JP2021112096A - アクチュエータおよびアクチュエータシステム - Google Patents

Abstract

【課題】性能の低下が抑制されたアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ２は、流体１１と、容器１２と、電極１３、１４とを備える。流体１１は、電気的な絶縁性をもつ。容器１２は、電極１３、１４の間に作用する吸引力によって変形可能である。容器１２は、流体１１の流動によって変形可能である。電極１３、１４は、容器１２の内部に配置されている。電極１３、１４の間に、容器１２の壁は位置づけられない。電極１３、１４の間に絶縁破壊が発生しても、容器１２の損傷が抑制される。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。【選択図】図１

Description

この明細書における開示は、アクチュエータおよびアクチュエータシステムに関する。

特許文献１は、静電型アクチュエータを開示する。先行技術文献の記載内容は、この明細書における技術的要素の説明として、参照により援用される。

特開２００６−１７５７０４号公報

先行技術文献の構成は、対向する２つの電極の間に、絶縁膜を備える。電極の間に印加される電界は、電極の間に絶縁破壊を生じる場合がある。この結果、アクチュエータは性能を維持できない場合がある。絶縁破壊は、例えば、絶縁膜の密封性を低下させる。密封性の低下は、媒質の漏洩、または、異物の侵入を生じる。上述の観点において、または言及されていない他の観点において、アクチュエータにはさらなる改良が求められている。

開示されるひとつの目的は、性能の低下が抑制されたアクチュエータおよびアクチュエータシステムを提供することである。

ここに開示されたアクチュエータは、電気的な絶縁性をもつ流体（１１）と、流体を収容する変形可能な容器（１２）と、容器の内部に配置され、互いに対向している２つの電極（１３、１４）とを備える。

開示されるアクチュエータによると、容器の内部に２つの電極が配置されている。よって、２つの電極の間に絶縁破壊が発生しても、容器の損傷が抑制される。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータが提供される。

ここに開示されたアクチュエータシステムは、上記アクチュエータ（２）と、２つの電極に電圧を印加する回路を含む制御システム（３）とを備える。

この明細書において開示された複数の形態は、それぞれの目的を達成するために、互いに異なる技術的手段を採用する。請求の範囲およびこの項に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態の部分との対応関係を例示的に示すものであって、技術的範囲を限定することを意図するものではない。この明細書に開示される目的、特徴、および効果は、後続の詳細な説明、および添付の図面を参照することによってより明確になる。

第１実施形態に係るシステムのブロック図である。 第１実施形態に係るシステムのブロック図である。 比較モデルのブロック図である。 厚さと誘電率との数式を示す表である。 第２実施形態に係るシステムのブロック図である。 第２実施形態に係るシステムのブロック図である。 第３実施形態に係るシステムのブロック図である。 第４実施形態に係るシステムのブロック図である。 第４実施形態に係るシステムのブロック図である。 第５実施形態に係るシステムのブロック図である。 第６実施形態に係るシステムのブロック図である。 第７実施形態に係るシステムのブロック図である。 第８実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 第９実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 第１０実施形態に係るシステムのブロック図である。 第１１実施形態に係るシステムのブロック図である。 第１２実施形態に係るシステムのブロック図である。 第１３実施形態に係るシステムのブロック図である。 第１４実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 第１４実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 第１５実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 第１５実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。

複数の実施形態が、図面を参照しながら説明される。複数の実施形態において、機能的におよび／または構造的に対応する部分および／または関連付けられる部分には同一の参照符号、または百以上の位が異なる参照符号が付される場合がある。対応する部分および／または関連付けられる部分については、他の実施形態の説明を参照することができる。

第１実施形態
図１において、アクチュエータシステム１は、アクチュエータ２と、制御システム３とを備える。アクチュエータシステム１は、アクチュエータ２において発生する変位によって対象物を変位させる。アクチュエータシステム１は、多様な用途の動力源を提供する。アクチュエータシステム１は、例えば、マニピュレータ、ロボットハンドなどの動力源として利用可能である。アクチュエータ２は、人工筋肉とも呼ばれる。

制御システム３は、電源４と、スイッチ５と、制御装置（ＥＣＵ）６とを備える。電源４は、アクチュエータ２に駆動用の電圧を印加する。電源４は、アクチュエータ２の２つの電極間に吸引力を発生させるための電圧を供給する。電源４は、直流の電源である。電源４は、アクチュエータ２の作動状態をモニタするための交流成分を含んでいてもよい。電源４は、アクチュエータ２の２つの電極間に静電気的な反発力を発生させるための電圧を供給してもよい。スイッチ５は、外部から導通状態を制御可能な電気素子である。スイッチ５は、リレーまたは半導体スイッチによって提供することができる。制御装置６は、スイッチ５を制御する。電源４とスイッチ５とは、アクチュエータ２に電圧を印加する回路を構成している。回路における電気的な接続は、ワイヤハーネス７によって提供されている。

アクチュエータ２は、媒質としての流体１１と、流体１１を収容する容器１２と、２つの電極１３、１４とを備える。アクチュエータ２は、静電型のアクチュエータとも呼ばれる場合がある。アクチュエータ２は、静電型の作用を含む場合、２つの電極１３、１４の間に作用する静電気に起因する吸引力または静電気に起因する反発力を出力する。アクチュエータ２は、誘電型のアクチュエータと呼ばれる場合がある。アクチュエータ２は、誘電型の作用を含む場合、２つの電極１３、１４の間に作用する電界による流体１１の流動の力を出力する。媒質の流動は、媒質の電歪効果でもある場合がある。アクチュエータ２は、誘電型と静電型との両方の性質を有する場合がある。

アクチュエータ２の出力は、電極１３または電極１４の変位、または、２つの電極１３、１４の間に存在する流体１１の変位として出力される。電極１３、１４の変位は、電極１３または電極１４の変位、または、両方の電極１３、１４の変位として出力される。電極１３、１４の変位は、容器１２の変位として出力されてもよい。流体１１の変位は、流体１１の流動をエネルギに変換してもよい。流体１１の変位は、流体１１を収容する容器１２の変位として出力されてもよい。

