JP2007252038A - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007252038A JP2007252038A JP2006069415A JP2006069415A JP2007252038A JP 2007252038 A JP2007252038 A JP 2007252038A JP 2006069415 A JP2006069415 A JP 2006069415A JP 2006069415 A JP2006069415 A JP 2006069415A JP 2007252038 A JP2007252038 A JP 2007252038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostatic actuator
- conductive members
- electrode plates
- electrostatic
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
【課題】2つの極板の距離が均一になるように設置でき、安定した駆動力を得ることができる静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】らせん状の同形状に形成した極板11,12を、交互に2重らせん状に、かつ、全長にわたって等間隔になるように配置することにより、極板11,12間に働く静電力を全長にわたって均一にし、さらに、絶縁性を有する弾性体を、円筒状に形成したスリーブ30を用いて、極板11,12の外縁部を保持した。
【選択図】図1
【解決手段】らせん状の同形状に形成した極板11,12を、交互に2重らせん状に、かつ、全長にわたって等間隔になるように配置することにより、極板11,12間に働く静電力を全長にわたって均一にし、さらに、絶縁性を有する弾性体を、円筒状に形成したスリーブ30を用いて、極板11,12の外縁部を保持した。
【選択図】図1
Description
本発明は、静電力によって駆動する静電アクチュエータに関するものである。
従来、絶縁された2枚の極板を、重ね合わせるように折り込んで積層し、電圧をかけたときに、両極板に発生する静電力を、駆動力として利用する静電アクチュエータがあった(例えば、非特許文献1)。
しかし、このアクチュエータは、自重により極板が変形するために、上層に至る程、極板間の隙間が徐々に大きくなるために、静電力が低下し、安定した駆動力を得られないという問題がある。
一方、極板間の隙間を安定させるためには、極板の硬度を向上させて、極板の形状維持を図ることが考えられるが、この場合、極板自身の弾性力によって伸縮率が低下し、駆動ストロークが減少してしまうという問題がある。
"静電アクチュエータ"、東京工業大学 実吉研究室、[online]、[平成18年2月7日検索]、インターネット<URL http://www.ric.titech.ac.jp/saneken/actuater.html>
しかし、このアクチュエータは、自重により極板が変形するために、上層に至る程、極板間の隙間が徐々に大きくなるために、静電力が低下し、安定した駆動力を得られないという問題がある。
一方、極板間の隙間を安定させるためには、極板の硬度を向上させて、極板の形状維持を図ることが考えられるが、この場合、極板自身の弾性力によって伸縮率が低下し、駆動ストロークが減少してしまうという問題がある。
"静電アクチュエータ"、東京工業大学 実吉研究室、[online]、[平成18年2月7日検索]、インターネット<URL http://www.ric.titech.ac.jp/saneken/actuater.html>
本発明の課題は、2つの極板の距離が均一になるように設置でき、安定した駆動力を得ることができる静電アクチュエータを提供することである。
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施例に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項1の発明は、異なる導電性部材に電圧が印加されることにより発生する静電力を駆動力として利用する静電アクチュエータであって、らせん状に形成され、所定の方向(Z,Z1)に伸縮可能な第1導電性部材(11)と、らせん状に形成され、前記所定の方向(Z,Z2)に伸縮可能であり、前記第1導電部材(11)と交互に、2重らせん状に配置された第2導電性部材(12)と、前記第1及び第2導電性部材(11,12)を前記所定の方向(Z,Z2)に伸縮可能に、前記第1及び第2導電性部材(11,12)間に間隙を設けるように保持する保持部材(30,130)と、を備えた静電アクチュエータである。
