JP2007234990A - 微小光学素子およびその製造方法 - Google Patents
微小光学素子およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007234990A JP2007234990A JP2006056811A JP2006056811A JP2007234990A JP 2007234990 A JP2007234990 A JP 2007234990A JP 2006056811 A JP2006056811 A JP 2006056811A JP 2006056811 A JP2006056811 A JP 2006056811A JP 2007234990 A JP2007234990 A JP 2007234990A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- optical element
- laser
- micro
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【課題】レンズの光軸とレーザ光の光軸とを位置合わせする必要がなく、高い生産性を有し、レーザ発光面を有効に利用できる微小光学素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板2上に複数の段差部4が形成され、それぞれの前記段差部4の頂上面の全面にレンズ6が一体的に形成されていることを特徴とする微小光学素子である。また、基板上に複数の段差部を形成する段差部形成処理を行い、面発光レーザを作製する面発光レーザ作製工程と、それぞれの前記段差部の頂上面の全面にレンズを一体的に形成するレンズ形成工程とを含むことを特徴とする微小光学素子の製造方法である。
【選択図】図1
【解決手段】基板2上に複数の段差部4が形成され、それぞれの前記段差部4の頂上面の全面にレンズ6が一体的に形成されていることを特徴とする微小光学素子である。また、基板上に複数の段差部を形成する段差部形成処理を行い、面発光レーザを作製する面発光レーザ作製工程と、それぞれの前記段差部の頂上面の全面にレンズを一体的に形成するレンズ形成工程とを含むことを特徴とする微小光学素子の製造方法である。
【選択図】図1
Description
本発明は、面発光レーザを具備する微小光学素子およびその製造方法に関する。
従来の面発光レーザでは、まず、ガラス基板をエッチング加工してマイクロレンズを作製する。そのため、図3に示すように、面発光レーザ30とマイクロレンズ32との光軸合わせは、レーザを受光素子34へ向けて発振させて出力ビームが最適となるようにマイクロレンズ32の位置を調整するアクティブアライメントにより行う必要があった。
エッチング加工を用いてマイクロレンズを作製した場合では、発光部(面発光レーザ)とレンズ部とが別々に作製されるため、レンズの性能を設計通りに反映させるためには、レーザ光源との光軸調整において十分な精度の位置合わせが必要不可欠であった。
マイクロレンズアレイは一般的に図4に示すようにして作製される。すなわち、まず、図4(A)に示すように、ガラス基板40にフォトレジストを塗布し、レンズとして作用させるための凸形状を形成する部分にレジストが残るようにパターン42を形成する。これを熱処理することによって、図4(B)に示すように、平板状であったレジストを表面張力により球形面を有する凸部44に変形させることができる。さらに、ドライエッチングなどによってマスク上方からエッチングすることによって、図4(C)に示すように、レジストの凸部44の形状をガラスに転写することができる。その結果、平凸形状のマイクロレンズまたはそのアレイを形成することができる。
また、他の方法として、図5に示すように、インクジェット用のノズル50を使用し、面発光レーザ52の発光面54上で必要な形状になるようにガラス原料の量を制御して供給する方法も提案されている。液状で供給されたガラス原料56は、表面張力により凸形状となり、熱処理を加えて固化させることによりレンズとして作用するようになる。
しかし、この場合は、ガラス原料56を供給する際に、発光面とノズルとの位置合わせを行う必要がある。つまり、結局前述と同様に精度の高い位置合わせが要求される。その結果、コストも高くなり生産性を低下させてしまう。
また、マイクロレンズと面発光レーザ基板とが構造物を介して固定化されている光モジュールが提案されている(例えば、特許文献1参照)。しかし、マイクロレンズが構造物から剥離しやすく、また、マイクロレンズのズレが生じる可能性がある。さらに、構造物を設けるためのコストがかかるという問題もある。
特開2005−99069号公報
本発明は、従来の課題を解決することを目的とする。すなわち、本発明は、レンズの光軸とレーザ光の光軸とを位置合わせをする必要がなく、高い生産性を有し、レーザ発光面を最大限に有効利用できる微小光学素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明者らは下記本発明に想到し、当該課題を解決できることを見出した。
すなわち、本発明の微小光学素子は、基板上に複数の段差部が形成され、それぞれの前記段差部の頂上面の全面にレンズが一体的に形成されていることを特徴とする。
段差部の頂上面の全面にレンズが形成されているので、レーザ発光面の全ての領域をレーザ発光のための有効な領域として活用することができる。また、レーザ発光面の直上にレンズが形成されているため、レンズの光軸とレーザ光の光軸とを位置合わせをする必要がなく、その結果、高い生産性を発揮し得る。
また、本発明の微小光学素子の製造方法は、基板上に複数の段差部を形成する段差部形成処理を行い、面発光レーザを作製する面発光レーザ作製工程と、それぞれの前記段差部の頂上面の全面にレンズを一体的に形成するレンズ形成工程とを含むことを特徴とする。
