JP2007242795A - Printed wiring board, and its manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、プリント配線板とその製造方法に係り、特に配線パターン間に保護層で覆われた抵抗体を備えているプリント配線板とその製造方法に関する。 The present invention relates to a printed wiring board and a manufacturing method thereof, and more particularly to a printed wiring board including a resistor covered with a protective layer between wiring patterns and a manufacturing method thereof.
近年の機器の小型・高性能化に伴って、搭載されるプリント配線板においても更なる小型・高密度配線化が要求されており、従来プリント配線板の外層に実装していたチップ部品に加えて、パターン形成等の手法により内層に部品を形成する形態も採用されつつある。 Along with the recent downsizing and higher performance of equipment, printed circuit boards to be mounted are also required to have smaller and higher density wiring. In addition to chip components that have been mounted on the outer layers of printed circuit boards, Thus, a form in which a part is formed on the inner layer by a method such as pattern formation is being adopted.
このようなプリント配線板の製造方法としては、図4〜図5に示したような製造方法が既に知られている。 As a method for manufacturing such a printed wiring board, manufacturing methods as shown in FIGS. 4 to 5 are already known.
この従来の製造を説明すれば以下のとおりである。
すなわち、まず、図4(a)に示したように、絶縁基材1の表面にニッケル−リンめっきからなる抵抗層2を形成し、次いで、当該抵抗層2の表面に銅めっき等の金属層3を形成する。
This conventional manufacturing will be described as follows.
That is, first, as shown in FIG. 4A, a
次に、図4(b)に示したように、前記金属層3上に第一エッチングレジストパターン4を形成し、次いで、エッチング処理により当該第一エッチングレジストパターン4から露出している金属層3を除去する(図4(c)参照)。
Next, as shown in FIG. 4B, a first
次に、図4(d)に示したように、前記第一エッチングレジストパターン4を剥離し、次いで、前記金属層3をエッチングレジストとしてエッチング処理を行い、露出している抵抗層2を除去する(図5(e)参照)。
Next, as shown in FIG. 4D, the first
次に、図5(f)に示したように、配線パターン上に第二エッチングレジストパターン5を形成し、次いで、エッチング処理により露出している配線パターンの一部を除去した後(図5(g)参照)、当該第二エッチングレジストパターン5を剥離することによって、特定の配線パターン間に抵抗体が形成されたプリント配線板Pa4を得る(図5(h)参照)。
Next, as shown in FIG. 5F, a second
しかし、上記従来の製造方法では、以下に示すような不具合があった。 However, the conventional manufacturing method has the following problems.
すなわち、金属薄膜は、温度特性が良いため高精度の抵抗用途として優れてはいるものの、1μm以下の非常に薄い膜で形成されているため、搬送や取り扱いによって傷が発生したり、水分や酸化により抵抗値が変化し、所定の精度に入らなくなるといった問題点があった。 In other words, the metal thin film has excellent temperature characteristics and is excellent for high-precision resistance applications. However, since it is formed with a very thin film of 1 μm or less, scratches may occur due to transportation or handling, and moisture or oxidation may occur. As a result, the resistance value changes and the predetermined accuracy cannot be achieved.
そこで、特定の配線パターン間に抵抗体が形成されたプリント配線板Pa4に対して、図6(a)に示したように、当該抵抗体が覆われるように保護層9を設けるような製造方法も既に知られている(例えば、特許文献1参照)。
Therefore, as shown in FIG. 6A, a manufacturing method in which a
しかし、上記の製造方法でも、以下に示すような不具合があった。 However, the above manufacturing method has the following problems.
一般に、この様な受動部品を内蔵したプリント配線板は、軽量化や高密度化の要求等で有機材料での内蔵化が求められてきた。 In general, printed wiring boards incorporating such passive components have been required to be incorporated with organic materials due to demands for weight reduction and higher density.
また、抵抗体は、レーザの熱で生じる熱歪によってマイクロクラックが発生しやすく、更に、このマイクロクラックが経時的に進行して抵抗値が経時変化(ドリフト)しやすい。 In addition, the resistor is likely to generate microcracks due to thermal strain caused by the heat of the laser, and further, the microcracks progress with time and the resistance value is likely to change with time (drift).
従って、抵抗体の信頼性を高めるためには、マイクロクラックの発生及び進行を抑え、抵抗値の経時変化をできるだけ小さくしなくてはならない。 Therefore, in order to increase the reliability of the resistor, it is necessary to suppress the occurrence and progression of microcracks and minimize the change in resistance over time.
