JP2007269957A - Gas-barrier film, method for producing the same, and image display element using the same - Google Patents

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祐也 阿形
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film having high gas-barrier performance, and excellent flexibility. <P>SOLUTION: The method for producing the gas-barrier film comprises a process of preparing a radiation-curable monomer layer on a base film, a process of treating the radiation-curable monomer layer with heat, and a process of curing the heat-treated radiation-curable monomer layer with a radiation. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、優れたガスバリア性能を有するガスバリア性フィルムに関する。より詳しくは、本発明は、各種の画像表示素子に好適に用いることができるガスバリア性フィルムに関し、特にフレキシブルな有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、「有機EL素子」という)の基板として有用なガスバリア性フィルムおよびその製造方法、並びに有機EL素子に関するものである。   The present invention relates to a gas barrier film having excellent gas barrier performance. More specifically, the present invention relates to a gas barrier film that can be suitably used for various image display elements, and particularly useful as a substrate for flexible organic electroluminescence elements (hereinafter referred to as “organic EL elements”). And its manufacturing method, and an organic EL device.

従来より、プラスチック基板やフィルムの表面に酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素等の金属酸化物の薄膜を形成したガスバリア性フィルムは、水蒸気や酸素等の各種ガスの遮断を必要とする物品の包装、食品、工業用品および医薬品等の変質を防止するための包装用途において広く用いられている。ガスバリア性フィルムは、最近では包装用途以外に、液晶表示素子、太陽電池、ELなどにおいても利用されつつある。   Conventionally, a gas barrier film in which a metal oxide thin film such as aluminum oxide, magnesium oxide, silicon oxide or the like is formed on the surface of a plastic substrate or film is used for packaging an article that requires blocking of various gases such as water vapor and oxygen, It is widely used in packaging applications to prevent the deterioration of food, industrial goods and pharmaceuticals. Recently, gas barrier films are being used in liquid crystal display elements, solar cells, EL, and the like in addition to packaging applications.

近年の液晶表示素子やEL素子等の画像表示素子の開発過程において、これらの素子を形成する透明基材に対しては、軽量化、大型化という条件に加え、長期信頼性や形状の自由度が高いこと、曲面表示が可能であること等の高度な条件も要求されている。このような高度な条件を満たす透明基材として、プラスチック基材が、従来の重くて割れやすく大面積化が困難であったガラス基板に代替する新たな基材として採用され始めている。プラスチック基材の場合、上記条件を満たすだけでなく、ロールトゥロール(roll to roll)方式による製造が可能であることからガラス基板よりも生産性がよく、コストダウンの点でも有利である。   In the development process of image display elements such as liquid crystal display elements and EL elements in recent years, long-term reliability and flexibility of shape are required for transparent base materials forming these elements in addition to the conditions of weight reduction and size increase. Advanced conditions such as high image quality and the ability to display curved surfaces are also required. As a transparent base material satisfying such advanced conditions, a plastic base material has begun to be adopted as a new base material that replaces a conventional glass substrate that is heavy, fragile and difficult to increase in area. In the case of a plastic substrate, not only the above conditions are satisfied, but it is possible to manufacture by a roll-to-roll method, so that the productivity is better than a glass substrate and it is advantageous in terms of cost reduction.

しかしながら、透明プラスチック等のフィルム基材は、ガラス基材よりもガスバリア性能が劣るという欠点があった。ガスバリア性が劣る基材を用いると、水蒸気や空気が浸透し、例えば液晶セル内の液晶を劣化させ、表示欠陥となって表示品位を劣化させてしまう。このような問題を解決するために、フィルム基板上に金属酸化物薄膜を形成したガスバリア性フィルムがこれまでに開発されている。例えば、包装材や液晶表示素子に使用されるガスバリア性フィルムとしては、プラスチックフィルム上に酸化ケイ素を蒸着したもの(特許文献1)、酸化アルミニウムを蒸着したもの(特許文献2)が知られており、いずれも1g/(m2・day)程度の水蒸気バリア性を有する。 However, film substrates such as transparent plastics have the disadvantage that the gas barrier performance is inferior to that of glass substrates. If a base material with inferior gas barrier properties is used, water vapor or air will permeate, for example, causing deterioration of the liquid crystal in the liquid crystal cell, resulting in display defects and deterioration of display quality. In order to solve such problems, gas barrier films in which a metal oxide thin film is formed on a film substrate have been developed so far. For example, as gas barrier films used for packaging materials and liquid crystal display elements, those obtained by depositing silicon oxide on a plastic film (Patent Document 1) and those obtained by depositing aluminum oxide (Patent Document 2) are known. , Both have a water vapor barrier property of about 1 g / (m 2 · day).

これに対して、近年開発されている大型液晶ディスプレイ、高精細ディスプレイ等では、プラスチックフィルム基板に要求されるガスバリア性能は、水蒸気バリア性で0.1g/(m2・day)程度である。さらに、最近では有機ELディスプレイや高精彩カラー液晶ディスプレイ等の開発が進み、これらで使用可能な、透明性を維持しつつ、さらに高バリア性能、特に水蒸気バリアで0.1g/(m2・day)未満の性能をもつ透明基材が要求されている。
このような要求に応えるために、最近ではより高いバリア性能が期待できる手段として、低圧条件下でグロー放電させて生じるプラズマを用いて薄膜を形成させるスパッタリング法やCVD法による成膜検討が行われている。また、有機層/無機層の交互積層構造を有するバリア膜を真空蒸着法により作製した有機発光デバイスが提案されている(特許文献3)。しかしながら、このデバイスは耐屈曲性が十分でないために、フレキシブルな画像表示素子に応用することはできないものであった。
On the other hand, in large-sized liquid crystal displays and high-definition displays that have been developed in recent years, the gas barrier performance required for plastic film substrates is about 0.1 g / (m 2 · day) in terms of water vapor barrier properties. Furthermore, recently, the development of organic EL displays, high-definition color liquid crystal displays, etc. has progressed, and while maintaining the transparency that can be used in these displays, it has a higher barrier performance, particularly 0.1 g / (m 2 · day for a water vapor barrier. There is a need for transparent substrates with performance below.
In order to meet these demands, recently, as a means for expecting higher barrier performance, film formation by sputtering method or CVD method in which a thin film is formed using plasma generated by glow discharge under low pressure conditions has been studied. ing. In addition, an organic light emitting device in which a barrier film having an alternately laminated structure of organic layers / inorganic layers is produced by a vacuum deposition method has been proposed (Patent Document 3). However, since this device has insufficient bending resistance, it cannot be applied to a flexible image display element.

フレキシブルな画像表示素子に応用するために必要な耐屈曲性を付与するために、体積収縮率が10%未満のアクリルモノマーを重合させたポリマーを有機層に用いる技術が開示されている(特許文献4)。しかしながら、この技術はガスバリア性が十分でないという問題があった。
このため、フレキシブルな画像表示素子に適用しうるレベルのガスバリア性と耐屈曲性を備えたプラスチックフィルムの開発が望まれていた。
特公昭53−12953号公報(実施例) 特開昭58−217344号公報(実施例) 米国特許第6268695号明細書(第4頁[2−5]〜第5頁[4−49]) 特開2003−53881号公報(第3頁[0006]〜第4頁[0008])
In order to provide the bending resistance necessary for application to a flexible image display element, a technique is disclosed in which a polymer obtained by polymerizing an acrylic monomer having a volume shrinkage rate of less than 10% is used in an organic layer (Patent Literature). 4). However, this technique has a problem that the gas barrier property is not sufficient.
Therefore, it has been desired to develop a plastic film having gas barrier properties and bending resistance that can be applied to flexible image display elements.
Japanese Examined Patent Publication No. 53-12953 (Example) JP 58-217344 A (Example) US Pat. No. 6,268,695 (page 4 [2-5] to page 5 [4-49]) JP 2003-53881 A (Page 3 [0006] to Page 4 [0008])

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、本発明の第一の目的は、屈曲しても優れたガスバリア性を維持できるガスバリア性フィルムを提供することにある。また、本発明の第二の目的は、前記ガスバリア性フィルムを用いた、耐久性に優れた画像表示素子を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and a first object of the present invention is to provide a gas barrier film that can maintain excellent gas barrier properties even when bent. A second object of the present invention is to provide an image display element having excellent durability using the gas barrier film.

本発明者は、従来技術の問題点の発生原因を鋭意検討した結果、基材フィルム上に形成される有機層とそれに隣接する無機層または基材フィルムとの間の密着性が十分でないことが一因となっていることを見出した。そこで、有機層と無機層の間の密着性および有機層と基材フィルムとの間の密着性を十分に確保しながら、ガスバリア性と耐屈曲性を高めることを検討した結果、有機層として特定の方法で作製した樹脂層を採用すれば課題を解決しうることを見出した。本発明者は、このような知見に基づいて、以下に記載する本発明を提供するに至った。   As a result of earnestly examining the cause of occurrence of problems in the prior art, the present inventor may have insufficient adhesion between the organic layer formed on the base film and the adjacent inorganic layer or base film. I found that it contributed. Therefore, as a result of investigating increasing gas barrier properties and flex resistance while ensuring sufficient adhesion between the organic layer and inorganic layer and between the organic layer and the substrate film, it was identified as an organic layer. It has been found that the problem can be solved by adopting the resin layer produced by the above method. Based on such findings, the present inventor has provided the present invention described below.

