JP2007210025A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ステージからの反射光によって加工対象物が損傷を受けることを防止し、かつ十分な機械的強度を確保することができるステージを有するレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 ステージが、加工対象物と線で接触して加工対象物を保持する。レーザ光源が、ステージに保持された加工対象物に、レーザビームを入射させる。
【選択図】 図2
【解決手段】 ステージが、加工対象物と線で接触して加工対象物を保持する。レーザ光源が、ステージに保持された加工対象物に、レーザビームを入射させる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、レーザ加工装置に関し、特にステージに保持した加工対象物にレーザビームを入射させて貫通孔を形成するレーザ加工装置に関する。
図4に、レーザビームを用いて加工対象物に貫通孔を形成するレーザ加工装置の従来のステージの断面図を示す。断面が正方形の複数の支持棒51が、平面的に、かつ相互に平行に配置されている。支持棒51の各々の両端がベース50に固定されている。相互に隣り合う2本の支持棒51の間に隙間が確保されている。複数の支持棒51が並ぶ面と、ベース50との間に空洞が形成されている。ベース50に排気口52が形成されており、この空間内を排気することができる。すべての支持棒51の1つの側面が、同一の仮想平面上に配置され、この仮想平面上に加工対象物55が保持される。ベース50と支持棒51とで囲まれた空間内を排気することにより、加工対象物55をステージに吸着することができる。
下記の特許文献1に、複数の支持棒に代えて、ハニカムコアを用いたレーザ加工装置が開示されている。ハニカムコアは、レーザビームの進行方向と平行な姿勢で配置された多数の薄板により構成される。
図4に示したステージに加工対象物55を保持し、支持棒51が配置されている領域にレーザビーム53を入射させると、加工対象物55に貫通孔が形成された後、支持棒51の表面でレーザビームが反射する。この反射光により、加工対象物55が損傷を受ける場合がある。
特許文献1に開示されているハニカムコアは、多数の薄板で構成されるため、レーザビームが薄板に入射する確率は、図4に示した支持棒51に入射する確率よりも低い。ただし、レーザビームが薄板の端面に入射した場合には、支持棒51に入射した場合と同様に反射し、加工対象物に損傷を与える。また、ハニカムコアを用いたステージは、支持棒を用いたステージに比べて機械的強度が低い。
本発明の目的は、ステージからの反射光によって加工対象物が損傷を受けることを防止し、かつ十分な機械的強度を確保することができるステージを有するレーザ加工装置を提供することである。
本発明の一観点によれば、加工対象物と線で接触して該加工対象物を保持するステージと、前記ステージに保持された加工対象物に、レーザビームを入射させるレーザ光源とを有するレーザ加工装置が提供される。
加工対象物とステージとが線で接触するため、加工対象物に貫通孔が形成されたとき、貫通孔内を通過して、加工対象物に接触する面で反射したレーザビームに起因する加工対象物の損傷を防止することできる。
図1に、第1の実施例によるレーザ加工装置の概略図を示す。ステージ5に加工対象物10が保持される。ステージ5は、駆動機構6により加工対象物10の被加工面に平行な2次元方向に移動可能である。ステージ5内に空洞が形成されており、この空洞が配管8を経由して排気装置7により排気される。空洞内を排気すると、加工対象物10がステージ5に吸着される。
レーザ光源1から出射したレーザビームが、反射鏡2で反射し、ガルバノスキャナ3及びfθレンズ4を経由して、ステージ5に保持された加工対象物4に入射する。ガルバノスキャナ3は、レーザビームを2次元方向に走査する。fθレンズ4は、走査されたレーザビームを、ステージ5に保持された加工対象物10の表面上に集束させる。なお、必要に応じて、レーザビームの断面を整形するマスク、レーザビームをコリメートするコリメートレンズ等を配置してもよい。
図2Aに、ステージ5の平面図を示し、図2Bに、図2Aの一点鎖線B2−B2における断面図を示す。ステージ5は、ベース20及び複数の支持棒21を含んで構成される。ベース20は、長方形の板状の底面と、底面の4つの縁から上方に立ち上がった4つの側面を含んで構成される。複数の支持棒21の両端を、ベース20の対向する2つの側面に固定することにより、支持棒21がベース20に支持されている。