そこで、トリミング前に、抵抗体を覆うようにオーバーコート等の保護層9を形成する必要がある。
Therefore, it is necessary to form a
しかしながら、有機材料で構成してレーザトリミングする場合、絶縁基材1と保護層9のエネルギー吸収率がほぼ同等であるため、絶縁基材1を壊さずに保護層9と抵抗層2を除去するのは困難である。
However, when laser trimming is performed using an organic material, the
その結果、前記の製造方法で得られたプリント配線板Pa5の抵抗体にレーザトリミングを実施すると、保護層9も同時に破壊されることとなり、図6(b)に示されるように、保護層9にレーザによる加工穴9aが発生するため、図6(c)に示されるように、新たに絶縁樹脂10を用いて発生した加工穴9aを埋める工程が必要であった。
本発明は上記不具合を解消すべくなされたもので、その課題とするところは、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後に保護層加工穴の穴埋め工程が不要な、抵抗体を備えたプリント配線板とその製造方法を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the problem is that a print having a resistor that ensures a stable resistance value and does not require a step of filling a protective layer processed hole after laser trimming. It is to provide a wiring board and a manufacturing method thereof.
上記課題を解決すべく請求項1に係る本発明は、配線パターン間に保護層で覆われた抵抗体を備えているプリント配線板であって、前記保護層がレーザトリミング用のレーザを透過性を有することを特徴としている。
In order to solve the above problems, the present invention according to
このように、保護層がレーザ透過性を有するため、表面を当該保護層で覆われた抵抗体のレーザトリミングに際し、例えば透過し易い特定波長のレーザを用いることにより、抵抗体のみを除去し得るので、従来のような、レーザトリミング後における保護層加工穴の穴埋め工程が不要となり、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の製造工程を簡略化することができる。 As described above, since the protective layer has laser transparency, when the resistor whose surface is covered with the protective layer is subjected to laser trimming, only the resistor can be removed by using, for example, a laser having a specific wavelength that is easily transmitted. Therefore, the conventional process of filling the protective layer processed hole after laser trimming is not required, and the manufacturing process after laser trimming can be simplified while ensuring a stable resistance value.
また、請求項2に係る本発明は、前記プリント配線板において、前記保護層が、紫外線透過性の絶縁樹脂からなる保護層であることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the printed wiring board, the protective layer is a protective layer made of an ultraviolet transparent insulating resin.
これにより、従来のプリント配線板の製造工程を用いて、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の製造工程を簡略化することができる。 Thereby, the manufacturing process after laser trimming can be simplified using the conventional manufacturing process of a printed wiring board while ensuring a stable resistance value.
また、請求項3に係る本発明は、前記プリント配線板において、前記レーザの波長が、300nm〜700nmの範囲にあることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the printed wiring board, the wavelength of the laser is in the range of 300 nm to 700 nm.
これにより、前記絶縁基材が有機基材であっても、レーザが保護層に吸収されることなく、また、レーザが抵抗層下の絶縁基材を破壊することなく、レーザによって前記抵抗体のみをトリミングをすることができる。 Thereby, even if the insulating base material is an organic base material, the laser is not absorbed by the protective layer, and the laser does not destroy the insulating base material under the resistance layer, and only the resistor is irradiated by the laser. Can be trimmed.
また、請求項4に係る本発明は、前記プリント配線板において、前記保護層の前記波長範囲における紫外線透過率が、30%以上であることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the printed wiring board, the protective layer has an ultraviolet transmittance in the wavelength range of 30% or more.
これにより、前記絶縁基材が有機基材であっても、基材自体に品質上問題があるような大きなダメージを受けることなく、レーザによって前記抵抗体のみをトリミングをすることができる。 Thereby, even if the said insulating base material is an organic base material, it can trim only the said resistor with a laser, without receiving the big damage which has a quality problem in base material itself.
また、請求項5に係る本発明は、前記プリント配線板において、前記プリント配線板の絶縁基材が、有機材料を含んでいることを特徴とする。
Moreover, the present invention according to
これにより、従来のプリント配線板の製造工程を用いて、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の製造工程を簡略化することができる。 Thereby, the manufacturing process after laser trimming can be simplified using the conventional manufacturing process of a printed wiring board while ensuring a stable resistance value.