本発明の第一の目的は、基材フィルム上に放射線硬化性モノマー層を設ける工程と、該放射線硬化性モノマー層を加熱処理する工程と、該加熱処理後の放射線硬化性モノマー層を放射線により硬化させる工程と、を含むことを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法により達成される。また、本発明の第一の目的は、基材フィルム上に設けられた無機層の上に放射線硬化性モノマー層を設ける工程と、該放射線硬化性モノマー層を加熱処理する工程と、該加熱処理後の放射線硬化性モノマー層を放射線により硬化させる工程と、を含むことを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法によっても達成される。   The first object of the present invention is to provide a step of providing a radiation-curable monomer layer on a substrate film, a step of heat-treating the radiation-curable monomer layer, and the radiation-curable monomer layer after the heat treatment by radiation. And a step of curing. The method is achieved by a method for producing a gas barrier film. The first object of the present invention is to provide a step of providing a radiation-curable monomer layer on an inorganic layer provided on a substrate film, a step of heat-treating the radiation-curable monomer layer, and the heat treatment. And a step of curing the subsequent radiation curable monomer layer by radiation.

本発明の製造方法では、前記硬化後の放射線硬化性樹脂層の上に下記の工程(1)をさらに行ってもよいし、下記の工程(1)と工程(2)を交互にそれぞれ少なくとも1回ずつ行ってもよい。
工程(1): 硬化後の放射線硬化性樹脂層の上に無機層を設ける工程
工程(2): 無機層の上に放射線硬化性モノマー層を設け、該放射線硬化性
モノマー層を加熱処理し、該加熱処理後の放射線硬化性モノマー
層を放射線により硬化させる工程
In the production method of the present invention, the following step (1) may be further performed on the radiation-curable resin layer after the curing, and the following step (1) and step (2) are alternately performed at least 1 each. It may be done once.
Step (1): Step of providing an inorganic layer on the cured radiation curable resin layer Step (2): A radiation curable monomer layer is provided on the inorganic layer, and the radiation curable
The monomer layer is heat-treated, and the radiation-curable monomer after the heat treatment
Curing the layer with radiation

本発明の製造方法では、最上層である無機層または硬化後の放射線硬化性樹脂層の上に透明導電層を設ける工程をさらに行ってもよい。なお、本発明の製造方法における加熱処理は50℃以上に前記放射線硬化性モノマー層を加熱することにより行うことが好ましい。また、無機層は、金属酸化物あるいは金属窒化物を主成分とすることが好ましく、特に、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウム、スズなどの金属酸化物、窒化物若しくはそれらの複合物を含有するものであることが好ましい。   In the manufacturing method of this invention, you may further perform the process of providing a transparent conductive layer on the inorganic layer which is the uppermost layer, or the radiation-curable resin layer after hardening. In addition, it is preferable to perform the heat processing in the manufacturing method of this invention by heating the said radiation-curable monomer layer to 50 degreeC or more. The inorganic layer preferably contains a metal oxide or metal nitride as a main component, and particularly contains a metal oxide such as silicon, aluminum, titanium, zirconium or tin, a nitride or a composite thereof. It is preferable that

本発明は、上記製造方法によって製造されるガスバリア性フィルムも提供する。本発明のガスバリア性フィルムは、38℃・相対湿度90%における酸素透過率が0.01ml/(m2・day・atm)以下であり、かつ38℃・相対湿度90%における水蒸気透過率が0.01g/(m2・day)以下であることが好ましい。 The present invention also provides a gas barrier film produced by the above production method. The gas barrier film of the present invention has an oxygen permeability of 0.01 ml / (m 2 · day · atm) or less at 38 ° C. and a relative humidity of 90%, and has a water vapor transmission rate of 0 at 38 ° C. and a relative humidity of 90%. It is preferably not more than 0.01 g / (m 2 · day).

また、本発明の第二の目的は、前記ガスバリア性積層フィルムを用いた画像表示素子により達成される。特に、フレキシブルな画像表示素子や有機EL素子に前記ガスバリア性積層フィルムを用いれば、本発明の特徴をより効果的に発揮させることができる。   The second object of the present invention is achieved by an image display device using the gas barrier laminate film. In particular, if the gas barrier laminate film is used for a flexible image display element or organic EL element, the features of the present invention can be exhibited more effectively.

本発明のガスバリア性フィルムは、高いガスバリア性能と優れた耐屈曲性を有する。また、このような特徴を有するガスバリア性フィルムを有する本発明の画像表示素子は、高い耐久性を有する。   The gas barrier film of the present invention has high gas barrier performance and excellent bending resistance. The image display element of the present invention having a gas barrier film having such characteristics has high durability.

以下において、本発明のガスバリア性フィルムとその製造方法、および画像表示素子について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。なお、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。   Hereinafter, the gas barrier film of the present invention, its production method, and the image display element will be described in detail. The description of the constituent elements described below may be made based on typical embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to such embodiments. In the present specification, a numerical range represented by using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as a lower limit value and an upper limit value.

[ガスバリア性フィルムの製造方法]
(製造方法を構成する工程)
本発明のガスバリア性フィルムの製造方法は、基材フィルム上または基材フィルム上に設けられた無機層の上に放射線硬化性モノマー層を設ける工程と、該放射線硬化性モノマー層を加熱処理する工程と、該加熱処理後の放射線硬化性モノマー層を放射線により硬化させる工程と、を含むことを特徴とする。
[Method for producing gas barrier film]
(Steps constituting the manufacturing method)
The method for producing a gas barrier film of the present invention includes a step of providing a radiation curable monomer layer on a base film or an inorganic layer provided on the base film, and a step of heat-treating the radiation curable monomer layer. And a step of curing the radiation-curable monomer layer after the heat treatment with radiation.

上記の樹脂層の作製工程は、本発明のガスバリア性フィルムの製造方法において1回だけ行ってもよいし、複数回行ってもよい。複数回行う場合は、作製する樹脂層の間に無機層を挟むように構成することが好ましい。具体的には、下記の工程(1)と工程(2)を交互にそれぞれ少なくとも1回ずつ行うことが好ましく、少なくとも工程(1)、工程(2)、工程(1)のステップを実施することがより好ましい。
工程(1): 硬化後の放射線硬化性樹脂層の上に無機層を設ける工程
工程(2): 無機層の上に放射線硬化性モノマー層を設け、該放射線硬化性
モノマー層を加熱処理し、該加熱処理後の放射線硬化性モノマー
層を放射線により硬化させる工程
The resin layer production step may be performed only once or a plurality of times in the method for producing a gas barrier film of the present invention. When performing several times, it is preferable to comprise so that an inorganic layer may be pinched | interposed between the resin layers to produce. Specifically, it is preferable that the following step (1) and step (2) are alternately performed at least once, and at least the steps of step (1), step (2), and step (1) are performed. Is more preferable.
Step (1): Step of providing an inorganic layer on the cured radiation curable resin layer Step (2): A radiation curable monomer layer is provided on the inorganic layer, and the radiation curable
The monomer layer is heat-treated, and the radiation-curable monomer after the heat treatment
Curing the layer with radiation

本発明の製造方法は、上記の樹脂層の作製工程を含むものであれば、その他の層を作製する工程や表面処理工程などをさらに含んでいてもよい。その他の層の種類は特に制限されない。例えば、基材フィルムと無機層の間、基材フィルムと樹脂層の間、無機層と樹脂層の間に、機能層を形成してもよい。機能層の例としては、反射防止層、偏光層、カラーフィルター、および光取出効率向上層等の光学機能層;ハードコート層や応力緩和層等の力学的機能層;帯電防止層や導電層などの電気的機能層;防曇層;防汚層;被印刷層などが挙げられる。   If the manufacturing method of this invention includes the preparation process of said resin layer, it may further include the process of producing another layer, a surface treatment process, etc. Other layer types are not particularly limited. For example, a functional layer may be formed between the base film and the inorganic layer, between the base film and the resin layer, and between the inorganic layer and the resin layer. Examples of functional layers include optical functional layers such as antireflection layers, polarizing layers, color filters, and light extraction efficiency improving layers; mechanical functional layers such as hard coat layers and stress relaxation layers; antistatic layers and conductive layers An electric functional layer; an antifogging layer; an antifouling layer; a printing layer and the like.

無機層とリン酸エステル基を有するポリマーを含む樹脂層を有する側とは反対側の基材フィルム面(反対面)には、少なくとも無機ガスバリア層と樹脂層と無機ガスバリア層とがこの順に積層されたガスバリア性ラミネート層を設けることができる。このようなガスバリア性ラミネート層を設けることによって、反対面からの水分子の侵入を防ぐことができる。その結果、ガスバリア性積層フィルムの寸法変化を抑制して、無機層(ガスバリア層)への応力集中や破壊を防止し、結果として耐久性を一層高めることができる。
以下において、本発明の製造方法により作製する各層について詳しく説明する。
At least the inorganic gas barrier layer, the resin layer, and the inorganic gas barrier layer are laminated in this order on the base film surface (opposite surface) opposite to the side having the inorganic layer and the resin layer containing a polymer having a phosphate ester group. A gas barrier laminate layer can be provided. By providing such a gas barrier laminate layer, water molecules can be prevented from entering from the opposite surface. As a result, the dimensional change of the gas barrier laminate film can be suppressed to prevent stress concentration and destruction on the inorganic layer (gas barrier layer), and as a result, the durability can be further enhanced.
Below, each layer produced with the manufacturing method of this invention is demonstrated in detail.

