JP2007208052A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に高濃度不純物拡散層36が形成された複数の光電変換素子34が半導体基板表面部に二次元アレイ状に配列形成され、半導体基板32の上に絶縁層40が積層された固体撮像素子30において、前記各光電変換素子の直上の絶縁層40と高濃度不純物層36との間の界面部分にそれぞれ不純物拡散抑制層50を形成する。この結果、高濃度不純物拡散層36の不純物濃度を必要以上に濃くする必要なくなり、暗電流の抑制とスミアの抑制を両立させることが可能となる。
【選択図】図1
Description
32 半導体基板
33 pウェル層
34 n領域(フォトダイオードの電荷蓄積部:光電変換素子)
35 素子分離領域
36 表面p層
40 ONO構造のゲート絶縁膜
41 酸化シリコン膜
43 遮光膜
43a 遮光膜開口
48 カラーフィルタ層
49 マイクロレンズ
50 不純物(ボロン)拡散抑制膜
Claims (3)
- 表面に高濃度不純物拡散層が形成された複数の光電変換素子が半導体基板表面部に二次元アレイ状に配列形成され、該半導体基板の上に絶縁層が積層された固体撮像素子において、前記各光電変換素子の直上の前記絶縁層と前記高濃度不純物拡散層との間の界面部分にそれぞれ不純物拡散抑制層を形成したことを特徴とする固体撮像素子。
- 前記半導体がシリコンであり、前記絶縁層が酸化シリコンであり、前記高濃度不純物拡散層がボロン拡散層であり、前記不純物拡散抑制層がボロン拡散抑制層であることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記ボロン拡散抑制層が、窒化シリコン層または窒化酸化層または窒素含有酸化層または高誘電率絶縁層であることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像素子。
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