請求項1の発明は、異なる導電性部材に電圧が印加されることにより発生する静電力を駆動力として利用する静電アクチュエータであって、らせん状に形成され、所定の方向(Z,Z1)に伸縮可能な第1導電性部材(11)と、らせん状に形成され、前記所定の方向(Z,Z2)に伸縮可能であり、前記第1導電部材(11)と交互に、2重らせん状に配置された第2導電性部材(12)と、前記第1及び第2導電性部材(11,12)を前記所定の方向(Z,Z2)に伸縮可能に、前記第1及び第2導電性部材(11,12)間に間隙を設けるように保持する保持部材(30,130)と、を備えた静電アクチュエータである。
請求項2の発明は、請求項1に記載の静電アクチュエータにおいて、前記第1及び第2導電性部材(11,12)は、同形状であり、前記第1及び第2導電性部材(11,12)間のらせん軸(Z,Z2)に沿った方向の距離が、全長にわたって等間隔になるように配置されていること、を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項3の発明は、請求項1又は請求項2に記載の静電アクチュエータにおいて、前記第1及び第2導電性部材(11,12)は、らせん状に形成された板状部材(11,12)であること、を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項4の発明は、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、前記保持部材(30,130)は、前記第1及び第2導電性部材(11,12)を、前記第1及び第2導電性部材(11,12)の外縁部から覆うように保持すること、を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項5の発明は、請求項1から請求項4でのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、前記保持部材(30,130)は、弾性体から形成されること、を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項6の発明は、請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、直流電源(41)から前記第1及び第2導電性部材(11,12)に電圧を印加し、前記第1及び第2導電性部材(11,12)に蓄えられた電荷の量に応じて、前記第1及び第2導電性部材(11,12)の伸縮量を制御する制御部を備えること、を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項3の発明は、請求項1又は請求項2に記載の静電アクチュエータにおいて、前記第1及び第2導電性部材(11,12)は、らせん状に形成された板状部材(11,12)であること、を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項4の発明は、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、前記保持部材(30,130)は、前記第1及び第2導電性部材(11,12)を、前記第1及び第2導電性部材(11,12)の外縁部から覆うように保持すること、を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項5の発明は、請求項1から請求項4でのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、前記保持部材(30,130)は、弾性体から形成されること、を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項6の発明は、請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、直流電源(41)から前記第1及び第2導電性部材(11,12)に電圧を印加し、前記第1及び第2導電性部材(11,12)に蓄えられた電荷の量に応じて、前記第1及び第2導電性部材(11,12)の伸縮量を制御する制御部を備えること、を特徴とする静電アクチュエータである。
本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)本発明は、らせん状に形成された第1及び第2導電性部材が、交互になるように配置され、保持部材により保持されているので、第1及び第2導電性部材間の距離を、全長にわたって均一な距離にすることができ、また、自重による変形を防止することができるので、安定した駆動力を得ることができる。さらに、静電力がらせん軸方向に、全長にわって連続して働くため、大きな駆動力を得ることができる。
(1)本発明は、らせん状に形成された第1及び第2導電性部材が、交互になるように配置され、保持部材により保持されているので、第1及び第2導電性部材間の距離を、全長にわたって均一な距離にすることができ、また、自重による変形を防止することができるので、安定した駆動力を得ることができる。さらに、静電力がらせん軸方向に、全長にわって連続して働くため、大きな駆動力を得ることができる。
(2)本発明は、第1及び第2導電性部材間の距離が、全長にわたって等間隔であるので、極板間に働く静電力を、全長にわたって均一にし、さらに安定した駆動力を得ることができる。