流体１１は、アクチュエータ２における媒質を提供する。流体１１は、流動性をもつ。流体１１は、電気的な絶縁性をもつ。流体１１は、高い誘電率をもつ誘電体である。流体１１は、電界の中において誘電分極し流動する材料である。流体１１は、２つの電極１３、１４に印加される電界（電圧）によって誘電分極する分子を含む。流体１１は、２つの電極１３、１４が形成しうる最少隙間においても絶縁破壊しない絶縁耐力を有する。言い換えると、流体１１は、アクチュエータ２において発生しうる最大の電界においても絶縁破壊しない絶縁耐力を有する。

流体１１は、２つの電極１３、１４の変位に伴って流動可能である。すなわち、流体１１は、オフ状態とオン状態との切り替わりにおいて、流動する。流体１１は、気体、または、液体を含む。流体１１は、気体と固体との混合物、または、液体と固体との混合物によって提供される場合がある。混合物における固体は、例えば、微粒子である。混合物における固体は、繊維状、膜状、または、袋状である場合がある。流体１１は、例えば、ガス、水、オイル、誘電液晶などによって提供することができる。この実施形態では、流体１１は、高い誘電率を有する誘電液晶によって提供されている。流体１１は、流動性のあるエラストマによって提供されてもよい。

容器１２は、密封された内部室を区画している。容器１２は、袋状である。容器１２は、流体１１を収容する。流体１１は、内部室を満たすように容器１２の中に充填されている。容器１２は、流体１１の漏洩を阻止して、流体１１を保持するものである。この明細書における開示は、容器１２の内部に、膜状の部材、または、袋状の部材の存在を許容する場合がある。容器１２は、電極１３、１４の変位、流体１１の流動、または、電極１３、１４の変位と流体１１の流動との両方を許容する。容器１２は、弾性的に変形可能である。容器１２は、弾性域において反復的に変形可能な弾性材料によって形成されている。容器１２は、電気的な絶縁性をもつ材料製である。容器１２は、弾性変形可能な樹脂製である。容器１２は、ゴム、樹脂フィルム、エラストマなどによって提供することができる。

容器１２は、電極１３と電極１４との対向方向に延びる軸ＡＸに対して少なくともひとつの断面において対称である。容器１２は、軸ＡＸを回転軸とする回転対称体である。容器１２は、軸ＡＸを中心軸とする回転体である。容器１２の対称性は、電極１３と電極１４との面方向へのずれを抑制するために貢献する。

容器１２は、第１壁２１と、第２壁２２とを少なくとも備える。図示の例では、容器１２は、一対の第１壁２１と、一対の第２壁２２とを有する。図示の例では、第１壁２１と第２壁２２とは、連続した樹脂材料によって提供されている。容器１２は、一部に接合部を有する場合がある。これに代えて、容器１２は、第１壁２１にも第２壁２２にも属さない壁を有していてもよい。容器１２は、例えば、部分的に硬質の樹脂材料製の壁を有していてもよい。

容器１２は、少なくとも２つの第１壁２１を備える。２つの第１壁２１は、互いに対向して配置されている。第１壁２１は、一対の電極１３、１４を支持している。第１壁２１は、電極１３、１４を支持するための支持壁とも呼ばれる。

容器１２は、少なくとも１つの第２壁２２を備える。この実施形態では、容器１２は、２つの第２壁２２を備える。これに代えて、容器１２は、単一の第２壁２２を備えていてもよい。第２壁２２は、第１壁２１の変位を許容するように変形可能である。言い換えると、第２壁２２は、電極１３、１４の変位に応答して変形可能である。第２壁２２が弾性部材により形成されている場合、第２壁２２は弾性的に変形可能である。第２壁２２は、伸縮可能である。さらに、第２壁２２は、流体１１の流動に伴って変形可能である。第２壁２２は、流体１１の流動に伴って収縮状態と膨張状態との間において変形可能である。第２壁２２は、伸縮することによって内部容積が可変である。第２壁２２は、バルーン壁とも呼ばれる。追加的に、第１壁２１が変形可能でもよい。

アクチュエータ２は、互いに対向して配置された一対の電極１３および電極１４を有する。２つの電極１３、１４は、所定の初期隙間Ｇｉだけ離れて位置づけられている。図示における電極１３、１４は、連続して面状に広がる連続体である。これに代えて、電極１３、１４は、メッシュ状の電極によって提供されてもよい。さらに、電極１３、１４は、電気的に導通した複数の島状面を含むマトリックス状の電極によって提供されてもよい。両方の電極１３、１４は、容器１２の内部に位置づけられている。電極１３、１４の間に、容器１２の壁は位置づけられない。

電極１３、１４は、それぞれ、電極部材３１と、端子部材３２とを有する。電極部材３１は、容器１２の内部に位置付けられている。電極部材３１は、電極１３、１４としての主要部を提供する。端子部材３２は、容器１２を貫通している。端子部材３２は、アクチュエータ２の外部と、電極部材３１とを電気的に接続している。端子部材３２は、容器１２の内部において電極部材３１に電気的に接続されている。電極部材３１と端子部材３２とは、連続した材料によって提供される場合がある。端子部材３２は、流体１１の漏洩を阻止するように容器１２と接合されている。端子部材３２と容器１２とは、端子部材３２の貫通部分において、接着されている。

両方の電極部材３１は、容器１２の内部に位置づけられている。電極部材３１は、容器１２の内面の上に位置づけられている。電極部材３１は、容器１２の内面に固定されている。電極部材３１は、容器１２の内面に接合されている。電極部材３１の背面（一方の面）は、容器１２に支持されている。電極部材３１の表面（他方の面）は、流体１１に向けて露出している。電極部材３１の表面は、流体１１と直接的に接触している。電極部材３１の表面は、流体１１を介して互いに対向している。よって、電極１３と電極１４との間には、流体１１だけが存在している。

電極部材３１および端子部材３２は、流体１１および容器１２よりも明らかに高い導電率をもつ導電材料製である。電極部材３１および端子部材３２は、金属製、または、導電樹脂製である。この実施形態において、電極部材３１および端子部材３２は、金属製である。電極部材３１は、金属製の板、または、金属製の薄膜によって提供されている。電極部材３１が、金属製の板である場合、電極部材３１は、容器１２の内面に接着によって接合される場合がある。電極部材３１が、金属製の薄膜である場合、電極部材３１は、容器１２の内面に蒸着された蒸着膜によって提供される場合がある。

