JP2007218241A - 振動アクチュエータ、噴流発生装置及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】薄型化を実現することができる振動アクチュエータ、噴流発生装置及び電子機器を提供すること。また、気体のみならず液体の効率よい吐出が可能な噴流発生装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】振動アクチュエータ１５は、対向して配置された２つのマグネット４及び６、これらのマグネット４及び６の間に配置されたスペーサ７、スペーサ７の周囲に配置されたコイル１２、コイル１２が装着された振動板９を有する。マグネット４及び６による反発磁界が形成されて、Ｚ方向に十分な幅のある磁束が形成されるので、コイル１２のＺ方向の長さが短くてもコイル１２は十分な反発磁界による磁束を受ける。すなわち、振動アクチュエータ１５のＺ方向での厚さ、あるいは噴流発生装置１０の厚さを薄くすることができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、気体の合成噴流を発生する噴流発生装置、この噴流発生装置に用いられる振動アクチュエータ及び噴流発生装置を搭載した電子機器に関する。

従来から、ＰＣ（Personal Computer）の高性能化に伴うＩＣ（Integrated Circuit）等の発熱体からの発熱量の増大が問題となっており、様々な放熱の技術が提案され、あるいは製品化されている。

その放熱方法として、空気を脈流で吐出して合成噴流を生成し、この合成噴流を、放熱フィン（ヒートシンク）等に供給し、熱を持つ放熱フィンの表面に形成される温度境界層を効率良く破壊して放熱する方法がある（例えば、特許文献１参照。）。このような噴流発生装置は、開口を有する筐体と、その筐体内の空気に圧力変化を起こす振動板とを有している。振動板が振動することで筐体内に圧力変化が生じ、開口を介して空気が脈流として吐出することで合成噴流が発生する。

合成噴流は、次のような原理で発生する。筐体の開口から空気が吐出されるときに空気の流れが生じることにより、筐体外の開口の周囲の気圧が低下し、これにより、当該周囲の空気が開口から吐出される空気に巻き込まれて合成噴流が発生する。

また、特許文献１に記載の噴流発生装置は、２つのチャンバから交互に空気が吐出され、つまり逆位相で空気が吐出されるので、各チャンバや開口（ノズル）から発生する音が弱め合う。これにより騒音が低減される。
特開２００５−２５６８３４号公報（段落[００７９]、図１）

ところで、特許文献１の図４９においては、マグネット（３７２）の下部に取り付けられたプレートヨーク（３７３）と、筒状のヨーク（３７６）との間で磁気ギャップが形成されている。この間にコイル（３７８）が配置され、コイル（３７８）が電磁力を受ける。しかしながら、その磁気ギャップの高さ方向（振動板（３６５）の振動方向（Ｒ））の磁束が集中する部分が短い。したがって、振動板（３６５）を振動させるようにするためには、その振動板（３６５）の全ストローク内でコイル（３７８）のどこか一部が磁束を受けなければならないため、コイル（３７８）がその振動方向で長くなってしまう。また、その分噴流発生装置（３６１）の厚さが厚くなる。また、コイル（３７８）が最上点にあるときでも、プレートヨーク３７３と振動板（３６５）やコイルボビン（可動部材）（３７４）等に接触しないよう十分なスペースが必要であり、噴流発生装置（３６１）の厚さが厚くなる。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、薄型化を実現することができる振動アクチュエータ、噴流発生装置及び電子機器を提供することにある。

また、本発明の別の目的は、気体のみならず液体の効率よい吐出が可能な噴流発生装置及び電子機器を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明に係る振動アクチュエータは、合成噴流を発生する噴流発生装置に用いられ、気体の脈流を生成するための振動アクチュエータであって、第１のマグネットと、第１の反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して配置された第２のマグネットと、振動することで前記気体の脈流を生成する第１の振動体と、前記第１の振動体に装着され、前記第１の反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを具備する。

本発明では、相対向する第１及び第２のマグネットによる第１の反発磁界が形成される。これにより、第１及び第２のマグネットが並ぶ方向に十分な幅のある磁束が形成されるので、第１のコイルが短くても第１のコイルは十分な反発磁界による磁束を受ける。すなわち、振動アクチュエータの上記第１及び第２のマグネットが並ぶ方向（振動方向）の厚さ、あるいは噴流発生装置の厚さを薄くすることができる。

また、特に、第１の振動体に設けられた穴等に第１のコイルが装着され、第１及び第２のマグネットが並ぶ方向にそった軸が、その穴に配置されるような構成である場合、より有利である。この場合、従来のように、振動方向で、振動板と磁気回路（マグネット及びヨークで構成される部分）との間の余分なスペースを設ける必要がなくなり、振動方向での振動アクチュエータの厚さ、あるいは振動方向での噴流発生装置の厚さを薄くすることができる。

さらに、本発明では、第１のコイルに発生する力は振幅中心から両死点でほぼ同じになり、振幅中心からの振動の対称性が高くなる。振動の対称性とは、例えば振幅（変位）の対称性、あるいは第１のコイルに発生する力等の対称性である。本発明では、振動の線形性が高くなり、例えば第１のコイルを駆動する駆動電流（入力電流）に対する変位応答に高調波成分が重畳しにくく、きれいに第１の振動体を振動させることができる。その結果、例えば、第１の振動体の両側で形成されるチャンバやそれらチャンバ内の気流の対称性が向上し、騒音が抑制される。

本発明において、振動アクチュエータは、前記第１及び第２のマグネットの間に配置され、磁性材料でなるスペーサをさらに具備する。これにより、第１のコイルが配置される領域の磁束密度を増やすことができ、第１の振動体を効率良く振動させることができ、消費電力を抑えることができる。

本発明において、振動アクチュエータは、振動することで前記気体の脈流を生成する第２の振動体と、第２の反発磁界を形成するように、前記第２のマグネットとの間に前記第１のマグネットを挟んで前記第２のマグネットと対向して配置された第３のマグネットと、前記第２の振動体に装着され、前記第２の反発磁界を受けるように配置された第２のコイルとをさらに具備する。本発明では、第１及び第２の振動体が設けられているので、振動アクチュエータの厚さは増えるが、気体の吐出量を増やすことができる。

上記同様に、振動アクチュエータは、前記第１及び第３のマグネットの間に配置され、磁性材料でなるスペーサをさらに具備してもよい。

本発明において、前記第３のマグネットは、前記第１または第２のマグネットとほぼ同じ磁束密度で磁界を発生する２つのマグネットでなる。これにより、各振動体の振幅中心からの振動の対称性が高くなる。これにより、上記したように、きれいに第１の振動体を振動させることができ、騒音が低減される。

本発明において、振動アクチュエータは、前記第１及び第２のマグネットが対向する方向にほぼ垂直な面内における前記第１のマグネットの第１の幅より大きい第２の幅でなるとともに、平板状でなり、前記第１のマグネットの、前記第２のマグネットが配置される側とは反対側に接続された第１のヨークをさらに具備する。これにより、第１のヨークより外側への漏れ磁束を効果的に抑制することができる。また、第１のヨークは、平板状でなるので厚みを薄くすることができ、振動アクチュエータ、あるいは噴流発生装置の薄型化を実現することができる。

もちろん、振動アクチュエータは、前記面内で前記第１の幅より大きい第３の幅でなるとともに、平板状でなり、前記第２のマグネットの、前記第１のマグネットが配置される側とは反対側に接続された第２のヨークをさらに具備してもよい。これにより、第１及び第２のヨークより外側への漏れ磁束を効果的に抑制することができる。第２の幅と第３の幅はほぼ同じでよいが、必ずしも同じでなくてもよい。

本発明において、前記第１及び第２のマグネットは、当該第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内における前記第１のコイルの第１の幅よりも大きい第２の幅でなり、かつ、リング状でなるようにしても構わない。これにより、第１のコイルの外側に第１及び第２のマグネットが配置されることとなるため、第１のコイルが配置される領域の磁場を強くすることができ、第１の振動体を効率良く振動させることができ、消費電力を抑えることができる。

また、本発明において、振動アクチュエータが上記第３のマグネットと第２のコイルを有する構成である場合、前記第１、第２及び第３のマグネットは、当該第１、第２及び第３のマグネットがそれぞれ対向する方向にほぼ垂直な面内における前記第１のコイルの第１の幅及び前記第２のコイルの第２の幅のいずれの幅よりも大きい第３の幅でなり、かつ、リング状でなるようにしてもよい。この場合も、第１及び第２のコイルの外側に第１、第２及び第３のマグネットが配置されることとなるため、第１及び第２のコイルが配置される領域の磁場を強くすることで、第１及び第２の振動体の振動効率を向上させ、消費電力を抑えることができる。

本発明に係る噴流発生装置は、気体が含まれた筐体と、合成噴流を発生するために、振動することで前記筐体から気体を脈流として吐出させる第１の振動体と、第１のマグネットと、第１の反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記第１の反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを有し、前記第１のコイルに通電することで前記第１の振動体を駆動する駆動機構とを具備する。

本発明では、第１及び第２のマグネットが並ぶ方向に十分な幅のある磁束が形成されるので、第１のコイルが短くても第１のコイルは十分な反発磁界による磁束を受け、振動アクチュエータの振動方向の厚さ、あるいは噴流発生装置の厚さを薄くすることができる。