支持棒21は、等間隔で平行に配列し、相互に隣り合う2本の支持棒21の間に隙間が確保されている。支持棒21の各々の断面は正方形である。複数の支持棒21により、加工対象物10を支持する仮想平面22が画定される。支持棒21の各々は、隣り合う2つの第1の表面23A及び第2の表面23Bの交線である稜が仮想平面22に含まれるように、配置されている。支持棒21の断面が正方形であるため、第1の表面23Aと第2の表面23Bとは、90°で交わる。
仮想平面22の、レーザビーム入射側の空間を向く法線ベクトル24と、第1の表面23Aの法線ベクトル25Aとのなす角、及び法線ベクトル24と第2の表面23Bの法線ベクトル25Bとのなす角が、ともに45°になるように、各支持棒21の姿勢が固定されている。一例として、支持棒21の断面の一辺の長さは2mmであり、支持棒21の中心間の間隔は3mmである。このとき、隣り合う2本の支持棒21の間の隙間は約0.17mmになる。支持棒21は、レーザビームによって損傷を受けにくい材料、例えばアルミニウムやステンレス等によって形成される。相互に隣り合う2本の支持棒21のうち、一方の支持棒21の第1の表面23Aを延長した平面と、他方の支持棒21の第2の表面23Bを延長した平面とが、90°の角度で交差する。
ベース20の内面と、支持棒21が配列する面との間に、空洞26が形成されている。配管8を介して空洞26内を排気することにより、加工対象物10をステージ5に吸着することができる。このとき、加工対象物10は、指示棒21の第1の表面23A及び第2の表面23Bの交線である稜、すなわち相互に平行に配置された複数の直線でステージ5に接触する。
レーザ加工時には、レーザビーム30が、仮想平面22のほぼ法線方向から加工対象物10に入射する。仮想平面22の位置におけるレーザビームのビーム断面の直径は、例えば50〜300μmである。ビーム断面の寸法は、加工すべき貫通孔の大きさによって種々選択される。
加工対象物10にレーザビーム30を入射させて貫通孔を形成する。貫通孔が形成されると、レーザビーム30は貫通孔内を通過して、加工対象物10の裏側の空間に侵入する。貫通孔内を通過したレーザビーム30は、支持棒21の第1の表面23Aまたは第2の表面23Bに入射するか、または支持棒21の隙間を通過してベース20の底面に入射する。
支持棒21の第1の表面23Aに入射したレーザビームは、第1の表面23Aで反射して仮想平面22と平行な方向に伝搬し、隣の支持棒21の第2の表面23Bに入射する。第2の表面23Bで反射した後、加工対象物10の裏側の表面に再入射する。加工対象物10に再入射する位置のビームスポットは、加工対象物10に最初に入射する位置におけるビームスポットよりも大きくなっている。ビームスポットが大きくなることによってレーザビームのパワー密度が低下するため、加工対象物10が損傷を受けにくい。
また、支持棒21の第1の表面23A及び第2の表面23Bを低反射コーティングしておくことにより、加工対象物10に再入射する位置におけるパワー密度をより低下させることができる。また、第1の表面23A及び第2の表面23Bを荒らして、レーザビームを散乱させる構成としてもよい。また、レーザビームを透過させる材料で支持棒21を形成してもよい。CO2レーザを用いる場合、レーザビームを透過させる材料としてZnSe、Si、ZnS等が挙げられる。
貫通孔内を通過したレーザビーム30が支持棒21の第2の表面23Bに入射する場合も、上述の第1の表面23Aに入射する場合と同様の作用効果が得られる。また、貫通孔内を通過したレーザビームが支持棒21の隙間を通過してベース20の底面に入射する場合も、加工対象物10に再入射するまでにビームスポットが大きくなるため、加工対象物10が損傷を受けにくい。
第1の実施例では、支持棒21の第1の表面23A及び第2の表面23Bが平面であったが、必ずしも平面である必要はなく、曲面であってもよい。第1の表面23A及び第2の表面23Bを曲面で構成する場合には、第1の表面23A及び第2の表面23Bの任意の位置における法線ベクトルと、仮想平面22の法線ベクトル24とのなす角度が45°以上になるようにすればよい。第1の表面23A及び第2の表面23Bが曲面で構成される場合には、支持棒21と加工対象物10とが曲線で接触する場合もある。
なお、図2Bに示すように、加工対象物10の縁からある幅の領域は、ベース20の側面の上端に、面で接触する。この縁からある幅の領域には貫通孔が形成されない。このように、形成すべき貫通孔が分布しない領域は、ステージ5に面で接触してもよい。