(樹脂層)
本発明の製造方法において樹脂層を形成する際には、まず放射線硬化性モノマーを含有する層を形成する。
放射線硬化性樹脂は、紫外線や電子線等の放射線を照射することにより硬化が進行する樹脂であり、具体的には分子または単体構造内にアクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基等の不飽和二重結合を含む樹脂である。これらの中でも特に、アクリロイル基を含むアクリル系樹脂が好ましい。本発明の製造方法では、放射線硬化性樹脂として、一種類の樹脂を用いてもよいし、2種以上の樹脂を混合して用いてもよい。本発明の製造方法では、分子または単位構造内に2個以上のアクリロイル基を有するアクリル系樹脂を用いることが好ましい。こうした多官能アクリレート樹脂としては、例えば、ウレタンアクリレート、エステルアクリレート、エポキシアクリレート等が挙げられるが、本発明で採用することができる多官能アクリレート樹脂はこれらに限定されるものではない。
(Resin layer)
When forming the resin layer in the production method of the present invention, first, a layer containing a radiation curable monomer is formed.
A radiation curable resin is a resin that cures when irradiated with radiation such as ultraviolet rays and electron beams. Specifically, an unsaturated double molecule such as an acryloyl group, a methacryloyl group, or a vinyl group in a molecule or a single structure. A resin containing a bond. Among these, an acrylic resin containing an acryloyl group is particularly preferable. In the production method of the present invention, one type of resin may be used as the radiation curable resin, or two or more types of resins may be mixed and used. In the production method of the present invention, it is preferable to use an acrylic resin having two or more acryloyl groups in a molecule or unit structure. Examples of such a polyfunctional acrylate resin include urethane acrylate, ester acrylate, epoxy acrylate, and the like, but the polyfunctional acrylate resin that can be employed in the present invention is not limited to these.

これらの放射線硬化性樹脂を硬化する際に紫外線硬化法を用いる場合には、放射線硬化性樹脂に公知の光反応開始剤を適量添加しておく。光反応開始剤としては、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製のIRGACUREシリーズなどを挙げることができる。光反応開始剤の添加量は、放射線硬化性モノマーの全量に対して、0.1〜10質量%であることが好ましく、1〜5質量%であることがより好ましい。   When an ultraviolet curing method is used when curing these radiation curable resins, an appropriate amount of a known photoreaction initiator is added to the radiation curable resin. Examples of the photoreaction initiator include IRGACURE series manufactured by Ciba Specialty Chemicals. The addition amount of the photoinitiator is preferably 0.1 to 10% by mass, and more preferably 1 to 5% by mass with respect to the total amount of the radiation curable monomer.

放射線硬化性樹脂には、さらにポリマー分子との相互作用を強めるために、アルコキシシランの加水分解物やシランカップリング剤を混合してもよい。シランカップリング剤としては、一方にメトキシ基、エトキシ基、アセトキシ基等の加水分解可能な反応基を持ち、もう一方にはエポキシ基、ビニル基、アミノ基、ハロゲン基、メルカプト基を有するものが好ましい。特に好ましくは、主成分樹脂に固定するため、同じ反応基を持つビニル基を有するものであり、例えば、信越化学工業(株)のKBM−503、KBM−803、日本ユニカー(株)製のA−187などが用いられる。これらの添加量は、放射線硬化性モノマーの全量に対して、0.2〜3質量%であることが好ましい。   In order to further strengthen the interaction with the polymer molecule, a hydrolyzate of alkoxysilane or a silane coupling agent may be mixed in the radiation curable resin. As the silane coupling agent, one having a hydrolyzable reactive group such as a methoxy group, an ethoxy group, or an acetoxy group and the other having an epoxy group, a vinyl group, an amino group, a halogen group, or a mercapto group. preferable. Particularly preferred are those having a vinyl group having the same reactive group for fixing to the main component resin, such as KBM-503, KBM-803 of Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., A made by Nihon Unicar Co., Ltd. -187 or the like is used. These addition amounts are preferably 0.2 to 3% by mass with respect to the total amount of the radiation curable monomer.

樹脂層を形成する方法としては、塗布による方法、真空成膜法等を挙げることができる。真空成膜法としては、特に制限はないが、蒸着、プラズマCVD等の成膜方法が好ましく、有機物質モノマーの成膜速度を制御しやすい抵抗加熱蒸着法がより好ましい。本発明で用いるモノマーの架橋方法は何ら制限されないが、活性エネルギー線照射による電子線や紫外線等による架橋が、真空槽内に容易に取り付けられる点や架橋反応による高分子量化が迅速である点で望ましい。   Examples of the method for forming the resin layer include a coating method and a vacuum film forming method. Although there is no restriction | limiting in particular as a vacuum film-forming method, Film-forming methods, such as vapor deposition and plasma CVD, are preferable, and the resistance heating vapor deposition method which is easy to control the film-forming rate of an organic substance monomer is more preferable. The method for crosslinking the monomer used in the present invention is not limited in any way, but crosslinking with an electron beam or ultraviolet ray by irradiation with active energy rays can be easily mounted in a vacuum chamber, and the high molecular weight by a crosslinking reaction is rapid. desirable.

塗布方式で樹脂層を形成する場合には、従来用いられる種々の塗布方法、例えば、ロールコート、グラビアコート、ナイフコート、ディップコート、カーテンフローコート、スプレーコート、バーコート等の方法を用いることができる。塗布する際の溶媒としては、メチルエチルケトンなどを挙げることができる。   When the resin layer is formed by a coating method, various conventionally used coating methods such as roll coating, gravure coating, knife coating, dip coating, curtain flow coating, spray coating, and bar coating may be used. it can. Examples of the solvent for application include methyl ethyl ketone.

放射線硬化性モノマー層を設けた後は、放射線硬化性モノマー層を加熱処理する。ここでいう加熱処理とは、放射線硬化性モノマー層の構成材料が蒸発しない程度の加熱を加えることをいう。加熱温度は、50〜200℃であることが好ましく、50〜150℃であることがより好ましく、50〜100℃であることがさらに好ましい。加熱時間は、1〜20分であることが好ましく、5〜10分であることが好ましい。加熱の方法は特に制限されないが、電熱線ヒーターなどにより加熱する方法を挙げることができる。   After providing the radiation curable monomer layer, the radiation curable monomer layer is heat-treated. The heat treatment as used herein refers to heating to such an extent that the constituent material of the radiation curable monomer layer does not evaporate. The heating temperature is preferably 50 to 200 ° C, more preferably 50 to 150 ° C, and further preferably 50 to 100 ° C. The heating time is preferably 1 to 20 minutes, and preferably 5 to 10 minutes. The heating method is not particularly limited, and examples thereof include a heating method using a heating wire heater.

加熱処理した後は、放射線硬化性モノマー層を放射線により硬化させる。ここでいう放射線とは、紫外線、X線、電子線、赤外線、マイクロ波等の照射することによりエネルギーを伝播し得る放射線を意味し、その種類とエネルギーは用途に応じて任意に選択することができる。放射線の照射量と照射時間は、放射線硬化性モノマー層が硬化するのに十分な程度に調整する。放射線は、樹脂面に照射するように調整するが、樹脂面とは反対側の面にも照射しても構わない。   After the heat treatment, the radiation curable monomer layer is cured by radiation. The term “radiation” as used herein means radiation capable of propagating energy by irradiation with ultraviolet rays, X-rays, electron beams, infrared rays, microwaves, and the like, and the type and energy can be arbitrarily selected according to the application. it can. The irradiation amount and irradiation time of the radiation are adjusted to a degree sufficient to cure the radiation curable monomer layer. The radiation is adjusted so as to irradiate the resin surface, but the surface opposite to the resin surface may be irradiated.

(無機層)
本発明のガスバリア性フィルムの製造方法において作製する無機層は、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウム、スズなどの金属酸化物や窒化物又は酸窒化物からなる層であることが好ましく、それらの複合物からなる層であってもよい。
(Inorganic layer)
The inorganic layer produced in the method for producing a gas barrier film of the present invention is preferably a layer made of a metal oxide, nitride, or oxynitride such as silicon, aluminum, titanium, zirconium, tin, or a composite thereof. The layer which consists of may be sufficient.