また、請求項6に係る本発明は、前記プリント配線板において、前記抵抗体が、金属薄膜からなることを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, in the printed wiring board, the resistor is made of a metal thin film.
これにより、金属の体積抵抗値と金属薄膜の厚さが一定であり、厚膜ペースト抵抗等他の抵抗体と比較して一般的に抵抗値が安定しているため、少ないトリミング量で所望の抵抗値が得られ、抵抗層と保護層の間にトリミングにより発生する可能性がある微小片やガスを最小限に抑えることができ、トリミング後の抵抗値の安定性が確保できると共に、保護層表面の膨れや陥没等の変形を低減できる。 As a result, the volume resistance value of the metal and the thickness of the metal thin film are constant, and the resistance value is generally stable compared to other resistors such as thick film paste resistors. A resistance value can be obtained, and it is possible to minimize the minute pieces and gas that may be generated by trimming between the resistance layer and the protective layer, and to ensure the stability of the resistance value after trimming and to protect the layer. It is possible to reduce deformation such as surface swelling and depression.
また、請求項7に係る本発明は、前記プリント配線板において、前記抵抗体が、プリント配線板内部に内蔵されていることを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, in the printed wiring board, the resistor is built in the printed wiring board.
これにより、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の製造工程を簡略化した前記抵抗体を、部品内蔵プリント配線板の一部として利用することが可能となり、本願発明の利用範囲が飛躍的に向上する。 As a result, it is possible to use the resistor that has simplified the manufacturing process after laser trimming while securing a stable resistance value as a part of the printed wiring board with a built-in component, and the scope of use of the present invention has jumped. Improve.
また、請求項8に係る本発明は、配線パターン間に保護層で覆われた抵抗体を備えているプリント配線板の製造方法であって、少なくとも絶縁基材上に順次積層された抵抗層と金属層に対して回路形成を行い、所望の配線パターンを形成する工程と、当該配線パターン上にエッチングレジストパターンを形成する工程と、エッチングにより当該エッチングレジストパターンから露出した配線パターンの一部を除去することによって、配線パターン間に抵抗体を形成する工程と、当該エッチングレジストパターンを残した状態で、当該エッチングにより露出した抵抗体の表面に、当該抵抗体を保護し、かつレーザトリミング用のレーザを透過する保護層を形成する工程と、を有することを特徴とする。
Further, the present invention according to
このように、前記保護層の上からレーザによって前記抵抗体のみをトリミングし得る構成としたため、抵抗値を不必要に変化させるエッチング液等から当該抵抗体を保護した状態でトリミングを行うことができ、安定した抵抗値を確保することができる。 As described above, since only the resistor can be trimmed by laser from above the protective layer, trimming can be performed in a state where the resistor is protected from an etching solution or the like that unnecessarily changes the resistance value. A stable resistance value can be ensured.
また、請求項9に係る本発明は、前記プリント配線板の製造方法において、前記保護層を形成する工程後、当該保護層の上からレーザによって当該抵抗体のみをトリミングする工程を更に有することを特徴とする。
The present invention according to
これにより、抵抗体のみがレーザでトリミングされているため、従来のような、レーザトリミング後における保護層加工穴の穴埋めをすることなく、抵抗体が形成されたプリント配線板を得ることができる。 Thereby, since only the resistor is trimmed by the laser, the printed wiring board on which the resistor is formed can be obtained without filling the protective layer processed hole after laser trimming as in the prior art.
また、請求項10に係る本発明は、前記プリント配線板の製造方法において、前記保護層が、紫外線透過性の絶縁樹脂からなる保護層であることを特徴とする。 According to a tenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing the printed wiring board, the protective layer is a protective layer made of an ultraviolet transparent insulating resin.
これにより、従来のプリント配線板の製造工程を用いて、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の製造工程を簡略化した抵抗体が形成されたプリント配線板が得られる。 As a result, a printed wiring board on which a resistor having a simplified manufacturing process after laser trimming is formed can be obtained using a conventional printed wiring board manufacturing process while securing a stable resistance value.
また、請求項11に係る本発明は、前記プリント配線板の製造方法において、前記レーザの波長が、300nm〜700nmの範囲にあることを特徴とする。 The present invention according to claim 11 is characterized in that, in the method for manufacturing a printed wiring board, the wavelength of the laser is in a range of 300 nm to 700 nm.