本発明において、噴流発生装置が、上述した第１のヨークをさらに具備する場合、前記第１のヨークは、前記筐体の一部を構成する。このような構成によれば、噴流発生装置の薄型化を実現することができる。もちろん噴流発生装置が、上述した第２のヨークをさらに具備する場合、第２のヨークも筐体の一部を構成してもよい。

本発明において、前記筐体は、第１のチャンバと、前記第１のチャンバとの間に前記第１の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置された第２のチャンバと、前記第１のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第１の開口と、前記第２のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第２の開口とを有する。これにより、第１の振動体が振動することにより、第１及び第２の開口から交互に気体が吐出され、そのときに発生する逆位相の音波が互いに弱め合い、騒音が低減される。

本発明において、駆動機構が、上記したように、第２の振動体と、第３のマグネットと、第２のコイルとを有する構成である場合、前記筐体は、前記第１のチャンバとの間に前記第２の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置された第３のチャンバと、前記第３のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第３の開口とを有する。

その場合に、前記駆動機構は、前記第１及び第２の振動体を互いに近づけるように、かつ、互いに遠ざけるように同期して駆動することが望ましい。これにより、第２及び第３のチャンバからは、第２及び第３の開口を介して同位相で気体がそれぞれ吐出される。第１のチャンバからは、第１の開口を介して、第２及び第３のチャンバからの気体の吐出タイミングとは逆位相で気体が吐出される。また、第２及び第３のチャンバからは同位相で音波が発生し、第１のチャンバからは、その第２及び第３のチャンバからの音波とは逆位相の音波が発生するので、音波が互いに弱められ、騒音が低減される。さらに、本発明では、第１及び第２の振動体が、同じタイミングで近づいたり、遠ざかったりするので、振動体による全体の振動がキャンセルされ、噴流発生装置全体の振動がなくなる。

本発明において、前記第２及び第３のチャンバは、それぞれほぼ同じ第１の容積を有し、前記第１のチャンバは、前記第１の容積のほぼ２倍である第２の容積を有し、前記第２及び第３の開口は、第１の開口面積を有し、同じ数だけ設けられ、前記第１の開口は、前記第１の開口面積とほぼ同じ第２の開口面積を有し、前記第２の開口と前記第３の開口を足した数と同じ数だけ設けられている。本発明では、第１及び第２の開口面積が同じになれば、各開口から発生する音はほぼ同じ周波数になる。さらに、本発明では、第１のチャンバの第２の容積は、第２及び第３のチャンバの第１の容積の２倍であり、第１の開口は、第２の開口と第３の開口を足した数と同じ数だけ設けられている。これにより、第１のチャンバから吐出される気体の量と、第２及び第３のチャンバから吐出される気体量の合計とがほぼ同じになる。すなわち、すべての開口から発生する音波の周波数がほぼ同じで、第１のチャンバからの気体量と第２及び第３のチャンバの気体量の合計とがほぼ同じであれば、きれいに音波が相殺され騒音が低減される。第２及び第３の開口の数は、それぞれ１つでもよいし、それぞれ複数でもよい。

本発明において、前記第１及び第２のマグネットは、当該第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内における前記第１のコイルの第１の幅よりも大きい第２の幅でなり、かつ、リング状でなるようにしても構わない。これにより、第１のコイルが配置される領域の磁場を強くすることができ、第１の振動体を効率良く振動させることができ、消費電力を抑えることができる。

また、上記駆動機構が、第２の振動体と、第３のマグネットと、第２のコイルとを有する構成である場合、前記第１、第２及び第３のマグネットは、当該第１、第２及び第３のマグネットの各対向方向にほぼ垂直な面内における前記第１のコイルの第１の幅及び前記第２のコイルの第２の幅のいずれの幅よりも大きい第３の幅でなり、かつ、リング状でなるようにしてもよい。この場合も、第１及び第２のコイルが配置される領域の磁場を強くすることで、第１及び第２の振動体の振動効率を向上させ、消費電力を抑えることができる。

本発明において、前記第１の振動体は、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉するように前記筐体に設けられてもよい。これにより、第１のチャンバと第２のチャンバとの気密性を維持することができるため、効率よく合成噴流を発生することができる。

本発明において、前記第１のコイルは、前記第１及び第２のマグネットの前記対向方向にほぼ垂直な面内で巻回された平面コイルであっても構わない。これにより、平面方向にコイルの巻回数を増やすことで、力Ｆ＝iBLにおける長さＬを稼ぐことができるため、第１の振動体を効率よく駆動させ、消費電力を低減することが可能となる。

本発明において、上記振動アクチュエータは、前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第１のコイルの内側に配置され、前記第１の振動体に装着されたヨークをさらに具備していてもよい。これにより、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の気密性を保ちながら、第１のコイルに鎖交する磁束を増やすことが可能となり、第１のコイルを効率よく振動させることができ、消費電力を抑えることができる。

本発明において、前記駆動機構は、振動することで前記気体の脈流を生成する第２の振動体と、前記第２の振動体に装着され、前記第１の反発磁界を受けるように配置された第２のコイルとを有し、前記筐体は、前記第１及び第２の振動体により挟まれて形成された第１のチャンバと、前記第１のチャンバとの間に前記第１の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置され、前記第１の振動体により前記第１のチャンバとの間を密閉された第２のチャンバと、前記第１のチャンバとの間に前記第２の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置され、前記第２の振動体により前記第１のチャンバとの間を密閉された第３のチャンバと、前記第１のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第１の開口と、前記第２のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第２の開口と前記第３のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第３の開口とを有していてもよい。

これにより、第１のチャンバと第２のチャンバとの気密性、及び第１のチャンバと第３のチャンバとの気密性をいずれも維持することができるため、第１及び第２のコイルの駆動により効率よく合成噴流を発生することができる。

本発明において、前記第１及び第２のコイルは、前記第１、第２及び第３の各対向方向にほぼ垂直な面内で巻回された平面コイルであっても構わない。これにより、平面方向に第１及び第２のコイルの巻回数を増やすことで、力Ｆ＝iBLにおける長さＬを稼ぐことができるため、第１及び第２の振動体を効率よく駆動させ、消費電力を低減することが可能となる。

本発明において、上記噴流発生装置は、前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第１のコイルの内側に配置され、前記第１の振動体に装着された第１のヨークと、前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第２のコイルの内側に配置され、前記第２の振動体に装着された第２のヨークとをさらに具備していてもよい。これにより、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の気密性及び第１のチャンバと第３のチャンバとの気密性を保ちながら、第１及び第２のコイルに鎖交する磁束を増やすことが可能となり、第１及び第２のコイルを効率よく振動させることができ、消費電力を抑えることができる。

本発明の他の観点に係る噴流発生装置は、外部から流体を吸入するための第１の吸入口と、前記第１の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第１の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第２の吸入口と、前記第２の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第２の吐出口とを有する筐体と、前記筐体内を、前記第１の吸入口及び前記第１の吐出口を介して前記外部と連通可能な第１のチャンバと、前記第２の吸入口及び前記第２の吐出口を介して前記外部と連通可能な第２のチャンバとに仕切るとともに、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉し、振動することで前記第１及び第２の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第１の振動体と、前記筐体内に配置された第１のマグネットと、反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して前記筐体内に配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを有し、前記第１のコイルに通電することで前記第１の振動体を駆動する駆動機構とを具備する。

ここで「流体」には、気体と液体とが含まれる。この構成によれば、第１の振動体の振動方向における噴流発生装置の厚さを薄くすることができるとともに、第１の振動体により第１のチャンバと第２のチャンバとの間の気密性を保つことができる。したがって、気体のみならず液体も効率よく吐出することができるため、当該噴流発生装置を例えば液体ポンプ等にも適用でき、例えば人工心臓のようなきめ細やかで複雑な動作も可能となる。なお、この場合上記第１及び第２の吸入口と、第１及び第２の吐出口には逆止弁のような逆流防止機構を設けてもよい。

この噴流発生装置において、前記第１のコイルは、前記第１及び第２のマグネットの前記対向方向にほぼ垂直な面内で巻回された平面コイルであってもよい。これにより、力Ｆ＝iBLにおける長さＬを稼いで、消費電力を低減することが可能となる。

また、噴流発生装置は、前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第１のコイルの内側に配置され、前記第１の振動体に装着されたヨークをさらに具備していても構わない。これにより、第１のコイルに鎖交する磁束を増やして、消費電力を低減することができる。

本発明のさらに別の観点に係る噴流発生装置は、外部から流体を吸入するための第１の吸入口と、前記第１の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第１の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第２の吸入口と、前記第２の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第２の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第３の吸入口と、前記第３の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第３の吐出口とを有する筐体と、前記筐体内を、前記第１の吸入口及び前記第１の吐出口を介して前記外部と連通可能な第１のチャンバと、前記第２の吸入口及び前記第２の吐出口を介して前記外部と連通可能な第２のチャンバとに仕切るとともに、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉し、振動することで前記第１及び第２の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第１の振動体と、前記筐体内を、前記第２のチャンバと、前記第３の吸入口及び前記第３の吐出口を介して前記外部と連通可能な第３のチャンバとに仕切るとともに、前記第２のチャンバと前記第３のチャンバとの間を密閉可能であり、振動することで前記第２及び第３の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第２の振動体と、前記筐体内に配置された第１のマグネットと、反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して前記筐体内に配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第１のコイルと、前記第２の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第２のコイルとを有し、前記第１及び第２のコイルに通電することで前記第１及び第２の振動体を駆動する駆動機構とを具備する。