無機層の形成法としては、蒸着法、スパッタリング法若しくはイオンプレーティング法等の物理的気相成長法(PVD)、種々の化学的気相成長法(CVD)若しくはめっきやゾルゲル法等の液相成長法がある。このうち、無機層形成時の基材フィルムへの熱の影響を回避し、生産速度が速く、均一な薄膜層を得やすい点で、化学的気相成長法(CVD)や物理的気相成長法(PVD)が好ましい。また、厚めの膜が得やすいという観点からゾルゲル法により無機層を形成することも好ましい。厚めの膜とは、ここでは100nm〜1μmの範囲の膜を示す。   The inorganic layer can be formed by vapor deposition, physical vapor deposition (PVD) such as sputtering or ion plating, various chemical vapor deposition (CVD), or liquid phase such as plating or sol-gel. There is a growth method. Among these, chemical vapor deposition (CVD) and physical vapor deposition are effective in avoiding the effects of heat on the base film during inorganic layer formation, high production speed, and easy to obtain a uniform thin film layer. The method (PVD) is preferred. Moreover, it is also preferable to form an inorganic layer by a sol-gel method from the viewpoint that a thick film can be easily obtained. Here, the thick film refers to a film in the range of 100 nm to 1 μm.

無機層の厚みは、30nm〜1μmであることが好ましく、50〜200nmであることがさらに好ましい。無機層の厚みが50nm〜1μmの範囲であれば、欠陥部分や結晶間の密度の低い部分による影響を受けにくく、高ガスバリア性が得られる。また変形した場合においても無機層の破壊を少なくすることができ、実用上好ましい。   The thickness of the inorganic layer is preferably 30 nm to 1 μm, and more preferably 50 to 200 nm. When the thickness of the inorganic layer is in the range of 50 nm to 1 μm, it is difficult to be affected by defective portions or portions having low density between crystals, and high gas barrier properties can be obtained. Further, even when it is deformed, the destruction of the inorganic layer can be reduced, which is preferable in practice.

(基材フィルム)
本発明のガスバリア性フィルムの製造方法に用いられる基材フィルムは、後述する画像表示素子として使用できるようにするため、耐熱性を有する素材からなるものの中から選択することが好ましい。好ましい基材フィルムは、ガラス転移温度(Tg)が100℃以上及び/又は線熱膨張係数が40ppm/℃以下で耐熱性の高い透明なプラスチックフィルムである。Tgや線膨張係数は、添加剤などによって変化させることができる。
(Base film)
The base film used in the method for producing a gas barrier film of the present invention is preferably selected from materials having heat resistance so that it can be used as an image display element described later. A preferable base film is a transparent plastic film having a glass transition temperature (Tg) of 100 ° C. or higher and / or a linear thermal expansion coefficient of 40 ppm / ° C. or lower and high heat resistance. Tg and the linear expansion coefficient can be changed by an additive or the like.

基材フィルムに用いられるポリマーは、熱可塑性ポリマー及び熱硬化性ポリマーのいずれでもよい。熱可塑性ポリマーは、ポリマー単体のTgが130〜300℃であるものが好ましく、160〜250℃であるものがさらに好ましい。また、光学的均一性を達成するためには、非晶性ポリマーであることが好ましい。このような熱可塑性樹脂として、以下のようなものが挙げられる(括弧内はTgを示す)。   The polymer used for the substrate film may be either a thermoplastic polymer or a thermosetting polymer. The thermoplastic polymer preferably has a polymer Tg of 130 to 300 ° C, more preferably 160 to 250 ° C. Further, in order to achieve optical uniformity, an amorphous polymer is preferable. Examples of such thermoplastic resins include the following (in parentheses indicate Tg).

ポリカーボネート(PC:140℃)、脂環式ポリオレフィン(例えば日本ゼオン(株)製 ゼオノア1600:160℃)、ポリアリレート(PAr:210℃)、ポリエーテルスルホン(PES:220℃)、ポリスルホン(PSF:190℃)、シクロオレフィンコポリマー(COC:特開2001−150584号公報の化合物:162℃)、フルオレン環変性ポリカーボネート(BCF−PC:特開2000−227603号公報の化合物:225℃)、脂環変性ポリカーボネート(IP−PC:特開2000−227603号公報の化合物:205℃)、アクリロイル化合物(特開2002−80616号公報の化合物:300℃以上)。特に、透明性を求める場合には脂環式ポレオレフィン等を使用するのが好ましい。   Polycarbonate (PC: 140 ° C.), alicyclic polyolefin (for example, ZEONOR 1600: 160 ° C. manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.), polyarylate (PAr: 210 ° C.), polyethersulfone (PES: 220 ° C.), polysulfone (PSF: 190 ° C), cycloolefin copolymer (COC: compound of JP 2001-150584 A, 162 ° C.), fluorene ring-modified polycarbonate (BCF-PC: compound of JP 2000-227603 A: 225 ° C.), alicyclic modification Polycarbonate (IP-PC: compound of JP 2000-227603 A: 205 ° C.), acryloyl compound (compound of JP 2002-80616 A: 300 ° C. or higher). In particular, when transparency is required, it is preferable to use an alicyclic polyolefin or the like.

熱硬化性ポリマーとしては、エポキシ系樹脂及び放射線硬化性樹脂が挙げられる。エポキシ系樹脂は、ポリフェノ−ル型、ビスフェノール型、ハロゲン化ビスフェノール型、ノボラック型のものが挙げられる。エポキシ系樹脂を硬化させるための硬化剤は、公知の硬化剤を用いることができる。例えば、アミン系、ポリアミノアミド系、酸及び酸無水物、イミダゾール、メルカプタン、フェノール樹脂等の硬化剤が挙げられる。中でも、耐溶剤性、光学特性、熱特性等の観点から、酸無水物及び酸無水物構造を含むポリマー又は脂肪族アミン類が好ましく用いられ、特に好ましいのは、酸無水物及び酸無水物構造を含むポリマーである。さらに、公知の第三アミン類やイミダゾール類等の硬化触媒を適量加えることが好ましい。放射線硬化性樹脂としては、上記の樹脂層に用いたものと同じものを例示することができる。   Examples of the thermosetting polymer include epoxy resins and radiation curable resins. Examples of the epoxy resin include polyphenol type, bisphenol type, halogenated bisphenol type, and novolac type. A known curing agent can be used as the curing agent for curing the epoxy resin. Examples thereof include curing agents such as amines, polyaminoamides, acids and acid anhydrides, imidazoles, mercaptans, and phenol resins. Among them, from the viewpoints of solvent resistance, optical properties, thermal properties, etc., polymers or aliphatic amines containing acid anhydrides and acid anhydride structures are preferably used, and particularly preferred are acid anhydrides and acid anhydride structures. It is a polymer containing. Furthermore, it is preferable to add an appropriate amount of a known curing catalyst such as tertiary amines and imidazoles. Examples of the radiation curable resin are the same as those used for the resin layer.

製造したガスバリア性フィルムをディスプレイ等の画像表示素子として利用する場合には、透明な基材フィルム、すなわち、光線透過率が80%以上、好ましくは85%以上、さらに好ましくは90%以上である基材フィルムを用いることが好ましい。基材フィルムの光線透過率が80%以上あれば、後述する有機EL素子の基材フィルムとして好適に用いることができる。   When the produced gas barrier film is used as an image display element such as a display, a transparent substrate film, that is, a base having a light transmittance of 80% or more, preferably 85% or more, more preferably 90% or more. It is preferable to use a material film. If the light transmittance of the base film is 80% or more, it can be suitably used as a base film of an organic EL element described later.

ディスプレイ用途に用いる場合でも観察側に設置しない場合や不透明包装材料など、必ずしも透明性が要求されない用途に対しては、不透明な材料を用いることができることはいうまでもない。例えばポリイミド、ポリアクリロニトリル、公知の液晶ポリマーなどが挙げられる。   It goes without saying that an opaque material can be used for applications that do not necessarily require transparency, such as when not used on the viewing side even when used for display applications, or for opaque packaging materials. Examples thereof include polyimide, polyacrylonitrile, and known liquid crystal polymers.

なお、本明細書において透明の尺度として用いられる光線透過率は、JIS−K7105に記載された方法、すなわち積分球式光線透過率測定装置を用いて全光線透過率及び散乱光量を測定し、全光線透過率から拡散透過率を引いて算出することができる。   The light transmittance used as a scale of transparency in this specification is determined by measuring the total light transmittance and the amount of scattered light using the method described in JIS-K7105, that is, using an integrating sphere light transmittance measuring device. It can be calculated by subtracting the diffuse transmittance from the light transmittance.

(透明導電層)
本発明の製造方法では、フィルムの少なくとも片面側に透明導電層を積層することができる。透明導電層としては、公知の金属膜、金属酸化物膜等を適用できる。中でも、透明性、導電性、機械的特性に優れた金属酸化物膜を透明導電層とすることが好ましい。金属酸化物膜は、例えば、不純物としてスズ、テルル、カドミウム、モリブテン、タングステン、フッ素、亜鉛、ゲルマニウム等を添加した酸化インジウム、酸化カドミウムまたは酸化スズの金属酸化物膜;不純物としてアルミニウムを添加した酸化亜鉛、酸化チタン等の金属酸化物膜が挙げられる。中でも酸化スズから主としてなり、酸化亜鉛を2〜15質量%含有した酸化インジウムの薄膜が、透明性、導電性が優れており、好ましく用いられる。
(Transparent conductive layer)
In the production method of the present invention, a transparent conductive layer can be laminated on at least one side of the film. A known metal film, metal oxide film, or the like can be applied as the transparent conductive layer. Among these, a metal oxide film having excellent transparency, conductivity, and mechanical properties is preferably used as the transparent conductive layer. The metal oxide film is, for example, a metal oxide film of indium oxide, cadmium oxide or tin oxide to which tin, tellurium, cadmium, molybdenum, tungsten, fluorine, zinc, germanium or the like is added as an impurity; an oxide to which aluminum is added as an impurity Examples thereof include metal oxide films such as zinc and titanium oxide. Among them, an indium oxide thin film mainly composed of tin oxide and containing 2 to 15% by mass of zinc oxide is excellent in transparency and conductivity, and is preferably used.