これにより、前記絶縁基材が有機基材であっても、レーザが保護層に吸収されることなく、また、レーザが抵抗層下の絶縁基材を破壊することなく、レーザによって前記抵抗体のみをトリミングをすることができる。 Thereby, even if the insulating base material is an organic base material, the laser is not absorbed by the protective layer, and the laser does not destroy the insulating base material under the resistance layer, and only the resistor is irradiated by the laser. Can be trimmed.
また、請求項12に係る本発明は、前記プリント配線板の製造方法において、前記保護層の紫外線透過率が、30%以上であることを特徴とする。 The invention according to claim 12 is characterized in that, in the method for producing a printed wiring board, the protective layer has an ultraviolet transmittance of 30% or more.
これにより、前記絶縁基材が有機基材であっても、当該基材自体に品質上問題があるような大きなダメージを受けることない波長のレーザによって前記抵抗体のみをトリミングをすることができる。 Thereby, even if the said insulating base material is an organic base material, only the said resistor can be trimmed with the laser of the wavelength which does not receive the big damage which has the problem on quality in the said base material itself.
また、請求項13に係る本発明は、前記プリント配線板の製造方法において、前記絶縁基材が、有機材料を含んでいることを特徴とする。 Moreover, this invention which concerns on Claim 13 is a manufacturing method of the said printed wiring board, The said insulating base material contains the organic material, It is characterized by the above-mentioned.
これにより、従来のプリント配線板の製造工程を用いて、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の製造工程を簡略化した抵抗体が形成されたプリント配線板が得られる。 As a result, a printed wiring board on which a resistor having a simplified manufacturing process after laser trimming is formed can be obtained using a conventional printed wiring board manufacturing process while securing a stable resistance value.
また、請求項14に係る本発明は、前記プリント配線板の製造方法において、前記抵抗体が、金属薄膜からなることを特徴とする。 According to a fourteenth aspect of the present invention, in the printed wiring board manufacturing method, the resistor is made of a metal thin film.
これにより、金属の体積抵抗値と金属薄膜の厚さが一定であり、厚膜ペースト抵抗等他の抵抗体と比較して一般的に抵抗値が安定しているため、少ないトリミング量で所望の抵抗値が得られ、抵抗層と保護層の間にトリミングにより発生する可能性がある微小片やガスを最小限に抑えることができ、トリミング後の抵抗値の安定性が確保できると共に、保護層表面の膨れや陥没等の変形を低減できる。 As a result, the volume resistance value of the metal and the thickness of the metal thin film are constant, and the resistance value is generally stable compared to other resistors such as thick film paste resistors. A resistance value can be obtained, and it is possible to minimize the minute pieces and gas that may be generated by trimming between the resistance layer and the protective layer, and to ensure the stability of the resistance value after trimming and to protect the layer. It is possible to reduce deformation such as surface swelling and depression.
また、請求項15に係る本発明は、前記プリント配線板の製造方法において、前記抵抗体が、プリント配線板内部に内蔵されていることを特徴とする。 According to a fifteenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a printed wiring board, the resistor is built in the printed wiring board.
これにより、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の製造工程を簡略化した前記抵抗体を部品内蔵プリント配線板の一部として利用することが可能となり、本願発明の利用範囲が飛躍的に向上する。 As a result, it is possible to use the resistor, which has simplified the manufacturing process after laser trimming, while securing a stable resistance value, as a part of the printed wiring board with built-in components, and the scope of use of the present invention is dramatically increased. To improve.
本発明によれば、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後に保護層加工穴の穴埋め工程が不要な、抵抗体を備えたプリント配線板とその製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the printed wiring board provided with the resistor and its manufacturing method which do not need the filling process of the protective layer process hole after laser trimming can be provided, ensuring a stable resistance value.
本発明の実施の形態を、図面と共に説明する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図2(n)は、本発明に係る抵抗体内蔵プリント配線板Pa1の概略断面図を示しており、当該プリント配線板Pa1は、配線パターン3a間に抵抗体2aを備えていると共に、当該抵抗体2aが、レーザトリミング用のレーザ透過性を有する保護層6で覆われた構造となっている。
斯かる本発明プリント配線板Pa1は、次のようにして製造される。
FIG. 2 (n) shows a schematic cross-sectional view of the resistor-embedded printed wiring board Pa1 according to the present invention. The printed wiring board Pa1 includes a
Such printed wiring board Pa1 of the present invention is manufactured as follows.