電極部材３１、および／または、端子部材３２は、容器１２と接合されている。この実施形態では、電極部材３１と端子部材３２との両方が容器１２と接合されている。なお、電極部材３１、または、端子部材３２の一方だけが、容器１２と接合されていてもよい。容器１２と電極部材３１との接合強度、および、容器１２と端子部材３２との接合強度は、容器１２と電極１３、１４との剥離を阻止するように設定されている。容器１２と電極部材３１との接合強度は、電極１３と電極１４との間に作用する吸引力以上であることが望ましい。

アクチュエータ２は、多様な製造方法によって製造することができる。アクチュエータ２の製造方法は、第１工程と、第２工程と、第３工程とを含む。第１工程は、容器１２としての壁を形成する工程である。第１工程は、連続した樹脂材料によって第１壁２１と第２壁２２とを含む成形品を成形する工程である。第１工程は、連続した樹脂材料をフィルム状に成形する工程でもよい。第２工程は、第１工程において製造された容器部品の内面に電極１３、１４を配置する工程である。第３工程は、第２工程の後に、容器部品を容器１２としての袋状に閉鎖する工程である。第３工程は、容器部品を溶着する工程、または、接着する工程によって提供される。さらに、第３工程は、容器１２の中に流体１１を充填し、封止する工程を含む。容器１２は、流体１１を充填した痕跡としての充填痕を有する場合がある。第１工程と、第３工程との間に、第２工程が位置づけられる製造方法は、この実施形態の形状を特徴付けている。

制御システム３は、２つの電極１３、１４に電圧を印加する回路を含む。制御システム３は、複数の電極の間に印加される電気エネルギを制御する。制御システム３は、アクチュエータ２から所望の出力が得られるように、アクチュエータ２に印加する電気エネルギを制御する。制御システム３は、例えば、アクチュエータ２に印加する電圧を調節する。典型的な一例では、制御システム３は、アクチュエータ２に印加する電圧をオフ状態またはオン状態に切り替える。以下の説明において、オフ状態は、非励起状態と呼ばれることがある。オン状態は、励起状態と呼ばれることがある。オフ状態とオン状態とは、０（ゼロ）電圧値と所定電圧値とに対応付けることができる。また、オフ状態とオン状態とは、所定の基底電圧値と、基底電圧値より高い励起電圧値とに対応付けることができる。なお、制御システム３は、アクチュエータ２に印加する電圧を連続的に、または、２段を超える段階的に調節してもよい。

この明細書における制御装置６は、電子制御装置（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）とも呼ばれる場合がある。制御装置、または制御システムは、（ａ）ｉｆ−ｔｈｅｎ−ｅｌｓｅ形式と呼ばれる複数の論理としてのアルゴリズム、または（ｂ）機械学習によってチューニングされた学習済みモデル、例えばニューラルネットワークとしてのアルゴリズムによって提供される。

制御装置６は、少なくともひとつのコンピュータを含む制御システムによって提供される。制御システムは、データ通信装置によってリンクされた複数のコンピュータを含む場合がある。コンピュータは、ハードウェアである少なくともひとつのプロセッサ（ハードウェアプロセッサ）を含む。ハードウェアプロセッサは、下記（ｉ）、（ｉｉ）、または（ｉｉｉ）により提供することができる。

（ｉ）ハードウェアプロセッサは、少なくともひとつのメモリに格納されたプログラムを実行する少なくともひとつのプロセッサコアである場合がある。この場合、コンピュータは、少なくともひとつのメモリと、少なくともひとつのプロセッサコアとによって提供される。プロセッサコアは、ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ、ＧＰＵ：Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ、ＲＩＳＣ−ＣＰＵなどと呼ばれる。メモリは、記憶媒体とも呼ばれる。メモリは、プロセッサによって読み取り可能な「プログラムおよび／またはデータ」を非一時的に格納する非遷移的かつ実体的な記憶媒体である。記憶媒体は、半導体メモリ、磁気ディスク、または光学ディスクなどによって提供される。プログラムは、それ単体で、またはプログラムが格納された記憶媒体として流通する場合がある。

（ｉｉ）ハードウェアプロセッサは、ハードウェア論理回路である場合がある。この場合、コンピュータは、プログラムされた多数の論理ユニット（ゲート回路）を含むデジタル回路によって提供される。デジタル回路は、ロジック回路アレイ、例えば、ＡＳＩＣ：Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ−Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＧＡ：Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ、ＳｏＣ：Ｓｙｓｔｅｍ ｏｎ ａ Ｃｈｉｐ、ＰＧＡ：Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ、ＣＰＬＤ：Ｃｏｍｐｌｅｘ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｄｅｖｉｃｅなどとも呼ばれる。デジタル回路は、プログラムおよび／またはデータを格納したメモリを備える場合がある。コンピュータは、アナログ回路によって提供される場合がある。コンピュータは、デジタル回路とアナログ回路との組み合わせによって提供される場合がある。

（ｉｉｉ）ハードウェアプロセッサは、上記（ｉ）と上記（ｉｉ）との組み合わせである場合がある。（ｉ）と（ｉｉ）とは、異なるチップの上、または共通のチップの上に配置される。これらの場合、（ｉｉ）の部分は、アクセラレータとも呼ばれる。

制御装置と信号源と制御対象物とは、多様な要素を提供する。それらの要素の少なくとも一部は、ブロック、モジュール、またはセクションと呼ぶことができる。さらに、制御システムに含まれる要素は、意図的な場合にのみ、機能的な手段と呼ばれる。

この開示に記載の制御部及びその手法は、コンピュータプログラムにより具体化されたひとつ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。代替的に、この開示に記載の制御部及びその手法は、ひとつ以上の専用ハードウェア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。代替的に、この開示に記載の制御部及びその手法は、ひとつ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリとひとつ以上のハードウェア論理回路によって構成されたプロセッサとの組み合わせにより構成されたひとつ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な非遷移有形記録媒体に記憶されていてもよい。

