JP2007234437A - プラズマ放電式除電器 - Google Patents
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Abstract
【課題】環境汚染を生じさせず、電極の寿命が長く、安全な除電器を提供する。
【解決手段】電源と、電極と該電極を覆う誘電体からなりかつ前記電源から供給された電力によりプラズマ放電を行なうプラズマ放電電極部とを備える。そして、誘電体がバリアとして作用する誘電体バリア放電で発生させたプラズマを荷電粒子源または電子源として用いる。
【選択図】 図1
【解決手段】電源と、電極と該電極を覆う誘電体からなりかつ前記電源から供給された電力によりプラズマ放電を行なうプラズマ放電電極部とを備える。そして、誘電体がバリアとして作用する誘電体バリア放電で発生させたプラズマを荷電粒子源または電子源として用いる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、プラズマ放電式除電器に関し、特に、誘電体バリア放電によるプラズマ放電式除電器に関する。
従来、除電器に用いるイオン発生源としてはコロナ放電、グロー放電、紫外線、X線および放射線が用いられてきた。
コロナ放電やグロー放電では電極からパーティクルが発生し、クリーン環境で用いるとクリーン度を低下させる問題があった。また、電極の減耗があり、除電器の寿命が短かった。さらに、コロナ放電させると空気中の窒素と酸素が反応してNOxが発生し、これと空気中の湿度即ち水が反応して硝酸アンモニュームの結晶ができる。これが飛散し環境を汚染する。さらにコロナ放電では高電圧電極がむき出しであるため、人体の感電等の危険性がある。また、X線や放射線を用いると上記のような汚染はないが、人体が危険に曝されるという問題がある。
したがって、前述の課題を解決するために、本発明の除電器は、電源と、電極と該電極を覆う誘電体からなりかつ前記電源から供給された電力によりプラズマを発生するプラズマ発生源とを備え、誘電体バリア放電で発生させたプラズマを荷電粒子源または電子源として用いることを特徴とする。
本発明によれば、以下の効果を有する。
1)電極が誘電体で覆われているので、電極から飛散するパーティクルがない。
2)電極が酸化減耗しない。このため、電極が減耗しないので寿命が長い。
3)電極に硝酸アンモニウムの結晶が発生しないので環境を汚染しない。
4)除電器により発生する温度が低く火災、やけど等の危険性がない。
5)放電電極がむき出しでないので、高電圧による感電も無く安全である。
6)X線や放射線が出ないので安全である。
本発明の除電器では、電源と、電極と該電極を覆う誘電体からなりかつ前記電源から供給された電力によりプラズマ放電を行なうプラズマ放電電極部とを備える。前記誘電体がバリアとして作用する誘電体バリア放電で発生させたプラズマを荷電粒子源または電子源として用いる。
(実施例1)
図1は本発明の実施例1の除電器に示す図である。図1において、除電器10は、電源12と、プラズマ放電を行なうプラズマ放電電極部14と、電源10とプラズマ放電電極部14を接続し、電源10からプラズマ放電電極部14に電力を供給するための導体16とから成る。
(実施例1)
図1は本発明の実施例1の除電器に示す図である。図1において、除電器10は、電源12と、プラズマ放電を行なうプラズマ放電電極部14と、電源10とプラズマ放電電極部14を接続し、電源10からプラズマ放電電極部14に電力を供給するための導体16とから成る。
プラズマ放電電極部14は一対の対向電極18とこれらの対向電極18と、対向電極を覆う誘電体20とから成る。導体16は対向電極18と電源12とを接続している。プラズマ22は対向電極18の先端部に位置する誘電体20の全周にわたって発生する。
プラズマ放電に用いる電源は1KV以上で1KHZ以上の交流が好ましい。また、用いる誘電体20は誘電率が大きいほど電源を小さくできるため大きいほど良い。このため、誘電率は通常10以上が好ましく、最近では誘電率が140のものも実用化されているので、そのような誘電率の高い誘電体を用いるのが好ましい。
(実施例2)
図2は実施例2として本発明の除電器が除電対象物を除電するメカニズムを説明するための図である。プラズマ22は+と−のイオン(荷電粒子)28または電子により構成されていて、全体の電荷は中性である。プラズマの近傍に帯電物体24が近づくと帯電している+の静電気30はプラズマ中の一の電荷を吸引し、消えてゆく。逆に−の静電気30はプラズマ中の+の電荷を吸引し、消えてゆく。このようにして電荷の交換が行われ、プラズマによる除電が行われる。
(実施例3)
図3は本発明の実施例3のプラズマ放電電極部を示す図である。実施例1の一対の対向電極18では対向電極同士の先端部が対向しているが、この実施例3では、対向電極が平行に配置されており、プラズマは平行電極間で誘電体が最も薄い部分に発生する。すなわち、実施例3では誘電体20には、平行な対向電極の平行がほぼ重なる部分に窪み(切り欠き)26が形成されており(誘電体の絶縁性能が他より弱い部分を設ける)、その切り欠きに長い線状のプラズマ源ができる。
(実施例4)
図4は本発明の実施例4のプラズマ放電電極部を示す図である。実施例4では、対向電極18が先端で対向している。誘電体20には、対向電極の先端のほぼ重なる部分に窪み(切り欠き)26が形成されており、電極の先端、すなわち、誘電体が最も薄い部分(切り欠き)にプラズマ22が発生している。
(実施例5)
図5は本発明の実施例5のプラズマ放電電極部を示す図である。実施例4では、切り欠きが直方体状であるが、この実施例5では、切り欠きが断面円弧状のものである。