この場合、前記第１及び第２のコイルは、前記第１、第２及び第３の各対向方向にほぼ垂直な面内で巻回された平面コイルであってもよい。

またこの場合、噴流発生装置は、前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第１のコイルの内側に配置され、前記第１の振動体に装着された第１のヨークと、前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第２のコイルの内側に配置され、前記第２の振動体に装着された第２のヨークとをさらに具備していても構わない。

本発明に係る電子機器は、発熱体と、気体が含まれた筐体と、前記発熱体に合成噴流を供給するために、振動することで前記筐体から気体を脈流として吐出させる第１の振動体と、第１のマグネットと、第１の反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記第１の反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを有し、前記第１のコイルに通電することで前記第１の振動体を駆動する駆動機構とを具備する。

本発明の他の観点に係る電子機器は、発熱体と、外部から流体を吸入するための第１の吸入口と、前記第１の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第１の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第２の吸入口と、前記第２の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第２の吐出口とを有する筐体と、前記筐体内を、前記第１の吸入口及び前記第１の吐出口を介して前記外部と連通可能な第１のチャンバと、前記第２の吸入口及び前記第２の吐出口を介して前記外部と連通可能な第２のチャンバとに仕切るとともに、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉し、振動することで前記第１及び第２の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第１の振動体と、前記筐体内に配置された第１のマグネットと、反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して前記筐体内に配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを有し、前記第１のコイルに通電することで前記第１の振動体を駆動する駆動機構とを具備する。

本発明のさらに別の観点に係る電子機器は、発熱体と、外部から流体を吸入するための第１の吸入口と、前記第１の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第１の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第２の吸入口と、前記第２の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第２の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第３の吸入口と、前記第３の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第３の吐出口とを有する筐体と、前記筐体内を、前記第１の吸入口及び前記第１の吐出口を介して前記外部と連通可能な第１のチャンバと、前記第２の吸入口及び前記第２の吐出口を介して前記外部と連通可能な第２のチャンバとに仕切るとともに、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉し、振動することで前記第１及び第２の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第１の振動体と、前記筐体内を、前記第２のチャンバと、前記第３の吸入口及び前記第３の吐出口を介して前記外部と連通可能な第３のチャンバとに仕切るとともに、前記第２のチャンバと前記第３のチャンバとの間を密閉可能であり、振動することで前記第２及び第３の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第２の振動体と、前記筐体内に配置された第１のマグネットと、反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して前記筐体内に配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第１のコイルと、前記第２の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第２のコイルとを有し、前記第１及び第２のコイルに通電することで前記第１及び第２の振動体を駆動する駆動機構とを具備する。

以上のように、本発明に係る振動アクチュエータ、噴流発生装置等によれば、薄型化を実現することができる。また、騒音を低減することができる場合もある。さらに、気体のみならず液体の効率よい吐出が可能となる場合もある。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。

（第１実施形態）
まず、本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る噴流発生装置を示す斜視図である。図２は、図１に示す噴流発生装置の分解斜視図である。図３は、図１に示す噴流発生装置の断面図である。

噴流発生装置１０は、筐体５、振動アクチュエータ１５及びノズル体２を備えている。筐体５は、上カバー１及び下カバー３により構成されている。図２に示すように、上カバー１及び下カバー３のそれぞれの後方であって、カバー１及び３のＹ方向での両側には、上カバー１及び下カバー３を連結するための連結部材１８が装着される装着部１ｂ及び３ｂが設けられている。また、両カバー１及び３のそれぞれの前方であって、両カバー１及び３のＹ方向での両側には、ノズル体２が装着されるための突起部１ｃ及び３ｃが設けられている。ノズル体２の両側面には、その突起部１ｃ及び３ｃが係合する穴２ｄがそれぞれ形成されている。

なお、連結部材１８や、連結部材１８が装着される装着部１ｂ、３ｂ等は、必ずしもなくてはならないわけではない。上カバー１と下カバー３とを、例えばネジ、接着剤、圧着、溶着、超音波接合、またはレーザ接合等により接合することができる。あるいはその他の接合方法であってもよい。

ノズル体２には、複数の空気の流路２ａが上段に１列に設けられ、また、複数の空気の流路２ｂが下段に１列に設けられている。上下の流路２ａ及び２ｂの間には、仕切り板２ｃが、Ｙ方向に並んだ流路２ａ（または２ｂ）の数の分だけ設けられている。後述するように、噴流発生装置１０が動作するとき、上下の流路２ａ及び２ｂにおいて、常に風向きが逆になる。この仕切り板２ｃが設けられることにより、例えば流路２ｂから吐出された空気が流路２ａから吸い込まれにくくなり、効率良く空気が吐出されるようになる。

仕切り板２ｃは複数設けられているが、このような形態に限らず１枚の板で構成されていてもよい。しかしながら、図１等に示すように仕切り板２ｃが複数に分割されていることにより、後述するように、図示しないヒートシンクを構成する各放熱フィンの間に各仕切り板２ｃを嵌め込むことができる。これにより、噴流発生装置１０とヒートシンクとを容易かつ正確に位置決めすることができる。

振動アクチュエータ１５は、対向して配置された２つのマグネット４及び６、これらのマグネット４及び６の間に配置されたスペーサ７、スペーサ７の周囲に配置されたコイル１２、コイル１２が装着された振動体（振動板）９、振動板９の周囲に装着され振動板９を支持する弾性支持部材１１、マグネット４及び６にそれぞれ接続されたヨーク１４及び１６を有している。

２つのマグネット４及び６は、その対向方向（Ｚ方向）であり、同じ極性同士が向かい合うように、すなわち両マグネット４及び６の磁界が互いに反発するように、それぞれ着磁されている。これにより、両マグネット４及び６は反発磁界を形成する。駆動電流が流れるコイル１２は、振動板９のほぼ中央に設けられた穴９ａに嵌め込まれるように装着されている。図４は、このように配置されたマグネット４及び６が発生する磁界の様子を示す図である。コイル１２は、Ｚ方向にほぼ垂直な方向に流れる反発磁界を受ける位置に配置される。つまり、マグネット４及び６が配列されるＺ方向の中央位置ｄにコイル１２が配置され、振動板９もその中央位置ｄに配置される。この場合、マグネット４及び６が同じ磁束を発生するマグネットであることが望ましい。このような構成によれば、振動板９のＺ方向（振動方向）でほぼ完全な対称構造を実現することができる。

弾性支持部材１１は、開口されたフレーム８の当該開口に装着され、フレーム８は、上カバー１及び下カバー３に挟まれるように装着される。例えば、フレーム８の角にそれぞれ設けられたネジ穴８ａと、上カバーに設けられたネジ穴１ａ（または、下カバー３に設けられたネジ穴３ａ）とが対応し、図示しないネジ等により固定される。これにより、振動アクチュエータ１５と上カバー１（または下カバー３）とが固定される。

なお、そのような形態に限らず、上カバー１の上面１ｄ（または下カバーの下面３ｄ）からネジ穴が貫通し、その上面１ｄ（または下カバーの下面３ｄ）からネジ穴１ａ、８ａ３ａを介してネジ止めされるような形態であってもよい。この場合、振動アクチュエータ１５、上カバー１及び下カバー３が一度に固定される。また、この場合は連結部材１８は必要ない。

磁性材料でなるヨーク１４及び１６は、例えば円板状をなし、マグネット４及び６のＸ−Ｙ平面内での幅より大きい幅を有する。円板状に限られず、平板状であればどのような形であってもよい。ヨーク１４は、上カバー１の一部を構成している。具体的には、上カバー１が開口され、その開口部にヨーク１４が装着されている。ヨーク１６についても同様に、下カバー３の一部を構成している。ヨーク１４及び１６が設けられることにより、筐体５の外側への漏れ磁束を効果的に抑制することができる。図５は、ヨーク１４及び１６が設けられる場合の磁界の様子を示す図である。この図から、漏れ磁界がほとんどないことが分かる。また、ヨーク１４及び１６が、平板状でなるため振動アクチュエータ１５の厚さが薄くなり、さらにヨーク１４及び１６が筐体５の一部を構成するので、噴流発生装置１０の薄型化を実現することができる。

なお、ヨーク１４及び１６は必ずしも必要ない。あるいは、ヨーク１４及び１６がない場合に、上カバー１及び下カバー３のうち少なくとも一方が磁性材料で、磁気遮蔽の機能を有していてもよい。

筐体５の内部は、振動板９、弾性支持部材１１及びフレーム８によって二分され、チャンバ５ａ及び５ｂが形成される。上部に形成されたチャンバ５ａは、上記流路２ａを介して筐体５の外部と連通し、下部に形成されたチャンバ５ｂは、上記流路２ｂを介して筐体５の外部と連通している。

なお、本実施の形態では、筐体５とノズル体２とが別体であるが、一体であってもよい。あるいは、ノズル体２がなく、ノズル体２の流路２ａ及び２ｂの代わりとして、筐体５に複数の開口が形成されていてもよい。言い換えると、「流路２ａ」及び「流路２ｂ」は、「開口」の概念に含まれる。

