JP2007273718A - プラズマ処理装置と方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理容器2内において上下に対向させて配置した上部電極20と下部電極12の少なくとも一方に高周波電源より高周波電力を供給して処理容器12内にプラズマPを生成させ,基板Wを処理するプラズマ処理装置1であって,処理容器2内に生成されるプラズP中のイオンの入射により,基板Wの処理に必要な成分を処理容器2内へ放出させる成分放出部材33を,処理容器2内に露出させて設け,成分放出部材33に,処理容器2内に生成されるプラズマPから見た成分放出部材33側の高周波電源の周波数に対するインピーダンスを変化させる可変インピーダンス回路41を接続したことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
1 プラズマエッチング装置
2 処理容器
10 絶縁板
11 支持台
12 下部電極
13 フォーカスリング
20 上部電極
21 絶縁体
25 マッチング回路
26 第1の高周波電源
27 第1の高周波ライン
30 ガス吐出孔
31 ガス供給管
32 ガス供給源
33 成分放出部材
40 可変インピーダンス部
41 可変インピーダンス回路
42 固定コイル
43 可変コンデンサ
50 マッチング回路
51 第2の高周波電源
52 第2の高周波ライン
60 排気管
Claims (13)
- 処理容器内において上下に対向させて配置した上部電極と下部電極の少なくとも一方に高周波電源より高周波電力を供給して前記処理容器内にプラズマを生成させ,基板を処理するプラズマ処理装置であって,
前記処理容器内に生成されるプラズマ中のイオンの入射により,基板の処理に必要な成分を前記処理容器内へ放出させる成分放出部材を,前記処理容器内に露出させて設け,
前記成分放出部材に,前記処理容器内に生成されるプラズマから見た前記成分放出部材側の前記高周波電源の周波数に対するインピーダンスを変化させる可変インピーダンス回路を接続したことを特徴とする,プラズマ処理装置。 - 前記成分放出部材を上部電極の下面に設けたことを特徴とする,請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記成分放出部材は,下部電極の周囲に設けられたフォーカスリングであることを特徴とする,請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記成分放出部材を,前記処理容器内に生成されるプラズマの周囲に設けたことを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記基板の処理に必要な成分は,酸素であることを特徴とする,請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記成分放出部材は,SiO2からなることを特徴とする,請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 前記基板の処理に必要な成分は,フッ素であることを特徴とする,請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記成分放出部材は,フッ素樹脂からなることを特徴とする,請求項7に記載のプラズマ処理装置。
- 処理容器内において上下に対向させて配置した上部電極と下部電極の少なくとも一方に高周波電源より高周波電力を供給して前記処理容器内にプラズマを生成させて基板を処理するプラズマ処理方法であって,
前記処理容器内に生成されるプラズマ中のイオンの入射により,基板の処理に必要な成分を前記処理容器内へ放出させる成分放出部材を,前記処理容器内に露出させて設け,
前記処理容器内に生成されるプラズマから見た前記成分放出部材側の前記高周波電源の周波数に対するインピーダンスを変化させることにより,前記成分放出部材から前記処理容器内へ放出される,基板の処理に必要な成分の放出量を制御することを特徴とする,プラズマ処理方法。 - 前記基板の処理に必要な成分は,酸素であることを特徴とする,請求項9に記載のプラズマ処理方法。
- 前記成分放出部材は,SiO2からなることを特徴とする,請求項10に記載のプラズマ処理方法。
- 前記基板の処理に必要な成分は,フッ素であることを特徴とする,請求項9に記載のプラズマ処理方法。
- 前記成分放出部材は,フッ素樹脂からなることを特徴とする,請求項12に記載のプラズマ処理方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006097446A JP2007273718A (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | プラズマ処理装置と方法 |
US11/691,678 US7758929B2 (en) | 2006-03-31 | 2007-03-27 | Plasma processing apparatus and method |
US12/816,440 US20100252198A1 (en) | 2006-03-31 | 2010-06-16 | Plasma processing apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006097446A JP2007273718A (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | プラズマ処理装置と方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007273718A true JP2007273718A (ja) | 2007-10-18 |
Family
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006097446A Pending JP2007273718A (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | プラズマ処理装置と方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007273718A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2006
- 2006-03-31 JP JP2006097446A patent/JP2007273718A/ja active Pending
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