(実施例6)
図6は本発明の実施例6のプラズマ放電電極部を示す図である。実施例6は実施例5と同様に対向電極が先端で対向している場合である。対向電極の先端のほぼ重なる部分に全周にわたって断面円弧状の窪み(切り欠き)26が形成されており、電極の先端部の誘電体が最も薄い部分にプラズマ22が発生している。切り欠きが全周に及んでいるのでプラズマは全周に発生している。
(実施例7)
図7は、本発明の実施例7の種々の電極配置を示す図である。
(実施例2)
図2は実施例2として本発明の除電器が除電対象物を除電するメカニズムを説明するための図である。プラズマ22は+と−のイオン(荷電粒子)28または電子により構成されていて、全体の電荷は中性である。プラズマの近傍に帯電物体24が近づくと帯電している+の静電気30はプラズマ中の一の電荷を吸引し、消えてゆく。逆に−の静電気30はプラズマ中の+の電荷を吸引し、消えてゆく。このようにして電荷の交換が行われ、プラズマによる除電が行われる。
(実施例3)
図3は本発明の実施例3のプラズマ放電電極部を示す図である。実施例1の一対の対向電極18では対向電極同士の先端部が対向しているが、この実施例3では、対向電極が平行に配置されており、プラズマは平行電極間で誘電体が最も薄い部分に発生する。すなわち、実施例3では誘電体20には、平行な対向電極の平行がほぼ重なる部分に窪み(切り欠き)26が形成されており(誘電体の絶縁性能が他より弱い部分を設ける)、その切り欠きに長い線状のプラズマ源ができる。
(実施例4)
図4は本発明の実施例4のプラズマ放電電極部を示す図である。実施例4では、対向電極18が先端で対向している。誘電体20には、対向電極の先端のほぼ重なる部分に窪み(切り欠き)26が形成されており、電極の先端、すなわち、誘電体が最も薄い部分(切り欠き)にプラズマ22が発生している。
(実施例5)
図5は本発明の実施例5のプラズマ放電電極部を示す図である。実施例4では、切り欠きが直方体状であるが、この実施例5では、切り欠きが断面円弧状のものである。
(実施例6)
図6は本発明の実施例6のプラズマ放電電極部を示す図である。実施例6は実施例5と同様に対向電極が先端で対向している場合である。対向電極の先端のほぼ重なる部分に全周にわたって断面円弧状の窪み(切り欠き)26が形成されており、電極の先端部の誘電体が最も薄い部分にプラズマ22が発生している。切り欠きが全周に及んでいるのでプラズマは全周に発生している。
(実施例7)
図7は、本発明の実施例7の種々の電極配置を示す図である。
図7aは点状電極のプラズマ源を示す。対向電極18の先端の誘電体20が最も薄くなっているので、絶縁性能が低く、ここにプラズマが発生する。点状のプラズマにより小さなスポットの除電ができる。
図7bは線状電極のプラズマ源を示す。対向電極18が線状で平行に並んでいる。線状のプラズマが発生する。
図7cは円状電極のプラズマ源を示す。円状のプラズマができる。
図7dは面状電極のプラズマ源を示す。複数の平行電極18が面状に並んでおり、面状のプラズマが発生する。
図7eは円柱状電極のプラズマ源を示す。円柱状のプラズマができる。円柱状の内部または外部にプラズマができる。内部の場合は管状の内部を通る物体、例えば粉体の除電ができる。
10 プラズマ放電式除電器
12 電源
14 プラズマ放電電極部
16 導体
18 電極
20 誘電体
22 プラズマ
26 切り欠き
12 電源
14 プラズマ放電電極部
16 導体
18 電極
20 誘電体
22 プラズマ
26 切り欠き
Claims (11)
- 電源と、電極と該電極を覆う誘電体からなりかつ前記電源から供給された電力によりプラズマ放電を行なうプラズマ放電電極部とを備え、前記誘電体がバリアとして作用する誘電体バリア放電で発生させたプラズマを荷電粒子源または電子源として用いることを特徴とする除電器。
- 前記プラズマにより発生した荷電粒子または電子を帯電物に供給して帯電電荷を中和することを特徴とする1項記載の除電器。
- 前記誘電体中の電極は一対の対向電極であり、これらの電極間に1KV以上で1KHZ以上の交流電圧を印加することを特徴とする請求項第1又は2項記載の除電器。
- 一対の対向電極に隣接して、誘電体の絶縁性能が他より弱い部分を設けることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の除電器。
- 一対の対向電極に隣接して、誘電体の絶縁性能が他より弱い部分を局部的に点状、線状または面状に設けることを特徴とする請求項第1乃至4項のいずれか1つに記載の除電器。
- 一対の対向電極に隣接して、一方の電極から出て誘電体を経由して前記誘電体の表面に出て、その誘電体の表面または空間を経由後に、再び誘電体を経由して他方の電極に至る経路が他より短い経路を設けることを特徴とする請求項第1乃至5項のいずれか1つに記載の除電器。
- 圧縮空気またはFANで荷電粒子または電子を飛ばすことを特徴とする請求項第1乃至6項のいずれか1つに記載の除電器。
- 不活性ガスを用いオゾンの発生を抑制することを特徴とする請求項第1乃至7項記載の除電器。
- 前記誘電体に誘電率が10以上であることを特徴とする請求項第1乃至8項のいずれか1つに記載の除電器。
- 前記対向電極が点状、線状、円状、又は円柱状であることを特徴とする請求項第1乃至9項のいずれか1つに記載の除電器。
- 前記対向電極が面状に配置されていることを特徴とする請求項第1乃至10項のいずれか1つに記載の除電器。
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