図３に示すように、筐体５の後方の側面には、振動アクチュエータ１５を駆動するための駆動回路基板１７が配置されている。駆動回路基板１７には、例えば駆動用のＩＣ等が搭載され、駆動回路基板１７から図示しない導線が引き出され、コイル１２に接続されている。しかし、このように駆動回路基板１７の代わりに、上記導線（コイル１２から延びる導線）に電気的に接続された端子が単に設けられる構成であってもよい。

振動板９は、例えば樹脂、紙、または金属でなる。特に、振動板９が紙でなることにより、非常に軽量化される。紙は、樹脂ほど任意な形状に作製しにくいが、軽量化では有利である。振動板９が樹脂の場合、成形により任意の形状に作製しやすい。一方、振動板９が金属の場合、例えば銅、アルミニウム、あるいはステンレス等でなる。あるいはマグネシウムでもよい。マグネシウムは軽量で射出成形が可能であるので有利となる。振動板９は平板状でなくてもよく、例えば立体的な振動体であってもよい。振動板９の平面形状（Ｘ−Ｙ平面内での形状）は、円、楕円、矩形、あるいはこれらの組み合わせ等の形状が考えられる。

筐体５は、例えば、樹脂、ゴム、または金属でなる。樹脂やゴムは成形で作製しやすく量産向きである。また、筐体５が樹脂やゴムの場合、振動アクチュエータ１５の駆動により発生する音、あるいは振動板９が振動することにより発生する空気の気流音等を抑制することができる。つまり、筐体５が樹脂やゴムの場合、それらの音の減衰率も高くなり、騒音を抑制することができ、さらに、軽量化に対応でき、低コストとなる。樹脂等の射出成形で筐体５が作製される場合は、上述したようにノズル体２と一体で成形することが可能である。しかし、図２に示すように、筐体５とノズル体２とは別体の方が、噴流発生装置１０の作製が容易になる。筐体５が熱伝導性の高い材料、例えば金属でなる場合、振動アクチュエータ１５から発せられる熱を筐体５に逃がして筐体５の外部に放熱することができる。金属としては、アルミニウムや銅が挙げられる。熱伝導性を考慮する場合、金属に限らず、カーボンであってもよい。金属としては、射出成形が可能なマグネシウム等も用いることができる。さらに、高温での使用や、特殊用途ではセラミックスの筐体であってもよい。ヨーク１４及び１６がない場合、筐体５は、上述したように、磁性材料とすることも可能である。

弾性支持部材１１は、ゴム等でなるが、伸縮性のある材料であれば何でもよく樹脂でもよい。弾性支持部材１１の形状は、振動板９の形状（外形）による。図３のように弾性支持部材１１の断面形状は、１つの山部及び１つの谷部を有するものが用いられる。以下、これを２ロールタイプの弾性支持部材という。１つの谷部のみ、または１つの山部のみからなる弾性支持部材の場合、図３中の上下方向の高さが高くなり、厚さが増えてしまう。山部及び谷部がそれぞれ複数ある場合、振動板９が振動するときに振動方向（Ｚ方向）以外の複雑な動きが発生するおそれがあり、効率が落ちる可能性がある。また、それによって騒音が大きくなるおそれもある。したがって、２ロールタイプの弾性支持部材が用いられることが望ましい。しかしながら、必ずしも２ロールタイプが用いられなければならないわけではない。

スペーサ７が、例えば磁性材料でなる場合、コイル１２が配置される領域の磁束密度を増やすことができ、振動板９を効率良く振動させることができるので、消費電力を抑えることができる。しかし、スペーサ７は非磁性材料でもよい。非磁性材料として、例えば、樹脂、アルミニウム、銅、ゴム等が挙げられるが、これら以外の非磁性材料であってもよい。極論にはスペーサ７はなくてもよい。

スペーサ７、マグネット４及び６の形状は円筒形状としたが、これに限られず、例えば、角柱形状としてもよい。あるいは、スペーサ７、マグネット４及び６の平面形状（Ｘ−Ｙ平面内での形状）は、すべて同じ形状であることが望ましいが、必ずしもそうでなくてもよく、ばらばらでもよい。

以上のように構成された噴流発生装置１０の動作について説明する。

コイル１２に例えばサイン波の交流電圧が印加されると、振動板９は正弦波振動を行う。これにより、チャンバ５ａ及び５ｂ内の容積が増減する。チャンバ５ａ及び５ｂの容積変化に伴い、それらチャンバ５ａ及び５ｂの圧力が交互に増減し、これに伴い、空気がそれぞれ流路２ａ及び２ｂを介して交互に脈流として吐出される。流路２ａ及び２ｂから空気が吐出されるときに筐体５やノズル体２の周囲の気圧が低下することにより、当該周囲の空気が流路２ａ及び２ｂから吐出される空気に巻き込まれ、合成噴流が発生する。この合成噴流が、図示しない発熱体や高熱部に吹き付けられることにより、当該発熱体を冷却することができる。なお、発熱体としては、例えばＩＣ、コイル、抵抗等の電子部品、あるいは放熱フィン（ヒートシンク）等が挙げられるが、これらに限られず発熱するものなら何でもよい。

一方、流路２ａ及び２ｂから空気が吐出されるときに、各流路２ａ及び２ｂから独立して、特に気流音による騒音が発生する。しかしながら、各流路２ａ及び２ｂで発生する各音波は逆位相の音波であるため互いに弱められる。これにより、ある程度騒音が抑制され、静音化を図ることができる。特に、流路２ａ及び２ｂの開口面積（気流の方向にほぼ垂直な面、つまり流路断面積）やそれらの数を同じにすることで、Ｚ方向での対称性が向上し、より騒音が低減する。

本実施の形態では、マグネット４及び６による反発磁界が形成されて、Ｚ方向に十分な幅のある磁束が形成されるので、コイルのＺ方向の長さが短くてもコイル１２は十分な反発磁界による磁束を受ける。すなわち、振動アクチュエータ１５のＺ方向での厚さ、あるいは噴流発生装置１０の厚さを薄くすることができる。

さらに、本実施の形態に係る振動アクチュエータ１５は、スペーサ７を挟んでマグネット４及び６が対向して配置された構造を有するので、図４または図５で示したような対称的な磁界が形成される。したがって、コイル１２に発生する力は振幅中心から両死点でほぼ同じになり、振幅中心からの振動の対称性が高くなる。振動の対称性とは、例えば振幅（変位）の対称性、あるいはコイル１２に発生する力等の対称性である。

また、本実施の形態では、対称性が向上することにより振動の線形性が高くなるので、例えばコイル１２を駆動する駆動電流（入力電流）に対する変位応答に高調波成分が重畳しにくく、きれいに振動板９を振動させることができる。その結果、例えば、チャンバ５ａ及び５ｂの形状や容積、それらチャンバ５ａ及び５ｂ内の気流の対称性が向上し、騒音が抑制される。

本実施の形態では、従来のように磁気ギャップの中をコイルが動くような構成ではないので、コイル１２を横方向（Ｘ−Ｙ平面内）で厚く巻くことが可能である。すなわち、コイル１２の層が厚くなり、力Ｆ＝iBLにおける長さＬを稼ぐことが可能となるため、同じ電流でもより強い力を発生することが可能となる。ただし、あまりコイル１２の層が厚い場合、コイル１２の重量が増えるので、振動板９が振動するときのエネルギーロスとなる。また、同時にインピーダンスの増加を招きエネルギーロスとなる。したがって、コイル１２の厚さは最適値を見つけることができれば、振動板９が効率良く駆動され、低い消費電力で高い冷却性能を得ることができる。

図６は、コイル１２の上下変位を横軸とし、コイル１２に一定の電流を流したときに発生するローレンツ力を縦軸としたグラフを示す。また、参考のため従来構造（例えば、特許文献１の図４９等のボイスコイルモータ）の変位と力のグラフを図７に示す。なお、力の単位は、図６に示す例では、４０ＡＴ（アンペアターン）での力を示し、図７に示す例では、１０ＡＴ（アンペアターン）での力を示している。

図６に示す例では、±１．５ｍｍの振幅を目標に設計されている。このストローク内での力の変化量は、（０．３８−０．２８）／０．３８＝２６％程度に収まっている。一方、図７に示す従来構造の例では、±２ｍｍの振幅を目標に設計されている。このストローク内での力の変化量は、（０．２８−０．０６）／０．２８＝７８％程度もの力の変化を発生している。すなわち、これらのグラフから、本実施の形態に係る振動アクチュエータ１５は、薄い構造であるにもかかわらず、またコイル１２の上下変位にかかわらず、コイル１２に発生する力の変化量が、従来に比べ十分に少ないことが分かる。このことにより、上述したように、本実施の形態では、振動の線形性が高く、入力する電流波形に対する変位応答に高調波成分が重畳しにくく、きれいな応答になる。

図８は、図６及び図７と同様に、コイルの変位とローレンツ力との関係を示すグラフであり、スペーサ７の材質が磁性体と非磁性体の場合を比較した例を示す。この２種類の材質でなるスペーサが設けられる振動アクチュエータにおいて、コイルに同一電流を流している。このグラフから分かるように、同一電流でも３０％程度、発生する力を増加させることが可能となり、同じ力を発生するのに小さな電流でよい。すなわち、消費電力を抑えることが可能となる。