従来のようなパターニング、熱処理、エッチングといった煩雑な工程が不要となり、全体的に簡略化した工程とすることができる。また、インクジェットを利用した方法と比較しても、ガラス原料などの滴下面との位置合わせが不要となるメリットの他、従来の半導体プロセスと互換であるため、新しい装置を必要としないなどのメリットがある。
本発明の微小光学素子の製造方法においては、前記レンズ形成工程における前記レンズを一体的に形成する処理が、スピンコート処理を含むことが好ましい。
スピンコート法は、簡便で量産性に優れるため、低コストで効率よくレンズを形成することができる。
本発明によれば、レンズの光軸とレーザ光の光軸とを位置合わせする必要がなく、高い生産性を有し、レーザ発光面を最大限に有効利用できる微小光学素子およびその製造方法を提供することができる。
[微小光学素子]
図1の本発明の微小光学素子の部分断面図を示す。図1に示すように、基板2上に段差部4が複数形成された面発光レーザ10の当該段差部4の頂上面の全面にレンズ6が一体的に形成されている。なお、本発明の微小光学素子の構成の詳細については、後述の微小光学素子の製造方法で説明する。
図1の本発明の微小光学素子の部分断面図を示す。図1に示すように、基板2上に段差部4が複数形成された面発光レーザ10の当該段差部4の頂上面の全面にレンズ6が一体的に形成されている。なお、本発明の微小光学素子の構成の詳細については、後述の微小光学素子の製造方法で説明する。
ここで、「段差部の頂上面の全面にレンズが一体的に形成されている」とは、少なくとも当該段差部の発光領域(レーザ発光面)がすべてレンズにより覆われていることをいう。また、「一体的に形成されている」とは、段差部の頂上面とレンズとが通常の使用状態では分離不可能なように密着した状態をいう。さらに、「段差部」とは、基板の一主面に対し垂直方向に突出している柱状部で、その頂上部にレーザ発光面が設けられている。
面発光レーザとレンズとを別々に作製した場合には、レンズの光軸とレーザ光の光軸とを位置合わせする工程が必要となる。しかし、本発明では、レンズと面発光レーザとが一体化しているため、かかる位置合わせは不要となる。その結果、コストの低減を図ることも可能となり、生産性の高い微小光学素子とすることができる。さらに、一体型となっているため、コンパクトな形態となり装置の小型化に寄与することができる。
また、段差部の頂上面の全面にレンズが設けられているため、発光領域からのレーザを無駄なく完全にレンズに通すことができる。これは、後述のような本発明の製造方法によりレンズを設けるためであり、例えば、インクジェットを使用したレンズの形成方法では、発光領域の全面にレンズを形成することは困難であり、これを実現しようとすると、コストが高くなって生産性の低い微小光学素子となってしまう。すなわち、本発明の微小光学素子は、高い生産性とレーザ発光面の有効利用とを両立させることができる。
[微小光学素子の製造方法]
本発明の微小光学素子は、基板上に複数の段差部を形成する段差部形成処理を行い、面発光レーザを作製する面発光レーザ作製工程と、それぞれの前記段差部の頂上面の全面にレンズを一体的に形成するレンズ形成工程とを経て製造される。以下、各工程について図2を参照しながら説明する。
本発明の微小光学素子は、基板上に複数の段差部を形成する段差部形成処理を行い、面発光レーザを作製する面発光レーザ作製工程と、それぞれの前記段差部の頂上面の全面にレンズを一体的に形成するレンズ形成工程とを経て製造される。以下、各工程について図2を参照しながら説明する。
(面発光レーザ作製工程)
図2(A)に示すように、基板2上に例えば、n型半導体DBR(Distributed Bragg Reflector)20とGaAs/InGaAs量子井戸層21からなる利得領域とp型半導体DBR22からなる面発光レーザ用能動層23を形成する。
図2(A)に示すように、基板2上に例えば、n型半導体DBR(Distributed Bragg Reflector)20とGaAs/InGaAs量子井戸層21からなる利得領域とp型半導体DBR22からなる面発光レーザ用能動層23を形成する。
その後、公知のレジストを塗布し、露光装置でパターニングを行った後、レーザ領域を残して不要な周辺部をエッチングにより除去し、図2(B)に示すように、段差部24を形成する(段差部形成処理)。当該段差部の高さは、1〜10μmとすることが好ましい。
次に、図2(C)に示すように、p型半導体に接し、レーザ光の出射を妨げないような開口を有する電極25を形成する。また、基板の裏面を電極26で覆う。以上のようにして、面発光レーザを作製する。
(レンズ形成工程)
次に、レンズ材料27を面発光レーザ上に塗布する。塗布されたレンズ材料27は、基板上の段差部により、当該段差部の上で凸状の膜厚分布を形成する。その後、熱処理によりレンズ材料27を硬化させることにより、段差部の頂上面の全面にレンズ28を一体的に形成することができる。
次に、レンズ材料27を面発光レーザ上に塗布する。塗布されたレンズ材料27は、基板上の段差部により、当該段差部の上で凸状の膜厚分布を形成する。その後、熱処理によりレンズ材料27を硬化させることにより、段差部の頂上面の全面にレンズ28を一体的に形成することができる。
レンズ材料としては、その前駆体の粘度が20〜1500mPaであることが好ましく、具体的には、フッ素化ポリイミド、ポリシラン、ポリメチルメタクリレートなどが挙げられる。
塗布方法としては、スピンコート法を適用することが好ましい。スピンコート法の条件としては、レンズ材料の塗布時の回転数を1000〜5000rpmとすることが好ましい。かかる範囲とすることで、レンズ作用を実現するのに適した凸形状を形成することができる。塗布液の量は、少なくとも、塗布時に段差部に塗布液を供給できる量とする。また、熱処理による硬化温度は、400℃以下とすることが好ましい。
このように、面発光レーザの光出射面にレーザ光の光軸に合わせてマイクロレンズを装着する場合において、段差部を利用することにより、レンズ用材料をスピンコートするだけで、レンズ作用に必要とされる凸面形状が段差部の頂上面の全面に得られると同時に、レーザ光とレンズとの光軸を合わせることが可能となる。特に、多数の光源に対しレンズを位置合わせする場合において、従来のような煩雑な位置合わせが不要となる。