図１は、オフ状態を示す。図示において、矢印ＨＤの方向を高さ方向ＨＤ、矢印ＷＤの方向を幅方向ＷＤと呼ぶ。高さ方向ＨＤは、２つの電極１３、１４の離間方向である。なお、アクチュエータ２は、多様な姿勢に設置することができる。アクチュエータ２は、例えば、高さ方向ＨＤが重力方向に一致するように設置することができる。これに代えて、アクチュエータ２は、高さ方向ＨＤが水平方向となるように設置することもできる。

オフ状態において、制御装置６は、スイッチ５をオフ状態に制御している。オフ状態において、電極１３と電極１４との間には、それらを互いに吸引する電界は作用していない。オフ状態において、電極１３と電極１４との間には、初期間隔Ｇｉが形成されている。オフ状態において、２つの第１壁２１の外面は、初期高さＨｆだけ離れている。オフ状態において、２つの第２壁２２の外面は、初期幅Ｗｆだけ離れている。

オフ状態における容器１２の形状は、初期形状ＲＳである。初期形状ＲＳは、アクチュエータ２に駆動電圧が加えられていない無負荷状態における流体１１と容器１２との平衡状態によって与えられる。初期形状ＲＳは、例えば、流体１１に重力が作用し、第２壁２２がわずかに伸張した状態である場合がある。初期形状ＲＳは、無負荷形状、または、弛緩状態とも呼ぶことができる。

図２は、オン状態を示す。オン状態において、制御装置６は、スイッチ５をオン状態に制御している。オン状態において、電極１３と電極１４との間には、それらを互いに吸引する電界が作用している。オン状態において、電極１３と電極１４との間には、活性化間隔Ｇａが形成されている。初期間隔Ｇｉは、活性化間隔Ｇａより大きい（Ｇｉ＞Ｇａ）。流体１１および容器１２は、活性化間隔Ｇａを確実に提供するように構成されている。活性化間隔Ｇａは、必ず提供される。言い換えると、電極１３と電極１４とは、直接的に接触することはない。

オン状態において、２つの第１壁２１の外面は、活性化高さＨａだけ離れている。初期高さＨｆは、活性化高さＨａより大きい（Ｈｆ＞Ｈａ）。初期間隔Ｇｉから活性化間隔Ｇａへの変位、および、初期高さＨｆから活性化高さＨａへの変位によって、流体１１が流動する。流体１１の流動に伴って、第２壁２２はバルーン状に膨らむ。オン状態において、２つの第２壁２２の外面は、活性化幅Ｗａだけ離れている。初期幅Ｗｆは、活性化幅Ｗａより小さい。なお、バルーン状に膨らんだ第２壁２２は、第２壁２２によって活性化バルーン高さＨｂを規定する。活性化バルーン高さＨｂは、オフ状態においては０（ゼロ）である。

オン状態における容器１２の形状は、活性化形状ＡＳである。活性化形状ＡＳは、アクチュエータ２に規定の駆動電圧が加えられている負荷状態における流体１１と容器１２との平衡状態によって与えられる。活性化形状ＡＳは、例えば、第２壁２２が流体１１によって大きく伸張した状態である。活性化形状ＡＳは、負荷形状、または、緊張状態とも呼ぶことができる。言い換えると、第２壁２２は、電極１３と電極１４との間に発生した力によって、変形する。

初期形状ＲＳから活性化形状ＡＳへの変形は、電極１３と電極１４とに作用する電界によってもたらされる。逆に、活性化形状ＡＳから初期形状ＲＳへの変形は、主として容器１２の弾性力によってもたらされる。容器１２を活性化形状ＡＳから初期形状ＲＳへ変形させる力は、復元力とも呼ばれる。復元力は、多様な力によって提供される場合がある。復元力は、例えば、（１）容器１２の弾性力を含む。復元力は、例えば、（２）ばね等の外部付勢部材から容器１２に加えられる外力を含む。復元力は、（３）流体１１に作用する重力を含む。さらに、復元力は、（１）、（２）、および、（３）のうちの少なくとも２つの組み合わせによって提供される場合がある。よって、復元力は、容器１２の弾性力、流体１１に作用する重力、および、外部付勢部材から容器１２に加えられる外力のいずれかひとつを含む。

アクチュエータ２の変位量は、初期高さＨｆと活性化高さＨａとの差によって与えられる場合がある。アクチュエータ２の変位量は、初期幅Ｗｆと活性化幅Ｗａとの差によって与えられる場合がある。アクチュエータ２の変位量は、活性化バルーン高さＨｂによって与えられる場合がある。この実施形態では、両方の電極１３、１４が可動であるように説明した。これに代えて、一方の電極のみ（電極１３または電極１４）を可動としてもよい。

図３は、流体Ｃ１１、容器Ｃ１２、および、電極Ｃ１３、Ｃ１４を含む比較モデルを示す。流体Ｃ１１、容器Ｃ１２、および、電極Ｃ１３、Ｃ１４は、この実施形態の流体１１、容器１２、および、電極１３、１４と同じ材料である。比較モデルにおいては、電極Ｃ１３と電極Ｃ１４との間に容器Ｃ１２が位置付けられている。電極Ｃ１３と電極Ｃ１４との間に電圧Ｖが印加されている場合、流体Ｃ１１および容器Ｃ１２の分圧は、それぞれ、Ｖ１、および、Ｖ２となる。流体Ｃ１１は、誘電率ε２を有し、静電容量Ｃ２を提供する。容器Ｃ１２は、誘電率ε１を有し、静電容量Ｃ１を提供する。電荷量Ｑを一定値とすると、図４における各式が成立する。分圧Ｖ１は、（１）式で表される。分圧Ｖ２は、（２）式で表される。容器１２の絶縁耐力Ｅは、（３）式で表される。厚さｄ１における分圧Ｖ１が、絶縁耐力Ｅ（Ｖ／ｍ）を超えると、比較モデルの容器Ｃ１２が絶縁破壊する。（３）式から、（４）式、（５）式、（６）式が順に導かれる。（６）式において、電圧Ｖが、（６）式で規定される条件を満たすと、容器Ｃ１２が絶縁破壊する。よって、電極Ｃ１３、Ｃ１４が容器Ｃ１２の内部に配置された構成は、この（６）式が成立する場合に採用されることが望ましい。

