JP2007262448A - 合金メッキ装置及び合金メッキ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メッキ対象物に合金膜をメッキする合金メッキ方法であって、合金膜を構成する各金属成分の単体からなり、互いに電気的に絶縁された複数のアノード31A,31Bのそれぞれと、メッキ対象物5と、の間に電流を流す工程を備える。
【選択図】図1
Description
続いて、第2〜4実施形態について説明する。これらの実施形態では、アノード30のみ異なるので、アノード30についてのみ説明する。
上述の図1の如きメッキ装置を用いてNiFe膜のメッキを行った。メッキ対象基板は表面に1000nmのNi膜を成膜した直径15cmのSi基板とした。メッキ液は、硫酸ニッケル(NiSO4・H2O):350g/L、硫酸第一鉄FeSO4・7H2O:10g/L、ホウ酸(H3BO3):30g/L、塩化アンモニウム(NH4Cl):20g/L、サッカリンソーダ(C7H4NNaO3S・2H2O):1g/L、ラルリル硫酸ソーダ(CH3(CH2)11OSO3Na):0.05g/Lの組成のものを用いた。メッキ液温度は40℃、メッキ液量は100L、メッキ液のpHは0.1N−H2SO4aq.により2.8に維持されるように自動制御した。
アノードとして、分割されておらずNiのみからなる直径15cmの円板を用い、アノードにおける電流密度を1.5×10−2A/cm2とする以外は実施例1と同様にした。
Claims (10)
- メッキ対象物に合金膜をメッキする合金メッキ方法であって、
前記合金膜を構成する各金属成分の単体からなり、互いに電気的に絶縁された複数のアノードのそれぞれと、前記メッキ対象物と、の間に電流を流す工程を備える合金メッキ方法。 - 前記工程では、前記複数のアノードのそれぞれと、前記メッキ対象物との間に印加する電圧を互いに異ならせる請求項1に記載の合金メッキ方法。
- 前記工程では、前記複数のアノードのそれぞれと、前記メッキ対象物との間にそれぞれ定電流を流す請求項2に記載の合金メッキ方法。
- 前記複数のアノードのそれぞれは、さらに複数に分割されている請求項1〜3のいずれかに記載の合金メッキ方法。
- 前記電流はパルス電流である請求項1〜4の何れかに記載の合金メッキ方法。
- メッキ対象物に合金膜をめっきする合金メッキ装置であって、
前記合金膜を構成する各金属成分の単体からなり、互いに電気的に絶縁された複数のアノードを備える合金メッキ装置。 - 前記複数のアノードのそれぞれと、前記メッキ対象物との間に互いに異なる電圧を印加する電源をさらに備える請求項6に記載の合金メッキ装置。
- 前記電源は、前記複数のアノードのそれぞれと、前記メッキ対象物との間にそれぞれ定電流を流す請求項7に記載の合金メッキ方法。
- 前記複数のアノードのそれぞれは、さらに複数に分割されている請求項6〜8のいずれかに記載の合金メッキ装置。
- 前記電源はパルス電源である請求項6〜9のいずれかに記載の合金メッキ装置。
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