スピンコート後は、不要な部分のフッ素化ポリイミドを除去するため、レジストを用いたパターニングを行い、RIE(反応性イオンエッチング)を用いて電極パッド上の当該フッ素化ポリイミドを除去する。
このようにして作製された微小光学素子は、通電によりレーザ発振するとともに、フッ素化ポリイミドで形成された平凸レンズによりコリメートされたレーザ光を得ることができる。これらをアレイ化することで、平行度の高い複数のコリメートされたレーザ光を容易に得ることができる。本発明の微小光学素子は、種々の用途に適用可能であり、例えば、大容量の並列光通信などに適用することができる。
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
エピタキシャル成長により、n型GaAs基板上にn型半導体DBR(Disributed Bragg Reflector)とGaAs/InGaAs量子井戸層からなる利得領域とp型半導体DBRからなる面発光レーザ用能動層を形成した。
ここで、半導体DBRは、2種類のAlAsモル比の異なるAlGaAsからなるものを使用した。上記層を形成した後、レジストを塗布し、露光装置でパターニングを行った。その後、レーザ領域を残して不要な周辺部をエッチングにより除去し、段差部(高さ:5μm)を形成した(段差部形成処理)。
次に、p型半導体に接し、レーザ光の出射を妨げないような開口を有する電極を形成した。また、n型GaAs基板の裏面は全面を電極で覆い、面発光レーザを作製した(以上、面発光レーザ作製工程)。
フッ素化ポリイミド(粘度:50mPa)をスピンコート法により面発光レーザ上に塗布した。スピンコートによる塗布時の回転数は、2500rpmとした。塗布後、窒素ガス流通下(流量:1リットル/min)350℃で60分間の熱処理を施し、段差部の頂上面の全面にレンズを一体的に形成した(以上、レンズ形成工程)。
その後は、不要な部分のフッ素化ポリイミドを除去するため、レジストを用いたパターニングを行い、RIEを用いて電極パッド上のフッ素化ポリイミドを除去し、微小光学素子を作製した。
作製した微小光学素子のレンズが形成された面を光学顕微鏡により観察したところ、少なくとも段差部の発光領域がすべてレンズにより覆われていることが確認できた。
また、この微小光学素子を用いて、レーザ光を平行光化し、集光レンズで集光を行ったところ、レーザ発光面の直上にレンズが形成されているため、レンズの光軸とレーザ光の光軸とを位置合わせする必要がなく、実用上問題なく使用することができた。
2・・・基板
4,24・・・段差部
6・・・レンズ
10・・・面発光レーザ
20・・・n型半導体DBR
21・・・量子井戸層
22・・・p型半導体DBR
23・・・能動層
25,26・・・電極
27・・・レンズ材料
28・・・レンズ
4,24・・・段差部
6・・・レンズ
10・・・面発光レーザ
20・・・n型半導体DBR
21・・・量子井戸層
22・・・p型半導体DBR
23・・・能動層
25,26・・・電極
27・・・レンズ材料
28・・・レンズ
Claims (3)
- 基板上に複数の段差部が形成され、それぞれの前記段差部の頂上面の全面にレンズが一体的に形成されていることを特徴とする微小光学素子。
- 基板上に複数の段差部を形成する段差部形成処理を行い、面発光レーザを作製する面発光レーザ作製工程と、それぞれの前記段差部の頂上面の全面にレンズを一体的に形成するレンズ形成工程とを含むことを特徴とする微小光学素子の製造方法。
- 前記レンズ形成工程における前記レンズを一体的に形成する処理が、スピンコート処理を含むことを特徴とする請求項2に記載の微小光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006056811A JP2007234990A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | 微小光学素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006056811A JP2007234990A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | 微小光学素子およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007234990A true JP2007234990A (ja) | 2007-09-13 |
Family
ID=38555246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006056811A Pending JP2007234990A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | 微小光学素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007234990A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6484758A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-30 | Nec Corp | Light-emitting diode |
JPH02113524A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-25 | Hitachi Ltd | 発光素子の製造方法 |
JP2001284725A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Seiko Epson Corp | 面発光型半導体レーザおよびその製造方法 |