(3)本発明は、第1及び第2導電性部材が板状部材であるので、面積が大きい面同士が対向するように配置して、この面同士間に静電力を発生させることができるので、大きな駆動力を得ることができる。
(4)本発明は、保持部材が第1及び第2導電性部材の外縁部を保持するので、外部から導電体が接触した場合に、第1及び第2導電性部材間の短絡防止をすることができる。
(5)本発明は、保持部材が弾性体から形成されるので、外部からの衝撃があった場合に、衝撃を吸収することができる。
(6)本発明は、制御部が、直流電源から第1及び第2導電性部材に電圧を印加し、蓄えられた電荷の量に応じて、第1及び第2導電性部材の伸縮量を制御するので、電圧の印加を停止しても伸縮量が変わらず、省電力で駆動することができる。
本発明は、2つの極板の距離が均一になるように設置でき、安定した駆動力を得ることができる静電アクチュエータを提供するという目的を、らせん状の同形状に形成した2つの極板を、交互に2重らせん状に、かつ、全長にわたって等間隔になるように配置することにより、極板間に働く静電力を全長にわたって均一にし、さらに、絶縁性を有する弾性体を円筒状に形成したスリーブを用いて、2つの極板の外縁部を保持することによって実現した。
以下、図面等を参照して、本発明の静電アクチュエータの実施例1をあげて、さらに詳しく説明する。
図1(a)、図1(b)は、本実施例の静電アクチュエータ1の極板11,12(導電性部材)の正面図、図1(c)は、静電アクチュエータ1の正面図である。図2は、極板11,12を組み合わせた状態の斜視図である。図3は、極板11,12のらせん軸Z(所定の軸)を通る面による縦断面図(図2のIII−III部矢視断面図)である。
図1(c)に示すように、静電アクチュエータ1は、極板11(第1導電性部材)と、極板12(第2導電性部材)と、端子21,22と、スリーブ30(保持部材)とを備えている。
極板11,12は、図1(a)、図1(b)、図2に示すように、導電性を有する材料(例えば、りん青銅等)により形成された、らせん状の板状部材である。極板11,12の強度は、これら自体である程度、形状維持が可能な剛性(例えば、自重により変形しない程度)を備えていてもよいが、後述するように、スリーブ30と一体になったときに、静電アクチュエータ1全体としての強度を持たせるようにした方が好適である。極板11,12は、リードL(らせん軸Z回りにひとまわりしたときに進む距離)が一定の長さなるように形成されている。
図1(a)、図1(b)は、本実施例の静電アクチュエータ1の極板11,12(導電性部材)の正面図、図1(c)は、静電アクチュエータ1の正面図である。図2は、極板11,12を組み合わせた状態の斜視図である。図3は、極板11,12のらせん軸Z(所定の軸)を通る面による縦断面図(図2のIII−III部矢視断面図)である。
図1(c)に示すように、静電アクチュエータ1は、極板11(第1導電性部材)と、極板12(第2導電性部材)と、端子21,22と、スリーブ30(保持部材)とを備えている。
極板11,12は、図1(a)、図1(b)、図2に示すように、導電性を有する材料(例えば、りん青銅等)により形成された、らせん状の板状部材である。極板11,12の強度は、これら自体である程度、形状維持が可能な剛性(例えば、自重により変形しない程度)を備えていてもよいが、後述するように、スリーブ30と一体になったときに、静電アクチュエータ1全体としての強度を持たせるようにした方が好適である。極板11,12は、リードL(らせん軸Z回りにひとまわりしたときに進む距離)が一定の長さなるように形成されている。
極板11,12は、リードLが一定であるので、図1(c)、図2に示すように、ピッチPが全長にわたって一定なるように2重らせん状に配置することにより、極板11,12間の距離を、全長にわたって均一にすることができる。また、極板11,12は、板状部材であり、その縦断面の形状は、図3に示すように、径方向(矢印R方向)の長さd1が、らせん軸Z方向(らせん軸Zに沿った方向)の長さd2よりも大きい。このため、極板11,12は、配置されたときに、面積が大きい面同士が対向する。このように、極板11,12は、表面同士が、全長にわたって等間隔に対向配置されることにより、大きな静電力を全長にわたって連続して発生させることができる。これより、静電アクチュエータ1は、大きな駆動力、十分な伸縮量を得ることができる。
極板11,12の大きさは、静電アクチュエータ1の用途によって異なる。後述するように、静電力によって、極板間の距離が変化すればよいので、例えば、直径又はらせん軸方向の長さが1mm以下の小型のものから、50mm程度の大型のものまで可能である。
端子21,22は、直流電源41(後述する)に接続されたケーブルを、極板11,12に接続するための部材であり、極板11,12の終端部に設けられている。
極板11,12の大きさは、静電アクチュエータ1の用途によって異なる。後述するように、静電力によって、極板間の距離が変化すればよいので、例えば、直径又はらせん軸方向の長さが1mm以下の小型のものから、50mm程度の大型のものまで可能である。