まず、図1(a)に示すように、抵抗層2が既に形成された抵抗層付き金属層3を絶縁基材1に積層する(図1(b)参照)。ここで、抵抗層2としては、ニッケル、ニッケル−リン、ニッケル−クロム、ニッケル−珪素−クロム、ニッケル−リン−タングステン等が挙げられ、また、金属層3としては、一般的には銅等が好ましいものとして挙げられる。抵抗層2は、電気めっき、無電解めっき、スパタリング、CVD等で形成し、厚みは1μm以下が好ましい。
First, as shown in FIG. 1A, a
次に、サブトラクティブ法で抵抗膜と電極を形成し、特定の配線パターン3a間に抵抗体2aが形成された構造体を得る(図1(c)〜図2(m)参照)。
尚、ここでは抵抗層付銅箔を用いたサブトラクティブ法による実施の形態を説明しているが、無電解めっき法等を用いたアディテブ法による実施でも構わない。
Next, a resistance film and an electrode are formed by a subtractive method to obtain a structure in which a
In addition, although embodiment by the subtractive method using copper foil with a resistance layer is demonstrated here, implementation by the additive method using the electroless-plating method etc. may be sufficient.
次いで、表面に保護層6を形成し、配線パターン3a間に、レーザトリミング用のレーザ透過性を有する保護層6で覆われた抵抗体2aを備えているプリント配線板Pa1を得る(図2(n)参照)。
保護層6は、インク状の保護層を、印刷法、スプレー法、スピンコート法、ディツプコート法、バーコート法、ロールコート法、カーテンコート法等で塗布するか、あらかじめフィルム状にした保護層をラミネートして形成することが好ましい。また、保護層6は、レーザトリミングするレーザを30%以上透過することが好ましい。尚、透過率が30%未満の場合、保護層にエネルギーが吸収されてしまい、保護層が加工され、保護層下の抵抗層まで加工に必要なエネルギーが届かず、トリミングできないこともある。
Next, a
The
而して、当該プリント配線板Pa1の抵抗体を保護層6の上からレーザを用いてトリミングすることにより、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の保護層加工穴の穴埋め工程が不要な、抵抗体が形成されたプリント配線板Pa2を得ることができる(図2(q)参照)。このとき加工に用いるレーザの波長は300nm〜700nmが好ましい。例えば、Nd:YAG(ネオジウム・イットリウム・アルミニウム・ガーネット)レーザの第二高調波である波長532nmが好適に使用される。尚、波長が300nm未満の場合、例えば、Nd:YAGレーザの第四高調波である波長266nmを使用した場合、保護層にエネルギーが吸収され同時に加工されてしまう。また、波長が700nmを超える場合、例えば、Nd:YAGレーザの基本波である波長1064nmを使用した場合、保護層と同時に抵抗層下の絶縁基材を破壊し、基板の品質を著しく劣化させることもある。
Thus, by trimming the resistor of the printed wiring board Pa1 from above the
本発明において最も注目すべき点は、特定波長のレーザを透過する保護層によって抵抗体を覆った点にある。これにより、保護層の上から保護層を破壊せずに抵抗体のトリミングが可能となり、安定した抵抗値を確保しつつ、レーザトリミング後の製造工程を簡略化できる。 The most notable point in the present invention is that the resistor is covered with a protective layer that transmits a laser having a specific wavelength. Thereby, the resistor can be trimmed without destroying the protective layer from above the protective layer, and the manufacturing process after laser trimming can be simplified while ensuring a stable resistance value.
以下本発明のプリント配線板の製造方法について実施例を挙げ、図1〜図3と共に更に説明する。 EXAMPLES Hereinafter, an Example is given about the manufacturing method of the printed wiring board of this invention, and it demonstrates further with FIGS. 1-3.