図3Aに、第2の実施例によるレーザ加工装置に用いられるステージの断面図を示す。第2の実施例では、第1の実施例の支持棒21に代えて、断面が直角二等辺三角形の支持棒21Aが用いられている。その他の構成は第1の実施例の構成と同じである。直角二等辺三角形の直角を挟む2つの辺に相当する表面が、図2Bに示した第1の実施例の支持棒21の第1の表面23A及び第2の表面23Bに一致する姿勢で支持棒21Aが配置されている。
第2の実施例においても、第1の実施例の場合と同様の作用効果が得られることが明白である。なお、第1の実施例の支持棒21の第1の表面23A及び第2の表面23Bに一致する表面を有する他の断面形状の支持棒を用いても、同様の作用効果が得られることは当業者に自明であろう。
第1の実施例では、支持棒21の第1の表面23Aの法線ベクトル25Aと仮想平面22の法線ベクトル24とのなす角度、及び第2の表面23Bの法線ベクトル25Bと仮想平面22の法線ベクトル24とのなす角度を45°としたが、これらの角度を45°より大きくしてもよい。この角度を45°より大きくすると、支持棒21の表面で反射したレーザビームが、加工対象物10から遠ざかる向きに伝搬する。このため、加工対象物10に直接再入射することがない。これにより、加工対象物10が損傷を受けにくくなる。
また、支持棒21の第1の表面23Aの法線ベクトル25Aと仮想平面22の法線ベクトル24とのなす角度、及び第2の表面23Bの法線ベクトル25Bと仮想平面22の法線ベクトル24とのなす角度が45°未満であっても、支持棒21と加工対象物10とが線で接触する場合には、第1の表面23A及び第2の表面23Bと、加工対象物10との間に隙間が形成される。この隙間をレーザビームが伝搬する間に、ビーム断面が大きくなる。このため、支持棒と加工対象物とが面で接触する場合に比べて、加工対象物10が損傷を受けにくくなる。
図3Bに、第3の実施例によるレーザ加工装置に用いられるステージの断面図を示す。第1の実施例では、支持棒21の第1の表面23A及び第2の表面23Bが共に上方(レーザビームの上流側)を向いていた。これに対し、第3の実施例の支持棒21Bにおいては、加工対象物10に接触する稜の両側の表面のうち、一方の第1の表面23Aがレーザビームの上流側を向き、他方の第2の表面23Bがレーザビームの下流側を向く。すなわち、第1の表面23Aの法線ベクトル25Aと、仮想平面22の法線ベクトル24とのなす角度が45°以上90°未満であり、第2の表面23Bの法線ベクトル25Bと、仮想平面22の法線ベクトル24とのなす角度が90°よりも大きい。
第3の実施例においても、第1の実施例の場合と同様に、加工対象物10に形成された貫通孔内を通過した後、支持棒21Bの第1の表面23Aで反射したレーザビームが、隣の支持棒21Bの第2の表面23Bに入射する。第3の実施例では、第2の表面23Bの法線ベクトル25Bと仮想平面22の法線ベクトル24とのなす角度が90度よりも大きいため、第2の表面23Bで反射したレーザビームが、加工対象物10から遠ざかる方向に伝搬する。このため、加工対象物10に再入射しない。
加工対象物10の貫通孔内を通過して支持棒21Bに入射したレーザビームが加工対象物10に再入射しないため、加工対象物10の損傷を防止することができる。
上記第1〜第3の実施例では、加工対象物10を支える支持棒が、薄板ではなく、棒状部材で形成されているため、薄板で形成されたハニカムコアに比べて、大きな機械的強度を確保することができる。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1 レーザ光源
2 反射鏡
3 ガルバノスキャナ
4 fθレンズ
5 ステージ
6 駆動機構
7 排気装置
8 配管
10 加工対象物
20 ベース
21 支持棒
22 仮想平面
23A 第1の表面
23B 第2の表面
24 仮想平面の法線ベクトル
25A 第1の表面の法線ベクトル
25B 第2の表面の法線ベクトル
26 空洞
30 レーザビーム
2 反射鏡
3 ガルバノスキャナ
4 fθレンズ
5 ステージ
6 駆動機構
7 排気装置
8 配管
10 加工対象物
20 ベース
21 支持棒
22 仮想平面
23A 第1の表面
23B 第2の表面
24 仮想平面の法線ベクトル
25A 第1の表面の法線ベクトル
25B 第2の表面の法線ベクトル
26 空洞
30 レーザビーム
Claims (7)
- 加工対象物と線で接触して該加工対象物を保持するステージと、
前記ステージに保持された加工対象物に、レーザビームを入射させるレーザ光源と