図９は、図３に示すヨーク１４及び１６が設けられた振動アクチュエータ１５のコイルの変位と力のグラフである。このグラフから分かるように、ヨーク１４及び１６が設けられる例では、非磁性体のスペーサが設けられる例に比べて、約５０％以上のローレンツ力の増加が得られた。また、磁性体のスペーサ７が設けられる例に比べて、約２倍以上のローレンツ力の増加が得られた。この場合、消費電力として約半分にすることが可能となる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。図１０は、本実施の形態に係る噴流発生装置を示す分解斜視図である。図１１は、図１０に示す噴流発生装置の断面図である。これ以降の説明では、図１等に示した実施の形態に係る噴流発生装置１０の部材や機能等について同様のものは説明を簡略または省略し、異なる点を中心に説明する。

噴流発生装置２０が備える振動アクチュエータ３５は、中央のマグネット２４、マグネット２４に対向してそれぞれＺ方向の両側に配置されたマグネット４及び６、マグネット２４とマグネット４との間に配置されたスペーサ７ａ、マグネット２４とマグネット６との間に配置されたスペーサ７ｂを有している。また、振動アクチュエータ３５は、各スペーサ７ａ及び７ｂの周囲に配置された２つの振動板９を有している。振動板９、コイル１２、弾性支持部材１１及びフレーム８は、図１〜図３に示した振動アクチュエータ１５が有する振動板９、コイル１２、弾性支持部材１１及びフレーム８と同様の構成でなる。

図１０に示すように、筐体フレーム１３は床板または天井板等を有していない。上側の振動板９等は、上カバー１と筐体フレーム１３との間に配置されている。下側の振動板９等は、下カバー３と筐体フレーム１３との間に配置されている。各振動板９、９等によって、筐体２５（図１１参照）内が仕切られ、これにより中央チャンバ２５ａ、上部チャンバ２５ｂ、下部チャンバ２５ｃの３つのチャンバが形成される。

図１２に示すように、上部のマグネット４の厚さｆは、下部のマグネット６の厚さｈとほぼ同じである。中央のマグネット２４の厚さｇは、ｆやｈのほぼ２倍となっている。あるいは、中央のマグネット２４は、マグネット４または６と同じマグネットが２つ重ねられて構成されている。つまり、中央のマグネット２４は、マグネット４または６とほぼ同じ磁束密度のマグネットが２つ設けられて構成されてもよい。これにより、マグネット２４を中心として、Ｚ方向に磁界が対称的に形成されるので、各振動板９の振幅中心からの振動の対称性が高くなる。

ノズル体２２は、チャンバ２５ａと筐体２５の外部とを連通する流路２２ａ、チャンバ２５ｂと筐体２５の外部とを連通する流路２２ｂ、チャンバ２５ｃと筐体２５の外部とを連通する流路２２ｃを有する。仕切り板２２ｄは、流路２２ａと流路２２ｂを仕切り、し基板２２ｅは、流路２２ａと流路２２ｃを仕切る。各流路２２ａ、２２ｂ及び２２ｃの開口面積、すなわち、Ｚ−Ｙ平面内での各流路の断面積は、すべてほぼ同じに設計されている。各流路の開口面積がすべて同じになることで、すべての流路でほぼ同じ周波数で音波が発生する。

また、中央のチャンバ２５ａの容積は、上部のチャンバ２５ｂの容積のほぼ２倍になっている。これは、筐体フレーム１３のＺ方向の厚さが、上カバー１のＺ方向の厚さのほぼ２倍に設計されればよい。また、上部のチャンバ２５ｂと下部のチャンバ２５ｃとはほぼ同じ容積になっている。中央のチャンバ２５ａの容積が、チャンバ２５ｂの容積またはチャンバ２５ｃの容積の２倍になっている分、流路２２ａの数も、流路２２ｂの数または流路２２ｃの数の２倍にされている。つまり、流路２２ａは、流路２２ｂの数と流路２２ｃの数とを足した数だけ設けられている。

次に、以上のように構成された噴流発生装置２０の動作について説明する。例えば振動板９同士が互いに近づくように、かつ、互いに遠ざかるように同期して振動するように、各コイル１２に電圧が印加される。各振動板９が互いに近づくと、中央のチャンバ２５ａの容積が小さくなり、流路２２ａを介して空気が吐出される。各振動板９が互いに遠ざかると、上部のチャンバ２５ｂ及び下部のチャンバ２５ｃのそれぞれの容積が同じタイミングで小さくなり、流路２２ｂ及び２２ｃを介して空気が吐出される。

本実施の形態によれば、振動板９が２つ設けられているので、振動アクチュエータ３５の厚さは増えるが、空気の吐出量を増やすことができる。また、振動板９同士が互いに近づくように、かつ、互いに遠ざかるように同期して振動するので、全体の振動がキャンセルされ、噴流発生装置２０の全体の振動がなくなる。

また、本実施の形態では、中央のマグネット２４が、マグネット４（または６）が２つ分で構成されるので、上記したように、磁束密度がマグネット２４を中心として対称的になり、振動の対称性が向上する。このような対称構造に加えてヨーク１４及び１６が設けられることにより、外部への漏れ磁束を最小に抑えることができる。

本実施の形態では、中央のチャンバ２５ａから吐出される空気の量と、各チャンバ２５ｂ及び２５ｃから吐出される空気量の合計とがほぼ同じになる。すなわち、上述したようにすべての流路２５ａ、２５ｂ及び２５ｃから発生する音波の周波数がほぼ同じで、中央のチャンバ２５ａから吐出される空気量と、チャンバ２５ｂ及び２５ｃから吐出される空気量の合計とがほぼ同じであれば、きれいに音波が相殺され騒音が低減される。

図１３は、上記各図に示した噴流発生装置１０（または２０等）が電子機器としてＰＣ５０に搭載された状態を示す斜視図である。噴流発生装置１０から供給される合成噴流が発熱体としてのヒートシンク４６に吹き付けられ、ヒートシンク４６の背後に設けられたＰＣ筐体の排気口５１から、熱を持つ空気が排出される。

本発明は以上説明した実施の形態には限定されるものではなく、種々の変形が可能である。

上記第１の実施の形態において、マグネット４及び６の幅（外径）を、コイル１２のＸ−Ｙ平面における幅よりも大きく形成して、かつ、リング状に形成してもよい。また、上記第２の実施の形態において、マグネット４、６及び２４の幅（外径）を、両コイルのＸ−Ｙ平面における幅よりも大きく形成して、かつ、リング状に形成してもよい。これにより、両コイル１２周辺の磁場を強くすることで、消費電力を抑えることができる。

上記各実施の形態に係る噴流発生装置１０、２０は、空気を吐出する形態を例に挙げた。しかし、空気に限らず、窒素、ヘリウムガス、あるいはアルゴンガス、その他の気体であってもよい。

図１３において、電子機器としてラップトップ型のＰＣを例に挙げたが、デスクトップ型のＰＣでもよい。ＰＣに限らず、ＰＤＡ（Personal Digital Assistance）、電子辞書、カメラ、ディスプレイ装置、オーディオ／ビジュアル機器、プロジェクタ、携帯電話、ゲーム機器、カーナビゲーション機器、ロボット機器、その他の電化製品等が挙げられる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。なお、本実施形態以降の実施形態において、上記図３等で示した噴流発生装置１０と同様の構成または機能となる部分については同一の符号を付し、説明を省略または簡略化し、異なる点を中心に説明する。

図１４は、本実施の形態における噴流発生装置を示す断面図である。上述したように、上記第１の実施形態における噴流発生装置１０においては、スペーサ７はなくても構わない。同図に示すように、本実施形態の噴流発生装置３０においては、スペーサ７をなくし、また振動板９は、上記穴９ａの無い完全な平面状としている。この場合コイル１２は、当該振動板９に例えば埋め込まれるように装着されているが、振動板９の表面または裏面に貼付されるように装着されていてもよい。

この構成により、チャンバ５ａとチャンバ５ｂとの間は完全に密閉されることとなるため、各チャンバ間における気体漏れを防いで、ノズル体２を介して効率よく気体を吐出することができる。これにより消費電力も抑えることが可能となる。また、この噴流発生装置３０は、密閉性を向上させたことで、気体のみならず液体を吐出するためにも用いることができる。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。上述したように、上記第３の実施形態の噴流発生装置３０によれば、密閉性を高めることで、気体のみならず液体を効率よく吐出することも可能である。本実施形態においては、上記噴流発生装置を、流体として気体及び液体を輸送可能なポンプ装置として用いることとしている。

図１５は、本実施形態における噴流発生装置４０を示す断面図である。なお、本実施形態以降の実施形態において上記第３実施形態における噴流発生装置３０と同様の構成及び機能となる部分については同一の符号を付し、説明を省略または簡略化し、異なる点を中心に説明する。

同図に示すように、噴流発生装置４０においては、上記各実施形態におけるノズル体を廃し、また筐体５の前方の側面には、上記各実施形態において気体の吐出及び吸入を行っていた上下の流路２ａ及び２ｂの代わりに、もっぱら流体の吐出を行うための吐出口４１ａ及び４１ｂを設けている。また、筐体５の後方の側面には、各吐出口４１ａ及び４１ｂに対向するように、もっぱら流体の吸入を行うための吸入口４２ａ及び４２ｂを設けている。

また各吐出口４１ａ及び４１ｂと、各吸入口４２ａ及び４２ｂには、各吐出口及び各吸入口からの逆流を防ぐための逆止弁４３ａ及び４３ｂと、逆止弁４４ａ及び４４ｂとが設けられている。