比較モデルは、電極１３と電極１４との間に容器１２が位置付けられていると仮定した場合を示している。よって、この実施形態のアクチュエータ２においては、電極１３と電極１４との間に容器１２が位置付けられていると仮定した場合に導かれる（６）式が成立していることが望ましい。言い換えると、この実施形態のアクチュエータ２においては、Ｅを容器１２の絶縁耐力、ε１を容器１２の誘電率、ｄ１を容器１２の厚さ、ε２を流体１１の誘電率、ｄ２を流体１１の厚さ、Ｖを電極１３と電極１４との間への印加電圧とした場合に、 Ｅ＜Ｖ・１／ｄ１・ε２・ｄ１／（ε１・ｄ２＋２・ε２・ｄ１）・・・（６）式 が成立している。なお、この実施形態のアクチュエータ２においては、電極１３と電極１４との間に容器１２が位置付けられていると仮定した場合でも、絶縁破壊が発生しないように、流体１１および容器１２が設計されてもよい。

電気的な絶縁性の流体１１に起因して、電界集中が発生することがある。流体１１の中では、流体１１の分極によって電界緩和が起こり、流体１１以外の箇所で電界集中が起こるからである。この電界集中によって、容器１２に印加される電界が、容器１２の絶縁耐力を超える場合がある。このような場合に、図１、図２に図示された構成が、著しい効果を発揮する。

電極１３と電極１４とに電圧が印加されると、電極１３と電極１４との間に作用する電界の一部（漏洩電界の成分）は、第２壁２２にも作用する。この漏洩電界に起因する第２壁２２の絶縁破壊を予防するために、第２壁２２は、電極１３の外側縁部から距離ＤＲ以上に離れている。距離ＤＲの方向は、電極１３の面に沿った面方向である。電極１３の面方向は、幅方向ＷＤでもある。よって、容器１２は、電極１３、１４の面方向において所定距離ＤＲ以上に離れた壁を有する。所定距離ＤＲは、漏洩電界による第２壁２２の絶縁破壊を防止できる距離に設定されている。これにより、電極１３の面方向（幅方向ＷＤ）に位置づけられた壁（第２壁２２）における絶縁破壊が回避される。この結果、第２壁２２からの流体１１の漏洩が回避される。

以上に述べた実施形態によると、電極１３と電極１４とは、容器１２の内部に配置されている。このため、電極１３と電極１４との間において絶縁破壊が発生しても、容器１２の損傷が抑制される。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第２実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、容器１２は、実質的に一様な厚さを備える。これに代えて、この実施形態では、容器１２は、容器１２における応力集中部位に、応力集中を緩和する厚さを備える。

図５は、オフ状態を示す。図６は、オン状態を示す。図示されるように、容器１２は、第１壁２１と第２壁２２との境界領域に補強部２２３を備える。補強部２２３は、容器１２の壁における隆起部分である。補強部２２３は、境界領域における容器１２の厚さを増加させている。第１壁２１は、オン状態とオフ状態とが切り替えられても、ほとんど変形しない。一方で、第２壁２２は、オフ状態において収縮しており、オン状態において膨張し伸長している。言い換えると、第１壁２１の変形量は、第２壁２２の変形量より小さい。このため、第１壁２１と第２壁２２との境界領域には応力が集中する。

これに対して、補強部２２３は、境界領域における容器１２の厚さを増加させることにより、応力集中を緩和する。この実施形態によると、容器１２の機械的な破損が抑制される。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第３実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、端子部材３２は、容器１２に接合されている。これに代えて、この実施形態では、容器１２は、端子部材３２との接合強度を補強するための接合部材３２４を備える。

図７において、容器１２と端子部材３２との間には、接合部材３２４が配置されている。接合部材３２４は、樹脂材料によって提供することができる。接合部材３２４は、例えば、端子部材３２と接着しやすいポッティング樹脂によって提供される。接合部材３２４は、容器１２を貫通して配置されている。接合部材３２４と容器１２とは、高い強度をもって接着されている。接合部材３２４と端子部材３２とは、高い強度をもって接着されている。この実施形態によると、端子部材３２において高い密封性が得られる。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第４実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、第２壁２２は、弾性的に伸縮が可能である。これに代えて、この実施形態では、第２壁２２に相当する壁は、蛇腹状である。蛇腹状の壁において、壁の弾性的な伸縮量は小さい。蛇腹状の壁においては、壁の角度変化によって容積変化が提供される。さらに、この実施形態では、復元力は、流体１１に作用する重力を含む。

図８および図９において、容器１２は、第１壁２１を有する。容器１２は、バルーン状の第２壁２２に代えて、蛇腹状の第２壁４２２ａ、４２２ｂを備える。

第２壁４２２ａは、筒状のシリンダ４２５ａを提供する。シリンダ４２５ａは、第１壁２１の変位を可能とする。シリンダ４２５ａは、伸縮することによって内部容積が可変である。シリンダ４２５ａは、主シリンダまたは第１シリンダとも呼ばれる。

第２壁４２２ｂは、筒状のシリンダ４２５ｂを提供する。シリンダ４２５ｂは、蛇腹状の第２壁４２２ｂの変形によって伸縮することができる。シリンダ４２５ｂは、伸縮することによって内部容積が可変である。シリンダ４２５ｂは、シリンダ４２５ａの径方向外側に間欠的に配置された複数の筒状部材によって提供することができる。これに代えて、容器１２は、例えば、ひとつのシリンダ４２５ａと、ひとつのシリンダ４２５ｂとによって構成されてもよい。この場合、容器１２は、軸ＡＸに対して非対称の形状をもつことができる。これに代えて、シリンダ４２５ｂは、シリンダ４２５ａの径方向外側に同心状に配置された環状の中空筒状部材によって提供されてもよい。シリンダ４２５ｂは、副シリンダまたは第２シリンダとも呼ばれる。筒状のシリンダ４２５ａ、４２５ｂは、多様な形状によって提供することができる。筒状のシリンダ４２５ａ、４２５ｂは、例えば、円筒、または、三角筒、四角筒などを含む多角筒によって提供することができる。