これら透明導電層の成膜方法は、目的の薄膜を形成できる方法であれば、いかなる方法でもよい。例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法、Cat−CVD法等の気相中より材料を堆積させて膜形成する気相堆積法などが適しており、特許第3400324号公報、特開2002−322561号公報、特開2002−361774号公報記載の方法で成膜することができる。中でも、特に優れた導電性・透明性が得られるという観点から、スパッタリング法が好ましい。   The transparent conductive layer can be formed by any method as long as it can form a target thin film. For example, a vapor deposition method that forms a film by depositing a material from the vapor phase, such as sputtering, vacuum deposition, ion plating, plasma CVD, and Cat-CVD, is suitable. The film can be formed by the methods described in Japanese Patent Laid-Open Nos. 2002-322561 and 2002-361774. Among these, the sputtering method is preferable from the viewpoint that particularly excellent conductivity and transparency can be obtained.

スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、またはプラズマCVD法の好ましい真空度は0.133mPa〜6.65Pa、好ましくは0.665mPa〜1.33Paである。透明導電層を形成する前に、プラズマ処理(逆スパッタ)、またはコロナ処理のように基材フィルムに表面処理を加えることが好ましい。また透明導電層を設けている間に50〜200℃に昇温してもよい。   The preferred degree of vacuum of the sputtering method, vacuum deposition method, ion plating method, or plasma CVD method is 0.133 mPa to 6.65 Pa, preferably 0.665 mPa to 1.33 Pa. Before forming the transparent conductive layer, it is preferable to subject the base film to a surface treatment such as plasma treatment (reverse sputtering) or corona treatment. Moreover, you may heat up to 50-200 degreeC during providing the transparent conductive layer.

このようにして得られた透明導電層の膜厚は、20〜500nmであることが好ましく、50〜300nmであることがさらに好ましい。   The film thickness of the transparent conductive layer thus obtained is preferably 20 to 500 nm, and more preferably 50 to 300 nm.

透明導電層の25℃、相対湿度60%で測定した表面電気抵抗は、0.1〜200Ω/□であることが好ましく、0.1〜100Ω/□であることがより好ましく。0.5〜60Ω/□であることがさらに好ましい。また、透明導電層の光透過性は、80%以上であることが好ましく、83%以上であることがより好ましく、85%以上であることがさらに好ましい。   The surface electrical resistance of the transparent conductive layer measured at 25 ° C. and 60% relative humidity is preferably 0.1 to 200Ω / □, and more preferably 0.1 to 100Ω / □. More preferably, it is 0.5-60Ω / □. Moreover, the light transmittance of the transparent conductive layer is preferably 80% or more, more preferably 83% or more, and further preferably 85% or more.

[ガスバリア性フィルム]
本発明の製造方法により製造されるガスバリア性フィルムは、高いガスバリア性能と優れた耐屈曲性を有する。本発明の製造方法により製造される好ましいガスバリア性フィルムは、38℃・相対湿度90%における酸素透過率が0.01ml/(m2・day・atm)以下であり、かつ38℃・相対湿度90%における水蒸気透過率が0.01g/(m2・day)以下である。本発明の製造方法により製造されるより好ましいガスバリア性フィルムは、38℃・相対湿度90%における酸素透過率が0.005ml/(m2・day・atm)以下であり、かつ38℃・相対湿度90%における水蒸気透過率が0.005g/(m2・day)以下である。また、本発明の製造方法により製造されるガスバリア性フィルムは、繰り返して屈曲しても高いガスバリア性を維持しうる。
[Gas barrier film]
The gas barrier film produced by the production method of the present invention has high gas barrier performance and excellent bending resistance. A preferable gas barrier film produced by the production method of the present invention has an oxygen permeability of 0.01 ml / (m 2 · day · atm) or less at 38 ° C. and 90% relative humidity, and 38 ° C. and 90% relative humidity. % Water vapor transmission rate is 0.01 g / (m 2 · day) or less. A more preferable gas barrier film produced by the production method of the present invention has an oxygen transmission rate of not more than 0.005 ml / (m 2 · day · atm) at 38 ° C. and 90% relative humidity, and 38 ° C./relative humidity. The water vapor transmission rate at 90% is 0.005 g / (m 2 · day) or less. In addition, the gas barrier film produced by the production method of the present invention can maintain high gas barrier properties even when it is repeatedly bent.

本発明の製造方法により製造されるガスバリア性フィルムは、水蒸気や酸素等を遮断することが必要とされる多種多様な物品や、フレキシブルな物品に効果的に応用しうる。例えば、食品包装用フィルム、工業製品包装用フィルム、医薬品包装用フィルム、フレキシブルディスプレイ用基板フィルム、フラットパネルディスプレイ用基板フィルム、太陽電池用基板フィルム、タッチパネル用基板フィルム、フレキシブル回路用基板フィルム、光ディスク保護フィルム、光学フィルム、位相差フィルム、偏光板保護フィルム、透明導電フィルムなどに用いることができる。   The gas barrier film produced by the production method of the present invention can be effectively applied to a wide variety of articles and flexible articles that are required to block water vapor, oxygen and the like. For example, food packaging film, industrial product packaging film, pharmaceutical packaging film, flexible display substrate film, flat panel display substrate film, solar cell substrate film, touch panel substrate film, flexible circuit substrate film, optical disc protection It can be used for films, optical films, retardation films, polarizing plate protective films, transparent conductive films and the like.

[画像表示素子]
特に、本発明のガスバリア性フィルムは、画像表示素子に効果的に使用することができる。ここでいう画像表示素子とは、例えば円偏光板、液晶表示素子、有機EL素子、電子ペーパーなどの画像表示機能を有する素子全般を指す。これらの画像表示素子において、本発明のガスバリア性フィルムは基板や封止フィルム等として好適に用いることができる。本発明のガスバリア性フィルムは優れた耐屈曲性を有することから、フレキシブルな画像表示素子に用いれば、その特徴を効果的に利用することができる。ここでいうフレキシブルとは、ガスバリア性フィルムを適用する箇所の形状が固定されておらず、使用態様に応じてその形状を変えることができる機能を有することを意味する。フレキシブルな画像表示素子の具体例として、有機EL素子、電子ペーパーなどを挙げることができる。
以下において、本発明のガスバリア性フィルムを好ましく使用することができる円偏光板、液晶表示素子、有機EL素子について順に説明する。
[Image display element]
In particular, the gas barrier film of the present invention can be effectively used for an image display element. Here, the image display element refers to all elements having an image display function such as a circularly polarizing plate, a liquid crystal display element, an organic EL element, and electronic paper. In these image display elements, the gas barrier film of the present invention can be suitably used as a substrate or a sealing film. Since the gas barrier film of the present invention has excellent bending resistance, the characteristics can be effectively used when used in a flexible image display element. The term “flexible” as used herein means that the shape of the portion to which the gas barrier film is applied is not fixed and has a function capable of changing the shape according to the use mode. Specific examples of flexible image display elements include organic EL elements and electronic paper.
Below, the circularly-polarizing plate, liquid crystal display element, and organic EL element which can use the gas barrier film of this invention preferably are demonstrated in order.

(円偏光板)
円偏光板は、本発明のガスバリア性フィルム上に、λ/4板と偏光板とを積層することで作製することができる。この場合、λ/4の遅相軸と偏光板の吸収軸とが45°になるように積層する。このような偏光板は、長手方向(MD)に対し45°方向に延伸されているものを用いることが好ましく、例えば、特開2002−865554号公報に記載のものを好適に用いることができる。
(Circularly polarizing plate)
The circularly polarizing plate can be produced by laminating a λ / 4 plate and a polarizing plate on the gas barrier film of the present invention. In this case, the lamination is performed so that the slow axis of λ / 4 and the absorption axis of the polarizing plate are 45 °. As such a polarizing plate, it is preferable to use what is extended | stretched in the 45 degree direction with respect to the longitudinal direction (MD), For example, what is described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-865554 can be used suitably.

