、検査信号を印加したときに保護ダイオード31を破壊しないように保護ダイオード31を流れる電流値を調整している。具体的には、この基準抵抗34を68kΩとし、保護ダイオード31に流れる電流を50μA程度に調整している。
第2バッファ30Bは、第1バッファ30Aの各出力端子と駆動IC11の各被検査端子との間(詳しくは基準抵抗34と各被検査端子との間)の信号線33から各々分岐した分岐線35にそれぞれ入力端子I1,I2〜Inを導通させた状態で設けられており、この第2バッファ30Bの出力端子O1,O2〜Onからの出力信号は、検査装置27の制御部28に供給されるようになっている。
導通確認では、駆動IC11の電源端子VDDを接地した状態で第1バッファ30Aから検査信号を各被検査端子に対して供給したときの第2バッファ30Bの出力レベルに応じて導通状態を判定するようになっている。
まず、検査装置27の電源から5Vの信号が第1バッファ30Aの各入力端子に同時に入力される。即ち、第1バッファ30Aの入力が論理レベルにおけるHレベルとなる。これに応じて第1バッファ30Aは出力がHレベルとなり、各出力端子から信号線33を通じて対応する被検査端子に対して3.3Vの検査信号を同時に出力する。
まず、検査装置27の電源から5Vの信号が第1バッファ30Aの各入力端子に同時に入力される。即ち、第1バッファ30Aの入力が論理レベルにおけるHレベルとなる。これに応じて第1バッファ30Aは出力がHレベルとなり、各出力端子から信号線33を通じて対応する被検査端子に対して3.3Vの検査信号を同時に出力する。
この際、検査装置27と駆動IC11の被検査端子とが導通していれば、当該被検査端子を通じて保護ダイオード31に順方向電流が流れるので、第2バッファ30Bの入力端子への入力はごく僅かとなる。具体的には、第2バッファ30Bへの入力信号の電圧は0.5V程度となる。つまり、第2バッファ30Bの入力がLレベルとなるため、この第2バッファ30Bの出力もLレベルとなる。一方、検査装置27と駆動IC11の被検査端子とが導通していない状態では、保護ダイオード31側には電流が流れないため、第2バッファ30Bの入力端子へは3.3Vの検査信号がほぼそのまま入力される。即ち、この場合、第2バッファ30Bの入力がHレベルとなるため、この第2バッファ30Bの出力もHレベルとなる。
したがって、上記制御部28は、第2バッファ30Bの出力端子からの出力信号がLレベルの場合、当該出力端子に対応する駆動IC11の被検査端子と検査装置27との導通状態は正常であると判定する。一方、上記制御部28は、第2バッファ30Bの出力端子からの出力信号がHレベルの場合、当該出力端子に対応する駆動IC11の被検査端子と検査装置27との導通状態は不良であると判定する。
このようにして、複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ30A及び第2バッファ30Bを用いて検査装置27と駆動IC11の各被検査端子との間の導通状態を判定するので、従来の定電流回路を用いる構成と比較して部品点数を少なく抑えることができ、回路を大型化することなく簡単な構成で駆動IC11の複数の被検査端子に対して同時に導通確認を行うことができる。
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
例えば、上記実施形態では、検査対象の半導体集積回路として、記録ヘッド1に搭載された駆動IC11を例示したが、これには限られず、例えば、半導体ウェハから個々に分割される前の状態の半導体集積回路や、パッケージに封入された状態の種々の半導体集積回路に対する導通確認の際にも本発明は好適である。
また、上記実施形態では、導通確認時において検査装置27と駆動IC11とをFFC26等を介して接続する構成を例を示したが、これには限られない。例えば、ICソケットなどに設けられたプローブ針を駆動ICの各被検査端子に直接接触させる構成においても本発明を適用することができる。
1…記録ヘッド,4…フレキシブルケーブル,8…配線基板,10…コネクタ,11…駆動IC,26…FFC,27…検査装置,28…制御部,29…導通確認回路,30A…第1バッファ,30B…第2バッファ,31…保護ダイオード,32…内部回路,33…信号線,34…基準抵抗,35…分岐線
Claims (2)
- 半導体集積回路の電気的特性を検査する検査装置と検査対象の半導体集積回路との間の導通状態を確認する導通確認装置であって、
複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ及び第2バッファを備え、
前記第1バッファは、前記半導体集積回路の複数の被検査端子にそれぞれ出力端子を対応付け、各被検査端子に対して各出力端子から同時に検査信号を出力するように設けられ、
前記第2バッファは、前記第1バッファの各出力端子と半導体集積回路の各被検査端子との間から各々分岐した分岐線にそれぞれ入力端子を導通した状態で設けられ、
前記半導体集積回路の電源端子を接地した状態で前記第1バッファから検査信号を各被検査端子に対して供給したときの前記第2バッファの出力レベルに応じて導通状態を判定することを特徴とする導通確認装置。 - 半導体集積回路の電気的特性を検査する検査装置と検査対象の半導体集積回路との間の導通状態を確認する導通確認方法であって、
複数の入力端子及び出力端子を有し、複数ビットのパラレル入出力が可能な第1バッファ及び第2バッファを用い、
前記第1バッファを、前記半導体集積回路の複数の被検査端子にそれぞれ出力端子を対応付け、各被検査端子に対して各出力端子から同時に検査信号を出力するように設け、
前記第2バッファを、前記第1バッファの各出力端子と半導体集積回路の各被検査端子との間から各々分岐した分岐線にそれぞれ入力端子を導通した状態で設け、
前記半導体集積回路の電源端子を接地した状態で前記第1バッファから検査信号を各被検査端子に対して供給したときの前記第2バッファの出力レベルに応じて導通状態を判定することを特徴とする導通確認方法。
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