JP2005092049A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Seiko Epson Corp | 吐出方法、レンズおよびその製造方法、半導体レーザおよびその製造方法、光学装置、ならびに吐出装置 |
-
2006
- 2006-03-02 JP JP2006056811A patent/JP2007234990A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6484758A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-30 | Nec Corp | Light-emitting diode |
JPH02113524A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-25 | Hitachi Ltd | 発光素子の製造方法 |
JP2001284725A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Seiko Epson Corp | 面発光型半導体レーザおよびその製造方法 |
JP2005092049A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Seiko Epson Corp | 吐出方法、レンズおよびその製造方法、半導体レーザおよびその製造方法、光学装置、ならびに吐出装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206894003U (zh) | 辐射源 | |
JP3791584B2 (ja) | 面発光型半導体レーザおよび面発光型半導体レーザアレイ | |
US5853960A (en) | Method for producing a micro optical semiconductor lens | |
US7535949B2 (en) | VCSEL with integrated lens | |
EP1582892B1 (en) | Optical component | |
TWI429152B (zh) | 垂直空腔表面發射雷射系統及其製造方法 | |
TWI244973B (en) | Micro lens and making method thereof, optical device, optical transmitting device, head for laser printer and laser printer | |
WO2015126475A1 (en) | Lasers with beam shape and beam direction modification | |
CN113484940B (zh) | 一种微透镜阵列及其制备方法、垂直腔面发射激光器结构 | |
JP2000263556A (ja) | マイクロレンズ用金型の作製方法及びそれを用いたマイクロレンズの作製方法 | |
KR20070055764A (ko) | 화합물 반도체의 선택적 식각을 이용한 마이크로렌즈 및마이크로 렌즈가 집적된 광전소자 제조 방법 | |
US20040016718A1 (en) | Micro-optic elements and method for making the same | |
CN111403567B (zh) | 量子点单光子源及其微透镜阵列的湿法腐蚀制备方法 | |
JP2004119582A5 (ja) | ||
US9272463B2 (en) | Mold for nano-imprinting, method for forming diffraction grating, and method for producing optical device including diffraction grating | |
WO2005074052A1 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
TWI244972B (en) | Production method of micro lens and micro lens, optical device and optical transmission system, laser printer head, and laser printer | |
JP3606063B2 (ja) | 面発光型半導体レーザの製造方法 | |
JP2007234990A (ja) | 微小光学素子およびその製造方法 | |
KR100648052B1 (ko) | 마이크로 렌즈의 제조 방법 및 마이크로 렌즈, 광학 장치,광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 및 레이저 프린터 | |
US7531104B1 (en) | Micro-optic elements and method for making the same | |
JP2001252898A (ja) | 凸型または凹型マイクロ構造体、その作製方法、及びこれを用いたマイクロレンズ付き素子基板の作製方法 | |
JPS61253881A (ja) | 分布帰還型半導体レ−ザ | |
JP4113578B2 (ja) | 光モジュールの製造方法 | |
WO2008059671A1 (fr) | Matrice de moulage pour dispositif optique avec structure antiréfléchissante, son procédé de fabrication et dispositif optique |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081008 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110719 |