(液晶表示素子)
液晶表示装置は、反射型液晶表示装置と透過型液晶表示装置とに大別することができる。
反射型液晶表示装置は、下方から順に、下基板、反射電極、下配向膜、液晶層、上配向膜、透明電極、上基板、λ/4板、そして偏光膜からなる構成を有する。本発明のガスバリア性フィルムは、透明電極および上基板として使用することができる。反射型液晶表示装置にカラー表示機能をもたせる場合には、さらにカラーフィルター層を反射電極と下配向膜との間、または、上配向膜と透明電極との間に設けることが好ましい。
(Liquid crystal display element)
Liquid crystal display devices can be broadly classified into reflective liquid crystal display devices and transmissive liquid crystal display devices.
The reflective liquid crystal display device has a configuration including a lower substrate, a reflective electrode, a lower alignment film, a liquid crystal layer, an upper alignment film, a transparent electrode, an upper substrate, a λ / 4 plate, and a polarizing film in order from the bottom. The gas barrier film of the present invention can be used as a transparent electrode and an upper substrate. When the reflective liquid crystal display device has a color display function, it is preferable to further provide a color filter layer between the reflective electrode and the lower alignment film, or between the upper alignment film and the transparent electrode.

透過型液晶表示装置は、下方から順に、バックライト、偏光板、λ/4板、下透明電極、下配向膜、液晶層、上配向膜、上透明電極、上基板、λ/4板および偏光膜からなる構成を有する。このうち本発明のガスバリア性フィルムは、上透明電極および上基板として使用することができる。また、透過型液晶表示装置にカラー表示機能をもたせる場合には、さらにカラーフィルター層を下透明電極と下配向膜との間、または、上配向膜と透明電極との間に設けることが好ましい。   The transmissive liquid crystal display device includes a backlight, a polarizing plate, a λ / 4 plate, a lower transparent electrode, a lower alignment film, a liquid crystal layer, an upper alignment film, an upper transparent electrode, an upper substrate, a λ / 4 plate, and a polarization, in that order It has a structure consisting of a film. Among these, the gas barrier film of the present invention can be used as an upper transparent electrode and an upper substrate. Further, when the transmissive liquid crystal display device is provided with a color display function, it is preferable to further provide a color filter layer between the lower transparent electrode and the lower alignment film, or between the upper alignment film and the transparent electrode.

液晶層の構造は特に限定されないが、例えば、TN(Twisted Nematic)型、STN(Super Twisted Nematic)型またはHAN(Hybrid Aligned Nematic)型、VA(Vertical Alignment)型、ECB(Electrically Controlled Birefringence)型、OCB(Optically Compensated Bend)型、または、CPA(Continuous Pinwheel Alignment)型であることが好ましい。   The structure of the liquid crystal layer is not particularly limited. An OCB (Optically Compensated Bend) type or a CPA (Continuous Pinwheel Alignment) type is preferable.

(有機EL素子)
有機EL素子は、基板上に陰極と陽極を有し、両電極の間に有機発光層(以下、単に「発光層」と称する場合がある。)を含む有機化合物層を有する。発光素子の性質上、陽極および陰極のうち少なくとも一方の電極は、透明であることが好ましい。有機EL素子の具体的な層構成としては、陽極/発光層/透明陰極、陽極/発光層/電子輸送層/透明陰極、陽極/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/透明陰極、陽極/ホール輸送層/発光層/透明陰極、陽極/発光層/電子輸送層/電子注入層/透明陰極、陽極/ホール注入層/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/透明陰極等が挙げられる。透明導電層を有する本発明のガスバリア性フィルムは、これらの層構成の中で透明電極として使用しうる。
(Organic EL device)
An organic EL element has a cathode and an anode on a substrate, and an organic compound layer including an organic light emitting layer (hereinafter sometimes simply referred to as “light emitting layer”) between both electrodes. In view of the properties of the light emitting element, at least one of the anode and the cathode is preferably transparent. The specific layer structure of the organic EL device includes anode / light emitting layer / transparent cathode, anode / light emitting layer / electron transport layer / transparent cathode, anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / transparent cathode, anode / Hole transport layer / light emitting layer / transparent cathode, anode / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / transparent cathode, anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / transparent cathode, etc. Is mentioned. The gas barrier film of the present invention having a transparent conductive layer can be used as a transparent electrode in these layer configurations.

本発明のガスバリア性フィルムを有機EL等に用いる場合には、特開平11−335661号、特開平11−335368号、特開2001−192651号、特開2001−192652号、特開2001−192653号、特開2001−335776号、特開2001−247859号、特開2001−181616号、特開2001−181617号、特開2002−181816号、特開2002−181617号、特開2002−056976号等の各公報記載の内容、及び特開2001−148291号、特開2001−221916号、特開2001−231443号各公報と併せて用いることが好ましい。すなわち、本発明のガスバリア性フィルムを、有機EL素子を形成する場合の基材フィルム、及び/又は保護フィルムとして用いることができる。   When the gas barrier film of the present invention is used for an organic EL or the like, JP-A-11-335661, JP-A-11-335368, JP-A-2001-192651, JP-A-2001-192652, JP-A-2001-192653. JP, 2001-335776, JP, 2001-247859, JP, 2001-181616, JP, 2001-181617, JP, 2002-181816, JP, 2002-181617, JP, 2002-056776, etc. It is preferable to use together with the content of each of these publications, and JP 2001-148291, JP 2001-221916, JP 2001-231443. That is, the gas barrier film of the present invention can be used as a base film and / or a protective film when forming an organic EL element.

以下に実施例と比較例を挙げて本発明の特徴をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。   The features of the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the specific examples shown below.

<実施例1>
(基材フィルムの作製)
シクロオレフィンポリマー系樹脂[日本ゼオン(株)製、ゼオノア1600R、Tg163℃]100質量部に、合成雲母[コープケミカル(株)製、ソマシフMTE]10質量部を混合した後、二軸押出機[独ハーケ社製、レオミックス600P/PTW25]を用いて、270℃で混練・押出しすることにより、膜厚200μmの基材フィルム1Aを得た。基材フィルム1Aの550nmの光透過率は90%であった。
<Example 1>
(Preparation of base film)
After mixing 10 parts by mass of a synthetic mica [Coop Chemical Co., Ltd., Somasif MTE] with 100 parts by mass of cycloolefin polymer resin [manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd., ZEONOR 1600R, Tg163 ° C.], a twin screw extruder [ A base film 1A having a film thickness of 200 μm was obtained by kneading and extruding at 270 ° C. using Rhemix 600P / PTW25] manufactured by Haake, Germany. The light transmittance at 550 nm of the base film 1A was 90%.

(無機層の作製)
基材フィルム1A上に、真空下で反応蒸着させることにより、膜厚60nmのアルミナ層を無機層としてスパッタリング法により形成させた。これをフィルム2Aとした。
(Preparation of inorganic layer)
On the base film 1A, a reactive vapor deposition was performed under vacuum to form an alumina layer having a thickness of 60 nm as an inorganic layer by a sputtering method. This was designated as film 2A.

(樹脂層の作製)
光重合性アクリレートとしてトリプロピレングリコールジアクリレートを10g、および光重合開始剤[チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製、IRGACURE907]を0.1g用意し、これらをメチルエチルケトン190gに溶解させて塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルム1Aの上に塗布し、酸素濃度0.1%以下の窒素パージ下で80℃にて5分間加熱処理をし、続いて160W/cmの空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)を用いて、照度350mW/cm2、照射量500mJ/cm2の紫外線を照射しながら80℃にて5分加熱することにより膜厚300nmの樹脂層を形成させた。これをガスバリア性フィルム2Bとした。
光重合性アクリレートとしてトリプロピレングリコールジアクリレートのかわりにダイセル・サイテック(株)製IRR−214Kを用いた以外はフィルム2Bと同様の条件で基材フィルム1A上に成膜したものをガスバリア性フィルム2Dとした。さらに、ガスバリア性フィルム2B、2Dにおいて紫外線硬化前の加熱処理を施さないものをそれぞれガスバリア性フィルム2C、2Eとした。
また、基材フィルム1Aのかわりにフィルム2Aを用いて、その上にガスバリア性フィルム2B〜2Eと同じ方法により各樹脂層を製膜したものを、それぞれガスバリア性フィルム3A〜3Dとした。
(Production of resin layer)
10 g of tripropylene glycol diacrylate as a photopolymerizable acrylate and 0.1 g of a photopolymerization initiator [Ciba Specialty Chemicals, IRGACURE907] were prepared and dissolved in 190 g of methyl ethyl ketone to obtain a coating solution. . This coating solution is applied onto the base film 1A using a wire bar, and heat-treated at 80 ° C. for 5 minutes under a nitrogen purge with an oxygen concentration of 0.1% or less, followed by 160 W / cm air cooling. Using a metal halide lamp (made by Eye Graphics Co., Ltd.), a resin layer having a film thickness of 300 nm is obtained by heating at 80 ° C. for 5 minutes while irradiating ultraviolet rays with an illuminance of 350 mW / cm 2 and an irradiation amount of 500 mJ / cm 2. Formed. This was designated as gas barrier film 2B.
A gas barrier film 2D formed on the base film 1A under the same conditions as the film 2B except that IRR-214K manufactured by Daicel Cytec Co., Ltd. was used instead of tripropylene glycol diacrylate as the photopolymerizable acrylate. It was. Further, the gas barrier films 2B and 2D which were not subjected to the heat treatment before UV curing were designated as gas barrier films 2C and 2E, respectively.
Further, the film 2A was used in place of the base film 1A, and the respective resin layers were formed on the film 2A by the same method as the gas barrier films 2B to 2E, which were designated as gas barrier films 3A to 3D, respectively.