端子21,22は、直流電源41(後述する)に接続されたケーブルを、極板11,12に接続するための部材であり、極板11,12の終端部に設けられている。
スリーブ30は、図1(c)に示すように、極板11,12をらせん軸Z方向に伸縮可能に保持し、また、極板11,12間に間隙を設けるための円筒状の部材である(図中、スリーブ30は、断面で示す。)。スリーブ30は、その内径が極板11,12の直径とほぼ等しく、その内周面に、極板11,12の外縁部が、接着材31を用いて固定(保持)されているので、極板11,12間の間隙を確保することができる。スリーブ30は、絶縁性を有し、適度な弾性を有する弾性体(例えば、シリコンゴム等の高分子材料等)から形成されるので、極板11,12を伸縮可能に保持することができる。また、スリーブ30は、外部から導電体が接触した場合に、極板11,12が短絡することを防止する絶縁保護部材として機能し、また、静電アクチュエータ1に外部から衝撃があった場合に、この衝撃を吸収する衝撃吸収部材として機能する。
スリーブ30は、静電アクチュエータ1の形状維持に必要な強度が、極板11,12だけでは不足であるので、その不足分を補っている。これにより、極板11,12は、静電アクチュエータ1の駆動力を得る部材として、十分に機能することができる。すなわち、静電アクチュエータ1の形状維持のための十分な強度を、極板11,12に持たせた場合、極板11,12は、その弾性力により移動量が低下し、静電アクチュエータ1は、駆動ストロークが小さくなってしまう。しかし、本実施例の極板11,12は、そのような強度は必要なく、駆動力を得る部材として、特化することができる。
また、静電アクチュエータ1は、駆動力を得る部材として極板11,12を備え、強度を得る部材としてスリーブ30を備えることにより、その駆動力、駆動ストローク等の調整作業を簡便にすることができる。すなわち、静電アクチュエータ1は、駆動力の調整を、極板11,12の形状、材料等の調整により行い、また、強度の調整を、スリーブ30の形状、材料等の調整により行うことができるので、駆動力、強度を別々に調整することができる。これに対し、極板を駆動力、強度の両方を得る部材として用いる場合、強度を補強するために、極板の厚みやリード等を調整すると、駆動力、駆動ストロークが大きく変化してしまう場合がある。つまり、駆動力と強度との関係を常に考慮しながら、極板の形状を調整する必要があり、調整作業が煩雑となってしまうが、静電アクチュエータ1は、駆動力、強度を別々に調整可能なので、調整作業を簡便に行うことができる。
さらに、静電アクチュエータ1は、スリーブ30により補強されているので、らせん軸Zが鉛直方向になるように配置されても、自重による変形を防止することができる。これにより、全長にわたってピッチPを均一にし、全長にわたって均一な静電力を発生させることができる。
次に、静電アクチュエータ1の動作について説明する。
図4は、本実施例の静電アクチュエータ1の動作を示す図であり、図4(a)は、標準の状態、図4(b)は、縮んだ状態、図4(c)は、伸びた状態を示す図である。
図4(a)に示すように、静電アクチュエータ1は、端子21,22が、ケーブル41により短絡されGndに接続された状態では、極板11,12が同電位となり、極板11,12間に静電力が働かないため、ピッチPを保った標準の状態となる。
図4は、本実施例の静電アクチュエータ1の動作を示す図であり、図4(a)は、標準の状態、図4(b)は、縮んだ状態、図4(c)は、伸びた状態を示す図である。
図4(a)に示すように、静電アクチュエータ1は、端子21,22が、ケーブル41により短絡されGndに接続された状態では、極板11,12が同電位となり、極板11,12間に静電力が働かないため、ピッチPを保った標準の状態となる。
図4(b)に示すように、端子21が直流電源41のマイナス端子に電気的に接続されると、極板11には、マイナスの電荷が蓄えられ、一方、端子22が直流電源41のプラス端子に電気的に接続されると、極板12には、プラスの電荷が蓄えられる。そして、極板11,12間には、静電力による引力が発生し、極板11,12間の距離が小さくなり、極板11,12は、全長が小さくなる。このとき、極板11,12は、スリーブ30に保持され、そのピッチPが全長にわたって等しいため、引力が全長にわたって等しい。すなわち、図3に示すように、極板11が上下の極板12を引きよせる力F1,F2と、極板12が上下の極板12を引き寄せる力F3,F4とは、全て等しく、さらに、これらが静電アクチュエータ1の全長にわたって等しい。これにより、静電アクチュエータ1は、安定した駆動力を得ることができる。
図4(b)に示すように、極板11,12が縮むと、これにともなって、静電アクチュエータ1は、縮んで、らせん軸Z方向の長さが短くなる。極板11,12は、スリーブ30によって保持されており、極板11,12間には、間隙が設けられているので、十分に縮むことができる。また、スリーブ30は、弾性体であるので、波状に変形し、極板11,12の外縁部に追従して縮むことができる。
