JP2007257941A - 真空排気治具の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】部品点数を少なくして組み立て作業を容易にすると共に、空気漏れの不良品の発生が少ない真空排気治具の製造方法を開発する。
【解決手段】ガラスびん又はガラス管を成形し、該ガラスびんの胴部又はガラス管をリング状に切断して側枠部材を形成し、これに底面部材を接着し箱状に形成する。側枠部材がリング状に一体成形されているので、従来の製造方法に比べて部品点数が少なく、組み立て作業が容易になり、従来のように側面部材の継目がないので、空気漏れが発生する可能性も極めて少なくなる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、高精細度平面型表示装置などの、ガラスを主体として構成される密閉容器を真空に排気する真空排気治具に関する。

近年、半導体微細加工技術により、内面に高機能真空素子を形成したガラス製の密封容器が、高精細度平面型表示装置、センサ、高周波増幅装置などとして用いられている。このような密封容器は、一般的に、表面に微細な陰極又は陽極の素子を形成した２枚のガラス基板を素子が向き合うように所定間隔へだてて配置し、周囲を封着ガラスで密封して構成される。その後、真空排気治具を装着して内部を真空にする。このような真空排気治具は、例えば下記の特許文献に開示されている。

図６は従来の一般的な方法で製造された真空排気治具２０の斜視図である。真空排気治具はガラス製で浅い箱状をなす。先ず、側枠部分を、ガラス板を切断加工した４個の側面部材２１、２１、２２、２２を封着ガラス２４で接着して四角いリング状に組み立てる。次に、これに、ガラス板を切断加工した底面部材２３を封着ガラスで接着し、浅い箱状に形成する。底面部材２３には表裏貫通する排気孔２５が形成されており、その裏側にガラス製の排気筒２６を封着ガラスで接着する。
特開平９−４５２４３号公報 特開平１１−２３３０２７号公報

上記の真空排気治具の製造方法は、多数の部品を加工し、組み立てなければならないので、製造能率が悪く、コスト高になっていた。また、真空排気治具は高い気密性が必要とされるが、側面部材２１、２２を接着する封着ガラス２４の部分で空気漏れが発生しやすく、歩留まりが悪かった。本発明は、部品点数を少なくして組み立て作業を容易にすると共に、空気漏れの不良品の発生が少なく歩留まりの良い真空排気治具の製造方法を開発することを課題としてなされたものである。

本発明は、ガラスびんを成形し、該ガラスびんの胴部をリング状に切断して側枠部材を形成するステップと、該側枠部材に底面部材を接着し箱状に形成するステップを有することを特徴とする真空排気治具の製造方法である。

また本発明は、ガラス管を成形し、該ガラス管をリング状に切断して側枠部材を形成するステップと、該側枠部材に底面部材を接着し箱状に形成するステップを有することを特徴とする真空排気治具の製造方法である。

本発明の真空排気治具の製造方法は、側枠部材がリング状に一体成形されているので、従来の製造方法に比べて部品点数が少なく、組み立て作業が容易になる。また、従来のように側面部材の継目がないので、空気漏れが発生する可能性が極めて少なくなり、歩留まりが向上する。側枠部材の材料となるガラスびんやガラス管は、従来周知の成形機を用いて容易に製造することができるので、側枠部材の製造も容易である。

図１はガラスびん８の側面図、図２は側枠部材２及び底面部材３の斜視図、図３は、実施例の製造方法で製造した真空排気治具１の断面図である。ガラスびんは、いわゆるＩＳマシンなど、従来周知の成形機により容易に成形できる。ガラスびんの胴部は、断面形状が所望の側枠部分の形状となるように設計する。ガラスびん８の胴部を切断線９のように切断し、リング状の側枠部材２を形成する。この切断は例えばマルチワイヤーソーにより行うことができる。次に、図２、３に示すように、側枠部材２に底面部材３を接着し、浅い箱状に形成する。底面部材は、通常に市販されている板ガラス、一般的なガラスプレス成形機で成形された板ガラスなどをクラッキングなどにより切断加工して得ることができる。底面部材３には表裏貫通する排気孔４を形成しておく。側枠部材２と底面部材３の接着は、従来品と同様に、低融点の封着ガラス７で行うことができる。底面部材３の背面側にはガラス製の排気筒６を封着ガラス７で接着する。底面部材３の内面側には、必要に応じて、バリウムなどのゲッタ５を装着することができる。

図４は真空排気治具１の使用例の説明図である。符号１０は密閉容器（高精細度平面型表示装置）で、内面側に多数の素子（図示せず）を形成したガラス基板１１、１２を対向して配置し、周囲を封着ガラス１３で密封したものである。ガラス基板１１には排気孔１４が設けてあり、当該部分に真空排気治具１を封着ガラスで接着固定する。排気筒６から容器内部の空気を排気し、その後排気孔４を封止し、容器内部はほぼ真空となる。次に高周波加熱することによりゲッタフラッシュを行う。高周波加熱によりバリウムなどのゲッタ５がフラッシュし、金属バリウムなどの蒸着膜が容器内の残留ガスを吸着し、容器内が高真空状態となる。

本発明は、上記のガラスびんに代えてガラス管を用いることができる。図５はガラス管１５の側面図である。ガラス管は、例えば、いわゆるダンナーマシンなどで成形できる。ガラス管は、断面形状が所望の側枠部分の形状となるように設計する。ガラス管１５を切断線１６のように切断し、リング状の側枠部材を形成する。この切断は例えばマルチワイヤーソーにより行うことができる。その後の工程は、上記のガラスびんを用いた方法と全く同じようにして、真空排気治具を製造することができる。

ガラスびん８の側面図である。 側枠部材２及び底面部材３の斜視図である。 実施例の製造方法で製造した真空排気治具１の断面図である。 真空排気治具１の使用例の説明図である。 ガラス管１５の側面図である。 従来方法で製造した真空排気治具２０の斜視図である。

符号の説明

１ 真空排気治具
２ 側枠部材
３ 底面部材
４ 排気孔
５ ゲッタ
６ 排気筒
７ 封着ガラス
８ ガラスびん
９ 切断線
１０ 密封容器
１１ ガラス基板
１２ ガラス基板
１３ 封着ガラス
１４ 排気孔
１５ ガラス管
１６ 切断線
２０ 真空排気治具
２１ 側面部材
２２ 側面部材
２３ 底面部材
２４ 封着ガラス
２５ 排気孔
２６ 排気筒

Claims (2)

1. ガラスびんを成形し、該ガラスびんの胴部をリング状に切断して側枠部材を形成するステップと、該側枠部材に底面部材を接着し箱状に形成するステップを有することを特徴とする真空排気治具の製造方法。
2. ガラス管を成形し、該ガラス管をリング状に切断して側枠部材を形成するステップと、該側枠部材に底面部材を接着し箱状に形成するステップを有することを特徴とする真空排気治具の製造方法。

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