JP2007244961A - 塗工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルムの表面に塗工液を吐出する塗工液吐出ノズル12に上向きの押し力または下向きの引き力を付与して塗工液吐出ノズル12の幅方向の撓み量を低減する撓み量低減機構14A,14Bをフィルムの幅方向に複数設け、これらの撓み量低減機構14A,14Bで塗工液吐出ノズル12の幅方向の撓み量を低減して、フィルムの表面に形成される塗工膜の膜厚がフィルムの幅方向にばらつくことを抑制するようにした。
【選択図】図2
Description
本発明は上述した問題点に着目してなされたものであり、その目的は、フィルムの表面に形成される塗工膜の膜厚がフィルムの幅方向にばらつくことを抑制することのできる塗工装置を提供することにある。
本発明のうち請求項3の発明に係る塗工装置は、請求項2記載の塗工装置において、前記撓み量低減機構を前記フィルムの幅方向に20−500mmの間隔で配置したことを特徴とする。
本発明のうち請求項5の発明に係る塗工装置は、請求項1〜3のいずれか一項記載の塗工装置において、前記撓み量低減機構が、前記塗工液吐出ノズルから下方に突設されたボルトをナットにより締め付けて前記塗工液吐出ノズルに下向きの引き力を付与するように構成されていることを特徴とする。
この場合、フィルムの表面に形成される感光性樹脂層としては、その厚みが0.5〜6μmのものが好ましい。基材表面の凹凸に対する感光性樹脂の追従性、レジストパターンの強度の観点からは0.5μm以上が好ましく、エッチング特性とくに導体パターンのスペース部の解像度の観点からは6μm以下が好ましい。より好ましくは0.8μm以上、5μm以下であり、さらに好ましくは1μm以上、4.2μm以下であり、最も好ましくは1μm以上、3.5μm以下である。
フィルムの厚みは、5〜20μmが好ましく、特に好ましくは、9〜16μmである。フィルムの強度を保つ上で5μm以上が好ましく、微細な配線を作るために感光性樹脂の解像性を良好に保つ上で20μm以下が好ましい。このようなフィルムに用いられる有機ポリマーフィルムの例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリメタクリル酸メチル共重合体、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、スチレン共重合体、ポリアミド、セルロース誘導体等のフィルムが挙げられる。好ましくは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが用いられる。
本発明で用いられるフィルムとしては、その幅方向の寸法が特に制限されるものでないが、幅方向の寸法が300mm以上、好ましくは500mm以上、より好ましくは1000mm以上のものを好適に用いることができる。
図1に示されるように、本発明の第1の実施形態に係る塗工装置は、走行するフィルムFの裏面を支持するバックアップロール11と、このバックアップロールの近傍に配置された塗工液吐出ノズル12と、バックアップロール11との間に微小間隙(例えば10〜200μm)が形成されるようにバックアップロール11の下方に配置されたドクターロール20とを備えており、フィルムFの表面に付着した塗工液Lのうち余剰の塗工液は、バックアップロール11と反対方向に回転するドクターロール20により除去されるようになっている。そして、バックアップロール11とドクターロール20との間を通過したフィルムFの表面に付着した塗工液Lを乾燥させると、例えば0.5〜6μmの厚みを有する塗工膜(塗工液が感光性樹脂溶液の場合は感光性樹脂層)がフィルムFの表面に形成されるようになっている。なお、ドクターロール20の直径はバックアップロール12の直径の1/2〜1/5程度となっている。
撓み量低減機構14Bは塗工液吐出ノズル12から下方に突設されたボルト17(図4参照)をナット18により締め付けて塗工液吐出ノズル12に下向きの引き力を付与する構成となっており、前述したサポート部材13には、ボルト17を通すための貫通孔19が形成されている。
また、上述した第1の実施形態では撓み量低減機構14Aと撓み量低減機構14BとをフィルムFの幅方向に交互に配設したが、図6に示す第2の実施形態のように、撓み量低減機構14AのみをフィルムFの幅方向に複数配設してもよいし、あるいは図7に示す第3の実施形態のように、撓み量低減機構14BのみをフィルムFの幅方向に複数配設してもよい。
図8に示されるように、塗工液吐出ノズル12はバックアップロール11(図1参照)の軸方向に沿って幅広に形成された塗工液吐出口12aを有しており、この塗工液吐出口12aの下方位置には、塗工液吐出ノズル12に上向きの押し力または下向きの引きを付与して塗工液吐出ノズル12の幅方向の撓み量を低減する撓み量低減機構14Cが例えば20−500mm(好ましくは20−300mm、より好ましくは20−100mm)の間隔でフィルムFの幅方向に設けられている。
本発明の実施例と比較例を表1に示す。
11 バックアップロール
12 塗工液吐出ノズル
12a 塗工液吐出口
12b 液溜め部
13 サポート部材
14A,14B,14C 撓み量低減機構
15,17 ボルト
16,18 ナット
20 ドクターロール
22 押し引き軸
23 中空軸
Claims (7)
- 走行するフィルムの裏面を支持するバックアップロールと、該バックアップロールの近傍に配置された塗工液吐出ノズルとを備え、さらに前記バックアップロールとの間に微小間隙が形成されるように前記バックアップロールと反対方向に自動するドクターロールを前記バックアップロールの下方に備えてなり、前記塗工液吐出ノズルから前記フィルムの表面に塗布された塗工液のうち余剰の塗工液を前記ドクターロールにより除去して前記フィルムの表面に塗工液を塗工する塗工装置において、
前記塗工液吐出ノズルに上向きの押し力または下向きの引き力を付与して前記塗工液吐出ノズルの幅方向の撓み量を低減する撓み量低減機構を備えたことを特徴とする塗工装置。 - 請求項1記載の塗工装置において、前記撓み量低減機構を前記フィルムの幅方向に複数配置したことを特徴とする塗工装置。
- 請求項2記載の塗工装置において、前記撓み量低減機構を前記フィルムの幅方向に20−500mmの間隔で配置したことを特徴とする塗工装置。
- 前記撓み量低減機構は、前記塗工液吐出ノズルの下面にボルトの先端を押し当てて前記塗工液吐出ノズルに上向きの押し力を付与するように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の塗工装置。
- 前記撓み量低減機構は、前記塗工液吐出ノズルから下方に突設されたボルトをナットにより締め付けて前記塗工液吐出ノズルに下向きの引き力を付与するように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の塗工装置。
- 前記撓み量低減機構は、前記塗工液吐出ノズルから下方に突設された押し引き軸と、該押し引き軸の外周面に形成された雄ねじ部と螺合する雌ねじ部を内周面に有する中空軸と、該中空軸の外周面に形成された雄ねじ部と螺合するねじ孔を有するサポート部材とを有し、前記押し引き軸を介して前記塗工液吐出ノズルに上向きの押し力または下向きの引き力を付与するように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の塗工装置。
- 前記塗工液が感光性樹脂組成物であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の塗工装置。
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