JP2007228190A - バルク弾性波共振素子及び該製造方法並びにフィルタ回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のバルク弾性波共振素子1は、基板11と、基板11上に形成された第1電極13と、第1電極13上に形成されたチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電体薄膜14と、圧電体薄膜14上に形成された第2電極15とを備え、第1電極13は、第1密着層131、主導電層132、第2密着層133、副導電層134が基板11から圧電体薄膜14へ向けて積層されて成る。
【選択図】図1
Description
2、3 フィルタ回路
11 基板
12 音響ミラー層
13 第1電極
14 圧電体薄膜
15 第2電極
18 開口部
131 第1密着層
132 主導電層
133 第2密着層
134 副導電層
Tina、Tinb 入力端子
ToutaToutb 出力端子
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に形成された第1電極と、
前記第1電極上に形成されたチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電体膜と、
前記圧電体膜上に形成された第2電極とを備え、
前記第1電極は、第1密着層、主導電層、第2密着層、副導電層が前記基板から前記圧電体膜へ向けて積層されて成ること
を特徴とするバルク弾性波共振素子。 - 前記第1及び第2密着層は、チタン又はクロムを主成分として成り、
前記主導電層は、イリジウム(Ir)、酸化イリジウム(IrO2)、ルビジウム(Ru)、酸化ルビジウム(RuO)、酸化ランタンニッケル(LaNiO3)、酸化イットリウムバリウム銅(YBCO)及び酸化ストロンチウムルテニウム(SrRuO3)の何れか1つを主成分として成り、
前記副導電層は、白金を主成分として成ること
を特徴とする請求項1に記載のバルク弾性波共振素子。 - 前記基板と前記第1電極との間に音響ミラー層がさらに形成されていること
を特徴とする請求項1又は請求項2に記載のバルク弾性波共振素子。 - 前記基板に前記第1電極に至る開口が形成されていること
を特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のバルク弾性波共振素子。 - 基板と、前記基板上に形成された第1電極と、前記第1電極上に形成されたチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電体膜と、前記圧電体膜上に形成された第2電極とを備えたバルク弾性波共振素子の製造方法において、
前記第1電極を形成する工程は、
前記基板上に第1密着層を形成する工程と、
前記第1密着層上に主導電層を形成する工程と、
前記主導電層上に第2密着層を形成する工程と、
前記第2密着層上に副導電層を形成する工程とを備えること
を特徴とするバルク弾性波共振素子の製造方法。 - 一対の入力端子と、
前記一対の入力端子間に接続された直列接続の2個のバルク弾性波共振素子と、
一方が前記2個のバルク弾性波共振素子間に接続され、他方が前記一対の入力端子の何れか一方に接続された一対の出力端子とを備え、
前記バルク弾性波共振素子は、請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のバルク弾性波共振素子であること
を特徴とするフィルタ回路。 - 請求項6に記載のフィルタ回路が複数縦続に接続されていること
を特徴とするフィルタ回路。
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