(無機層の作製)
ガスバリア性フィルム2B〜2Eの樹脂層の上に、上記と同様の条件で膜厚60nmのアルミナ層を成膜したものを、それぞれガスバリア性フィルム3E〜3Hとした。
また、ガスバリア性フィルム3A〜3Dの樹脂層の上に、上記と同様の条件で膜厚60nmのアルミナ層を成膜したものを、それぞれガスバリア性フィルム4A〜4Dとした。
(Preparation of inorganic layer)
On the resin layers of the gas barrier films 2B to 2E, an alumina layer having a film thickness of 60 nm was formed under the same conditions as described above, and the gas barrier films 3E to 3H were obtained.
Moreover, what formed the 60-nm-thickness alumina layer on the resin barrier of gas barrier film 3A-3D on the conditions similar to the above was made into gas barrier film 4A-4D, respectively.

(透明導電層の作製)
ガスバリア性フィルム4Aを真空チャンバー内に導入し、ITOターゲットを用いて、DCマグネトロンスパッタリングにより、膜厚200nmのITO薄膜からなる透明導電層(透明電極)を無機層の上に形成した。これをガスバリア性フィルム5Aとした。
(Preparation of transparent conductive layer)
The gas barrier film 4A was introduced into a vacuum chamber, and a transparent conductive layer (transparent electrode) made of an ITO thin film having a thickness of 200 nm was formed on the inorganic layer by DC magnetron sputtering using an ITO target. This was designated as a gas barrier film 5A.

<試験例>
(密着性の試験)
積層膜の密着性を評価する目的で、JIS K5400に準拠した碁盤目試験を行なった。ガスバリア性フィルム2B〜2Eおよび3A〜3Dの樹脂層側の表面、並びに、ガスバリア性フィルム3E〜3Hおよび4A〜4Dの無機層側の表面に、それぞれカッターナイフで膜面に対して90°の切込みを1mm間隔で入れ、1mm間隔の碁盤目を100個作製した。この上に2cm幅のマイラーテープ[日東電工製、ポリエステルテープ(No.31B)]を貼り付け、テープ剥離試験機を使用して貼り付けたテープをはがした。フィルム上の100個の碁盤目のうち剥離せずに残存したマスの数をカウントし評価した。結果を表1に示す。
<Test example>
(Adhesion test)
In order to evaluate the adhesion of the laminated film, a cross-cut test based on JIS K5400 was performed. The surface of the gas barrier films 2B to 2E and 3A to 3D on the resin layer side and the surface of the gas barrier films 3E to 3H and 4A to 4D on the inorganic layer side are each cut by 90 ° with respect to the film surface with a cutter knife. Were placed at 1 mm intervals to make 100 grids at 1 mm intervals. A 2 cm wide Mylar tape [manufactured by Nitto Denko, polyester tape (No. 31B)] was applied thereto, and the tape attached using a tape peeling tester was peeled off. Of the 100 grids on the film, the number of cells remaining without peeling was counted and evaluated. The results are shown in Table 1.

(屈曲時におけるガスバリア性の試験)
ガスバリア性フィルム3E〜3Hおよび4A〜4Dをそれぞれ20cm×30cmに切り出し、無機層および樹脂層を形成した側を外側にして両端を貼り合せ円柱状にした後、12mmΦの搬送ローラー2本を両ローラー間に約1Nの張力をかけてフィルムとローラー部が完全に接触し、かつフィルムが滑らぬよう注意しながら30cm/分でフィルムを回転搬送させた。各フィルムは25℃、相対湿度60%の環境で8時間調湿したものを用い、同条件の実験室にて試験を行った。上記操作の後、酸素透過率および水蒸気透過率を、38℃、相対湿度10%または90%にて、MOCON法(酸素:MOCON OX−TRAN 2/20L、水蒸気:MOCON PERMATRAN−W(3)/31)によって測定した。結果を表2に示す。
(Gas barrier property test during bending)
The gas barrier films 3E to 3H and 4A to 4D are cut into 20cm x 30cm, respectively, the ends on which the inorganic layer and the resin layer are formed are outside, and both ends are bonded to form a cylindrical shape. The film was rotated and conveyed at 30 cm / min while applying a tension of about 1 N between the film and the roller part so that the film and the roller part were in complete contact and the film did not slip. Each film was conditioned for 8 hours in an environment of 25 ° C. and a relative humidity of 60%, and the test was performed in a laboratory under the same conditions. After the above operation, the oxygen transmission rate and water vapor transmission rate were adjusted to 38 ° C. and relative humidity of 10% or 90% using the MOCON method (oxygen: MOCON OX-TRAN 2/20 L, water vapor: MOCON PERMATRAN-W (3) / 31). The results are shown in Table 2.

Figure 2007269957
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Figure 2007269957
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(評価)
表2より、樹脂層を成膜する際にアクリレートの紫外線硬化前に加熱処理を施したガスバリア性フィルム3E、3G、4A、4Cは、紫外線硬化前に加熱処理を行わなかったガスバリア性フィルム3F、3H、4B、4Dより、フィルム屈曲時における酸素透過率および水蒸気透過率が優れていることが分かる。さらに、基材フィルム上に第一層および第三層として無機層を複数層設けたガスバリア性フィルム4A、4Cは、さらにガスバリア性が向上したことがわかる。一方、第一層および第三層として無機層を設けたものであっても、樹脂層の成膜時に加熱処理を施さなかったガスバリア性フィルム4B、4Dは、屈曲時のガスバリア性が悪かった。このことから、樹脂層成膜の際に紫外線硬化に先だって加熱処理を行うことで、ベースフィルムや無機層と樹脂層との間の密着を強固にし、積層膜の層間剥離を抑制していることが明らかになった。また、表1より、樹脂層を成膜する際にアクリレートの紫外線硬化に先だって加熱処理を施したガスバリア性フィルムは、樹脂層と無機層の密着が良好であり層間剥離を生じることがなかった。これより、本発明のガスバリア性フィルムは、樹脂層を成膜する際にアクリレートの紫外線硬化に先だって加熱処理を行うことにより界面での密着性が向上し、屈曲時においても良好なガスバリア性能が得られることが分かる。
(Evaluation)
From Table 2, the gas barrier films 3E, 3G, 4A, and 4C that were heat-treated before the ultraviolet curing of the acrylate when forming the resin layer are the gas barrier films 3F that were not heat-treated before the ultraviolet curing. It can be seen from 3H, 4B, and 4D that the oxygen permeability and water vapor permeability during film bending are excellent. Furthermore, it can be seen that the gas barrier properties of the gas barrier films 4A and 4C in which a plurality of inorganic layers are provided as the first layer and the third layer on the base film are further improved. On the other hand, even when the inorganic layers were provided as the first layer and the third layer, the gas barrier films 4B and 4D that were not subjected to the heat treatment when the resin layer was formed had poor gas barrier properties when bent. From this, heat treatment is performed prior to UV curing when forming the resin layer, thereby strengthening the adhesion between the base film or inorganic layer and the resin layer, and suppressing delamination of the laminated film Became clear. Further, from Table 1, the gas barrier film that had been heat-treated prior to the UV curing of the acrylate when forming the resin layer had good adhesion between the resin layer and the inorganic layer and did not cause delamination. As a result, the gas barrier film of the present invention improves the adhesion at the interface by performing a heat treatment prior to UV curing of the acrylate when forming the resin layer, and provides a good gas barrier performance even when bent. I understand that

(実施例2)
本実施例において、本発明のガスバリア性フィルム5Aを用いて基板および有機EL素子を作製して試験した。
ガスバリア性フィルム5Aの透明電極(ITO)より、アルミニウムのリ−ド線を結線し、積層構造体を形成した。透明電極の表面に、ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンスルホン酸の水性分散液[BAYER社製、Baytron P:固形分1.3質量%]をスピンコートした後、150℃で2時間真空乾燥し、厚さ100nmのホール輸送性有機薄膜層を形成した。これを基板Xとした。
(Example 2)
In this example, a substrate and an organic EL device were produced and tested using the gas barrier film 5A of the present invention.
An aluminum lead wire was connected from the transparent electrode (ITO) of the gas barrier film 5A to form a laminated structure. The surface of the transparent electrode was spin-coated with an aqueous dispersion of polyethylene dioxythiophene / polystyrene sulfonic acid [BAYER, Baytron P: solid content: 1.3% by mass], and then vacuum-dried at 150 ° C. for 2 hours, A hole-transporting organic thin film layer having a thickness of 100 nm was formed. This was designated as substrate X.