この実施形態では、電極１３と電極１４とのうち、一方の電極１３だけが可動に構成されている。この構成は、シリンダ４２５ａにおける第１壁２１だけの変位から、比較的大きい変位を出力として取り出すことを可能とする。第２壁４２２ａおよびシリンダ４２５ａは、図示の例では、高さ方向ＨＤ、すなわち重力方向に伸縮するように形成され、設置されている。これに代えて、第２壁４２２ａおよびシリンダ４２５ａは、水平方向に伸縮するように形成され、配置されてもよい。第２壁４２２ｂおよびシリンダ４２５ｂは、重力方向に伸縮するように形成され、設置されている。この配置は、流体１１に作用する重力を復元力として利用することを可能とする。

図８に図示されるオフ状態では、容器１２は、初期形状ＲＳである。初期形状ＲＳにおいて、流体１１に作用する重力は、シリンダ４２５ａを伸長状態に位置づけ、シリンダ４２５ｂを収縮状態に位置づける。オフ状態では、シリンダ４２５ａにおける流体１１の液位と、シリンダ４２５ｂにおける流体１１の液位とは等しい。

図９に図示されるオン状態では、容器１２は、活性化形状ＡＳである。電極１３と電極１４とに印加される電圧は、電界に起因する吸引力を発生する。オン状態では、シリンダ４２５ａは、収縮状態に位置づけられる。一方で、シリンダ４２５ａから排出された流体１１は、シリンダ４２５ｂに流入する。オン状態では、シリンダ４２５ｂは、流体１１によって伸長状態に位置づけられる。

オン状態からオフ状態に切り替わると、シリンダ４２５ｂに収容された流体１１は、矢印ＩＸで示されるように流動する。流体１１は、重力によってシリンダ４２５ｂの内部を流れ下る。さらに、流体１１は、再び、シリンダ４２５ｂからシリンダ４２５ａに流入し、シリンダ４２５ａを伸長させる。すなわち、活性化形状ＡＳから初期形状ＲＳへの復元力が流体１１に作用する重力によって提供される。復元力は、シリンダ４２５ａおよびシリンダ４２５ｂの弾性復元力と、流体１１に作用する重力との組み合わせによって提供される場合がある。シリンダ４２５ａおよびシリンダ４２５ｂの弾性復元力が０（ゼロ）であるか、実質的に無視しうる値である場合、復元力は、専ら流体１１に作用する重力によって提供される。

この実施形態によると、容器１２の弾性力だけに依存することなく、重力を利用して復元力を得ることができる。容器１２の弾性力は、材料の劣化に起因して変動する場合がある。しかし、重力に起因する復元力は、ほぼ一定に維持される。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第５実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、復元力は、弾性復元力、および／または、流体１１に作用する重力を含む。これに代えて、この実施形態では、復元力は、外部付勢部材による復元力を含む。

図１０において、アクチュエータ２は、外部付勢部材としてのばね部材５２６を備える。ばね部材５２６は、コイルばねである。外部付勢部材は、空気ばね、板ばねなど多様な付勢部材によって提供することができる。ばね部材５２６は、図示のオン状態、すなわち活性化形状ＡＳにおいては、収縮状態にあり、シリンダ４２５ｂに付勢力を与えている。この結果、オン状態からオフ状態に切り替わると、ばね部材５２６は、シリンダ４２５ｂを伸長状態から収縮状態へ押す。これにより、シリンダ４２５ｂに収容された流体１１は、矢印Ｘで示されるように流動する。この結果、容器１２は、活性化形状ＡＳから初期形状ＲＳへ復元する。

復元力は、シリンダ４２５ａおよびシリンダ４２５ｂの弾性復元力と、流体１１に作用する重力と、外部付勢部材による復元力との組み合わせによって提供される場合がある。シリンダ４２５ａおよびシリンダ４２５ｂの弾性復元力が０（ゼロ）であるか、実質的に無視しうる値である場合、復元力は、流体１１に作用する重力と、外部付勢部材による復元力とによって提供される。なお、外部付勢部材は、容器１２の内部に配置されてもよい。この場合も、外部付勢部材は、容器１２の材質、形状に依存することのない外部的な復元力を付与する。

この実施形態によると、容器１２の弾性力、および、重力に依存することなく、外部付勢部材を利用して強力な復元力を得ることができる。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第６実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、容器１２は、バルーン状、または、蛇腹状の第２壁２２、４２２ａ、４２２ｂを備えている。これに代えて、この実施形態では、容器１２は、ダイヤフラム状の部材によって提供されている。

図１１において、アクチュエータ２は、ダイヤフラム状の容器１２を備える。この実施形態でも、容器１２は、樹脂製である。ダイヤフラム状の容器１２は、第１壁２１と、第２壁６２２とを備える。第２壁６２２は、第１壁２１の径方向外側を囲む環状、または、フランジ状である。第２壁６２２は、わずかに変形する。ダイヤフラム状の容器１２は、積層構造に適する。積層構造において、容器１２は、軸ＡＸの方向に沿って積層的に配置される。この実施形態でも、容器１２の内部に設置された電極１３、１４によって、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第７実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、容器１２は、樹脂製である。これに代えて、この実施形態では、容器１２は、金属製である。

図１２において、ダイヤフラム状の容器１２は、金属製である。容器１２は、第１壁２１と、第２壁７２２とを備える。第２壁７２２は、金属板の弾性によってわずかに変形する。容器１２は、導電性をもつ。電極１３、１４と、容器１２との間には、電気的な絶縁部材７２７が配置されている。この実施形態でも、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第８実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、容器１２は自らの対称的な形状によって、電極１３と電極１４との対向関係を維持している。これに代えて、または、これに加えて、この実施形態では、アクチュエータ２は、変形を案内するための付加的なガイド部材８２９を備える。

図１３において、容器１２は、初期形状ＲＳと活性化形状ＡＳとに変形することを期待されている。しかし、容器１２は、望ましくない比較形状ＡＳｃｏｍに変形する場合がある。容器１２は、例えば、座屈するようにやや斜めに倒れる場合がある。この場合、電極１３と電極１４との正確な対向関係が維持されない。例えば、電極１３と電極１４とはそれらの面方向にずれて対向させられる。顕著な場合には、電極１３と電極１４との平行性が失われる。