なお、電極の極性を逆にして、極板11にプラスの電荷、極板12にマイナスの電荷が蓄えられた場合にも、極板11,12間には、同様に引力が働き、静電アクチュエータ1は、縮むことができる。
なお、電極の極性を逆にして、極板11にプラスの電荷、極板12にマイナスの電荷が蓄えられた場合にも、極板11,12間には、同様に引力が働き、静電アクチュエータ1は、縮むことができる。
図4(c)に示すように、静電アクチュエータ1は、端子21,22が直流電源41のマイナス端子に電気的に接続されると、極板11,12にマイナスの電荷が蓄えられ、極板11,12間には、静電力により斥力が発生し、極板11,12は、伸びる。これにともなって、静電アクチュエータ1は、伸びて、らせん軸Z方向の長さが長くなる。スリーブ30は、弾性体であるので、極板11,12の外縁部に追従して伸びる。
このとき、静電アクチュエータ1は、縮むときと同様に、極板11,12に発生する斥力が全長にわたって等しく、安定した駆動力を得ることができる。
また、静電アクチュエータ1は、極板11,21がらせん状に形成されているので、仮に何らかの理由で、リードLにばらつきが生じても、まず、極板11,21が接近している箇所から極板11,21同士の接近又は反発が始まり、徐々に極板11,21全体に及び、最終的に全体が伸縮することが可能となる。
なお、極板11,12にプラスの電荷が蓄えられた場合にも、同様に、極板11,12間に静電力による斥力が働き、静電アクチュエータ1は、伸びる。
このとき、静電アクチュエータ1は、縮むときと同様に、極板11,12に発生する斥力が全長にわたって等しく、安定した駆動力を得ることができる。
また、静電アクチュエータ1は、極板11,21がらせん状に形成されているので、仮に何らかの理由で、リードLにばらつきが生じても、まず、極板11,21が接近している箇所から極板11,21同士の接近又は反発が始まり、徐々に極板11,21全体に及び、最終的に全体が伸縮することが可能となる。
なお、極板11,12にプラスの電荷が蓄えられた場合にも、同様に、極板11,12間に静電力による斥力が働き、静電アクチュエータ1は、伸びる。
また、静電アクチュエータ1は、電圧駆動であり電流消費が少ないため、省電力で駆動することができる。さらに、直流電源41から極板11,12に印加される電圧を制御する制御部(図示せず)を設け、極板11,12に蓄えられた電荷の量に応じて、極板11,12の伸縮量を制御してもよい。静電力は、極板に電荷が蓄えられている限り働くという性質を有するので、この制御部が、極板11,12に蓄えられた電荷の量に応じて、電圧の印加を停止しても、極板11,12の伸縮量が変わらず、さらに省電力で駆動することができる。
静電アクチュエータ1の駆動ストロークは、例えば、極板11,12のらせんの内径10mm、外径50mm、間隔(ピッチP)300μm、全長2mm、3巻き、印加電圧が500Vのとき、0.01N程度である。
以上説明したように、本実施例の静電アクチュエータ1は、極板11(第1導電部材)と極板12(第2導電性部材)とが、らせん状に形成され、交互になるように配置され、全長にわたって等間隔であり、さらに、スリーブ30(保持部材)により保持されている。これにより、静電アクチュエータ1は、極板11,12間の距離を、全長にわたって均一にし、極板11,12間に働く静電力を、全長にわたって均一にできるので、安定した駆動力を得ることができる。
また、静電アクチュエータ1は、極板11,12の面積が大きい面同士が対向するように配置して、この面同士間に全長にわたって連続して静電力を発生させることができるので、大きな駆動力、十分な伸縮量を得ることができる。
さらに、静電アクチュエータ1は、スリーブ30を備えているので、外部からの衝撃を吸収することができると同時に、駆動力、強度の調整を簡便に行うことができる。
さらに、静電アクチュエータ1は、スリーブ30を備えているので、外部からの衝撃を吸収することができると同時に、駆動力、強度の調整を簡便に行うことができる。
次に、本発明を適用した静電アクチュエータの実施例2について説明する。
実施例2の静電アクチュエータ101は、ロボットのアームを駆動するためのものである。
なお、以下の説明において、前述した実施例1と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を末尾に付して、重複する説明を適宜省略する。
図5は、本実施例の静電アクチュエータ101とこれを取り付けたロボット100を示す図である。
図5に示すように、ロボット100は、基部102に、第1アーム103が固定されており、第1アーム103の先端に、第2アーム104が軸Xを中心に回転可能に設けられている。第2アーム104の一端には、対象物を把持するためのハンド105が設けられている。第1アーム103、第2アーム104の全長は、ともに、約300mm程度である。
実施例2の静電アクチュエータ101は、ロボットのアームを駆動するためのものである。