一方、厚さ188μmのポリエーテルスルホン[住友ベークライト(株)製、スミライトFS−1300]からなる仮支持体の片面上に、下記の組成を有する発光性有機薄膜層用塗布液をスピンコーターを用いて塗布し、室温で乾燥することにより、厚さ13nmの発光性有機薄膜層を仮支持体上に形成した。これを転写材料Yとした。
ポリビニルカルバゾール 40質量部
(Mw=63000、アルドリッチ社製)
トリス(2−フェニルピリジン)イリジウム錯体 1質量部
(オルトメタル化錯体)
1,2−ジクロロエタン 3200質量部
On the other hand, using a spin coater, a coating solution for a light-emitting organic thin film layer having the following composition is formed on one surface of a temporary support made of polyethersulfone [Sumitomo Bakelite Co., Ltd., Sumilite FS-1300] having a thickness of 188 μm. By coating and drying at room temperature, a light-emitting organic thin film layer having a thickness of 13 nm was formed on the temporary support. This was designated as transfer material Y.
Polyvinylcarbazole 40 parts by mass (Mw = 63000, manufactured by Aldrich)
Tris (2-phenylpyridine) iridium complex 1 part by mass (orthometalated complex)
1,200 parts by mass of 1,2-dichloroethane

前記基板Xの有機薄膜層の上面に転写材料Yの発光性有機薄膜層側を重ね、一対の熱ローラーを用い160℃、0.3MPa、0.05m/minで加熱・加圧し、仮支持体を引き剥がすことにより、基板Xの上面に発光性有機薄膜層を形成した。これを基板XYとした。   The luminescent organic thin film layer side of the transfer material Y is superimposed on the upper surface of the organic thin film layer of the substrate X, and heated and pressurized at 160 ° C., 0.3 MPa, 0.05 m / min using a pair of heat rollers, and a temporary support Was peeled off to form a light-emitting organic thin film layer on the upper surface of the substrate X. This was designated as substrate XY.

25mm角に裁断した厚さ50μmのポリイミドフィルム[宇部興産製、UPILEX−50S]の片面上に、パターニングしたマスク(発光面積が5mmx5mmとなるマスク)を設置し、蒸着法により、250nmの膜厚でAlを製膜し、さらに蒸着法により3nmの膜厚でLiFを製膜した。得られた積層構造体の上に下記の組成を有する電子輸送性有機薄膜層用塗布液をスピンコーター塗布機を用いて塗布し、80℃で2時間真空乾燥することにより、厚さ15nmの電子輸送性有機薄膜層をLiF上に形成した。さらにAl電極よりアルミニウムのリード線を結線し、これを基板Zとした。
ポリビニルブチラール2000L 10質量部
(Mw=2000、電気化学工業社製)
1−ブタノール 3500質量部
下記構造を有する電子輸送性化合物 20質量部
A patterned mask (a mask with a light emitting area of 5 mm × 5 mm) is placed on one side of a polyimide film [UPILEX-50S, manufactured by Ube Industries, Ltd.] having a thickness of 50 μm cut into 25 mm square, and a film thickness of 250 nm is obtained by vapor deposition. Al was formed into a film, and LiF was formed into a film with a thickness of 3 nm by vapor deposition. A coating solution for an electron transporting organic thin film layer having the following composition is applied onto the obtained laminated structure using a spin coater coating machine, and vacuum dried at 80 ° C. for 2 hours, whereby an electron having a thickness of 15 nm is obtained. A transportable organic thin film layer was formed on LiF. Furthermore, an aluminum lead wire was connected from the Al electrode, and this was used as a substrate Z.
Polyvinyl butyral 2000L 10 parts by mass (Mw = 2000, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.)
1-butanol 3500 parts by mass An electron transporting compound having the following structure 20 parts by mass

Figure 2007269957
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基板XYと基板Zを用い、電極同士が発光性有機薄膜層を挟んで対面するように重ね合せ、一対の熱ローラーを用い160℃、0.3MPa、0.05m/minで加熱・加圧し、貼り合せて有機EL素子を作製した。   Using the substrates XY and Z, the electrodes are stacked so that the electrodes face each other with the light-emitting organic thin film layer interposed therebetween, and heated and pressurized at 160 ° C., 0.3 MPa, 0.05 m / min using a pair of heat rollers, The organic EL element was produced by bonding.

得られた有機EL素子にソースメジャーユニット2400型(東洋テクニカ(株)製)を用いて、直流電圧を印加したところ、作製した有機EL素子は良好に発光した。有機EL素子を、素子作成後25℃、相対湿度10%と90%下に12時間ずつ10日間放置し、同様にして発光させてみたが素子の劣化は見られなかった。以上より、本発明の有機EL素子は、高い耐久性を示すことが分かった。   When a direct voltage was applied to the obtained organic EL element using a source measure unit 2400 type (manufactured by Toyo Technica Co., Ltd.), the produced organic EL element emitted light well. The organic EL device was allowed to stand for 10 days at 25 ° C. and 10% and 90% relative humidity for 10 hours after the device was fabricated, and the device was allowed to emit light in the same manner, but no deterioration of the device was observed. As mentioned above, it turned out that the organic EL element of this invention shows high durability.

本発明のガスバリア性フィルムは、高いガスバリア性能と優れた耐屈曲性を有する。このため、水蒸気や酸素等を遮断することが必要とされる多種多様な物品や、フレキシブルな物品に効果的に応用しうる。また、本発明によれば、高い耐久性を有する高精細な画像表示素子を提供することが可能であり、特にフレキシブルな高精細ディスプレイに好ましく適用しうる。したがって、本発明は産業上の利用可能性が高い。   The gas barrier film of the present invention has high gas barrier performance and excellent bending resistance. For this reason, it can be effectively applied to a wide variety of articles that need to block water vapor, oxygen, and the like, and flexible articles. Moreover, according to the present invention, it is possible to provide a high-definition image display element having high durability, and it can be preferably applied to a flexible high-definition display. Therefore, the present invention has high industrial applicability.

Claims (11)

基材フィルム上に放射線硬化性モノマー層を設ける工程と、該放射線硬化性モノマー層を加熱処理する工程と、該加熱処理後の放射線硬化性モノマー層を放射線により硬化させる工程と、を含むことを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。   Including a step of providing a radiation-curable monomer layer on a base film, a step of heat-treating the radiation-curable monomer layer, and a step of curing the radiation-curable monomer layer after the heat treatment with radiation. A method for producing a gas barrier film. 基材フィルム上に設けられた無機層の上に放射線硬化性モノマー層を設ける工程と、該放射線硬化性モノマー層を加熱処理する工程と、該加熱処理後の放射線硬化性モノマー層を放射線により硬化させる工程と、を含むことを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。   A step of providing a radiation-curable monomer layer on an inorganic layer provided on a base film, a step of heat-treating the radiation-curable monomer layer, and curing the radiation-curable monomer layer after the heat treatment with radiation A gas barrier film manufacturing method comprising the steps of: 前記硬化後の放射線硬化性樹脂層の上に無機層を設ける工程をさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。   The method for producing a gas barrier film according to claim 1, further comprising a step of providing an inorganic layer on the radiation-curable resin layer after the curing. 前記硬化後の放射線硬化性樹脂層の上に、下記の工程(1)と工程(2)を交互にそれぞれ少なくとも1回ずつ行うことを特徴とする請求項1または2に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。
工程(1): 硬化後の放射線硬化性樹脂層の上に無機層を設ける工程
工程(2): 無機層の上に放射線硬化性モノマー層を設け、該放射線硬化性
モノマー層を加熱処理し、該加熱処理後の放射線硬化性モノマー
層を放射線により硬化させる工程
The gas barrier film according to claim 1 or 2, wherein the following steps (1) and (2) are alternately performed at least once each on the radiation-curable resin layer after the curing. Production method.
Step (1): Step of providing an inorganic layer on the cured radiation curable resin layer Step (2): A radiation curable monomer layer is provided on the inorganic layer, and the radiation curable
The monomer layer is heat-treated, and the radiation-curable monomer after the heat treatment
Curing the layer with radiation
最上層である無機層または硬化後の放射線硬化性樹脂層の上に透明導電層を設ける工程をさらに含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。   The production of a gas barrier film according to any one of claims 1 to 4, further comprising a step of providing a transparent conductive layer on the inorganic layer which is the uppermost layer or the radiation curable resin layer after curing. Method. 前記加熱処理を50℃以上に前記放射線硬化性モノマー層を加熱することにより行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。   The method for producing a gas barrier film according to claim 1, wherein the heat treatment is performed by heating the radiation curable monomer layer to 50 ° C. or more. 請求項1〜6のいずれか一項に記載の製造方法によって製造されたガスバリア性フィルム。   The gas barrier film manufactured by the manufacturing method as described in any one of Claims 1-6. 38℃・相対湿度90%における酸素透過率が0.01ml/(m2・day・atm)以下であり、かつ38℃・相対湿度90%における水蒸気透過率が0.01g/(m2・day)以下であることを特徴とする請求項7に記載のガスバリア性フィルム。 The oxygen permeability at 38 ° C. and 90% relative humidity is 0.01 ml / (m 2 · day · atm) or less, and the water vapor permeability at 38 ° C. and 90% relative humidity is 0.01 g / (m 2 · day). The gas barrier film according to claim 7, wherein: 請求項7または8に記載のガスバリア性フィルムを用いた画像表示素子。   An image display device using the gas barrier film according to claim 7. 画像表示素子がフレキシブルであることを特徴とする請求項9に記載の画像表示素子。   The image display element according to claim 9, wherein the image display element is flexible. 画像表示素子が有機EL素子であることを特徴とする請求項9または10に記載の画像表示素子。   The image display element according to claim 9, wherein the image display element is an organic EL element.
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