JP2007264375A - Glass plate peeling device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板から密着もしくは極めて狭い間隔で積層しているガラス板を剥離するガラス板剥離装置、例えばガラス板を用いたカラーフィルタ用転写式ブラックマトリクス形成時のガラス版と、カラーフィルタに用いるガラス基板とを分離する装置に関する。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used for a glass plate peeling apparatus for peeling a glass plate that is closely adhered to a substrate or laminated at an extremely narrow interval, for example, a glass plate when forming a transfer type black matrix for a color filter using a glass plate, and a color filter The present invention relates to an apparatus for separating a glass substrate.
カラーフィルタ基板のブラックマトリクスを形成する方法として、多くはフォトリソ方式がある。 As a method for forming a black matrix of a color filter substrate, there are many photolithography methods.
カラーフィルタ製造工程の中のブラックマトリクス形成工程のコストダウンで、従来のフォトリソ方式に代わる方法があり、これがガラス板を用いてブラックマトリクスをカラーフィルタガラス基板に転写する方式で特許文献1の様な技術である。
In order to reduce the cost of the black matrix formation process in the color filter manufacturing process, there is a method that replaces the conventional photolithography method. This is a method of transferring a black matrix to a color filter glass substrate using a glass plate, as in
これは、ガラス凹版を用いてカラーフィルタ用ブラックマトリクスを形成する方法で、この凹版にブラックマトリクス材と接着剤をのせて、カラーフィルタ用ガラス基板に、この接着剤とブラックマトリクス材を転写させる。転写後、ガラス凹版をこのカラーフィルタが設けられたガラス基板から剥離しなければならない。しかし、剥離する際は、ガラス板にはほとんど弾性域がないため、わずかずつ撓ませて剥離するか、あるいは一気に剥がすしかない。 This is a method of forming a black matrix for a color filter using a glass intaglio, and a black matrix material and an adhesive are placed on the intaglio and the adhesive and the black matrix material are transferred to a glass substrate for a color filter. After the transfer, the glass intaglio must be peeled off from the glass substrate provided with the color filter. However, when peeling off, since the glass plate has almost no elastic region, it can only be bent and peeled off little by little, or peeled off at once.
特許文献は以下の通り。
しかし、大気圧の影響で一気に剥がすことはできず、また、わずかな撓みを利用して剥がすことにも限界がある。特に、接着剤が用いられている場合には困難を極めていた。 However, it cannot be peeled at a time due to the influence of atmospheric pressure, and there is a limit to peeling using slight bending. Particularly when an adhesive is used, it is extremely difficult.
基板が小さい版で、ガラス板も同様小さい場合であれば、ほとんど大気圧の影響を受けずに剥がれるが、300mm角を越える大きさになると、撓みを利用しての剥離は難しくなる。 If the substrate is a small plate and the glass plate is also small, it peels off almost without being affected by atmospheric pressure. However, if the size exceeds 300 mm square, peeling using bending becomes difficult.
本発明は、以上の様な課題を解決するため、請求項1の発明においては、基板と密着しているガラス板を該基板から剥離するガラス板剥離装置において、基板固定機構と、ガラス板固定機構と、基板とガラス板の剥離開始辺に設けたくさび状の剥離開始補助機構と、少なくとも剥離開始辺に位置し、基板とガラス板の間隙に空気を送風する送風機構とを有するガラス板剥離装置を提供するものである。
In order to solve the above problems, the present invention provides a glass plate peeling apparatus for peeling a glass plate in close contact with a substrate from the substrate in the invention of
また、請求項2の発明においては、前記送風機構は、ガラス板の側辺にも設けてある請求項1記載のガラス板剥離装置を提供するものである。
Moreover, in invention of
また、請求項3の発明においては、前記送風機構は、剥離方向に移動可能に設けてある請求項1または2に記載のガラス板剥離装置を提供するものである。
Moreover, in invention of
また、請求項4の発明においては、前記基板がガラス板である請求項1〜3の何れかに記載のガラス板剥離装置を提供するものである。 Moreover, in invention of Claim 4, the said board | substrate is a glass plate, The glass plate peeling apparatus in any one of Claims 1-3 is provided.
従来、ガラス板で剥離困難な剥離が可能になった。 Conventionally, peeling that is difficult to peel off with a glass plate has become possible.
例えば、フォトリソ方式でカラーフィルタ用ブラックマトリクスを形成していたが、この方法が実現することにより、ガラス基板を用い、ブラックマトリクスを形成することが可能となり、約30%のコストダウンが達成される。 For example, a black matrix for a color filter has been formed by a photolithography method. However, when this method is realized, a black matrix can be formed using a glass substrate, and a cost reduction of about 30% is achieved. .