なお、以下の説明において、前述した実施例1と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を末尾に付して、重複する説明を適宜省略する。
図5は、本実施例の静電アクチュエータ101とこれを取り付けたロボット100を示す図である。
図5に示すように、ロボット100は、基部102に、第1アーム103が固定されており、第1アーム103の先端に、第2アーム104が軸Xを中心に回転可能に設けられている。第2アーム104の一端には、対象物を把持するためのハンド105が設けられている。第1アーム103、第2アーム104の全長は、ともに、約300mm程度である。
静電アクチュエータ101は、スリーブ130内に、実施例1と同様な極板が収容されており、らせん軸Z2が、第1アーム103の長手方向になるように配置される。また、静電アクチュエータ101は、スリーブ130の両端部に、ロッド131,132が、設けられている。ロッド131,132の軸方向は、らせん軸Z2と同軸である。ロッド131の先端は、基部102に回転可能に接続され、ロッド132の先端は、第2アーム104のハンド105とは反対側に設けられた取り付け孔104aに、回転可能に接続される。静電アクチュエータ101の全長は、約200mm程度である。
ロボット100及び静電アクチュエータ101の動作を説明する。
スリーブ130内の極板に、実施例1と同様に電源(図示せず)から電圧が供給されると、静電アクチュエータ101は、らせん軸方向に伸縮し(矢印Z3参照)、ロッド131,132がらせん軸方向に移動する。これともない、ロボット100の第2アーム104は、軸Xを中心に矢印θ2方向に回転することができる。
スリーブ130内の極板に、実施例1と同様に電源(図示せず)から電圧が供給されると、静電アクチュエータ101は、らせん軸方向に伸縮し(矢印Z3参照)、ロッド131,132がらせん軸方向に移動する。これともない、ロボット100の第2アーム104は、軸Xを中心に矢印θ2方向に回転することができる。
以上説明したように、本実施例の静電アクチュエータ101は、ロボット100の第2アーム104を、軸Xを中心に回転駆動することができる。つまり、静電アクチュエータ101は、機械を駆動する駆動源として、用いることができる。
1,101 静電アクチュエータ
11,12 極板
21,22 端子
30,130 スリーブ
100 ロボット
103 第1アーム
104 第2アーム
131,132 ロッド
L リード
P ピッチ
Z,Z2 らせん軸
11,12 極板
21,22 端子
30,130 スリーブ
100 ロボット
103 第1アーム
104 第2アーム
131,132 ロッド
L リード
P ピッチ
Z,Z2 らせん軸
Claims (6)
- 異なる導電性部材に電圧が印加されることにより発生する静電力を駆動力として利用する静電アクチュエータであって、
らせん状に形成され、所定の方向に伸縮可能な第1導電性部材と、
らせん状に形成され、前記所定の方向に伸縮可能であり、前記第1導電部材と交互に、2重らせん状に配置された第2導電性部材と、
前記第1及び第2導電性部材を前記所定の方向に伸縮可能に、前記第1及び第2導電性部材間に間隙を設けるように保持する保持部材と、
を備えた静電アクチュエータ。 - 請求項1に記載の静電アクチュエータにおいて、
前記第1及び第2導電性部材は、同形状であり、前記第1及び第2導電性部材間のらせん軸に沿った方向の距離が、全長にわたって等間隔になるように配置されていること、
を特徴とする静電アクチュエータ。 - 請求項1又は請求項2に記載の静電アクチュエータにおいて、
前記第1及び第2導電性部材は、らせん状に形成された板状部材であること、
を特徴とする静電アクチュエータ。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、
前記保持部材は、前記第1及び第2導電性部材を、前記第1及び第2導電性部材の外縁部から覆うように保持すること、
を特徴とする静電アクチュエータ。 - 請求項1から請求項4でのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、
前記保持部材は、弾性体から形成されること、
を特徴とする静電アクチュエータ。 - 請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の静電アクチュエータにおいて、
直流電源から前記第1及び第2導電性部材に電圧を印加し、前記第1及び第2導電性部材に蓄えられた電荷の量に応じて、前記第1及び第2導電性部材の伸縮量を制御する制御部を備えること、
を特徴とする静電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006069415A JP2007252038A (ja) | 2006-03-14 | 2006-03-14 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006069415A JP2007252038A (ja) | 2006-03-14 | 2006-03-14 | 静電アクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007252038A true JP2007252038A (ja) | 2007-09-27 |