すなわち、本実施形態においては、流体の吸入と吐出とを各吸入口と各吐出口とで別個に行い、噴流発生装置４０の背面方向から吸入した流体を前面方向から吐出することで流体の輸送を行うことが可能となっている。

具体的には、振動板９が同図Ｚ方向の下方向へ駆動した場合には、チャンバ５ａ内の気圧が下がり、チャンバ５ｂ内の気圧が上がることで、吸入口４２ａを介してチャンバ５ａ内に流体が吸入される。またこのとき、チャンバ５ｂ内の流体は吐出口４１ｂを介して筐体外へ吐出される。

逆に、振動板９が同図Ｚ方向の上方向へ駆動した場合には、チャンバ５ａ内の気圧が上がり、チャンバ５ｂ内の気圧が下がることで、吸入口４２ｂを介してチャンバ５ｂ内に流体が吸入され、また上述のようにしてチャンバ５ａ内に吸入された流体が吐出口４１ａを介して筐体外へ吐出される。

なお、同図においては、上記駆動回路基板１７は図示されていないが、本実施形態において駆動回路基板１７は例えば噴流発生装置４０の、図１５において表れない側面に設けられる。

以上のように、本実施形態によれば、振動板９によりチャンバ５ａとチャンバ５ｂとの間を密閉して各チャンバ間の流体漏れを防ぎ、また吐出口と吸入口とを別個に設けることで、気体のみならず液体も効率よく圧送することが可能となり、例えば人工心臓のように細やかで複雑な拍動も可能となる。

（第５実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。図１６は、本実施形態における噴流発生装置６０を示す断面図である。

上記第３及び第４の実施形態においては、各マグネット４及び６を円板状に構成していたが、同図に示すように、本実施形態においては、各マグネット４及び６をリング状に形成している。これにより、同図Ｘ−Ｙ平面においてコイル１２の外側にマグネット４及び６が配置されることとなるため、コイル１２周辺の磁場を強くすることができ、振動板９をより効率良く振動させることができる。したがって、噴流発生装置６０の消費電力を抑えることができる。

（第６実施形態）
次に、本発明の第６の実施形態について説明する。図１７は、本実施形態における噴流発生装置７０を示す断面図である。

同図に示すように、本実施形態の噴流発生装置７０においては、上記第３〜５の実施形態に比べて、コイル１２の同図Ｘ−Ｙ平面における幅を厚くして平面状に形成している。なお、本実施形態においては、コイル１２は中空に形成しているが、中空でない完全な平板状に形成しても構わない。

図１８は、コイルの変位とローレンツ力との関係を示すグラフであり、コイル１２を平面状に形成した場合と非平面状に形成した場合とを比較シミュレーションした例を示している。なお、この比較において、コイル１２には同一電流を流している。同図に示すように、コイル１２を平面状に形成することで、平面状に形成しない場合に比べて、発生する力が約７％〜８％増加することが分かる。

上記第３〜５の実施形態においては、マグネット４とマグネット６との間にヨーク（磁性体のスペーサ）を設けていないため、コイル１２近傍の磁場が小さくなり、消費電力が増加してしまう可能性がある。しかし、本実施形態のように、コイル１２の同図Ｘ−Ｙ方向への巻き数を多くして平面状に形成することで、力Ｆ＝iBLにおける長さＬを稼ぐことができるため、ヨークを設けなくともコイル１２を効率よく駆動させ、消費電力を低減することが可能となる。また、Ｚ方向におけるコイル１２の幅を薄くすることで、コイル１２が重くなり、振動板９の駆動に影響をきたすことも防ぐことができる。

（第７実施形態）
次に、本発明の第７の実施形態について説明する。図１９は、本実施形態における噴流発生装置８０を示す断面図である。

上記第３〜第６の実施形態においては、マグネット４とマグネット６との間にヨークを設けていなかったが、本実施形態においては、同図に示すように、マグネット４とマグネット６との間に挟まれるように、振動板９に平板状（例えば円板状の）ヨーク１９を設けている。当該ヨークは高透磁率の材料からなり、振動板９の駆動とともに同図Ｚ方向へ移動可能となっている。当該ヨーク１９は、コイル１２と同様、例えば振動板９に埋め込まれるように装着されるが、振動板９の表面または裏面、または両面に貼付されるように装着されてもよい。

図２０は、本実施形態におけるマグネット４及び６が発生する磁界の様子を示す図であり、コイル１２が両マグネットのほぼ中間に位置している場合（同図（ａ）及び（ｂ））と、マグネット４側へ移動した場合（同図（ｃ）及び（ｄ））とで、それぞれ上記第３実施形態にようにヨーク１９を設けない場合（同図（ａ）及び（ｃ））と本実施形態のようにヨーク１９を設けた場合（同図（ｂ）及び（ｄ））の磁界の様子を比較シミュレーションした例を示している。

また、図２１は、コイルの変位とローレンツ力との関係を示すグラフであり、振動板９にヨーク１９を設けた場合と設けない場合とを比較シミュレーションした例を示している。

図２０に示すように、振動板９にヨーク１９を設けることで、マグネット４及び６が形成する反発磁界における漏れ磁界がほぼなくなり、コイル１２に鎖交する磁束を増やすことが可能となる。これにより、図２１に示すように、発生する力も最大約３０％程度増加させることができることが分かる。

すなわち、本実施形態によれば、チャンバ５ａとチャンバ５ｂとの間の密閉性を保ったまま、コイル１２へ鎖交する磁束を増やすことができ、消費電力を抑えることができる。

なお、上記第３、第５〜第７の実施形態において示したリング状のマグネット４及び６、平面状のコイル１２、ヨーク１９を任意に組み合わせて噴流発生装置を構成してもよい。またそれらを用いて第４の実施形態において示したポンプ装置を構成しても構わない。

（第８実施形態）
次に、本発明の第８の実施形態について説明する。図２２は、本実施形態における噴流発生装置９０を示す断面図である。なお、本実施形態以降の実施形態において、上記第２の実施形態の噴流発生装置２０と同様の構成及び機能となる部分については同一の符号を付し、説明を省略または簡略化する。

同図に示すように、本実施形態の噴流発生装置９０においては、上記第２の実施形態の噴流発生装置２０のように振動板９を２つ（チャンバを３つ）設けた構成において、中央のマグネット２４を廃し、また各マグネット４、２４及び６に挟まれた２つのスペーサ７ａ及び７ｂも廃している。また２つの振動板９の各穴９ａを廃して、各振動板９が中央のチャンバ２５ａと上部のチャンバ２５ｂとの間、及びチャンバ２５ａと下部のチャンバ２５ｃとの間を完全に密閉するようにしている。また各コイル１２は、各振動板９に例えば埋め込まれるように装着されているが、各振動板９の表面または裏面に貼付されるように装着されていてもよい。

すなわち、本実施形態の噴流発生装置９０においては、２つの振動板（３つのチャンバ）を設けた構成において、上記図１４で示した第３の実施形態の噴流発生装置３０と同様の効果を得られるように構成している。したがって、本実施の形態によれば、上記第３の実施形態の噴流発生装置３０に比べて、空気の吐出量を増やし、噴流発生装置９０の全体の振動をキャンセルすることができるとともに、各チャンバ間の密閉性を保つことで、液体及び気体を含む流体を効率よく吐出することが可能となる。

（第９実施形態）
次に、本発明の第９の実施形態について説明する。図２３は、本実施形態における噴流発生装置１００を示す断面図である。なお、本実施形態以降の実施形態において上記第８実施形態の噴流発生装置９０と同様の構成及び機能となる部分については同一の符号を付し、説明を省略または簡略化し、異なる点を中心に説明する。

同図に示すように、本実施形態の噴流発生装置１００においては、上記図１５で示したポンプ装置としての噴流発生装置４０を、２つの振動板（３つのチャンバ）を設けた構成において実現している。すなわち、筐体２５に各３つの吸入口１０２ａ〜１０２ｃ及び吐出口１０１ａ〜１０１ｃを設けて、各吸入口１０２ａ〜１０２ｃには逆止弁１０４ａ〜１０４ｃを、各吐出口１０１ａ〜１０１ｃには逆止弁１０３ａ〜１０３ｃを設けている。また、各チャンバ２５ａ〜２５ｃは、各振動板９により密閉されている。

各振動板９は、上記第２実施形態と同様に、互いに近づくように、また互いに遠ざかるように同期して駆動する。したがって、各振動板９が互いに近づくように駆動した場合には、チャンバ２５ａの気圧が上がり、チャンバ２５ｂ及び２５ｃの気圧が下がることで、チャンバ２５ｂ及び２５ｃから吸入口１０２ｂ及び１０２ｃを介して流体が吸入され、またチャンバ２５ａ内の流体が吐出口１０１ａを介して筐体外へ吐出される。

また逆に、各振動板９が互いに遠ざかるように駆動した場合には、チャンバ２５ａ内の気圧が下がり、チャンバ２５ｂ及び２５ｃ内の気圧が上がることで、吸入口１０２ａからチャンバ２５ａ内に流体が吸入され、また上述のようにしてチャンバ２５ｂ及び２５ｃ内に吸入された流体が吐出口１０１ｂ及び１０１ｃを介して筐体外へ吐出される。

以上により、本実施形態によれば、上記第４実施形態の噴流発生装置４０に比べて吐出量を増加させ、また振動を低減することができるとともに、上記第８の実施形態の噴流発生装置９０に比べて、気体のみならず液体も効率よく圧送することが可能となる。