以下、例えばガラス板を用いたカラーフィルタ用転写式ブラックマトリクス形成時のガラス板と、カラーフィルタに用いるガラス基板とを分離する装置として用いた場合の基板から密着もしくは極めて狭い間隔で積層しているガラス板を剥離するガラス板剥離装置に応用した場合の一実施例を用いて、本発明の実施の形態について、図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, for example, a glass plate used for forming a transfer type black matrix for a color filter using a glass plate and a glass substrate used for a color filter are closely adhered to each other or laminated at an extremely narrow interval when used as an apparatus for separating the glass substrate. An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings, using an example when applied to a glass plate peeling apparatus for peeling a glass plate.
通常、密着あるいは圧着されたガラス2枚を、分離、剥離するには、密着性が良ければ良いほど、2枚のガラス板の間に空気が無いため、機械的にガラス板を支持して引き剥がすことは困難である。 Usually, in order to separate and peel two closely bonded or pressure-bonded glasses, the better the adhesion, the less air there is between the two glass plates, so the glass plates are mechanically supported and peeled off. It is difficult.
引き剥がすのであれば、わずかずつゆっくり引き剥がし、空気が自然に無理なく隙間に流れ込んでいくのに合わせて、ゆっくり引き剥がさなければならない。無理に引き剥がそうとすると、ガラス板が破損してしまう。 If it is to be peeled off, it must be peeled off slowly and then slowly as the air naturally flows into the gap. If you try to force it off, the glass plate will be damaged.
そこで、本方式の剥離装置は、その空気の流れを高圧エアー等で作ってやり、それを2枚のガラスの間に吹き込むことで、ガラス間の真空状態を解消し、そのエアーによるガラス面の盛り上がりにより、ガラスにわずかな撓みを生じさせ、2枚のガラスの分離を行う。 Therefore, the peeling device of this method makes the flow of air with high-pressure air or the like, and blows it between two pieces of glass to eliminate the vacuum state between the glasses, and the air surface of the glass surface Swelling causes the glass to bend slightly and separates the two pieces of glass.
装置の形態としては、密着したガラス板とガラス基板2枚のまま、真空吸着等の方法で動かない様にガラス基板の裏面より固定する。空気が入りやすいように、ガラス基板の辺もしくは、隣り合う2ヶ所の角部に、くさび状の刃で、2枚の合わせ目に割を入れ隙間を作っておく。この辺もしくはこの角の間の辺から以下の剥離を始める。 As a form of the apparatus, the glass plate and the two glass substrates that are in close contact with each other are fixed from the back surface of the glass substrate so as not to move by a method such as vacuum suction. In order to allow air to enter easily, a wedge-shaped blade is used to divide the gap between the two sheets on the side of the glass substrate or two adjacent corners to create a gap. The following peeling is started from this side or a side between the corners.
このガラス基板の外周に、沿ってエアーノズルを移動可能であるように装着し、エアーを吹きながら分離させ移動していく。 An air nozzle is mounted so as to be movable along the outer periphery of the glass substrate, and separated and moved while blowing air.
また、大判のガラスになると、エアーの圧が遠くまで届かなくなるため、合わせたガラス板の上面を真空吸着で吸引し、分離したガラスを持ち上げ、分離できるようにしておく。 In addition, when a large glass is used, the air pressure does not reach far, so the upper surfaces of the combined glass plates are sucked by vacuum suction, and the separated glass is lifted so that it can be separated.
この上面の吸着場所は、前述のガラス角部2ヶ所に分離の割を入れた隣り合う2ヶ所の辺の付近からめくり上げて持ち上げられるよう、この辺に均等に数個並べておく。 Several adsorbing places on the upper surface are arranged evenly on this side so that they can be lifted up and lifted from the vicinity of the two adjacent sides with the separation of the two glass corners described above.
高圧エアーにより、この1辺がほぼ均等に分離されたら、上面ガラス板を支持している吸引パッドにより、わずかにガラスの1辺を持ち上げる。 When the one side is separated almost evenly by the high-pressure air, the one side of the glass is slightly lifted by the suction pad supporting the upper glass plate.
この隣り合う2ヶ所の角部に挟まれた1辺を分離するエアーノズルは、これと垂直の2辺の外に平行に取り付けられたガイドに支持され、分離された2枚のガラスの間にもぐっていくことが出来る。 The air nozzle that separates one side sandwiched between two adjacent corners is supported by a guide mounted in parallel outside the two sides perpendicular to this, and between the two separated glasses. You can go around.
こうして高圧エアーを吹き、上ガラスの一端から剥離し始め、剥離したガラスの隙間にエアーノズルをもぐりこませてさらに剥離を進め、上ガラスの一端を持ち上げる動作と、高圧エアーの両方でガラス板を剥離、分離していく。 In this way, high-pressure air is blown to start peeling from one end of the upper glass, and an air nozzle is inserted into the gap between the peeled glass to further peel off and lift the one end of the upper glass. Peel and separate.
図1および図2に実際に360mm×460mm×0.7mm厚のガラス2枚を合わせて接着したものを剥離する装置の図を示す。 FIG. 1 and FIG. 2 are diagrams of an apparatus for actually peeling two pieces of glass having a thickness of 360 mm × 460 mm × 0.7 mm.