Family
ID=38595769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006069415A Pending JP2007252038A (ja) | 2006-03-14 | 2006-03-14 | 静電アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007252038A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1028214A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Ricoh Co Ltd | データ通信装置 |
JP2014204651A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-27 | 株式会社ポリテック・デザイン | 静電アクチュエータ |
JP2021112096A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | 株式会社デンソー | アクチュエータおよびアクチュエータシステム |
-
2006
- 2006-03-14 JP JP2006069415A patent/JP2007252038A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1028214A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Ricoh Co Ltd | データ通信装置 |
JP2014204651A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-27 | 株式会社ポリテック・デザイン | 静電アクチュエータ |
JP2021112096A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | 株式会社デンソー | アクチュエータおよびアクチュエータシステム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3939337B2 (ja) | 高分子アクチュエータ | |
US9662197B2 (en) | Artificial muscle | |
EP2585717B1 (en) | A three-electrode linear and bending polymeric actuator | |
US8378551B2 (en) | Actuator and method of manufacturing the same | |
EP2017905B1 (en) | Actuator | |
JP2000083389A (ja) | アクチュエータ | |
US7888846B2 (en) | Actuator | |
JP2007252038A (ja) | 静電アクチュエータ | |
JP6633958B2 (ja) | ばね機構及び直動変位機構 | |
JP2007159222A (ja) | 高分子アクチュエータ及び高分子アクチュエータにより駆動されるロボットアーム及びロボットアームを有するロボット | |
JP2007252043A (ja) | 静電アクチュエータ | |
WO2020209187A1 (ja) | 静電アクチュエータ組立体 | |
KR101171519B1 (ko) | 전기 활성 액츄에이터 | |
JP5780261B2 (ja) | アクチュエータ | |
JPH06141568A (ja) | 静電アクチュエータ及びこれを用いたインチワーム | |
KR101092168B1 (ko) | 외부 자극에 따라 길이가 가변되는 길이 가변부를 사용하는 안테나 및 이에 포함된 피딩 제어 장치 | |
JP2008211879A (ja) | アクチュエータおよび駆動装置 | |
KR101793225B1 (ko) | 곡면형 압전장치 | |
JP2011027004A (ja) | 形状記憶合金アクチュエータ装置 | |
KR101095801B1 (ko) | Sma와 ipmc를 이용한 모터 구동수단 및 그 구동방법 | |
JP4069692B2 (ja) | 伸縮自在アクチュエータ | |
JP2010252545A (ja) | チューブ状駆動体 | |
JP5233068B2 (ja) | アクチュエータ、並びにブレーキ装置、流体制御装置、レンズ位置調整装置 | |
GB2607269A (en) | SMA actuator assembly | |
JP3475443B2 (ja) | 静電アクチュエータ |