（第１０実施形態）
次に、本発明の第１０の実施形態について説明する。図２４は、本実施形態における噴流発生装置１１０を示す断面図である。

同図に示すように、本実施形態の噴流発生装置１１０においては、上記第５の実施形態において図１６で示したリング状のマグネット４及び６を、２つの振動板（３つのチャンバ）を設けた構成において実現している。

したがって、この構成によれば、上記第５の実施形態の噴流発生装置６０に比べて吐出量を増加させ、また振動を低減することができるとともに、上記第８の実施形態の噴流発生装置９０に比べて、コイル１２周辺の磁場を強くして振動板９をより効率良く振動させ、噴流発生装置１１０の消費電力を抑えることができる。

（第１１実施形態）
次に、本発明の第１１の実施形態について説明する。図２５は、本実施形態における噴流発生装置１２０を示す断面図である。

同図に示すように、本実施形態の噴流発生装置１２０においては、上記第６の実施形態において図１７で示した平面状のコイル１２を、２つの振動板（３つのチャンバ）を設けた構成において実現している。

したがって、この構成によれば、上記第６の実施形態の噴流発生装置７０に比べて吐出量を増加させ、また振動を低減することができるとともに、上記第８の実施形態の噴流発生装置９０に比べて、力Ｆ＝iBLにおける長さＬを稼ぐことができるため、ヨークを設けなくともコイル１２を効率よく駆動させ、消費電力を低減することが可能となる。

（第１２実施形態）
次に、本発明の第１２の実施形態について説明する。図２６は、本実施形態における噴流発生装置１３０を示す断面図である。

同図に示すように、本実施形態の噴流発生装置１３０においては、上記第７の実施形態において図１９に示したヨーク１９を、２つの振動板（３つのチャンバ）を設けた構成において実現している。

したがって、この構成によれば、上記第７の実施形態の噴流発生装置８０に比べて吐出量を増加させ、また振動を低減することができるとともに、上記第８の実施形態の噴流発生装置９０に比べてコイル１２へ鎖交する磁束を増やすことができ、消費電力を抑えることができる。

なお、上記第８、第１０〜第１２の実施形態において示したリング状のマグネット４及び６、平面状のコイル１２、ヨーク１９を任意に組み合わせて噴流発生装置を構成してもよい。またそれらを用いて第９の実施形態において示したポンプ装置を構成しても構わない。

また、上記第３〜第１２の実施形態で示した各噴流発生装置を、上記図１３に示したようなＰＣ等の電子機器へ搭載することももちろん可能である。

本発明の第１の実施の形態に係る噴流発生装置を示す斜視図である。 図１に示す噴流発生装置の分解斜視図である。 図１に示す噴流発生装置の断面図である。 ２つのマグネットが発生する磁界の様子を示す図である。 ヨークが設けられる場合の磁界の様子を示す図である。 コイルの上下変位を横軸とし、コイルに一定の電流を流したときに発生するローレンツ力を縦軸としたグラフである。 従来構造におけるコイルの変位と力のグラフである。 コイルの変位とローレンツ力との関係を示すグラフであり、スペーサの材質が磁性体と非磁性体の場合を比較した例を示す。 図８に示すグラフに、ヨークがさらに設けられた、図３に示す振動アクチュエータ１５の例を加えたグラフである。 本発明の第２の実施の形態に係る噴流発生装置を示す分解斜視図である。 図１０に示す噴流発生装置の断面図である。 マグネットの厚さを説明するための図である。 上記各図に示した噴流発生装置が電子機器としてＰＣに搭載された状態を示す斜視図である。 本発明の第３の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 本発明の第４の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 本発明の第５の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 本発明の第６の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 コイルの変位とローレンツ力との関係を示すグラフであり、コイル１２を平面状に形成した場合と非平面状に形成した場合とを比較した例を示す。 本発明の第７の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 本発明の第７の実施形態において、２つのマグネットが発生する磁界の様子を示す図である。振動板９にヨークを設けた場合と設けない場合とを比較した例を示す。 コイルの変位とローレンツ力との関係を示すグラフであり、振動板９にヨークを設けた場合と設けない場合とを比較した例を示す。 本発明の第８の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 本発明の第９の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 本発明の第１０の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 本発明の第１１の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 本発明の第１２の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

符号の説明

２、２２…ノズル体
２ａ、２ｂ、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ…流路（開口）
４、６、２４…マグネット
５、２５…筐体
５ａ、５ｂ、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ…チャンバ
７、７ａ、７ｂ…スペーサ
９…振動体（振動板）
１０、２０、３０、４０、６０、７０、８０、９０、１００、１１０、１２０、１３０…噴流発生装置
１４、１６…ヨーク
１５、３５…振動アクチュエータ
１９…ヨーク
４６…ヒートシンク
４１ａ、４１ｂ、１０１ａ〜１０１ｃ…吐出口
４２ａ、４２ｂ、１０２ａ〜１０２ｃ…吸入口
４３ａ、４４ａ、１０３ａ〜１０３ｃ、１０４ａ〜１０４ｃ…逆止弁
５０…ＰＣ

Claims (36)