この実施形態では、容器１２の外側にガイド部材８２８が設置されている。ガイド部材８２８は、容器１２の径方向外側に配置されている。容器１２の逸脱を阻止するように、等間隔に複数のガイド部材８２８が配置されている。ガイド部材８２８は、容器１２の外面に接触することにより、容器１２の変形を案内する。ガイド部材８２８は、オフ状態からオン状態にわたって、電極１３、１４の対向状態を維持するように、容器１２の変形を案内する。この結果、容器１２は、初期形状ＲＳと活性化形状ＡＳとに安定的に変形する。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第９実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。この実施形態では、アクチュエータ２は、ガイド部材９２８を備える。

図１４において、容器１２は、貫通穴９１５を有する。貫通穴９１５は、軸ＡＸと平行に容器１２を貫通している。言い換えると、容器１２は、ドーナツ状の環状体である。この実施形態では、電極１３、１４は、図示されない。電極１３、１４は、ドーナツ状の環状体である。アクチュエータ２は、貫通穴９１５の内部にガイド部材９２８を備える。ガイド部材９２８は、貫通穴９１５の内面と接触することにより、容器１２の変形を案内する。この結果、容器１２は、初期形状ＲＳと活性化形状ＡＳとに安定的に変形する。この結果、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第１０実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、補強部２２３は、容器１２の隆起部によって提供されている。これに代えて、補強部は、多様な部材、または、形状によって提供することができる。

図１５において、容器１２は、第１壁２１と第２壁２２との境界部分に、補強部Ａ２３を備える。補強部Ａ２３において、容器１２の材料は、他の部位よりも応力集中が緩和される材料である。補強部Ａ２３は、他の部位とは、異なる材料によって提供されている。さらに、補強部２２３、および、補強部Ａ２３は、追加的な補強部材を備えることができる。補強部２２３、Ａ２３は、例えば、メッシュ状の補強繊維を備える場合がある。この実施形態でも、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第１１実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、容器１２は、袋状に封止されている。これに代えて、この実施形態では、容器１２は、電極部材と共同して、流体１１を封止する袋状部材を提供している。

図１６において、電極１３、１４は、電極部材Ｂ３１を備える。電極部材Ｂ３１は、容器１２を貫通して配置されている。電極部材Ｂ３１は、流体１１の漏洩を阻止するように、それ自身が容器１２に対して接合されている。端子部材３２は、容器１２に対して接合関係にはない。容器１２は、それ単独で袋状に封止されることがない。容器１２は、電極部材Ｂ３１とともに、流体１１を封止する袋状部材を提供する。電極部材Ｂ３１は、その一部が容器１２の内部に配置されており、その一部が容器１２の外部に配置されている。この構成でも、電極１３、１４は、容器１２の内部に配置され、互いに対向しているといえる。この実施形態でも、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第１２実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。図１７において、電極部材３１は、容器１２に区画された開口部Ｃ２９を覆っている。容器１２は、それ単独で袋状に封止されることがない。容器１２は、電極部材３１とともに、流体１１を封止する袋状部材を提供する。この構成でも、電極１３、１４は、容器１２の内部に配置され、互いに対向しているといえる。この実施形態でも、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第１３実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、端子部材３２は、高さ方向ＨＤに容器１２を貫通している。これに代えて、端子部材の取り出し方向は、多様な方向に設定することができる。

図１８において、端子部材Ｄ３２は、電極部材３１の縁部から、電極部材３１の面方向、すなわち幅方向ＷＤに延びている。端子部材Ｄ３２は、幅方向における容器１２の壁を貫通している。容器１２と端子部材Ｄ３２との間には、接合部材Ｄ２４が配置されている。接合部材Ｄ２４は、容器１２と端子部材Ｄ３２との間における密封性を提供する。端子部材Ｄ３２は、容器１２における電極部材３１によって覆われない部位に位置している。言い換えると、端子部材Ｄ３２は、電極部材３１によって覆われていない。このため、電極部材３１の存在は、容器１２と端子部材Ｄ３２との密封性に貢献しない。よって、流体１１は、容器１２と端子部材Ｄ３２との間の密封性だけに依存して封止されている。言い換えると、接合部材Ｄ２４は、電極部材３１に依存しない、高い密封性を発揮している。この実施形態でも、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第１４実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。容器１２の形状は、先行する実施形態における形状に限られない。容器１２は、多様な形状をもつことができる。容器１２は、図１９に図示される初期形状ＲＳと、図２０に図示される活性化形状ＡＳとに変形可能な第２壁Ｅ２２をもつ。初期形状ＲＳは、アーモンド、または、瞼のような断面形状をもつ。活性化形状ＡＳは、幅方向ＷＤの中央においてやや括れた８の字のような断面形状をもつ。容器１２は、軸ＡＸに対して回転対称の形状ではない。この実施形態でも、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

第１５実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。容器１２は、図２１に図示される初期形状ＲＳと、図２２に図示される活性化形状ＡＳとに変形可能な第２壁Ｆ２２をもつ。初期形状ＲＳは、高さ方向ＨＤにおける最大高さ部分が、幅方向ＷＤの一方（左）にやや偏った、横倒しの水滴のような断面形状をもつ。活性化形状ＡＳは、高さ方向ＨＤにおける最大高さ部分が、幅方向ＷＤの他方（右）に大きく偏った、スプーンのような断面形状をもつ。容器１２は、幅方向ＷＤに関して対称形状になることがない。この実施形態でも、性能の低下が抑制されたアクチュエータ２が提供される。

他の実施形態
この明細書および図面等における開示は、例示された実施形態に制限されない。開示は、例示された実施形態と、それらに基づく当業者による変形形態を包含する。例えば、開示は、実施形態において示された部品および／または要素の組み合わせに限定されない。開示は、多様な組み合わせによって実施可能である。開示は、実施形態に追加可能な追加的な部分をもつことができる。開示は、実施形態の部品および／または要素が省略されたものを包含する。開示は、ひとつの実施形態と他の実施形態との間における部品および／または要素の置き換え、または組み合わせを包含する。開示される技術的範囲は、実施形態の記載に限定されない。開示されるいくつかの技術的範囲は、請求の範囲の記載によって示され、さらに請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むものと解されるべきである。