実施例1
この実施例においては、絶縁材料1としては、日立化成工業株式会社製GEA−679F(厚み100μm)を用いた。また、抵抗層2及び金属層3としては、オメガプライ製50Ω抵抗層付き18μm銅箔を用いた。また、第一エッチングレジストパターン4としては、日立化成工業株式会社製RY3215を用いた。また、第二エッチングレジストパターン5としては、日立化成工業株式会社製RY3237を用いた。
Example 1
In this example, as the insulating
まず、図1(a)に示したように、抵抗層2が既に形成された抵抗層付き金属層3と絶縁基材1を、図1(b)に示したように、高温真空積層プレス装置を用いて積層した。積層条件は、185℃ピークの積層温度プロファイルで、積層圧力を2.5MPa、真空条件を20torrとした。
First, as shown in FIG. 1 (a), the
次に、回路形成フィルムラミネート前処理として、前記抵抗層付き金属層3の表面をソフトエッチング処理により粗化した。ソフトエッチング処理用薬液としては、三菱ガス化学株式会社製NPE−300を用いた。
Next, the surface of the
その後、図1(c)に示したように、オートカットラミネータを用いて、回路形成用フィルム4を前記抵抗層付き金属層3の表面にラミネートした。ラミネート温度は110℃設定、ラミネート速度は100cm/minとした。
Then, as shown in FIG.1 (c), the
次に、所定のパターンで回路形成フィルムを硬化できるようにネガ型のパターンフィルムを用いて、露光量65mJ/cm2の露光を行った。露光機の光源には、超高圧水銀灯を用いた。 Next, exposure of an exposure amount of 65 mJ / cm 2 was performed using a negative pattern film so that the circuit forming film could be cured in a predetermined pattern. An ultra-high pressure mercury lamp was used as the light source of the exposure machine.
露光後、1%炭酸ナトリウムで現像した。液温は30℃、現像時間は30secとした。現像後、図1(d)の状態となった。 After exposure, it was developed with 1% sodium carbonate. The liquid temperature was 30 ° C., and the development time was 30 seconds. After development, the state shown in FIG.
次に、アルカリエッチング液により金属層3のエッチングを行った。エッチング液は、メルテックス製エープロセス、液温45℃、エッチング時間70secとした。エッチング後、図1(e)の状態となった。
Next, the
その後、硫酸銅溶液に浸漬し、抵抗層のエッチングを行った。液温は80℃、エッチング時間は7minとした。エッチング後、図1(f)の状態となった。 Thereafter, the resistance layer was etched by dipping in a copper sulfate solution. The liquid temperature was 80 ° C. and the etching time was 7 min. After the etching, the state shown in FIG.
次に、3%水酸化ナトリウムで回路形成用フィルムを剥離した。液温は50℃とした。剥離後、図1(g)の状態となった。 Next, the circuit-forming film was peeled off with 3% sodium hydroxide. The liquid temperature was 50 ° C. After peeling, the state shown in FIG.
次に、回路形成フィルムラミネート前処理として、前記抵抗層付き金属層3の表面をソフトエッチング処理により粗化した。ソフトエッチング処理用薬液としては、三菱ガス化学株式会社製NPE−300を用いた。
Next, the surface of the
その後、図2(h)に示したように、回路形成用フィルム5を前記抵抗層付き金属層3の表面にラミネートした。ラミネータとしてオートカットラミネータを用い、ラミネート条件は、ラミネート温度110℃設定、ラミネート速度100cm/minとした。
Thereafter, as shown in FIG. 2 (h), the circuit-forming
次に、所定のパターンで抵抗を形成できるようにポジ型のパターンフィルムを用いて、平行光で露光量100mJ/cm2の露光を行った。露光機の光源には、超高圧水銀灯を用いた。 Next, using a positive pattern film so as to form a resistor with a predetermined pattern, exposure was performed with parallel light at an exposure amount of 100 mJ / cm 2 . An ultra-high pressure mercury lamp was used as the light source of the exposure machine.
露光後、1%炭酸ナトリウムで現像した。液温は30℃、現像時間は90secとした。現像後、図2(k)の状態となった。 After exposure, it was developed with 1% sodium carbonate. The liquid temperature was 30 ° C., and the development time was 90 sec. After development, the state shown in FIG.