なお、この2枚の間にはブラックマトリックスが0.7μmの層が部分的に設けられ、他の一部の領域に接着剤が設けられているので、単に積層されている状態よりも剥離困難な状態になっている。 In addition, a layer with a black matrix of 0.7 μm is partially provided between the two sheets, and an adhesive is provided in another part of the area. It is in a state.
斜線で示された(1)は、剥離される2枚の接着されたガラス板(360mm×460mm)で、(2)がそれをのせるためのフレームで組まれた下フレームである。(3)は、剥離された上面のガラス板を持ち上げるための上フレームである。そして、この上フレーム(3)は、下フレーム(2)に取り付けられている蝶番(4)により、矢印(A)の方向に回転可能である。 (1) indicated by diagonal lines is a lower frame formed by two bonded glass plates (360 mm × 460 mm) to be peeled and (2) which is assembled with a frame for placing it. (3) is an upper frame for lifting the peeled upper glass plate. The upper frame (3) can be rotated in the direction of the arrow (A) by a hinge (4) attached to the lower frame (2).
下フレーム(2)の4ヶ所にバキュームパッド(5)(6)が取り付けられ、ガラス板(1)が装着された後吸引され、下フレーム(2)に固定される。また、上フレーム(3)には、同じくバキュームパッド(7)が取り付けられ、ガラス板(1)の上面を固定する。そして、このバキュームパッド(7)は、リニアガイド(8)により、矢印(B)の方向へスライド可能で、また、パッド首部が自在に振れる構造となっている。 Vacuum pads (5) and (6) are attached to four positions of the lower frame (2), and after the glass plate (1) is mounted, the vacuum pads (5) and (6) are sucked and fixed to the lower frame (2). Similarly, a vacuum pad (7) is attached to the upper frame (3) to fix the upper surface of the glass plate (1). The vacuum pad (7) can be slid in the direction of the arrow (B) by the linear guide (8), and the pad neck can swing freely.
下フレーム(2)にセットされた接着された2枚のガラス板(1)は、前述のように上面、下面とも固定され、次にカッター刃(9)(10)によって、角部2ヶ所から、2枚のガラスの合わせ目から分離される。 The two bonded glass plates (1) set on the lower frame (2) are fixed on the upper surface and the lower surface as described above, and then, from the two corners by the cutter blades (9) and (10). Separated from the seam of the two glasses.
最初にこの分離された角部に、カッター刃(9)(10)に取り付けられたエアーノズル(17)(18)が高圧エアーを吹き出し、角部の分離面積を大きくする。次に、エアーノズル(11)により、その分離面積を広げていく。また、これと直角な辺に装着されたエアーノズル(13)(14)により、エアーノズル(11)の装着された辺と直角な辺も、エアーにより分離しながら移動していく。 First, air nozzles (17) and (18) attached to the cutter blades (9) and (10) blow high-pressure air to the separated corners to increase the separation area of the corners. Next, the separation area is expanded by the air nozzle (11). In addition, the air nozzles (13) and (14) mounted on the side perpendicular to the side also move the side perpendicular to the side on which the air nozzle (11) is mounted while being separated by air.
このように、ある程度ガラス分離面積が大きくなったら、上フレーム(3)を上ガラスと一緒に持ち上げ、隙間をわずかに広げていく。この隙間に、スライドガイド(15)(16)に支持され移動しながらエアーノズル(11)をもぐりこませてエアーを吹き、さらに剥離面積を増やしていく。 Thus, when the glass separation area is increased to some extent, the upper frame (3) is lifted together with the upper glass, and the gap is slightly widened. While being supported by the slide guides (15) and (16) and moving in the gap, the air nozzle (11) is swallowed to blow air and further increase the peeling area.
最後に、図3に示すように、上ガラス(22)の撓み分を、バキュームパッド(7)の構造で吸収し、撓んだ状態で上ガラス(22)と下ガラス(21)を分離できる。 Finally, as shown in FIG. 3, the upper glass (22) is absorbed by the structure of the vacuum pad (7), and the upper glass (22) and the lower glass (21) can be separated in the bent state. .
1…剥離される2枚の接着されたガラス板
2…下フレーム
3…上フレーム
4…蝶番
5…バキュームパッド
6…バキュームパッド
7…バキュームパッド
8…リニアガイド
9…カッター刃
10…カッター刃
11…エアーノズル
12…エアーノズル移動ガイド
13…エアーノズル
14…エアーノズル
15…スライドレール
16…スライドレール
17…エアーノズル
18…エアーノズル
21…下フレーム側のガラス板
22…上フレーム側のガラス板
DESCRIPTION OF
Claims (4)
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JP2006090479A JP2007264375A (en) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | Glass plate peeling device |
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KR20130132160A (en) * | 2012-05-25 | 2013-12-04 | 엘지전자 주식회사 | Glass substrate separating apparatus and method thereof |
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2006
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