1. 合成噴流を発生する噴流発生装置に用いられ、気体の脈流を生成するための振動アクチュエータであって、
   第１のマグネットと、
   第１の反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して配置された第２のマグネットと、
   振動することで前記気体の脈流を生成する第１の振動体と、
   前記第１の振動体に装着され、前記第１の反発磁界を受けるように配置された第１のコイルと
   を具備することを特徴とする振動アクチュエータ。
2. 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１及び第２のマグネットの間に配置され、磁性材料でなるスペーサをさらに具備することを特徴とする振動アクチュエータ。
3. 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
   振動することで前記気体の脈流を生成する第２の振動体と、
   第２の反発磁界を形成するように、前記第２のマグネットとの間に前記第１のマグネットを挟んで前記第２のマグネットと対向して配置された第３のマグネットと、
   前記第２の振動体に装着され、前記第２の反発磁界を受けるように配置された第２のコイルと
   をさらに具備することを特徴とする振動アクチュエータ。
4. 請求項３に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１及び第３のマグネットの間に配置され、磁性材料でなるスペーサをさらに具備することを特徴とする振動アクチュエータ。
5. 請求項３に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第３のマグネットは、前記第１または第２のマグネットとほぼ同じ磁束密度で磁界を発生する２つのマグネットでなることを特徴とする振動アクチュエータ。
6. 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１及び第２のマグネットが対向する方向にほぼ垂直な面内における前記第１のマグネットの第１の幅より大きい第２の幅でなるとともに、平板状でなり、前記第１のマグネットの、前記第２のマグネットが配置される側とは反対側に接続された第１のヨークをさらに具備することを特徴とする振動アクチュエータ。
7. 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１及び第２のマグネットが対向する方向にほぼ垂直な面内における前記第１のマグネットの第１の幅より大きい第２の幅でなるとともに、平板状でなり、前記第１のマグネットの、前記第２のマグネットが配置される側とは反対側に接続された第１のヨークと、
   前記面内で前記第１の幅より大きい第３の幅でなるとともに、平板状でなり、前記第２のマグネットの、前記第１のマグネットが配置される側とは反対側に接続された第２のヨークと
   をさらに具備することを特徴とする振動アクチュエータ。
8. 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１及び第２のマグネットは、当該第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内における前記第１のコイルの第１の幅よりも大きい第２の幅でなり、かつ、リング状でなることを特徴とする振動アクチュエータ。
9. 請求項３に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１、第２及び第３のマグネットは、当該第１、第２及び第３のマグネットがそれぞれ対向する方向にほぼ垂直な面内における前記第１のコイルの第１の幅及び前記第２のコイルの第２の幅のいずれの幅よりも大きい第３の幅でなり、かつ、リング状でなることを特徴とする振動アクチュエータ。
10. 気体が含まれた筐体と、
    合成噴流を発生するために、振動することで前記筐体から前記気体を脈流として吐出させる第１の振動体と、
    第１のマグネットと、第１の反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記第１の反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを有し、前記第１のコイルに通電することで前記第１の振動体を駆動する駆動機構と
    を具備することを特徴とする噴流発生装置。
11. 請求項１０に記載の噴流発生装置であって、
    前記駆動機構は、
    振動することで前記気体の脈流を生成する第２の振動体と、
    第２の反発磁界を形成するように、前記第２のマグネットとの間に前記第１のマグネットを挟んで前記第２のマグネットと対向して配置された第３のマグネットと、
    前記第２の振動体に装着され、前記第２の反発磁界を受けるように配置された第２のコイルと
    を有することを特徴とする噴流発生装置。
12. 請求項１０に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のマグネットが対向する方向にほぼ垂直な面内における前記第１のマグネットの第１の幅より大きい第２の幅でなるとともに、平板状でなり、前記第１のマグネットの、前記第２のマグネットが配置される側とは反対側に接続された第１のヨークをさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
13. 請求項１１に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のマグネットが対向する方向にほぼ垂直な面内における前記第１のマグネットの第１の幅より大きい第２の幅でなるとともに、平板状でなり、前記第１のマグネットの、前記第２のマグネットが配置される側とは反対側に接続された第１のヨークと、
    前記面内で前記第１の幅より大きい第３の幅でなるとともに、平板状でなり、前記第２のマグネットの、前記第１のマグネットが配置される側とは反対側に接続された第２のヨークと
    をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
14. 請求項１２に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１のヨークは、前記筐体の一部を構成することを特徴とする噴流発生装置。
15. 請求項１３に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のヨークは、前記筐体の一部を構成することを特徴とする噴流発生装置。
16. 請求項１０に記載の噴流発生装置であって、
    前記筐体は、
    第１のチャンバと、
    前記第１のチャンバとの間に前記第１の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置された第２のチャンバと、
    前記第１のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第１の開口と、
    前記第２のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第２の開口と
    を有することを特徴とする噴流発生装置。
17. 請求項１１に記載の噴流発生装置であって、
    前記筐体は、
    前記第１及び第２の振動体により挟まれて形成された第１のチャンバと、
    前記第１のチャンバとの間に前記第１の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置された第２のチャンバと、
    前記第１のチャンバとの間に前記第２の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置された第３のチャンバと、
    前記第１のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第１の開口と、
    前記第２のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第２の開口と
    前記第３のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第３の開口と
    を有することを特徴とする噴流発生装置。
18. 請求項１７に記載の噴流発生装置であって、
    前記第２及び第３のチャンバは、それぞれほぼ同じ第１の容積を有し、
    前記第１のチャンバは、前記第１の容積のほぼ２倍である第２の容積を有し、
    前記第２及び第３の開口は、第１の開口面積を有し、同じ数だけ設けられ、
    前記第１の開口は、前記第１の開口面積とほぼ同じ第２の開口面積を有し、前記第２の開口と前記第３の開口を足した数と同じ数だけ設けられていることを特徴とする噴流発生装置。
19. 請求項１１に記載の噴流発生装置であって、
    前記駆動機構は、
    前記第１及び第２の振動体を互いに近づけるように、かつ、互いに遠ざけるように同期して駆動することを特徴とする噴流発生装置。
20. 請求項１０に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のマグネットは、当該第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内における前記第１のコイルの第１の幅よりも大きい第２の幅でなり、かつ、リング状でなることを特徴とする噴流発生装置。
21. 請求項１１に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１、第２及び第３のマグネットは、当該第１、第２及び第３のマグネットの各対向方向にほぼ垂直な面内における前記第１のコイルの第１の幅及び前記第２のコイルの第２の幅のいずれの幅よりも大きい第３の幅でなり、かつ、リング状でなることを特徴とする噴流発生装置。
22. 請求項１６に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１の振動体は、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉するように前記筐体に設けられることを特徴とする噴流発生装置。
23. 請求項２２に記載の噴流発生装置において、
    前記第１のコイルは、前記第１及び第２のマグネットの前記対向方向にほぼ垂直な面内で巻回された平面コイルであることを特徴とする噴流発生装置。
24. 請求項２２に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第１のコイルの内側に配置され、前記第１の振動体に装着されたヨークをさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
25. 請求項１０に記載の噴流発生装置であって、
    前記駆動機構は、
    振動することで前記気体の脈流を生成する第２の振動体と、
    前記第２の振動体に装着され、前記第１の反発磁界を受けるように配置された第２のコイルとを有し、
    前記筐体は、
    前記第１及び第２の振動体により挟まれて形成された第１のチャンバと、
    前記第１のチャンバとの間に前記第１の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置され、前記第１の振動体により前記第１のチャンバとの間を密閉された第２のチャンバと、
    前記第１のチャンバとの間に前記第２の振動体を挟むように前記第１のチャンバに対向して配置され、前記第２の振動体により前記第１のチャンバとの間を密閉された第３のチャンバと、
    前記第１のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第１の開口と、
    前記第２のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第２の開口と
    前記第３のチャンバと前記筐体の外部とを連通し、前記気体を吐出させるための第３の開口と
    を有することを特徴とする噴流発生装置。
26. 請求項２５に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のコイルは、前記第１、第２及び第３の各対向方向にほぼ垂直な面内で巻回された平面コイルであることを特徴とする噴流発生装置。
27. 請求項２５に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第１のコイルの内側に配置され、前記第１の振動体に装着された第１のヨークと、
    前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第２のコイルの内側に配置され、前記第２の振動体に装着された第２のヨークと
    をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
28. 外部から流体を吸入するための第１の吸入口と、前記第１の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第１の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第２の吸入口と、前記第２の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第２の吐出口とを有する筐体と、
    前記筐体内を、前記第１の吸入口及び前記第１の吐出口を介して前記外部と連通可能な第１のチャンバと、前記第２の吸入口及び前記第２の吐出口を介して前記外部と連通可能な第２のチャンバとに仕切るとともに、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉し、振動することで前記第１及び第２の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第１の振動体と、
    前記筐体内に配置された第１のマグネットと、反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して前記筐体内に配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを有し、前記第１のコイルに通電することで前記第１の振動体を駆動する駆動機構と
    を具備することを特徴とする噴流発生装置。
29. 請求項２８に記載の噴流発生装置において、
    前記第１のコイルは、前記第１及び第２のマグネットの前記対向方向にほぼ垂直な面内で巻回された平面コイルであることを特徴とする噴流発生装置。
30. 請求項２８に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第１のコイルの内側に配置され、前記第１の振動体に装着されたヨークをさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
31. 外部から流体を吸入するための第１の吸入口と、前記第１の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第１の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第２の吸入口と、前記第２の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第２の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第３の吸入口と、前記第３の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第３の吐出口とを有する筐体と、
    前記筐体内を、前記第１の吸入口及び前記第１の吐出口を介して前記外部と連通可能な第１のチャンバと、前記第２の吸入口及び前記第２の吐出口を介して前記外部と連通可能な第２のチャンバとに仕切るとともに、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉し、振動することで前記第１及び第２の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第１の振動体と、
    前記筐体内を、前記第２のチャンバと、前記第３の吸入口及び前記第３の吐出口を介して前記外部と連通可能な第３のチャンバとに仕切るとともに、前記第２のチャンバと前記第３のチャンバとの間を密閉可能であり、振動することで前記第２及び第３の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第２の振動体と、
    前記筐体内に配置された第１のマグネットと、反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して前記筐体内に配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第１のコイルと、前記第２の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第２のコイルとを有し、前記第１及び第２のコイルに通電することで前記第１及び第２の振動体を駆動する駆動機構と
    を具備することを特徴とする噴流発生装置。
32. 請求項３１に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のコイルは、前記第１、第２及び第３の各対向方向にほぼ垂直な面内で巻回された平面コイルであることを特徴とする噴流発生装置。
33. 請求項３１に記載の噴流発生装置であって、
    前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第１のコイルの内側に配置され、前記第１の振動体に装着された第１のヨークと、
    前記第１及び第２のマグネットの対向方向にほぼ垂直な面内であって前記第２のコイルの内側に配置され、前記第２の振動体に装着された第２のヨークと
    をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
34. 発熱体と、
    気体が含まれた筐体と、
    前記発熱体に合成噴流を供給するために、振動することで前記筐体から気体を脈流として吐出させる第１の振動体と、
    第１のマグネットと、第１の反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記第１の反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを有し、前記第１のコイルに通電することで前記第１の振動体を駆動する駆動機構と
    を具備することを特徴とする電子機器。
35. 発熱体と、
    外部から流体を吸入するための第１の吸入口と、前記第１の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第１の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第２の吸入口と、前記第２の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第２の吐出口とを有する筐体と、
    前記筐体内を、前記第１の吸入口及び前記第１の吐出口を介して前記外部と連通可能な第１のチャンバと、前記第２の吸入口及び前記第２の吐出口を介して前記外部と連通可能な第２のチャンバとに仕切るとともに、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉し、振動することで前記第１及び第２の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第１の振動体と、
    前記筐体内に配置された第１のマグネットと、反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して前記筐体内に配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第１のコイルとを有し、前記第１のコイルに通電することで前記第１の振動体を駆動する駆動機構と
    を具備することを特徴とする電子機器。
36. 発熱体と、
    外部から流体を吸入するための第１の吸入口と、前記第１の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第１の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第２の吸入口と、前記第２の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第２の吐出口と、前記外部から前記流体を吸入するための第３の吸入口と、前記第３の吸入口から吸入された前記流体を前記外部へ吐出するための第３の吐出口とを有する筐体と、
    前記筐体内を、前記第１の吸入口及び前記第１の吐出口を介して前記外部と連通可能な第１のチャンバと、前記第２の吸入口及び前記第２の吐出口を介して前記外部と連通可能な第２のチャンバとに仕切るとともに、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間を密閉し、振動することで前記第１及び第２の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第１の振動体と、
    前記筐体内を、前記第２のチャンバと、前記第３の吸入口及び前記第３の吐出口を介して前記外部と連通可能な第３のチャンバとに仕切るとともに、前記第２のチャンバと前記第３のチャンバとの間を密閉可能であり、振動することで前記第２及び第３の吐出口から前記流体を脈流かつ噴流として吐出させる第２の振動体と、
    前記筐体内に配置された第１のマグネットと、反発磁界を形成するように前記第１のマグネットに対向して前記筐体内に配置された第２のマグネットと、前記第１の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された第１のコイルと、前記第２の振動体に装着され、前記反発磁界を受けるように配置された及び第２のコイルとを有し、前記第１及び第２のコイルに通電することで前記第１及び第２の振動体を駆動する駆動機構と
    を具備することを特徴とする電子機器。

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