次に、アルカリエッチング液により前記抵抗層付き金属層3のエッチングを行った。エッチング液としては、メルテックス製エープロセス、液温45℃、エッチング時間60secとした。エッチング後、図2(m)の状態となった。
Next, the
次に、3%水酸化ナトリウムで回路形成用フィルム5を剥離した。液温は50℃とした。
Next, the circuit-forming
その後、アクリレート樹脂30〜40%、エポキシ樹脂10〜20%、顔料30〜40%から構成されたフィルムを、バュームアプリケータを用い、真空で85℃/40sec、続いて85℃/90sec/2MPaでラミネートし、保護層6とした(図2(n)参照)。
Thereafter, a film composed of 30 to 40% acrylate resin, 10 to 20% epoxy resin, and 30 to 40% pigment is applied to a vacuum at 85 ° C./40 sec using a volume applicator, followed by 85 ° C./90 sec. The
露出した抵抗部分を覆うように所定のパターンで保護層が形成できるようにネガ型のパターンフィルムを用いて、散乱光で露光量630mJ/cm2の露光を行った。露光機の光源には、メタルハライドランプを用いた。 Using a negative pattern film, exposure was performed with scattered light at an exposure amount of 630 mJ / cm 2 so that a protective layer could be formed in a predetermined pattern so as to cover the exposed resistance portion. A metal halide lamp was used as the light source of the exposure machine.
露光後、1%炭酸ナトリウムで現像した。液温は30℃、現像時間は180secとした。 After exposure, it was developed with 1% sodium carbonate. The liquid temperature was 30 ° C., and the development time was 180 seconds.
現像後、温度150℃、時間60secでポストキュアを行った。 After the development, post-cure was performed at a temperature of 150 ° C. for 60 seconds.
その結果、図2(n)に示したように、配線パターン間に、レーザトリミング用のレーザ透過性を有する保護層で覆われた抵抗体を備えているプリント配線板Pa1が得られた。 As a result, as shown in FIG. 2 (n), a printed wiring board Pa1 having a resistor covered with a protective layer having laser permeability for laser trimming was obtained between the wiring patterns.
続いて、前記プリント配線板Pa1の抵抗体を、前記保護層6の上からレーザを用いてトリミングした。トリミングには、LD励起YAGレーザの第2高調波である波長532nmのビームを使用したガルバノスキャナ走査方法のレーザトリムマシンを用いた。
Subsequently, the resistor of the printed wiring board Pa1 was trimmed from above the
その結果、図2(q)に示したように、プリント配線板Pa1の抵抗体のみがレーザトリミングされたプリント配線板Pa2が得られた。 As a result, as shown in FIG. 2 (q), a printed wiring board Pa2 in which only the resistor of the printed wiring board Pa1 was laser-trimmed was obtained.
尚、本実施例では、片面に抵抗を形成したが、両面でも同じ製造条件で製造可能である。 In this embodiment, the resistance is formed on one side, but both sides can be manufactured under the same manufacturing conditions.
また、図3に示したように、前記プリント配線板Pa2に絶縁基材7と金属層8を積層し、通常のプリント配線板の製造工程を追加することにより、多層化することも可能である(図3(c)参照)。
Moreover, as shown in FIG. 3, it is also possible to make a multilayer by laminating the insulating base material 7 and the
また、本発明は、上記実施例により何ら制限されるものではなく、例えば前記プリント配線板Pa1〜Pa3の上下それぞれに絶縁層、金属層を形成し、回路形成、層間接続ビアホール及び層間接続スルーホール形成する等、通常のプリント配線板の製造工程を追加することにより、種々の変更が可能である。 The present invention is not limited to the above embodiment. For example, an insulating layer and a metal layer are formed on the upper and lower sides of the printed wiring boards Pa1 to Pa3 to form a circuit, an interlayer connection via hole, and an interlayer connection through hole. Various modifications can be made by adding a normal printed wiring board manufacturing process such as forming.
1,7:絶縁基材
2:抵抗層
2a:抵抗体
3,8:金属層
3a:配線パターン
4:第一エッチングレジストパターン
5:第二エッチングレジストパターン
6,9:保護層
9a:レーザによる加工穴
10:絶縁樹脂
Pa1〜6:プリント配線板
DESCRIPTION OF
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---|---|---|---|
JP2006061255A JP2007242795A (en) | 2006-03-07 | 2006-03-07 | Printed wiring board, and its manufacturing method |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009038143A1 (en) | 2007-09-19 | 2009-03-26 | Asahi Glass Company, Limited | Conductive laminate |
KR100980602B1 (en) | 2008-01-21 | 2010-09-07 | (주)인터플렉스 | Manufacturing method of embedded resistor flexible printed circuit board |
US20230093870A1 (en) * | 2021-09-29 | 2023-03-30 | Unimicron Technology Corporation | Method for Forming Resistance on Circuit Board and Circuit Board Having Resistance |
-
2006
- 2006-03-07 JP JP2006061255A patent/JP2007242795A/en active Pending
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