明細書および図面等における開示は、請求の範囲の記載によって限定されない。明細書および図面等における開示は、請求の範囲に記載された技術的思想を包含し、さらに請求の範囲に記載された技術的思想より多様で広範な技術的思想に及んでいる。よって、請求の範囲の記載に拘束されることなく、明細書および図面等の開示から、多様な技術的思想を抽出することができる。

上記実施形態では、電極１３と電極１４とは、流体１１に対して露出しており、かつ、電極１３と電極１４との間には、流体１１だけが存在している。この明細書における開示は、電極１３と電極１４との間に流体１１だけが存在する構成に限定されない。この明細書における開示は、電極１３と電極１４との間に流体１１以外の電気的な絶縁性部材の存在を否定するものではない。また、この明細書における開示は、電極１３と電極１４との露出状態を、全面にわたる露出状態に限定するものではない。この明細書における開示は、電極１３と電極１４との部分的な露出状態を含む。例えば、電極１３と電極１４との少なくともいずれか一方は、メッシュ状の電気的な絶縁膜によって覆われる場合がある。

上記実施形態では、電極１３と電極１４とは、オフ状態とオン状態との両方において、平行に、対向して位置づけられている。これに代えて、電極１３と電極１４とは、オフ状態において、非平行に配置されてもよい。これに代えて、電極１３と電極１４とは、オン状態において、非平行に配置されてもよい。これに代えて、電極１３と電極１４とは、オフ状態とオン状態との両方において、非平行に配置されてもよい。

上記実施形態では、第１壁２１は、変形しない壁として説明されている。これに代えて、電極１３、１４を支持する壁も変形してもよい。電極１３、１４は、伸縮性を備えることができる。電極１３、１４は、例えば、伸縮性をもつメッシュ状の金属膜、または、伸縮性をもつ導電樹脂膜によって提供される場合がある。この場合、電極１３、１４を支持する第１壁２１は、電極１３、１４とともに、伸縮する場合がある。

上記実施形態では、活性化形状ＡＳから初期形状ＲＳへの復元力は、容器１２の弾性力、流体１１に作用する重力、外部付勢部材から容器１２に加えられる外力のいずれかひとつを含む。これに代えて、または、加えて、活性化形状ＡＳから初期形状ＲＳへの復元力は、流体１１の復元力を含むことができる。流体１１は、活性化形状ＡＳから初期形状ＲＳへ戻る復元力を発生する場合がある。この復元力は、弾性力、表面張力、電歪効果、または、分子間作用によってもたらされる。流体１１は、例えば、エラストマとしての性質を備える場合がある。この場合、流体１１は、弾性的な復元力を発揮する。

１ アクチュエータシステム、 ２ アクチュエータ、
３ 制御システム、 ４ 電源、 ５ スイッチ、 ６ 制御装置、
７ ワイヤハーネス、１１ 流体、１２ 容器、１３、１４ 電極、
２１ 第１壁、２２ 第２壁、３１ 電極部材、３２ 端子部材、
ＲＳ 初期形状、 ＡＳ 活性化形状、
２２３ 補強部、
３２４ 接合部材、
４２２ａ、４２２ｂ 第２壁、 ４２５ａ、４２５ｂ シリンダ、
５２６ ばね部材、
６２２ 第２壁、
７２２ 第２壁、
８２８ ガイド部材、
９２８ ガイド部材、
Ａ２３ 補強部、
Ｂ３１ 電極部材、
Ｃ２９ 開口部、
Ｄ２４ 接合部材、 Ｄ３２ 端子部材、
Ｅ２２ 第２壁、
Ｆ２２ 第２壁。

Claims (10)

1. 電気的な絶縁性をもつ流体（１１）と、
   前記流体を収容する変形可能な容器（１２）と、
   前記容器の内部に配置され、互いに対向している２つの電極（１３、１４）とを備えるアクチュエータ。
2. 前記流体は、電界の中において誘電分極し流動する材料である請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記容器は、前記電極の面方向において所定距離（ＤＲ）以上に離れた壁（２２、４２２ａ、４２２ｂ、６２２、７２２、Ｅ２２、Ｆ２２）を有する請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記電極は、前記容器の内部に位置づけられた電極部材（３１、Ｂ３１）と、前記容器を貫通する端子部材（３２、Ｄ３２）とを有し、前記電極部材、および／または、前記端子部材は、前記容器と接合されている請求項１から請求項３のいずれかに記載のアクチュエータ。
5. 前記容器は、前記電極を支持する第１壁（２１）と、前記電極の変位に応答して変形可能な第２壁（２２、４２２ａ、４２２ｂ、６２２、７２２、Ｅ２２、Ｆ２２）とを有する請求項１から請求項４のいずれかに記載のアクチュエータ。
6. 前記容器は、前記第１壁と前記第２壁との境界領域に応力集中を緩和するための補強部（２２３、Ａ２３）を備える請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 前記容器は、前記電極に電圧が印加されないオフ状態において初期形状（ＲＳ）であり、前記電極に電圧が印加されたオン状態において活性化形状（ＡＳ）であり、
   前記活性化形状から前記初期形状への復元力は、前記容器の弾性力、前記流体に作用する重力、外部付勢部材から前記容器に加えられる外力、および、前記流体の弾性力のいずれかひとつを含む請求項１から請求項６のいずれかに記載のアクチュエータ。
8. さらに、前記オフ状態から前記オン状態にわたって、前記電極の対向状態を維持するように、前記容器の変形を案内するガイド部材（８２８、９２８）を備える請求項７に記載のアクチュエータ。
9. Ｅを容器の絶縁耐力、ε１を容器の誘電率、ｄ１を容器の厚さ、ε２を流体の誘電率、ｄ２を流体の厚さ、Ｖを電極と電極との間への印加電圧とした場合に、
   Ｅ＜Ｖ・１／ｄ１・ε２・ｄ１／（ε１・ｄ２＋２・ε２・ｄ１）
   が成立している請求項１から請求項８のいずれかに記載のアクチュエータ。
10. 請求項１から請求項９のいずれかに記載のアクチュエータ（２）と、
    ２つの前記電極に電圧を印加する回路を含む制御システム（３）とを備えるアクチュエータシステム。

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