を有するレーザ加工装置。 - 前記ステージは、加工対象物と接する稜を構成する第1の表面及び第2の表面を含み、加工対象物と接する稜が1つの仮想平面に含まれ、該仮想平面の、レーザビーム入射側の空間を向く法線ベクトルと、該第1の表面及び第2の表面の任意の位置における法線ベクトルとのなす角度が45°以上である請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記第1の表面及び第2の表面が、入射するレーザビームを散乱させる請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 前記第1の表面及び第2の表面が平面であり、両者が90°の角度で交わる請求項2または3に記載のレーザ加工装置。
- 前記ステージと加工対象物とが、相互に平行な複数の直線で接触する請求項1〜4のいずれかに記載のレーザ加工装置。
- 前記ステージと加工対象物とが、相互に平行な複数の直線状の稜で接触し、前記仮想平面の法線に平行な方向に伝搬するレーザビームが、1つの稜を構成する第1の表面で反射すると、隣の稜を構成する第2の表面に入射し、該第2の表面で反射した反射光が前記仮想平面から遠ざかる方向に伝搬するように前記第1の表面及び第2の表面が配置されている請求項2〜4のいずれかに記載のレーザ加工装置。
- 前記ステージは、直線状の稜を持つ複数の棒状部材を含み、該複数の棒状部材が、隙間を隔てて配置されており、
さらに、前記複数の棒状部材の隙間を通して、加工対象物を真空吸着する排気手段を有する請求項6に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006035405A JP2007210025A (ja) | 2006-02-13 | 2006-02-13 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006035405A JP2007210025A (ja) | 2006-02-13 | 2006-02-13 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007210025A true JP2007210025A (ja) | 2007-08-23 |
Family
ID=38488881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006035405A Pending JP2007210025A (ja) | 2006-02-13 | 2006-02-13 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007210025A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014083595A (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-12 | Samsung Techwin Co Ltd | レーザー加工用テーブル及びレーザー加工方法 |
JP2018016507A (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスの加工方法及び加工装置 |
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JPH08108291A (ja) * | 1994-10-06 | 1996-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 加工装置の被加工物支持台 |
JPH106067A (ja) * | 1996-06-27 | 1998-01-13 | Nec Corp | レーザ加工装置およびその載物台 |
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JP2004261843A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Yamaha Corp | 切断装置およびそれを用いた切断方法 |
-
2006
- 2006-02-13 JP JP2006035405A patent/JP2007210025A/ja active Pending
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100708 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110426 |