JP2007218717A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007218717A5
JP2007218717A5 JP2006039002A JP2006039002A JP2007218717A5 JP 2007218717 A5 JP2007218717 A5 JP 2007218717A5 JP 2006039002 A JP2006039002 A JP 2006039002A JP 2006039002 A JP2006039002 A JP 2006039002A JP 2007218717 A5 JP2007218717 A5 JP 2007218717A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
voltage
circuit
current
inertial force
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006039002A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2007218717A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2006039002A priority Critical patent/JP2007218717A/ja
Priority claimed from JP2006039002A external-priority patent/JP2007218717A/ja
Publication of JP2007218717A publication Critical patent/JP2007218717A/ja
Publication of JP2007218717A5 publication Critical patent/JP2007218717A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2006039002A 2006-02-16 2006-02-16 慣性力センサ Pending JP2007218717A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006039002A JP2007218717A (ja) 2006-02-16 2006-02-16 慣性力センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006039002A JP2007218717A (ja) 2006-02-16 2006-02-16 慣性力センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007218717A JP2007218717A (ja) 2007-08-30
JP2007218717A5 true JP2007218717A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2009-04-02

Family

ID=38496187

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006039002A Pending JP2007218717A (ja) 2006-02-16 2006-02-16 慣性力センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007218717A (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7891245B2 (en) 2006-11-22 2011-02-22 Panasonic Corporation Inertial force sensor including a sense element, a drive circuit, a sigma-delta modulator and a signal processing circuit
CN104246432B (zh) 2012-04-12 2016-08-17 松下知识产权经营株式会社 运动传感器和使用它的电子设备
JP6448448B2 (ja) * 2015-04-10 2019-01-09 株式会社東芝 ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3048921B2 (ja) * 1996-04-23 2000-06-05 静岡日本電気株式会社 水晶発振回路
JP4668407B2 (ja) * 2000-12-08 2011-04-13 京セラキンセキ株式会社 角速度センサ
JP4573017B2 (ja) * 2001-05-30 2010-11-04 セイコーエプソン株式会社 振動子を用いた検出方法および検出装置
JP3985893B2 (ja) * 2002-02-14 2007-10-03 日本碍子株式会社 物理量の測定装置
JP2004153433A (ja) * 2002-10-29 2004-05-27 Niigata Seimitsu Kk 水晶発振器および半導体装置
JP4408639B2 (ja) * 2003-03-07 2010-02-03 株式会社日立メディコ マルチスライスx線ct装置
JP3964875B2 (ja) * 2004-02-16 2007-08-22 株式会社ジャイトロニクス 角速度センサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100489454C (zh) 激励振荡器主控振动的方法和系统
JP4633058B2 (ja) 振動型慣性力センサ
JP4696996B2 (ja) 慣性力センサ
JPH0933262A (ja) 励振駆動回路及び方法並びにこれを用いた圧電振動角速度計
JP2007256233A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JPH1144540A (ja) 振動型角速度センサ
JP2007218717A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2007218717A (ja) 慣性力センサ
JP4779692B2 (ja) 発振回路及び物理量トランスデューサ
JP5362097B2 (ja) 振動型慣性力センサ
JP3627643B2 (ja) 振動ジャイロ
JP2012230052A (ja) 振動子駆動回路
JP2007235484A (ja) 圧電発振回路
JP5040117B2 (ja) 発振回路、物理量トランスデューサ及び振動ジャイロセンサ
JP2007071654A (ja) 振動ジャイロ
JP4631537B2 (ja) 容量式物理量センサのセンサ回路
JP2008157766A (ja) 加速度検出装置
JP5344955B2 (ja) 固体振動子発振回路およびこれを用いた物理量センサ
JP4564764B2 (ja) レベル検出装置
JP3227975B2 (ja) 振動検出回路
JP2007178298A (ja) 振動型慣性力検知センサ
JP6662254B2 (ja) 駆動回路および物理量センサ装置
JP2009284375A (ja) 振動子
JP2008190924A (ja) 加速度検出装置
CN116202503A (zh) 具有改善的热启动的mems陀螺仪器件和相应的方法